JP2012020377A - 研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012020377A JP2012020377A JP2010160666A JP2010160666A JP2012020377A JP 2012020377 A JP2012020377 A JP 2012020377A JP 2010160666 A JP2010160666 A JP 2010160666A JP 2010160666 A JP2010160666 A JP 2010160666A JP 2012020377 A JP2012020377 A JP 2012020377A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing liquid
- colloidal silica
- less
- glass substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板を製造する際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で使用される研磨液であって、BET粒径が60nm以上100nm以下であるコロイダルシリカ砥粒と、ノニオン界面活性剤と、水とを含有し、好ましくは更に10ミリモル/リットル以上120ミリモル/リットル以下の無機電解質を含有し、表面張力が25mN/m以上50mN/m以下である研磨液を用いて研磨する。
【選択図】図1
Description
(1)磁気ディスク用ガラス基板を製造する際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で使用される研磨液であって、
BET粒径が60nm以上100nm以下であるコロイダルシリカ砥粒と、ノニオン界面活性剤と、水とを含有し、かつ、表面張力が25mN/m以上50mN/m以下であることを特徴とする研磨液。
(2)前記ノニオン界面活性剤が、HLB8以下で、アセチレンジオールまたはアセチレンジオールのアルキレンオキサイド付加物であり、研磨液の0.0005質量%以上の量含有されていることを特徴とする上記(1)記載の研磨液。
(3)前記無機電解質が塩酸、硝酸及び硫酸から選ばれる酸のナトリウム塩またはカリウム塩から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする上記(1)または(2)記載の研磨液。
(4)無機電解質を含有し、その濃度が10ミリモル/リットル以上120ミリモル/リットル以下であることを特徴とする上記(1)、(2)または(3)記載の研磨液。
(5)pHが9以上12以下であることを特徴とする上記(1)〜(4)の何れか1項に記載の研磨液。
(6)ガラス平板から切り出したガラス円板の主表面を、酸性コロイダルシリカ砥粒を含有する研磨液を用いて研磨する最終研磨工程の前に、
BET粒径が60nm以上100nm以下であるコロイダルシリカ砥粒と、ノニオン界面活性剤と、水とを含有し、かつ、表面張力が25mN/m以上50mN/m以下である研磨液を用いて研磨する工程を有することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(7)前記研磨液が、前記ノニオン界面活性剤として、HLB8以下で、アセチレンジオールまたはアセチレンジオールのアルキレンオキサイド付加物を、該研磨液の0.0005質量%以上0.1質量%以下の量含有することを特徴とする上記(6)記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(8)前記研磨液が、前記無機電解質として塩酸、硝酸及び硫酸から選ばれる酸のナトリウム塩またはカリウム塩から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする上記(6)または(7)記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(9)無機電解質を含有し、その濃度が10ミリモル/リットル以上120ミリモル/リットル以下であることを特徴とする上記(6)、(7)または(8)記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
(10)前記研磨液のpHが9以上12以下であることを特徴とする上記(6)〜(9)の何れか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法研磨液。
HLB=20〈MH/M〉
(MHは親水基部分の分子量、Mは界面活性剤の分子量である)
蒸留水699.95gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.05g、濃度1モル/リットルのNaNO3水溶液を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は36.5mN/m、pHは9.7であった。
蒸留水699.95gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.05g、濃度1モル/リットルのNaNO3水溶液を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、フジミ(株)製BET粒子径80nmのコロイダルシリカ(製品名CP−80)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は36.4mN/m、pHは10.2であった。
蒸留水699gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を1g添加し、攪拌した。攪拌したまま、濃度1モル/リットルのNaNO3を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は32.4mN/m、pHは9.6であった。
蒸留水699gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を1g添加し、攪拌した。攪拌したまま、濃度1モル/リットルのNaNO3を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、フジミ(株)製BET粒子径80nmのコロイダルシリカ(製品名CP−80)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は33.4mN/m、pHは10.1であった。
蒸留水695gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を5g添加し、攪拌した。攪拌したまま、濃度1モル/リットルのNaNO3を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は31.1mN/m、pHは9.7であった。
蒸留水799.95gに対し、アセチレンジオール(HLB=4)を0.05g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は47.3mN/m、pHは9.2であった。
蒸留水799.995gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.005g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は48.3mN/m、pHは9.1であった。
蒸留水799.95gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.05g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は36.4mN/m、pHは9.1であった。
(研磨液I)
蒸留水799.5gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.5g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径80nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は27.4mN/m、pHは9.1であった。
蒸留水799.995gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.05g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径53.6nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐XL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は36.7mN/m、pHは9.4であった。
蒸留水699.95gに対し、エチレンオキサイドを付加したアセチレンジオール(HLB=8)を0.05g、濃度1モル/リットルのNaNO3水溶液を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径53.6nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐XL)を200g添加して試験スラリーGを調製した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は36.1mN/m、pHは9.5であった。
蒸留水800gを攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径27.3nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐50)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.1であった。
蒸留水800gを攪拌したまま、ルドックス(株)製BET粒子径20.7nmのコロイダルシリカ(製品名HS40)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.3であった。
蒸留水800gを攪拌したまま、触媒化成工業(株)製BET粒子径55.9nmのコロイダルシリカ(製品名PPS45P)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.6であった。
蒸留水800gを攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径53.6nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐XL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.0であった。
蒸留水800gを攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.2であった。
蒸留水700gに対し、濃度1モル/リットルのNaNO3を100g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.7であった。
蒸留水750gに対し、濃度1モル/リットルのNaNO3を50g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.6であった。
蒸留水790gに対し、濃度1モル/リットルのNaNO3を10g添加し、攪拌した。攪拌したまま、日産化学工業(株)製BET粒子径85.1nmのコロイダルシリカ(製品名ST‐ZL)を200g添加した。この研磨液のコロイダルシリカ含有量は20質量%、表面張力は72mN/m、pHは9.4であった。
b:外周端面
c:主表面外周部
d:チャンファー面aと主表面外周部cの境界
e:ロールオフ測定領域
g:ロールオフの大きさを定めるための基準線
Claims (10)
- 磁気ディスク用ガラス基板を製造する際に、最終研磨工程よりも前の研磨工程で使用される研磨液であって、
BET粒径が60nm以上100nm以下であるコロイダルシリカ砥粒と、ノニオン界面活性剤と、水とを含有し、かつ、表面張力が25mN/m以上50mN/m以下であることを特徴とする研磨液。 - 前記ノニオン界面活性剤が、HLB8以下で、アセチレンジオールまたはアセチレンジオールのアルキレンオキサイド付加物であり、研磨液の0.0005質量%以上の量含有されていることを特徴とする請求項1記載の研磨液。
- 前記無機電解質が塩酸、硝酸及び硫酸から選ばれる酸のナトリウム塩またはカリウム塩から選ばれる少なくとも1種であることを特徴とする請求項1または2記載の研磨液。
- 無機電解質を含有し、その濃度が10ミリモル/リットル以上120ミリモル/リットル以下であることを特徴とする請求項1、2または3記載の研磨液。
- pHが9以上12以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の研磨液。
- ガラス平板から切り出したガラス円板の主表面を、酸性コロイダルシリカ砥粒を含有する研磨液を用いて研磨する最終研磨工程の前に、
BET粒径が60nm以上100nm以下であるコロイダルシリカ砥粒と、ノニオン界面活性剤と、水とを含有し、かつ、表面張力が25mN/m以上50mN/m以下である研磨液を用いて研磨する工程を有することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記研磨液が、前記ノニオン界面活性剤として、HLB8以下で、アセチレンジオールまたはアセチレンジオールのアルキレンオキサイド付加物を、該研磨液の0.0005質量%以上0.1質量%以下の量含有することを特徴とする請求項6記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液が、前記無機電解質として塩酸、硝酸及び硫酸から選ばれる酸のナトリウム塩またはカリウム塩から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項6または7記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 無機電解質を含有し、その濃度が10ミリモル/リットル以上120ミリモル/リットル以下であることを特徴とする請求項6、7または8記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記研磨液のpHが9以上12以下であることを特徴とする請求項6〜9の何れか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法研磨液。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010160666A JP5736681B2 (ja) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010160666A JP5736681B2 (ja) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012020377A true JP2012020377A (ja) | 2012-02-02 |
JP5736681B2 JP5736681B2 (ja) | 2015-06-17 |
Family
ID=45775074
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010160666A Expired - Fee Related JP5736681B2 (ja) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | 研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5736681B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014008555A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板の研磨方法 |
JP2014029754A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Kao Corp | 磁気ディスク基板の製造方法 |
JP2014029755A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Kao Corp | 磁気ディスク基板の製造方法 |
JP2017008274A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | バンドー化学株式会社 | 工作機械用シール部材の接合方法、及び、工作機械用シール |
JP2018174010A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および磁気ディスク基板の製造方法 |
WO2019088209A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | Hoya株式会社 | 研磨液、ガラス基板の製造方法、及び、磁気ディスクの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004297035A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤、研磨方法及び電子部品の製造方法 |
JP2007281020A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法、ならびに化学機械研磨用水系分散体を調製するためのキット |
WO2009096294A1 (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Asahi Glass Co., Ltd. | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2010021487A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Sumco Corp | 半導体ウェーハおよびその製造方法 |
JP2010080030A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
WO2010038706A1 (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-08 | 旭硝子株式会社 | 研磨液及び研磨方法 |
JP2010129871A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
JP2010131679A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板及びその製造方法。 |
-
2010
- 2010-07-15 JP JP2010160666A patent/JP5736681B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004297035A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨剤、研磨方法及び電子部品の製造方法 |
JP2007281020A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体および化学機械研磨方法、ならびに化学機械研磨用水系分散体を調製するためのキット |
WO2009096294A1 (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-06 | Asahi Glass Co., Ltd. | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
JP2010021487A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Sumco Corp | 半導体ウェーハおよびその製造方法 |
JP2010080030A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 |
WO2010038706A1 (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-08 | 旭硝子株式会社 | 研磨液及び研磨方法 |
JP2010129871A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Fujifilm Corp | 研磨液 |
JP2010131679A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板及びその製造方法。 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014008555A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板の研磨方法 |
JP2014029754A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Kao Corp | 磁気ディスク基板の製造方法 |
JP2014029755A (ja) * | 2012-07-05 | 2014-02-13 | Kao Corp | 磁気ディスク基板の製造方法 |
JP2017008274A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | バンドー化学株式会社 | 工作機械用シール部材の接合方法、及び、工作機械用シール |
JP2018174010A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および磁気ディスク基板の製造方法 |
WO2019088209A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2019-05-09 | Hoya株式会社 | 研磨液、ガラス基板の製造方法、及び、磁気ディスクの製造方法 |
JPWO2019088209A1 (ja) * | 2017-10-31 | 2020-06-11 | Hoya株式会社 | 研磨液、ガラス基板の製造方法、及び、磁気ディスクの製造方法 |
JP2020128539A (ja) * | 2017-10-31 | 2020-08-27 | Hoya株式会社 | 研磨液、ガラス基板の製造方法、及び、磁気ディスクの製造方法 |
US11214713B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-01-04 | Hoya Corporation | Polishing liquid, method for manufacturing glass substrate, and method for manufacturing magnetic disk |
US11680187B2 (en) | 2017-10-31 | 2023-06-20 | Hoya Corporation | Polishing liquid, method for manufacturing glass substrate, and method for manufacturing magnetic disk |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5736681B2 (ja) | 2015-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5177087B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法、磁気記録媒体 | |
CN101745852B (zh) | 磁盘用玻璃衬底及其制造方法 | |
JP5251877B2 (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5736681B2 (ja) | 研磨液及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP2009050920A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
CN109545680B (zh) | 一种高平整度、低损伤单晶碳化硅衬底的快速制备方法 | |
JP5853117B1 (ja) | 磁気ディスク基板用研磨液組成物 | |
GB2421955A (en) | Polishing composition for glass substrate | |
JP5907081B2 (ja) | 合成石英ガラス基板の製造方法 | |
WO2012001924A1 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
TWI742304B (zh) | 矽晶圓的研磨方法 | |
JP4115722B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
CN114231182A (zh) | 一种易解理氧化镓晶片化学机械抛光工艺、抛光液及其制备方法 | |
JP2007294073A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法 | |
JP5499324B2 (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造のための研磨用コロイダルシリカスラリー、並びに情報記録媒体 | |
JP2018174005A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、情報記録媒体の製造方法、情報記録媒体用ガラス基板、並びに磁気記録媒体 | |
JP5906823B2 (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
JP2014130663A (ja) | 磁気ディスク基板の製造方法 | |
JP2006315160A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の仕上げ研磨方法 | |
JP7158889B2 (ja) | ガラスハードディスク基板用研磨液組成物 | |
JPWO2013118648A1 (ja) | ガラス製品の製造方法および磁気ディスクの製造方法 | |
JP2011187155A (ja) | 情報記録媒体用ガラス基板及びその製造方法 | |
JP2011110637A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 | |
JP5722618B2 (ja) | 磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
WO2013099083A1 (ja) | Hdd用ガラス基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130306 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140606 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140919 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150324 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5736681 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |