JP2588833B2

JP2588833B2 - 分析電子顕微鏡

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Publication number: JP2588833B2
Application number: JP5154754A
Authority: JP
Inventors: 隆志谷中
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Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 1993-06-25
Filing date: 1993-06-25
Publication date: 1997-03-12
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Also published as: JPH0714538A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、電子顕微鏡を用いて
Ｘ線分析を行い、電子レベルの構造解析及びナノメータ
レベルの元素分析を同時に可能にする分析電子顕微鏡に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の分析電子顕微鏡としては、例え
ば、図５に示すようなものがある。その構成は、高速電
子線源を形成する電子銃１１、その電子線１２を試料面
へ縮小投影する多段集束レンズ系１３、その下の対物レ
ンズ系１４、対物レンズ系１４を形成する上側磁極１５
及び下側磁極１６、それらの上側磁極片１７及び下側磁
極片１８、上側磁極１５と下側磁極１６の磁極間に配置
される試料２１を含む試料室２２があり、これらによっ
て鏡筒２０が形成され、鏡筒２０の側面から試料室２２
内に進入するように、Ｘ線検出器２５が配設されてい
る。なお、Ｘ線検出器２５の付近を図６に拡大して示
す。

【０００３】そして、電子銃１１で発生し、集束レンズ
系１３及び対物レンズ系１４を経た電子線１２が試料２
１に照射され、電子線１２と試料２１表面との相互作用
により、試料２１に電子線１２が照射されたスポット２
７から、放射状にＸ線２８が発生するが、このＸ線２８
をＸ線検出器２５によって検出し、それを増幅して信号
処理を行い、試料２１の含有元素やその百分率を知るよ
うになっている。こゝでＸ線検出器２５の検出部２６
は、一般には１２〜１４ｍｍ径の保護筒の中に配置さ
れ、保護筒の先端部にはベリリウム等の耐圧力隔壁が張
られ、その先端から約２ｍｍの所に置かれており、約３
０ｍｍ²の表面積を持っている。

【０００４】また、上側磁極１５と下側磁極１６は截頭
円錐状の上側磁極片１７及び下側磁極片１８を有する
が、電子顕微鏡の性能を上げるためその球面収差を小さ
くししようとすれば、この磁極片の頂角は５０°以上と
しなければならない。さらに分析電子顕微鏡では、分析
点（電子線スポットが照射される点２７）から発生する
Ｘ線が、検出器によって捕捉され易くするため、Ｘ線検
出器２５の位置は、分析点２７を含む水平面に対し、あ
る一定の角度を保持している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような、
従来のＸ線分析装置にあっては、Ｘ線検出器２５の位置
は、分析点２７からある一定の距離があり、また分析点
２７を含む水平面からせいぜい２０°程度の角度しか取
れず、最も条件がいゝとされる試料面に直角な位置に対
してかけ離れているから、Ｘ線の収量をそれほど多くす
ることはできないという問題がある。

【０００６】また従来のＸ線分析装置にあっては、Ｘ線
検出器が保護筒の中に配置され、その先端の検出部は、
約３０ｍｍ²の表面積しか持ち得ないことになる。ま
た、磁極の截頭円錐状の磁極片の頂角は、後に述べる球
面収差係数をその限界値０．４ｍｍ程度に低く抑えるた
めには、５０°以上としなければならないという制約が
ある。

【０００７】さらにＸ線検出器の位置は、試料に電子線
が照射されたスポット（分析点）を含む水平面に対し、
一定の角度を保持するようにしなければならない。即ち
この角度が小さすぎると、発散するＸ線の強度が弱い部
分で検出することになるし、この角度が大きすぎると上
側磁極片と抵触してしまうので、この角度は２０°程度
の値を保持するようにしなければならない。このような
条件により、分析点からＸ線検出器の検出部までの距離
Ｒは、ある程度大きな値となってしまう。

【０００８】一方、Ｘ線分析の検出効率を示す尺度は、
検出立体角で表現され、検出立体角Ωは、Ｘ線検出器の
検出部の表面積Ｓを、分析点からＸ線検出器までの距離
Ｒの２乗で除した値となり、 Ω＝Ｓ／Ｒ²ステラジアン（１）で表されるが、Ｘ線検出器が有効に作動するためには、
検出立体角Ωは大きいことが望ましい。ところが従来の
分析電子顕微鏡では、０．１３ステラジアンの検出立
体角を実現しているが、この値と上記の表面積である
Ｓ＝３０ｍｍ²を（１）式にあてはめて計算すると、
Ｒ＝１５ｍｍとなる。よって、Ｘ線検出器の検出効率
を上げるためには、分析点から検出部までの距離Ｒを１
５ｍｍより小さくし、立体角を大きくしなければならな
いという問題がある。

