JP2012001605A - 接着剤組成物 - Google Patents
接着剤組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012001605A JP2012001605A JP2010136465A JP2010136465A JP2012001605A JP 2012001605 A JP2012001605 A JP 2012001605A JP 2010136465 A JP2010136465 A JP 2010136465A JP 2010136465 A JP2010136465 A JP 2010136465A JP 2012001605 A JP2012001605 A JP 2012001605A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- adhesive composition
- solid component
- monomer
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J123/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Adhesives based on derivatives of such polymers
- C09J123/02—Adhesives based on homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Adhesives based on derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
- C09J123/04—Homopolymers or copolymers of ethene
- C09J123/08—Copolymers of ethene
- C09J123/0807—Copolymers of ethene with unsaturated hydrocarbons only containing more than three carbon atoms
- C09J123/0815—Copolymers of ethene with aliphatic 1-olefins
- C09J123/0823—Copolymers of ethene with aliphatic cyclic olefins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J145/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of compounds having no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic or in a heterocyclic system; Adhesives based on derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J11/00—Features of adhesives not provided for in group C09J9/00, e.g. additives
- C09J11/02—Non-macromolecular additives
- C09J11/06—Non-macromolecular additives organic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J123/00—Adhesives based on homopolymers or copolymers of unsaturated aliphatic hydrocarbons having only one carbon-to-carbon double bond; Adhesives based on derivatives of such polymers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J201/00—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds
- C09J201/02—Adhesives based on unspecified macromolecular compounds characterised by the presence of specified groups, e.g. terminal or pendant functional groups
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【解決手段】固形成分を溶剤に溶解してなる接着剤組成物であって、上記固形成分の含有量が当該固形成分及び上記溶剤の総量に対して20重量%以上であり、上記固形成分がシクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂を含み、上記溶剤が炭素−炭素間二重結合を含まないものであり、当該溶剤に含まれるアルコールの含有量が当該溶剤の総量に対して0.48重量%以下であることを特徴とする接着剤組成物。
【選択図】なし
Description
本発明に係る接着剤組成物に含まれる固形成分は、シクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂を含む。
樹脂を製造するために用いられる単量体組成物は、シクロオレフィンモノマーのほかに、シクロオレフィンモノマーと共重合可能な他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、非脂環式脂肪族オレフィンモノマーを含有することができ、非脂環式脂肪族オレフィンモノマーとしては、例えば、下記一般式(II)で表されるオレフィンモノマー(a2)を含有することができる。
オレフィンモノマーは、直鎖状であってもよいし、分岐状であってもよい。オレフィンモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、1−ブテン、イソブテン、及び1−ヘキセンなどのα−オレフィンが挙げられる。オレフィンモノマーは1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
