JP2012009521A - 金属ベース基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属ベース基板1は、互いに対向する第1および第2の主面2および3を有する金属板4と、第1および第2の主面2および3上にそれぞれ形成された第1および第2のセラミック層5および6とを備える。第1および第2の主面2および3の双方に形成されるセラミック層5および6は、反りを抑制する。第2のセラミック層6は、第2の主面3上における枠状領域に沿って位置する枠状部分8を少なくとも含むとともに、枠状部分8に囲まれた領域において第2の主面3の一部を露出させる開口9を有する。開口9は、金属板4にヒートシンクを接合することを可能にし、金属ベース基板1の放熱性を向上させる。
【選択図】図1
Description
[複合グリーンシートの作製]
BaCO3、Al2O3、およびSiO2の各粉末を用意し、これらを混合した混合粉末を840℃の温度で120分間仮焼することによって、BaO:37.0重量%、Al2O3:11.0重量%、およびSiO2:52.0重量%の含有比率となる原料粉末を作製した。
図4には、この実験例1において作製しようとする試料1に係る金属ベース基板21が示されている。
上記試料1、2および3に係る金属ベース基板の焼成前のものを、還元性雰囲気中、980℃の温度で180分間焼成することによって、焼結した、図4に示す試料1に係る金属ベース基板21、図5に示す試料2に係る金属ベース基板31および図示しない試料3に係る金属ベース基板をそれぞれ得た。
・反り
レーザー変位計で焼成後の試料1、2および3に係る金属ベース基板の反りを測定した。測定結果を表1の「反り」の欄に示す。
熱抵抗測定装置で金属ベース基板21および31の熱抵抗を測定した。測定結果を表1の「熱抵抗」の欄に示す。表に示した「熱抵抗」の値は、試料2の熱抵抗値を100とした場合の比率で示している。
[複合グリーンシートの作製]
実験例1の場合と同様にして、複合グリーンシートを得た。
実験例1において作製した試料1に係る金属ベース基板21における第2のセラミック層27となるべき複合グリーンシートに代えて、枠状部分と島状に開口を分布させた格子状部分とを与えるように所定の形状に切った複合グリーンシートを3枚積層した。次いで、プレス工程を実施し、金属ベース基板の焼成前の状態のものを得た。
上記金属ベース基板の焼成前のものを、実験例1の場合と同様の条件で焼成することによって、焼結した、試料4としての金属ベース基板を得た。
実験例1の場合と同様、「反り」および「熱抵抗」を評価した。
2 第1の主面
3 第2の主面
4 金属板
5 第1のセラミック層
6,6a 第2のセラミック層
8,8a 枠状部分
9,9a 開口
10 格子状部分
Claims (3)
- 互いに対向する第1および第2の主面を有する金属板と、
前記金属板の前記第1の主面上に形成された第1のセラミック層と、
前記金属板の前記第2の主面上に形成された第2のセラミック層と
を備え、
前記第2のセラミック層は、前記第2の主面上における枠状領域に沿って位置する枠状部分を少なくとも含むとともに、前記枠状部分に囲まれた領域において前記第2の主面の一部を露出させる開口を有する、
金属ベース基板。 - 前記枠状部分は前記第2の主面の周縁部にマージンを残さず、前記周縁部を覆うように位置している、請求項1に記載の金属ベース基板。
- 前記第2のセラミック層は、前記枠状部分に囲まれた領域において格子状に延びる格子状部分をさらに含み、前記開口は、前記格子状部分の格子間に形成されかつ島状に分布する、請求項1または2に記載の金属ベース基板。
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JP5573407B2 JP5573407B2 (ja) | 2014-08-20 |
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JPH0823145A (ja) * | 1994-07-06 | 1996-01-23 | Mitsubishi Materials Corp | ハイブリッドic用基板 |
JP2004160549A (ja) * | 2002-10-24 | 2004-06-10 | Kyocera Corp | セラミックス−金属複合体およびこれを用いた高熱伝導放熱用基板 |
JP2006351976A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Murata Mfg Co Ltd | 回路モジュールおよび回路装置 |
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2010
- 2010-06-23 JP JP2010142222A patent/JP5573407B2/ja active Active
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