【０００９】この発明はこのような従来の課題に着目し
てなされたもので、試料の下側に発生するＸ線をも検出
することができるようにし、Ｘ線検出器におけるＸ線の
収量を多くして、Ｘ線の検出効率を向上させることによ
り、試料の分析の精度を向上させることを目的とする。

【００１０】また、対物レンズ系の性能パラメータ（特
に球面収差係数）を劣化させると、実際の電子線プロー
ブ径は、理想的な照射半径からずれてしまい、影像の解
像力が低下してしまう。同時に球面収差係数が大きくな
ると、プローブ電流も減少する。例えば球面収差係数Ｃ
_S1＝０．４ｍｍの場合と、Ｃ_S2＝１．２ｍｍの２つ
の場合とを比較したとき、プローブ径を一定にして、そ
れぞれのプローブ電流をＩｐ₁，Ｉｐ₂とすると、公知
の方法により計算又は実測した結果は、Ｉｐ₂＝Ｉｐ₁／２となる。一方、Ｘ線の単位時間当たりの収量は、プロー
ブ電流Ｉｐと検出立体角Ωの積に比例することから、Ｘ
線検出器の検出効率を向上させるためには、対物レンズ
系の球面収差係数を向上させることが重要である。

【００１１】この発明は、上記の従来の課題にも着目し
てなされたもので、分析電子顕微鏡の対物レンズの性能
に影響する球面収差係数を、極力小さい値に保持しなが
ら、試料傾斜角を調整することによって試料面の上下に
配置された２つのＸ線検出器のＸ線の検出効率を向上さ
せ、Ｘ線の収量を高めることができる分析電子顕微鏡を
提供することをも目的とする。

【００１２】更に、この発明は、分析電子顕微鏡におけ
る截頭円錐状の磁極片の頂角、Ｘ線検出器の位置等の条
件を上記の値に保持しながら、分析点からＸ線検出器の
検出部までの距離を短かくし、検出立体角を一定の限度
以上としすることができる分析電子顕微鏡を提供するこ
とを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するための手段として、その構成を、電子線１２を
発生する電子源１１と、該電子線１２を投影する集束レ
ンズ系１３と、截頭円錐面を有する上側磁極１５と下側
磁極１６とを持つ対物レンズ系１４と、前記対物レンズ
系１４の上側磁極１５と下側磁極１６との間に配置され
た試料２１を含む試料室２２を有する鏡筒２０と、前記
上側磁極１５と前記下側磁極１６との磁極間隙内に配置
され前記試料２１を保持する試料保持装置２３と、前記
鏡筒２０側面から試料室２２内に進入し前記試料２１か
ら発生するＸ線を検出するＸ線検出器２５とを有する分
析電子顕微鏡１０において、前記電子線軸１２および前
記試料保持装置２３の保持軸２４の交点を中心とした点
対称位置に、第２のＸ線検出器２５を配置したこととし
た。

【００１４】また、前記対称位置に配置された２つのＸ
線検出器２５が前記試料保持装置２３の保持軸２４と略
直交する位置に配置され、前記対物レンズ系１４の上側
磁極１５および下側磁極１６の少なくとも一方の磁極片
１７、１８に、前記Ｘ線検出器２５の検出部２６が嵌入
する切欠き部３０を設け、その切欠き部３０は前記電子
線軸１２を中心とした対称位置に、前記切欠き部３０と
同一の４個を等角度の間隔で設ける。

【００１５】さらに、前記上側磁極１５および下側磁極
１６の少なくとも一方の磁極片１７、１８の前記切欠き
部３０以外の部分に、前記電子線軸１２に対称に肉盛り
部３１を設けることとした。

【００１６】

【作用】次に本発明の作用を説明する。前記電子線軸１
２および前記試料保持装置２３の保持軸２４の交点を中
心とした点対称位置に、第２のＸ線検出器２５を配置し
たので、試料２１の下側に発生したＸ線が第２のＸ線検
出器２５によって検出され、一般にはＸ線の収量が２倍
近く増加して検出精度が向上する。

【００１７】そして、前記対称位置に配置された２つの
Ｘ線検出器２５が前記試料保持装置２３の保持軸２４と
略直交する位置に配置したので、この位置では試料保持
装置２３を傾斜させることができ、Ｘ線の取り出し角を
４０°位にすることができ、Ｘ線の収量を増大させるこ
とができる。

【００１８】更に、前記上側磁極１５の磁極片１７に前
記Ｘ線検出器２５の検出部２６が嵌入する切欠き部３０
を設けたので、前記Ｘ線検出器２５の検出部２６は、そ
の切欠き部３０に嵌入して、試料２１上の分析点の近く
まで接近して設置でき、Ｘ線検出の際の立体角が大きく
なってＸ線分析の効率が向上する。

【００１９】また切欠き部３０を電子線軸１２を中心と
した対称位置に設け、しかも４個の切欠き部３０を等間
隔で設け、さらに、前記上側磁極１７の前記切欠き部３
０以外の部分に、前記電子線軸１２に対称に肉盛り部３
１を設けたので、前記切欠き部３０を設けたことによる
対物レンズ系１４の球面収差の増加を抑えることがで
き、影像の解像力が保持され、測定の精度が向上する。

【００２０】

【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
本発明の電子顕微鏡１０の構成図の概略は、図５に示す
従来技術と同様で、高速電子線源を形成する電子銃１
１、その電子線１２を試料２１の面へ縮小投影する集束
レンズ系１３、次の対物レンズ系１４、対物レンズ系１
４を形成する上側磁極１５及び下側磁極１６が設けられ
ており、上側磁極１５及び下側磁極１６は、截頭円錐面
２９を持つ上側磁極片１７及び下側磁極片１８を有して
おり、上側磁極１５及び下側磁極１６の両磁極間に、試
料保持装置２３に保持された試料２１が置かれている。

【００２１】この両磁極の磁極間隙の大きさは２ｍｍ
以下である。また、上側磁極１５及び下側磁極１６は、
磁性材料として鉄とコバルトとの合金から形成されてい
る。そして試料２１は試料室２２内に配置されるが、こ
れらによって鏡筒２０が形成され、鏡筒２０の側面から
試料室２２内に進入するようにして、Ｘ線検出器２５が
配設されている。

【００２２】また試料２１を保持する試料保持装置２３
は、図７に示すような形状で、中央の孔３５の棚部３６
に試料メッシュ３７を嵌入させて、その上に試料２１を
載置し、薄肉部３８の部分で対物レンズ系１４の磁極間
隙を通過させて、試料２１が磁極間に位置するように
し、保持軸２４を中心として試料２１を傾斜させること
ができるようになっている。なお試料保持装置２３は薄
肉部３８に設けられた凹部３９により、試料保持装置受
け４０と係合している。

【００２３】そして電子銃１１で発生し、レンズ系を経
た電子線１２が、試料２１に照射されたスポット２７か
ら、放射状にＸ線２８が発生する。これをＸ線検出器２
５によって検出して信号処理を行い、試料２１の含有元
素や、その百分率を知るようになっているものであっ
て、こゝまでは略従来技術と同様な構成を持っており、
同一部材は同一符号で示す。

【００２４】このような構成を有する分析電子顕微鏡１
０において、図１に示すように、試料保持装置２３の保
持軸２４を中心とした対称位置に、第２のＸ線検出器２
５を配置する。この場合第２のＸ線検出器２５は、試料
保持装置２３の保持軸２４を中心とした対称位置にあれ
ばよく、図２に示すように第２のＸ線検出器２５を、第
１のＸ線検出器２５と面対称の位置（鏡像位置）に設け
てもよく、また図３に示すように、第１及び第２のＸ線
検出器２５を、試料保持装置２３と並ぶ水平位置に配置
してもよい。ただし水平位置に配置した場合には、試料
保持装置２３を傾斜させて、電子線が照射されたスポッ
ト２７から、放射状に発生するＸ線２８を、Ｘ線検出器
２５で捕捉し易いようにする。

【００２５】また、第１及び第２のＸ線検出器２５を、
前記のように水平位置に配置しない図１、図２の場合に
おいても、試料保持装置２３を傾斜させることは、Ｘ線
の収量を増加させる意味で有効である。なお、図１は試
料保持装置２３の保持軸２４を中心とした対称位置に、
第２のＸ線検出器２５を配置する場合の特殊な場合であ
り、電子線軸１２および試料保持装置２３の保持軸２４
の交点を中心とした点対称位置に、第２のＸ線検出器２
５を配置した場合に相当する。

【００２６】しかしてＸ線検出の他の問題として、截頭
円錐状の上側磁極片１７の頂角は、球面収差Ｃ_Sを小さ
くするために５０°以上としなければならず、さらにＸ
線検出器２５の位置は、試料２１に電子線が照射された
スポット２７（分析点）を含む水平面に対し、２０°の
角度を保持するようにしなければならないから、この条
件で分析点２７からＸ線検出器２５までの距離Ｒをでき
るだけ短くするため、図４に示すように、対物レンズ系
１４の上側磁極１５の磁極片１７に、Ｘ線検出器２５の
先端の検出部２６が嵌入する切欠き部３０を設ける。

【００２７】上側磁極１５の磁極片１７に切欠き部３０
が設けられると、対物レンズ系１４の球面収差係数Ｃ_S
が大きくなり、球面収差係数Ｃ_Sの増大に伴って、Ｘ線
検出器２５のプローブ電流が小さくなる。これによって
Ｘ線検出器２５におけるＸ線の単位時間当たりの収量が
小さくなるので、球面収差係数Ｃ_Sをできるだけ小さく
することが必要となる。

【００２８】そのため、上側磁極片１７の截頭円錐面の
電子線軸１２を中心とした対称位置に、Ｘ線検出器２５
が嵌入しないダミーの切欠き部３０をも設けるように
し、また対称位置に設けられる切欠き部３０は、４個の
切欠き部３０を９０°おきに等角度の間隔で設ける。さ
らに、図４（ａ）に示すように、上側磁極片１７の側面
の切欠き部３０以外の部分に、電子線軸１２に対称に肉
盛り部３１を設ける。

【００２９】截頭円錐状の上側磁極片１７の側面に、Ｘ
線検出器２５の先端の検出部２６が嵌入する切欠き部３
０を設けたので、その切欠き部３０に、Ｘ線検出器２５
の先端の検出部２６が嵌入して、Ｘ線検出器２５を、試
料２１上の分析点２７の近くまで接近して設置でき、分
析点からＸ線検出器までの距離Ｒが小さくなり、Ｘ線検
出の際の立体角が大きくなってＸ線分析の効率が向上す
る。

【００３０】なお、図１または図４（ｂ）に示すよう
に、第２のＸ線検出器２５が、試料面から下側に設けら
れている場合に、そのＸ線検出器２５によって検出され
るＸ線は、第１のＸ線検出器２５によって検出されるＸ
線と同じ特性Ｘ線である。この場合に試料の厚みが１０
０ｎｍ以下であれば、Ｘ線が多少吸収されて、検出レベ
ルが落ちることはあっても、Ｘ線の波長が変化しないの
で、元素分析には影響せず、Ｘ線の収量が２倍になっ
て、分析の効率が向上する。

【００３１】また切欠き部３０を設けることにより、対
物レンズ系１４の球面収差Ｃ_Sが増大するので、これを
できるだけ小さい値に保持しなければならない。そして
対物レンズは、電子ビームを試料上に欠陥なく絞るとい
うことと、試料の結像を原子レベルの解像力で実行する
という、両面の完全性を備えていなければならない。し
かし切欠き部３０を１個だけ設けた場合には、対物レン
ズ系の二次、三次の非点収差が大きくなったり、またコ
マ収差が現れるという欠陥が生じてくる。

【００３２】そこで、切欠き部３０による磁束の乱れ
が、レンズ光学軸を損なったり非点収差を増したりする
のを防ぐため、Ｘ線検出器２５の先端の検出部２６が嵌
入する切欠き部３０の、磁極片１７の電子線軸１２を中
心とした対称位置に、ダミーの切欠き部３０を設けるこ
とが考えられる。しかして２個の切欠き部３０を対称位
置に設けた場合は二次の非点補正器を、３個の切欠き部
３０を対称位置に設けた場合は三次の非点補正器を、従
来の非点補正器とは別に設けなければならない。よっ
て、４個の切欠き部３０を９０°の間隔で、磁極片１７
の截頭円錐面２９上に等間隔で設ける。

【００３３】さらに、截頭円錐状の上側磁極片１７の側
面の円錐面２９の切欠き部３０以外の部分に、電子線軸
１２に対称に肉盛り部３１を設けるようにし、切欠き部
３０によって発生する磁気回路のこの部分での断面積の
欠損を補うようにする。これによって、切欠き部３０を
設けたことによる球面収差係数Ｃ_Sの増加を抑えること
ができる。

【００３４】また磁極片１７，１８の少なくとも一方に
切欠き部３０を設けたことにより、対物レンズ系１４の
起磁力の損失が発生するが、これを補うため、対物レン
ズ系１４の励磁電流を強めるようにする。さらに、磁極
片１７，１８の少なくとも一方に切欠き部３０を設けた
ことにより、漏洩磁束の作用によってサブレンズがで
き、対物レンズ系１４のＣ／Ｏ点が移動するので、これ
らを勘案して試料２１の位置を上または下に移動させる
ことが必要になる。しかし、試料２１の面を上にずらす
に従ってプローブ径の大きさが変化し、その結果一般的
には球面収差係数が増加するが、それを肉盛り部３１を
設けて相殺するように、計算または実測による試行錯誤
により求めるようにする。

【００３５】上記のように切欠き部３０を設けたことに
より、漏洩磁束の作用によってサブレンズができ、対物
レンズ系１４のＣ／Ｏ点が移動するが、図１及び図４に
示す実施例のように、Ｘ線検出器２５を試料保持装置２
３の保持軸２４の交点を中心とした点対称位置に設ける
ことにより、サブレンズが上下にでき、対物レンズ系１
４のＣ／Ｏ点は相殺されて移動せず、切欠き部３０を設
けない場合のＣ／Ｏ点と同じく、磁極間隙の中間点に位
置することになる。

【００３６】上記の実施例により得られた分析電子顕微
鏡の性能向上の効果を、実験データとして示すと、電子
加速電圧が２００ｋＶとした時、本発明の構成により、
球面収差係数が０．５ｍｍである対物レンズを実現し、
その場合の分析点からの距離Ｒ＝１０ｍｍとなり、励磁
電流の増加分は大幅に１０％以上、それに伴う試料位置
上昇分は、上側磁極１５と下側磁極１６の両磁極片１
７，１８に肉盛り部３１を設けているので、相殺されて
殆どなく、球面収差係数の増大分も同様に相殺されて殆
どなくなり、Ｘ線の収量には何ら影響がないものが得ら
れた。

【００３７】さらに本構成により、検出立体角 Ω＝０．５８ステラジアン試料傾斜による取り出し角 θ＝４０° を同時に達成し、図６の従来例と比較するとＸ線収率は
８倍になった。また従来よく知られている球面収差係数
Ｃ_S＝１．２ｍｍ、検出立体角＝０．１３ステラジアン
のものと比較すると、検出効率で４．４倍、プローブ電
流で２倍となり、Ｘ線の検出収率で８．８倍となった。

【００３８】また、上記の実施例では、厚み１００ｎｍ
以下の試料２１に対し、試料面の上側から発生するＸ線
を第１の検出器によって検出するだけでなく、試料面の
下側に発生するＸ線も第２の検出器によって検出できる
ので、２つのＸ線検出器の検出量を比較することによ
り、試料内に含有される元素が特定できるだけでなく、
その元素の位置の特定も実現することができる。

【００３９】また上記の実施例では、加速電圧２００ｋ
Ｖの場合について説明したが、よく知られている電子光
学の相似則を用いることにより、２００ｋＶ以上の電子
顕微鏡に本発明を適用することができる。さらに上記の
実施例では、上側磁極の磁極片に切欠き部を設けている
が、試料が電子線を透過可能な場合は、下側磁極の磁極
片にＸ線検出器の検出部が嵌入する切欠き部を設けるこ
とにより、Ｘ線検出器の検出部を分析点に近づけ、検出
立体角を大きくして、Ｘ線の収量を高めるようにするこ
ともできる。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、Ｘ線検出器を有する分析電子顕微鏡において、電子
線軸および試料保持装置の保持軸の交点を中心とした点
対称位置に、第２のＸ線検出器を配置したので、試料面
の下側に発生するＸ線をも検出することができるように
なり、Ｘ線検出器におけるＸ線の収量を多くして、Ｘ線
の検出効率を向上して試料の分析の精度を向上させるこ
とができるという効果がある。

【００４１】また、上側磁極の磁極片に前記Ｘ線検出器
の検出部が嵌入する切欠き部を設けることとしたので、
その切欠き部にＸ線検出器の先端の検出部が嵌入して、
Ｘ線検出器を試料上の分析点の近くまで近づけて設置で
き、Ｘ線検出の際の立体角が大きくなって、Ｘ線分析の
効率が向上するという効果を有する。

【００４２】また、上側磁極の磁極片の電子線軸を中心
とした対称位置に、前記Ｘ線検出器の検出部が嵌入する
４個の切欠きを等角度の間隔で設け、さらに、前記上側
磁極の磁極片の前記切欠き以外の部分に、前記電子線軸
に対称に肉盛り部を設けることとしたので、切欠部を設
けたことによる球面収差係数の増加を抑えることがで
き、影像の解像力が保持され、Ｘ線の収量を高め、測定
の精度が向上するという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の構成を示す分析電子顕微鏡の対物レ
ンズおよびＸ線検出器の断面図である。

【図２】この発明の構成を示す分析電子顕微鏡の対物レ
ンズおよびＸ線検出器で、図１の構成の他の実施例の断
面図である。

【図３】この発明の構成を示す分析電子顕微鏡の対物レ
ンズおよびＸ線検出器で、図１の構成の更に他の実施例
の断面図である。

【図４】この発明の請求項４ないし請求項７の構成を示
す分析電子顕微鏡の対物レンズおよびＸ線検出器の図
で、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。

【図５】従来の分析電子顕微鏡の断面図である。

【図６】従来の分析電子顕微鏡の対物レンズとＸ線検出
器部の断面図である。

【図７】従来の分析電子顕微鏡の試料保持装置の斜視図
である。

【符号の説明】

１０電子顕微鏡１１電子銃（電子源）１２電子線１３集束レンズ系１４対物レンズ系１５上側磁極１６下側磁極１７上側磁極片１８下側磁極片２１試料２２試料室２３試料保持装置２４保持軸２５Ｘ線検出器３０切欠き部３１肉盛り部

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】電子線（１２）を発生する電子源（１１）
と、該電子線（１２）を投影する集束レンズ系（１３）
と、截頭円錐面を有する上側磁極（１５）と下側磁極
（１６）とを持つ対物レンズ系（１４）と、前記対物レ
ンズ系（１４）の上側磁極（１５）と下側磁極（１６）
との間に配置された試料（２１）を含む試料室（２２）
を有する鏡筒（２０）と、前記上側磁極（１５）と前記
下側磁極（１６）との磁極間隙内に配置され前記試料
（２１）を保持する試料保持装置（２３）と、前記鏡筒
（２０）側面から試料室（２２）内に進入し前記試料
（２１）から発生するＸ線を検出するＸ線検出器（２
５）とを有する分析電子顕微鏡（１０）において、前記電子線軸（１２）および前記試料保持装置（２３）
の保持軸（２４）の交点を中心とした点対称位置に、第
２のＸ線検出器（２５）を配置したことを特徴とする分
析電子顕微鏡。
【請求項２】請求項１において、前記対称位置に配置さ
れた２つのＸ線検出器（２５）が前記試料保持装置（２
３）の保持軸（２４）と略直交する位置に配置したこと
を特徴とする分析電子顕微鏡。
【請求項３】請求項１または請求項２において、前記対
物レンズ系（１４）の上側磁極（１５）および下側磁極
（１６）の少なくとも一方の磁極片（１７）（１８）
に、前記Ｘ線検出器（２５）の検出部（２６）が嵌入す
る切欠き部（３０）を設けたことを特徴とする分析電子
顕微鏡。
【請求項４】請求項１ないし請求項３において、前記対
物レンズ系（１４）の上側磁極（１５）および下側磁極
（１６）の少なくとも一方の磁極片（１７）（１８）
の、前記電子線軸（１２）を中心とした対称位置に、前
記切欠き部（３０）と同一の切欠き部（３０）を設けた
ことを特徴とする分析電子顕微鏡。
【請求項５】請求項１ないし請求項４において、前記対
物レンズ系（１４）の上側磁極（１５）および下側磁極
（１６）の少なくとも一方の磁極片（１７）（１８）
の、前記電子線軸（１２）を中心とした対称位置に、４
個の前記切欠き部（３０）を等角度の間隔で設けたこと
を特徴とする分析電子顕微鏡。
【請求項６】請求項１ないし請求項５において、前記上
側磁極（１５）および下側磁極（１６）の少なくとも一
方の磁極片（１７）（１８）の、前記切欠き部（３０）
以外の部分に、前記電子線軸（１２）を対称に肉盛り部
（３１）を設けたことを特徴とする分析電子顕微鏡。