樹脂の重量平均分子量(Mw:ゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)のポリスチレン換算による測定値)は、50,000以上、200,000以下であり、より好ましくは、50,000以上、150,000以下であり、さらに好ましくは、70,000以上、120,000以下である。樹脂の重量平均分子量が上記範囲内であれば、高温プロセス下での耐熱性が優れ、且つ溶解性を保つことが可能となる。
樹脂の熱分解温度は、250℃以上であることが好ましく、300℃以上であることがより好ましく、350℃以上であることが特に好ましい。樹脂の熱分解温度が250℃以上であると、耐熱性がより一層高まり、接着剤組成物の高温環境下における劣化を防止し、脱ガス量を低減させることができる。
樹脂のガラス転移点(Tg)は、60℃以上であることが好ましく、70℃以上であることがより好ましく、80℃以上であることが特に好ましい。樹脂のガラス転移点が60℃以上であると、接着剤組成物が高温環境に曝されたときであっても軟化することを抑えることができ、接着不良の発生を抑えることができる。
樹脂は、極性基を有していない樹脂であることが好ましい。樹脂が極性基を有していないことにより、接着剤組成物における高温環境下でのガスの発生を抑制することができ、接着剤組成物及び当該接着剤組成物によって形成される接着剤層の劣化を防ぐことができる。
本発明に係る接着剤組成物において、固形成分を溶解する溶剤は、炭素−炭素間二重結合を含まないものであり、当該溶剤に含まれるアルコールの含有量が当該溶剤の総量に対して0.48重量%以下である。
本発明に係る接着剤組成物において、固形成分の溶剤に対する含有量は固形成分及び溶剤の総量に対して20重量%以上であれば、目的に応じて適宜決定することができる。半導体ウエハを支持体上に仮止めする用途に用いる場合には、半導体ウエハ上に15μm以上の膜が形成されるように塗布することが好ましいので、この場合、20重量%以上、40重量%以下が好ましく、25重量%以上、35重量以下がより好ましい。
本発明の接着剤組成物には、固形成分及び溶剤のほかに、必要に応じて、例えば、可塑剤及び酸化防止剤等の添加剤を、本発明の効果を損なわない範囲で含有させることもできる。
以下の実施例では次の方法で粘度変化を評価した。
固形成分として、ノルボルネンとエチレンとをメタロセン触媒にて共重合したシクロオレフィンコポリマー(ポリプラスチックス社製「TOPAS(商品名)6013」、ノルボルネン:エチレン=50:50(重量比)、Mw:83,300、Mw/Mn:1.72を用いた。この固形成分を表1に示す割合で各溶剤に溶解させて得た接着剤組成物の粘度変化を測定した。結果を表1に示す。なお、溶剤としては、日本テルペン化学社製のp−メンタン、日本テルペン化学社製のピナン、ヤスハラケミカル社製社製のD−リモネン、丸善石油化学社製の「スワクリーン」(商品名)、日本テルペン化学社製の「ジペンテンT」(商品名)、日本テルペン化学社製のテレピン油、脂肪族系炭化水素の混合物であるExxon Mobil社製の「PEGASOL 3040」(商品名)、ナフテン系炭化水素の混合物であるExxon Mobil社製の「EXXSOL D−40」(商品名)を用いた。なお、p−メンタン及びピナンは炭素−炭素間二重結合を含まないものであり、それ以外の溶剤は炭素−炭素間二重結合を含むものである。
固形成分として、ノルボルネンとエチレンとをメタロセン触媒にて共重合したシクロオレフィンコポリマー(ポリプラスチックス社製「TOPAS(商品名)8007」、ノルボルネン:エチレン=65:35(重量比)、ガラス転移点:70℃、Mw:98,200、Mw/Mn:1.69、熱分解温度:459℃を用いた。この固形成分を表2に示す割合で各溶剤に溶解させて得た接着剤組成物の粘度変化を測定した。結果を表2に示す。なお、使用した溶剤は実施例1と同じである。
固形成分として「TOPAS(商品名)8007」を用いた。溶剤としてはp−メンタンを用いた。p−メンタンとしては日本テルペン社製(純度98.2%)、ヤスハラケミカル社製(純度96.0%、商品名:ウッディリバー#10)、HUNAN SONGYUAN CHEMICAL社製(純度95.1%)のものを用いた。また、日本テルペン社製のp−メンタンにメタノール又はイソプロパノール(IPA)を添加してアルコールの影響を評価した。添加したアルコールの濃度は、p−メンタン及びアルコールの総量に対して1重量%、0.5重量%、0.45重量%、0.25重量%(それぞれ、p−メンタンのみの量に対して0.99重量%、0.49重量%、0.44重量%、0.25重量%)とした。また、粘度変化の測定については2週間又は4週間、5℃の環境下に静置して測定した。結果を表3に示す。
実施例3で用いたp−メンタンのうちHUNAN SONGYUAN CHEMICAL社製のものに含まれるアルコール成分をGC/MS(Perkin Elmer社製)、1H−NMRにより、分子量が140〜150の3種類のアルコール成分が検出された。
Claims (5)
- 固形成分を溶剤に溶解してなる接着剤組成物であって、
上記固形成分の含有量が当該固形成分及び上記溶剤の総量に対して20重量%以上であり、
上記固形成分がシクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂を含み、
上記溶剤が炭素−炭素間二重結合を含まないものであり、当該溶剤に含まれるアルコールの含有量が当該溶剤の総量に対して0.45重量%以下であることを特徴とする接着剤組成物。 - 上記アルコールの含有量が上記溶剤の総量に対して0.25重量%以下であることを特徴とする請求項1に記載の接着剤組成物。
- 上記溶剤がp−メンタンであることを特徴とする請求項1又は2に記載の接着剤組成物。
- 上記固形成分がシクロオレフィンモノマーを含む単量体組成物を重合してなる樹脂からなるものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
- 上記シクロオレフィンモノマーがノルボルネン系モノマーであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010136465A JP5619481B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 接着剤組成物 |
KR1020110054966A KR101503566B1 (ko) | 2010-06-15 | 2011-06-08 | 접착제 조성물 |
TW100120354A TWI472589B (zh) | 2010-06-15 | 2011-06-10 | 黏著劑組成物 |
