JP2012026827A - X線検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料2から発生するX線を検出する少なくとも2つのX線検出手段11,12と、該X線検出手段11,12の一端を回転自在に結合する結合手段と、該X線検出手段11,12と結合手段をその内部に含む円筒10と、前記結合手段と接続され、前記X線検出手段11,12を直線方向に移動させる移動機構15と、該移動機構15により前記X線検出手段11,12を第1の方向に移動させた時に、複数のX線検出手段11,12が扇状に開くように付勢力を与える付勢力付与手段18と、前記移動機構15を第2の方向に移動させた時に、複数のX線検出手段を折り畳んで前記円筒0内に引き込む引き込み手段とを有して構成される。
【選択図】図1
Description
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図1は本発明の構成原理図である。図6と同一のものは同一の符号を付して示す。図に示す状態は、SDD検出器を2台設けた場合を示している。そして、SDD検出器がまだ試料を見込む位置まで到達していない状態を示している。SDD検出器とはシリコンドリフト型X線検出器のことである。
(実施例2)
実施例2は、時定数Bの検出器と時定数Aの検出器を備え、これら検出器のスペクトルを一体化したものである。図3は実施例2の原理説明図である。21は短い時定数で試料2からのX線を検出するX線検出器A(カウント検出器)、22は長い時定数で試料2からのX線を検出するX線検出器B(基準検出器)である。試料2に電子線又はX線を照射すると該試料2からは特性X線(蛍光X線)が発生する。この特性X線は、X線検出器AとX線検出器Bで検出される。
R=S/(A1+A2+A3)
Rが求まったら、X線検出器BのそれぞれのスペクトルにRを乗算する。この結果、(c)に示すように、それぞれのスペクトルK1〜K3がR倍されて、その振幅がK1’〜K3’へと拡大していることが分かる。振幅が拡大するということは、S/N比が向上していることを意味する。以上の演算は、装置に付属の制御部(図示せず)が行なう。図7はX線検出器AとX線検出器Bの重ね合せの説明図である。
(1)X線検出器は使用しない時は円筒内にたたんでおくことができ、場所をとらない。
(2)各々の検出器は時定数を変えて使用することができ、検出信号の振幅を増やし、S/N比を向上させ、且つ分析時間が短縮できる。
(3)感度を向上させることで電子線照射によってダメージを受ける試料にとって照射量の軽減が可能である。
(4)感度を向上させることで、微量な試料に対してもX線分析が可能となる。
(5)X線検出器に対する保護又は安全上のシャッタ機能が不要となる。
5 試料ホルダ
6 Oリング
10 円筒
11 SDD検出器
12 SDD検出器
13 ペルチェ冷却素子
14 Oリング
15 移動機構
Claims (4)
- 試料から発生するX線を検出する少なくとも2つのX線検出手段と、
該X線検出手段の一端を回転自在に結合する結合手段と、
該X線検出手段と結合手段をその内部に含む円筒と、
前記結合手段と接続され、前記X線検出手段を直線方向に移動させる移動機構と、
該移動機構により前記X線検出手段を第1の方向に移動させた時に、複数のX線検出手段が扇状に開くように付勢力を与える付勢力付与手段と、
前記移動機構を第2の方向に移動させた時に、複数のX線検出手段を折り畳んで前記円筒内に引き込む引き込み手段と、
を有して構成されるX線検出装置。 - 前記付勢力付与手段としてコイルバネを用いることを特徴とする請求項1記載のX線検出装置。
- 前記結合手段を冷却するためのペルチエ冷却素子を設けたことを特徴とする請求項1記載のX線検出装置。
- 前記X線検出手段が二つある場合に、第1のX線検出手段は高計数率モードで、第2のX線検出手段は高分解能モードでそれぞれX線を検出するようにし、
高分解能モードでのX線スペクトルの半値幅が変わらないように、高計数率モードで得られたX線スペクトルとの面積比分だけ高分解能モードでのスペクトル強度を増やす、
ように構成したことを特徴とする請求項1記載のX線検出装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015145706A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置 |
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JPS6182150A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-25 | Shimadzu Corp | X線分光分析装置 |
JP2588833B2 (ja) * | 1993-06-25 | 1997-03-12 | 株式会社トプコン | 分析電子顕微鏡 |
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JPWO2015145706A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-04-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置 |
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JP5420491B2 (ja) | 2014-02-19 |
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