JP2012009618A5 - - Google Patents
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Claims (1)
- 試料が載置される測定ステージと、
４探針プローブと、
回転軸を有するモーターと、
前記モーターの前記回転軸に連結された偏心カムと、
前記４探針プローブを保持するとともに、前記偏心カムの回転に従動して前記４探針プローブを前記測定ステージに対して接近する側及び離間する側にそれぞれ移動させる保持体と、
前記保持体に設けられた重りと、を備え、
前記保持体は、前記４探針プローブが前記試料に接触するときに前記偏心カムとの接触が絶たれることを特徴とする抵抗率測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010144103A JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010144103A JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012009618A JP2012009618A (ja) | 2012-01-12 |
| JP2012009618A5 true JP2012009618A5 (ja) | 2013-08-08 |
Family
ID=45539842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010144103A Pending JP2012009618A (ja) | 2010-06-24 | 2010-06-24 | 抵抗率測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012009618A (ja) |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07151800A (ja) * | 1993-11-30 | 1995-06-16 | Kokusai Electric Co Ltd | 比抵抗測定装置 |
| JP3946072B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2007-07-18 | 株式会社日立国際電気エンジニアリング | 半導体ウェーハ測定器 |
| JP2005311009A (ja) * | 2004-04-21 | 2005-11-04 | Kokusai Electric Alhpa Co Ltd | 半導体ウェーハ抵抗率測定装置 |
| JP2008241484A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Fujitsu Ltd | 半導体素子の試験装置および半導体素子の試験方法 |
| JP2010122108A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Oki Semiconductor Co Ltd | プローブカード及びそれを用いたテスト方法半導体試験装置 |
-
2010
- 2010-06-24 JP JP2010144103A patent/JP2012009618A/ja active Pending
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