US13/157,568 US8980997B2 (en) | 2010-06-15 | 2011-06-10 | Adhesive composition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010136465A JP5619481B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 接着剤組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012001605A true JP2012001605A (ja) | 2012-01-05 |
JP5619481B2 JP5619481B2 (ja) | 2014-11-05 |
Family
ID=45096733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010136465A Active JP5619481B2 (ja) | 2010-06-15 | 2010-06-15 | 接着剤組成物 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8980997B2 (ja) |
JP (1) | JP5619481B2 (ja) |
KR (1) | KR101503566B1 (ja) |
TW (1) | TWI472589B (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11158225A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-15 | Mitsubishi Chemical Corp | 環状オレフィン系重合体の精製方法 |
JP2008202003A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Fujifilm Corp | ノルボルネン系化合物の製造方法および有機パラジウム錯体 |
JP2008231384A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujifilm Corp | 環状オレフィン系樹脂フィルム、偏光版および液晶表示装置 |
JP2010109324A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-05-13 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 剥離方法、基板の接着剤、および基板を含む積層体 |
WO2010143510A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | 東京応化工業株式会社 | 接着剤組成物 |
JP2011219506A (ja) * | 2010-04-02 | 2011-11-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 接着剤組成物 |
JP2012507600A (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | ウェーハーの一時的接着用の環状オレフィン組成物 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3640977A (en) * | 1969-05-06 | 1972-02-08 | Schenectady Chemical | Interpolymers prepared from vinyl toluene alpha methyl styrene dicyclopentadiene and optionally an acrylic compound |
JPS573713B2 (ja) | 1973-10-11 | 1982-01-22 | ||
JPH05279554A (ja) | 1992-03-31 | 1993-10-26 | Nippon Zeon Co Ltd | ノルボルネン系開環重合樹脂組成物 |
JP2767196B2 (ja) * | 1994-02-08 | 1998-06-18 | 日化精工株式会社 | 仮止め用接着剤 |
JPH0869113A (ja) | 1994-08-30 | 1996-03-12 | Sony Corp | 反射防止膜形成材料、レジストパターン形成方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2741362B2 (ja) * | 1995-12-05 | 1998-04-15 | 日化精工株式会社 | ウエハ−の仮着用接着剤 |
JP3918290B2 (ja) | 1998-03-24 | 2007-05-23 | 日本ゼオン株式会社 | 接着性樹脂組成物 |
JP3936489B2 (ja) | 1999-04-16 | 2007-06-27 | 積水化学工業株式会社 | ノルボルネン系位相差補償フィルム |
JP2000327878A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-28 | Mitsui Chemicals Inc | 水性分散体およびその製造方法 |
US6255396B1 (en) | 1999-09-09 | 2001-07-03 | Baxter International Inc. | Cycloolefin blends and method for solvent bonding polyolefins |
JP2001279208A (ja) | 2000-01-26 | 2001-10-10 | Sekisui Chem Co Ltd | アクリル系粘着剤組成物及びアクリル系粘着テープもしくはシート |
JP3833916B2 (ja) | 2000-10-02 | 2006-10-18 | 積水化学工業株式会社 | 溶融成形可能な熱可塑性ノルボルネン系樹脂組成物及びそれを用いた成形品又は光学フィルム |
US7015276B2 (en) | 2000-10-02 | 2006-03-21 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Melt-moldable thermoplastic norbornene resin composition and molded article and optical film both comprising the same |
JP2003173993A (ja) | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Sekisui Chem Co Ltd | バックグラインドテープ及び半導体ウエハの研磨方法 |
JP4976829B2 (ja) | 2006-11-29 | 2012-07-18 | 東京応化工業株式会社 | 接着剤組成物、及び接着フィルム |
JP5215570B2 (ja) | 2007-02-28 | 2013-06-19 | Jx日鉱日石エネルギー株式会社 | 溶剤組成物 |
JP5489546B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2014-05-14 | 東京応化工業株式会社 | 貼付方法及び貼付装置 |
JP5681502B2 (ja) | 2010-09-30 | 2015-03-11 | 東京応化工業株式会社 | 接着剤組成物 |
-
2010
- 2010-06-15 JP JP2010136465A patent/JP5619481B2/ja active Active
-
2011
- 2011-06-08 KR KR1020110054966A patent/KR101503566B1/ko active IP Right Grant
- 2011-06-10 TW TW100120354A patent/TWI472589B/zh active
- 2011-06-10 US US13/157,568 patent/US8980997B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11158225A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-15 | Mitsubishi Chemical Corp | 環状オレフィン系重合体の精製方法 |
JP2008202003A (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Fujifilm Corp | ノルボルネン系化合物の製造方法および有機パラジウム錯体 |
JP2008231384A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Fujifilm Corp | 環状オレフィン系樹脂フィルム、偏光版および液晶表示装置 |
JP2010109324A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-05-13 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 剥離方法、基板の接着剤、および基板を含む積層体 |
JP2012507600A (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー. | ウェーハーの一時的接着用の環状オレフィン組成物 |
WO2010143510A1 (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-16 | 東京応化工業株式会社 | 接着剤組成物 |
JP2011219506A (ja) * | 2010-04-02 | 2011-11-04 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 接着剤組成物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5619481B2 (ja) | 2014-11-05 |
KR101503566B1 (ko) | 2015-03-17 |
US8980997B2 (en) | 2015-03-17 |
US20110306720A1 (en) | 2011-12-15 |
TW201211184A (en) | 2012-03-16 |
TWI472589B (zh) | 2015-02-11 |
KR20110136708A (ko) | 2011-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5308524B2 (ja) | 接着剤組成物 | |
KR101569954B1 (ko) | 접착제 조성물 | |
US8333869B2 (en) | Stripping method and stripping solution | |
KR101798687B1 (ko) | 접착제 조성물, 접착 필름 및 첩부 방법 | |
JP2014037458A (ja) | 接着剤組成物、接着フィルムおよび貼付方法 | |
JP5619481B2 (ja) | 接着剤組成物 | |
TWI643922B (zh) | 接著劑組成物及接著薄膜 | |
JP5681501B2 (ja) | 接着剤組成物 | |
JP2011233679A (ja) | 剥離方法及び剥離装置 | |
JP2011219506A (ja) | 接着剤組成物 | |
TWI589656B (zh) | 接著劑組成物及接著薄膜 | |
JP5632761B2 (ja) | 積層体 | |
JP6063737B2 (ja) | 接着剤組成物、接着フィルムおよび基板の処理方法 | |
KR101777895B1 (ko) | 접착제 조성물, 접착 필름 및 기판의 처리 방법 | |
KR20130096192A (ko) | 접착제 조성물의 제조 방법, 접착제 조성물 및 접착 필름 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130418 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140319 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140909 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140917 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5619481 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |