JP2012009618A - 抵抗率測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料が載置される測定ステージと、4探針プローブと、回転軸を有するモーターと、前記モーターの前記回転軸に連結された偏心カムと、前記4探針プローブを保持するとともに、前記偏心カムの回転に従動して前記4探針プローブを前記測定ステージに対して接近する側及び離間する側にそれぞれ移動させる保持体と、前記モーターの回転及び回転速度により前記4探針プローブの移動及び移動速度を制御する制御部と、を備えた抵抗率測定装置。
【選択図】図1
Description
11…制御部
12…測定ステージ
13…探針プローブ
14…上下駆動部
141…モーター 142…偏心カム 143…保持体
15…回転駆動部
16…前後駆動部
161…ボールネジ 162…ガイドレール 163…モーター
17…定電流発生部
18…電圧測定部
19…操作部
20…表示部
Claims (1)
- 試料が載置される測定ステージと、
4探針プローブと、
回転軸を有するモーターと、
前記モーターの前記回転軸に連結された偏心カムと、
前記4探針プローブを保持するとともに、前記偏心カムの回転に従動して前記4探針プローブを前記測定ステージに対して接近する側及び離間する側にそれぞれ移動させる保持体と、
前記モーターの回転及び回転速度により前記4探針プローブの移動及び移動速度を制御する制御部と、
を備えたことを特徴とする抵抗率測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010144103A JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010144103A JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
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JP2012009618A true JP2012009618A (ja) | 2012-01-12 |
JP2012009618A5 JP2012009618A5 (ja) | 2013-08-08 |
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Family Applications (1)
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JP2010144103A Pending JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2010
- 2010-06-24 JP JP2010144103A patent/JP2012009618A/ja active Pending
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