JP2012022161A - フィルムの露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムの露光装置1は、感光性材料が塗布されたフィルム2aをその長手方向に搬送する1対の搬送ローラ11と、搬送ローラ11間のフィルム2aの下方に配置されフィルムを支持するステージ10と、ステージ10上のフィルム2aに対して露光光を照射して露光する光源13と、を有する。ステージ10は、多孔質材料からなる板状の基板10fと、基板10fの多孔質部から空気を上方に吹き上げてフィルムを基板に非接触で支持する噴気部材10a、10dと、基板10fに設けられた吸気孔10eを介して基板10fの表面から空気を吸引する吸気部材と、を有する。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 感光性材料が塗布されたフィルムをその長手方向に搬送する1対の搬送ローラと、
この搬送ローラ間の前記フィルムの下方に配置され前記フィルムを支持するステージと、
このステージ上の前記フィルムに対して露光光を照射して露光する光源と、を有し、
前記ステージは、多孔質材料からなる板状の基板と、この基板の多孔質部から空気を上方に吹き上げて前記フィルムを前記基板に非接触で支持する噴気部材と、前記基板に設けられた吸気孔を介して前記基板の表面から空気を吸引する吸気部材と、を有することを特徴とするフィルムの露光装置。 - 前記ステージは、前記フィルムが前記基板上で前記搬送ローラの上方共通接線より下方に位置するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載のフィルムの露光装置。
- 前記ステージの上方にマスクが配置されており、前記光源からの露光光がマスクを透過して前記フィルムに照射されることを特徴とする請求項1又は2に記載のフィルムの露光装置。
- 前記ステージは、前記フィルムを前記基板の表面から30乃至40μm浮かび上がった位置で支持することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフィルムの露光装置。
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JP2013213885A (ja) * | 2012-03-31 | 2013-10-17 | Fujifilm Corp | 露光装置及び露光方法及びパターンフィルムの製造方法 |
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2010
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