JP2011528104A - 複合式気体流量測定方法及びその装置 - Google Patents

複合式気体流量測定方法及びその装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2011528104A
JP2011528104A JP2011517730A JP2011517730A JP2011528104A JP 2011528104 A JP2011528104 A JP 2011528104A JP 2011517730 A JP2011517730 A JP 2011517730A JP 2011517730 A JP2011517730 A JP 2011517730A JP 2011528104 A JP2011528104 A JP 2011528104A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas flow
data
measuring device
sensor
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011517730A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5425902B2 (ja
Inventor
ハン、ファイチェン
マオ、ジュリン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Memsic Semiconductor Wuxi Co Ltd
Original Assignee
Memsic Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Memsic Semiconductor Wuxi Co Ltd filed Critical Memsic Semiconductor Wuxi Co Ltd
Publication of JP2011528104A publication Critical patent/JP2011528104A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5425902B2 publication Critical patent/JP5425902B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • G01F1/325Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl
    • G01F1/3259Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl for detecting fluid pressure oscillations
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/40Details of construction of the flow constriction devices
    • G01F1/46Pitot tubes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845Micromachined devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G01F15/022Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
    • G01F15/024Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means involving digital counting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

複合式気体流量測定方法及び装置であって、温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設ける。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの各々をデータ処理システムに接続し、データ処理システムをデータ表示システムに接続する。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサによって検出されたデータをデータ処理システムにより処理した後に、データ表示システムにより気体流量データを表示する。
【選択図】図1

Description

本発明は、気体流量の測定に係り、特に測定範囲が大きく、且つ測定精度及び信頼性が高い複合式気体流量測定方法及びその装置に関する。
周知のように、現在、気体流量を測定する方法が多種存在し、これらに対応する測定装置も多種多様であるが、各種の装置はその測定の限界がある。例えば機械式気体流量測定装置は、気流の流速が高い場合に安定した機能を有し、測定精度が高いが、気体の流速が低い場合には、誤差が大きい。例えば渦式気体流量測定装置は、気体の流速が5m/sよりも低いときに、測定を正確に行うことがほぼ不可能である。また、熱式気体流量測定装置は、気体の流速が低い場合の測定に適切であるが、気体の流速が高い場合には誤差が大きくなる。そのため、単一の気体流量測定装置により、測定範囲が大きく、且つ精度が高い測定を行うことが困難である。2001年1月31日に公開された中国特許公開公報CN1282417号には、広い流量範囲において流量を正確に測定できる流量計が開示されており、この流量計は、配管の流路内において小流量用測定領域と大流量用測定領域とを設定している。小流量用測定領域内には、流路を複数の小流路に分割するとともに、気体の流れを整流する整流フィルタが設けられている。複数の小流路をそれぞれ流れる気体の平均流速はほぼ等しい。気体の一部は、小流量用流速センサの両側に立設されたノズルに到達し、このノズルの作用により加速される。小流量用測定領域の小流量用流速センサは、小流量セクションにおいて、小流路を通過してノズルによって加速された後の気体の流速に対応する信号を出力し、大流量用測定領域の大流量用流速センサは大流量セクションにおいて、気体の流速に対応する信号を出力する。上述の装置は、ある程度測定範囲を拡大し、測定精度を向上させたが、同装置の構造が複雑であり、製造コストが高い。更に、この装置の実際使用時に、流体態様の変化による影響を完全に排除することができない。
本発明は、現在の気体流量測定装置に存在する、測定範囲及び適用範囲が小さいという問題を解決するために、測定範囲及び適用範囲が大きい複合式気体流量測定方法及びその装置を提供する。
本発明の別の目的は、現在の気体流量測定装置に存在する、測定精度及び信頼性が低いという問題を解決するために、測定精度及び信頼性が高い複合式気体流量測定法及びその装置を提供することにある。
本発明は、上述の技術的目的を達成するために、複合式気体流量測定方法であって、温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設け、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの各々をデータ処理システムに接続し、データ処理システムをデータ表示システムに接続し、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサによって検出されたデータをデータ処理システムにより処理した後に、データ表示システムにより気体流量データを表示する、という構成を採用している。機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設け、2つの流量測定装置による測定データをデータ処理システムにより処理し、最後にデータ表示システムにより気体流量データを表示することにより、高流速の場合に安定性及び正確性の高い機械式気体流量測定装置と、低流速の場合に顕著な利点を有するMEMS流量センサとを好適に組み合わせ、気体流量測定装置の測定範囲を効果的に広げるとともに、気体流量測定装置の適用範囲を拡大することができる。また、データ処理システムは、データ処理工程において2つの測定装置の測定データを総合的に考慮するため、気体流量の測定精度を向上させることができ、更に2つの測定装置が同時に作動するため、気体流量測定装置の全体の信頼性を大幅に向上させることができる。
上述の複合式気体流量測定法において、データ処理システムは、機械式気体流量測定装置によって検出されたデータに対して温度、圧力補正を行った後に、MEMS流量センサのデータと併せて総合的な分析処理を行い、気体流速が低いときには、MEMS流量センサのデータを使用し、気体流速が高いときには、機械式気体流量測定装置のデータを使用し、機械式気体流量測定装置とMEMS流量センサとの測定範囲の重複部分において、気体流速の高さに基づいて機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサのデータに所定の比例で重みをつけた後に、これらのデータを加算する、という構成を採用することが望ましい。こうした処理方法によれば、流速が高い状態におけるMEMS流量センサと、流速が低い状態にある機械式気体流量測定装置とに生じる相対的に大きな誤差がある程度補正されるため、気体流量の測定精度を向上させることができる。
上述の複合式気体流量測定法において、データ処理システムは、機械式気体流量測定装置による測定データが存在しない場合にはMEMS流量センサのデータを使用し、MEMS流量センサによる測定データが存在しない場合には機械式気体流量測定装置のデータを使用する、という構成を採用することが望ましい。一方の測定データが存在しない場合、データ処理システムが他方の測定データを使用する、というデータ処理方法によれば、実時間の測定データのみに基づいて処理を行うため、データ処理システムのプログラム構成が簡単になる。
別の方法として、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの一方による測定データが存在しない場合、データ処理システムは、予め設定された重み付け曲線に従って、他方の測定データに基づいて最終的な気体流量データを確定してもよい。このデータ処理方法は、実時間の測定データに基づき、予め設定された重み付け曲線データを参照して処理を行うため、データ処理システムは予め設定された重み付け曲線データを記憶する必要があり、プログラムの構成が相対的に複雑である。
複合式気体流量測定装置であって、温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管が並列接続され、バイパス管にMEMS流量センサが設けられ、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサは何れもがデータ処理システムに接続され、データ処理システムはデータ表示システムに接続される。従来の機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設け、2つの流量測定装置により気体流量を同時に測定し、2つの測定装置の異なる流速条件における測定の利点に基づいてデータ処理システムにより測定データを総合的に処理し、最後にデータ表示システムにより気体流量データを表示する。こうした気体流量測定装置によれば、高流速の場合に安定性及び正確性の高い機械式気体流量測定装置と、低流速の場合に顕著な利点を有するMEMS流量センサとを好適に組み合わせ、気体流量測定装置の測定範囲を効果的に広げることができる。また、データ処理システムがデータ処理工程において2つの測定装置の測定データを総合的に考慮するため、気体流量の測定精度を向上させることができ、更に、2つの測定装置が同時に作動するため、気体流量測定装置の全体の信頼性を大幅に向上させることができる。
バイパス管の流入口は機械式気体流量測定装置の気流上流側に位置し、バイパス管の流出口は機械式気体流量測定装置の気流下流側に位置し、バイパス管の内径は2〜10mmである、という構成を採用することが望ましい。バイパス管は、主管の気体流入、流出口の圧力差に基づいて気体流量測量を行うため、バイパス管の流入口は機械式気体流量測定装置の気流上流側に位置し、バイパス管の流出口は機械式気体流量測定装置の気流下流側に位置する。直径の大きい主管に対して内径の相対的に大きいバイパス管を採用し、直径の小さい主管に対して内径の相対的に小さいバイパス管を採用する。これにより、バイパス管の断面積が主管よりも遥かに小さくなるため、バイパス管が主管における機械式気体流量測定装置に対して殆ど影響を与えない。
機械式気体流量測定装置の気流上流側に平均化ピトー管の全圧孔が設けられ、均化ピトー管の流出口端はバイパス管の流入口に接続され、バイパス管の流出口は機械式気体流量測定装置の気流下流側に位置する、という構成を採用することが望ましい。平均化ピトー管による測定方法は、管内断面の平均流速を測定することができ、流体状態の異変に影響されない利点を有するため、測定精度を向上させるとともに、測定管内の流体における異物がMEMS流量センサに対して直接衝撃すること、及びMEMS流量センサを汚染することを低減することができ、MEMS流量センサの寿命を延長することができる。
機械式気体流量測定装置は、速度式、差圧式気体体積流量測定装置であることが望ましい。複合式気体流量測定装置に採用された、バイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設けるという複合測定の構成は、吸気側と排気側との間に圧力差が存在する全ての機械式気体流量測定装置に適用することができる。
本発明は、現在の気体流量測定装置に存在する、測定範囲及び適用範囲が小さいという問題を効果的に解決することができるという作用効果を有する。また、現在の気体流量測定装置に存在する、測定精度及び信頼性が低いという問題を解決することもできる。更に、本発明は、構造が簡単であり、製造コストが低く、関連業界において普及する価値がある。
本発明に係る複合式気体流量測定装置の一種の構成を示す概略図。 本発明に係る複合式気体流量測定装置の別種の構成を示す概略図。
以下に、図面を参照しながら実施例を通じて本発明の技術内容の具体的な実施態様についてより詳細に説明する。
[実施例1]
実施例1に係る複合式気体流量測定方法では、温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、そのバイパス管にMEMS流量センサを設けている。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサは、何れもデータ処理システムに接続されており、このデータ処理システムは、データ表示システムに接続されている。温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサによって検出されたデータをデータ処理システムにより処理した後に、データ表示システムにより気体流量データを表示する。データ処理システムは、機械式気体流量測定装置によって検出されたデータに対して温度、圧力補正を行った後に、MEMS流量センサのデータと併せて総合的な分析処理を行い、気体流速が低いときには、MEMS流量センサのデータを使用し、気体流速が高いときには、機械式気体流量測定装置のデータを使用する。機械式気体流量測定装置とMEMS流量センサとの測定範囲の重複部分において、気体流速の高さに基づいて機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサのデータに所定の比例で重みをつけた後に、これらのデータを加算する。データ処理システムは、機械式気体流量測定装置による測定データが存在しない場合にはMEMS流量センサのデータを使用し、MEMS流量センサによる測定データが存在しない場合には機械式気体流量測定装置のデータを使用する。
実施例1に係る複合式気体流量測定装置では、図1に示されるように、ハウジング1に温度センサ7及び圧力センサ2を備えた渦式気体流量測定装置には、バイパス管8が並列接続されており、バイパス管8の流入口3は渦発生体4の気流上流側に位置し、バイパス管8の流出口6は渦列周波数測定器5の気流下流側に位置する。バイパス管8の内径は5mmであり、バイパス管8には、MEMS流量センサ9が設けられている。渦式気体流量測定装置における温度センサ7、圧力センサ2、渦列周波数測定器5及びMEMS流量センサ9は、何れもデータ処理システム10に接続されており、データ処理システム10はデータ表示システム11に接続されている。データ処理システム10には、更に入力、出力インターフェース12が設けられており、複合式気体流量測定装置の全体が専用電源により給電される。
[実施例2]
実施例2では、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの一方による測定データが存在しない場合、データ処理システムは、予め設定された重み付け曲線に従って、他方の測定データに基づいて最終的な気体流量データを確定する方法を採用し、他の方法については実施例1と同様である。
実施例2に係る複合式気体流量測定装置では、図2に示されるように、ハウジング1に温度センサ7及び圧力センサ2を備えた渦式気体流量測定装置には、バイパス管8が並列接続されており、渦発生体4には、平均化ピトー管(averaging pitot tube)の全圧孔(total pressure tapping)の位置要求に従って平均化ピトー管14及び圧力孔13が設定されている。平均化ピトー管14の流出口端はバイパス管8の流入口3に接続されており、バイパス管8の流出口6は渦列周波数測定器5の気流下流側に位置する。他の部分は、実施例1と同様である。
複合式気体流量測定装置の使用時に、測定される気体の殆どが主管の機械式気体流量測定装置を流れ、少量の気体が主管の気体測定装置両端の圧力差によりバイパス管を流れる。主管の気体測定装置による測定流量データは、同期に測定された主管圧力及び温度のデータに基づいて、データ処理システムにより温度圧力補正処理が行われた後に標準状態体積データに変換される。バイパス管を流れる少量の気体は、MEMS流量センサにより気体流量の他方流路の測定が行われる。MEMS流量センサの測定データは、そのまま標準状態体積データに設定することができる。これにより、2つの流路における気体流量測定は共に標準状態測定となり、これら2つの測定方法を好適に組み合わせることができる。データ処理システムは、2つの流路の異なる流速での測定特徴に応じて、測定データを総合的に分析処理し、表示システムを通じて最終気体流量データを表示する。これにより、測定範囲が大きく、精度が高く、且つ信頼性が高い標準状態測定を実現し、これは、現在気体流量質量測定要求の発展傾向と合致する。

Claims (8)

  1. 複合式気体流量測定方法であって、
    温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管を並列接続し、バイパス管にMEMS流量センサを設け、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの各々をデータ処理システムに接続し、データ処理システムをデータ表示システムに接続し、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサによって検出されたデータをデータ処理システムにより処理した後に、データ表示システムにより気体流量データを表示する
    ことを特徴とする複合式気体流量測定方法。
  2. 請求項1に記載の複合式気体流量測定方法において、
    データ処理システムは、機械式気体流量測定装置によって検出されたデータに対して温度、圧力補正を行った後に、MEMS流量センサのデータと併せて総合的な分析処理を行い、気体流速が低いときには、MEMS流量センサのデータを使用し、気体流速が高いときには、機械式気体流量測定装置のデータを使用し、機械式気体流量測定装置とMEMS流量センサとの測定範囲の重複部分において、気体流速の高さに基づいて機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサのデータに所定の比例で重みをつけた後に、これらのデータを加算する
    ことを特徴とする複合式気体流量測定方法。
  3. 請求項1に記載の複合式気体流量測定法において、
    データ処理システムは、機械式気体流量測定装置による測定データが存在しない場合にはMEMS流量センサのデータを使用し、MEMS流量センサによる測定データが存在しない場合には機械式気体流量測定装置のデータを使用する
    ことを特徴とする複合式気体流量測定方法。
  4. 請求項1に記載の複合式気体流量測定法において、
    機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサの一方による測定データが存在しない場合、データ処理システムは、予め設定された重み付け曲線に従って、他方の測定データに基づいて最終的な気体流量データを確定する
    ことを特徴とする複合式気体流量測定方法。
  5. 複合式気体流量測定装置であって、
    温度センサ及び圧力センサを備えた機械式気体流量測定装置にバイパス管が並列接続され、バイパス管にMEMS流量センサが設けられ、温度センサ、圧力センサ、機械式気体流量測定装置及びMEMS流量センサは何れもデータ処理システムに接続され、データ処理システムはデータ表示システムに接続される
    ことを特徴とする複合式気体流量測定装置。
  6. 請求項5に記載の複合式気体流量測定装置において、
    前記バイパス管の流入口は機械式気体流量測定装置の気流上流側に位置し、バイパス管の流出口は機械式気体流量測定装置の気流下流側に位置し、バイパス管の内径は2〜10mmである
    ことを特徴とする複合式気体流量測定装置。
  7. 請求項5に記載の複合式気体流量測定装置において、
    前記機械式気体流量測定装置の気流上流側に平均化ピトー管の全圧孔が設けられ、均化ピトー管の流出口端はバイパス管の流入口に接続され、バイパス管の流出口は機械式気体流量測定装置の気流下流側に位置する
    ことを特徴とする複合式気体流量測定装置。
  8. 請求項5〜7の何れか一項に記載の複合式気体流量測定装置において、
    前記機械式気体流量測定装置は速度式、差圧式気体体積流量測定装置である
    ことを特徴とする複合式気体流量測定装置。
JP2011517730A 2008-07-17 2008-09-24 複合式気体流量測定方法及びその装置 Active JP5425902B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200810120056.5 2008-07-17
CN2008101200565A CN101354273B (zh) 2008-07-17 2008-07-17 复合式气体流量测量方法及其装置
PCT/CN2008/001645 WO2010006474A1 (zh) 2008-07-17 2008-09-24 复合式气体流量测量方法及其装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011528104A true JP2011528104A (ja) 2011-11-10
JP5425902B2 JP5425902B2 (ja) 2014-02-26

Family

ID=40307191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011517730A Active JP5425902B2 (ja) 2008-07-17 2008-09-24 複合式気体流量測定方法及びその装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20110125424A1 (ja)
EP (1) EP2312276A4 (ja)
JP (1) JP5425902B2 (ja)
CN (1) CN101354273B (ja)
WO (1) WO2010006474A1 (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5272930B2 (ja) * 2009-07-01 2013-08-28 オムロン株式会社 流量測定装置
JP5250875B2 (ja) * 2009-10-20 2013-07-31 Smc株式会社 フローコントローラ
JP5528624B2 (ja) * 2010-12-20 2014-06-25 エヌイーシー(チャイナ)カンパニー, リミテッド ダウンリンク送信のスケジューリング方法および装置
CN102288231B (zh) * 2011-07-27 2012-08-29 江苏伟屹电子有限公司 一种复合涡街发生体
CN102645248B (zh) * 2012-05-18 2013-10-02 中国计量学院 一种自校正的热式-旋进旋涡组合式气体流量测量方法
US9222817B2 (en) * 2013-03-15 2015-12-29 Amphenol Thermometrics, Inc. Systems and methods for hybrid flow sensing
US9322683B2 (en) * 2014-05-12 2016-04-26 Invensys Systems, Inc. Multivariable vortex flowmeter
US9804011B2 (en) * 2014-09-30 2017-10-31 Dieterich Standard, Inc. Flow measurement probe with pitot tube and thermal flow measurement
US10760934B2 (en) 2014-12-05 2020-09-01 Natural Gas Solutions North America, Llc Using localized flow characteristics on electronic flow meter to quantify volumetric flow
US20160161307A1 (en) * 2014-12-05 2016-06-09 General Electric Company System and method for metering gas
NL2016877A (en) * 2015-06-18 2016-12-22 Asml Holding Nv An apparatus including a gas gauge and method of operating the same
CN104949096B (zh) * 2015-07-16 2017-03-08 广东美的厨房电器制造有限公司 蒸汽发生系统及液体流量检测方法和装置
CN106840292A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 辽宁思凯科技股份有限公司 Mems热式质量燃气表装置及气体流量测定方法
CN105953848B (zh) * 2016-05-23 2019-07-05 西北工业大学 一种差压线性流量计
US10648842B2 (en) 2016-06-22 2020-05-12 Benoit & Cote Inc. Fluid flow measuring and control devices and method
CN106352930B (zh) * 2016-08-31 2024-01-26 国家能源投资集团有限责任公司 一种气体流量测试装置及磨煤机容量风测量仪器
AU2017326905B2 (en) * 2016-09-16 2023-04-27 Fisher & Paykel Healthcare Limited Thermistor flow sensor having multiple temperature points
CN106248156B (zh) * 2016-10-16 2019-12-06 浙江苍南仪表集团股份有限公司 低功耗自诊断的大量程气体流量测量电路
CN108362907B (zh) * 2018-05-04 2024-03-22 刘冠宏 一种流体速度测量装置
CN109210267A (zh) * 2018-10-17 2019-01-15 天长市海翔自控设备有限公司 一种高性能数字一体化三阀组防爆差压表
CN109490573B (zh) * 2018-11-02 2021-09-17 湖南核三力技术工程有限公司 气力输送中基于管网阻力特性的物料无损流速测量方法与监测装置
AT521899B1 (de) 2018-12-12 2020-11-15 Avl List Gmbh Messsystem und Verfahren zur Messung eines Massendurchflusses, einer Dichte, einer Temperatur oder einer Strömungsgeschwindigkeit
CN109682433A (zh) * 2019-01-03 2019-04-26 山东威高集团医用高分子制品股份有限公司 一种氧气流量监测装置
CN110231173B (zh) * 2019-05-31 2021-02-26 西安航天动力试验技术研究所 一种微小流量供应测量装置
CN110081944A (zh) * 2019-06-05 2019-08-02 浙江埃泰克环境科技有限公司 一种基于实时压力变化的气体测量方法及所用装置
CN110274649B (zh) * 2019-06-13 2020-09-01 武汉大学 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法
CN112212926B (zh) * 2020-08-07 2022-04-08 北京协同创新研究院 一种基于多孔节流与mems压力传感器的流量测量方法
CN113252846B (zh) * 2021-04-30 2023-06-20 西北工业大学 一种面向长时间连续监测的油烟VOCs气体浓度监测方法及设备
CN114577286A (zh) * 2022-04-01 2022-06-03 祎智量芯(江苏)电子科技有限公司 一种降低mems计量功耗的装置及工作方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158524A (en) * 1978-06-02 1979-12-14 Hitachi Ltd Engine suction air volume measuring device for car
JP2000002567A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 複合型質量流量計
JP2000065609A (ja) * 1998-08-24 2000-03-03 Yazaki Corp 流量検出方法及びガス流量計
JP2002188943A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Smc Corp 2センサ式流量計
JP2004093175A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Tokyo Gas Co Ltd 熱式流量計
JP2004170113A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Yamatake Corp 流体検出装置
JP2005300187A (ja) * 2004-04-06 2005-10-27 Keyence Corp 分流式流量センサ装置
JP2007057452A (ja) * 2005-08-26 2007-03-08 Oval Corp 流量計
WO2007095528A1 (en) * 2006-02-17 2007-08-23 Honeywell International Inc. Ultra low pressure drop flow sensor
JP2008020416A (ja) * 2006-07-14 2008-01-31 Yamatake Corp ヒータ付きセンサチップの異常検出装置及び異常検出方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2787785B2 (ja) * 1990-07-02 1998-08-20 山武ハネウエル株式会社 流量計および流量測定方法
JPH0545203A (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 Oval Corp スモールボリユームプルーバ
US5333496A (en) * 1992-03-09 1994-08-02 Fenelon Paul J In-line parallel proportionally partitioned by-pass metering device and method
JPH06241854A (ja) * 1993-02-22 1994-09-02 Mitsubishi Electric Corp 渦流量計
WO1999031467A1 (fr) 1997-12-15 1999-06-24 Tokyo Gas Co., Ltd. Debitmetre
US20020046612A1 (en) * 2000-08-22 2002-04-25 Fugasity Corporation Fluid mass flow meter with substantial measurement range
JP2007271382A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Sunx Ltd 物理量検出装置、格納ユニット、コントロールユニット及びプログラム記憶媒体
JP4291338B2 (ja) * 2006-05-17 2009-07-08 株式会社オーバル 副流量計を用いたサーボ型容積流量計
CN100416233C (zh) * 2006-09-30 2008-09-03 浙江麦姆龙仪表有限公司 管道气流的外引式采样的测量方法及其装置
CN200979422Y (zh) * 2006-12-13 2007-11-21 上海星空自动化仪表有限公司 一种温压补偿的涡街流量计
US7908096B2 (en) * 2007-09-28 2011-03-15 Siargo Ltd. Integrated micromachined thermal mass flow sensor and methods of making the same
US7654157B2 (en) * 2007-11-30 2010-02-02 Honeywell International Inc. Airflow sensor with pitot tube for pressure drop reduction
US7905139B2 (en) * 2008-08-25 2011-03-15 Brooks Instrument, Llc Mass flow controller with improved dynamic

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54158524A (en) * 1978-06-02 1979-12-14 Hitachi Ltd Engine suction air volume measuring device for car
JP2000002567A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 複合型質量流量計
JP2000065609A (ja) * 1998-08-24 2000-03-03 Yazaki Corp 流量検出方法及びガス流量計
JP2002188943A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Smc Corp 2センサ式流量計
JP2004093175A (ja) * 2002-08-29 2004-03-25 Tokyo Gas Co Ltd 熱式流量計
JP2004170113A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Yamatake Corp 流体検出装置
JP2005300187A (ja) * 2004-04-06 2005-10-27 Keyence Corp 分流式流量センサ装置
JP2007057452A (ja) * 2005-08-26 2007-03-08 Oval Corp 流量計
WO2007095528A1 (en) * 2006-02-17 2007-08-23 Honeywell International Inc. Ultra low pressure drop flow sensor
JP2008020416A (ja) * 2006-07-14 2008-01-31 Yamatake Corp ヒータ付きセンサチップの異常検出装置及び異常検出方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP2312276A1 (en) 2011-04-20
WO2010006474A1 (zh) 2010-01-21
CN101354273B (zh) 2010-07-07
JP5425902B2 (ja) 2014-02-26
CN101354273A (zh) 2009-01-28
US20110125424A1 (en) 2011-05-26
EP2312276A4 (en) 2015-07-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5425902B2 (ja) 複合式気体流量測定方法及びその装置
JP6926168B2 (ja) 質量流量コントローラ
US8056409B2 (en) Hybrid flowmeter that includes an integral vortex flowmeter and a differential flow meter
CA2888939C (en) Ultrasonic flow metering system with an upstream pressure transducer
CN102322907B (zh) 双流量测量头一体化智能气体流量计
CA2539640A1 (en) Detection and measurement of two-phase flow
CA2654952A1 (en) Sonar circumferential flow conditioner
CN103837215B (zh) 换向阀式p.V.T.t法气体流量装置
CN102353410A (zh) 一种利用示踪气体测量风道风量的方法及装置
CN204514402U (zh) 一种差压涡街质量流量计
CN103900665B (zh) 容器组合及换向阀式pVTt法气体流量装置
CN201476822U (zh) 内置多参数的双通道孔板气体流量测量装置
CN105181037A (zh) 一种流体流量在线精确测量装置及方法
CN108072410A (zh) 空气流量计检测系统
CN201242456Y (zh) 一种基于涡街、均速管、旁路管的气体流量组合测量装置
CN209639805U (zh) 一种航空航天用气体流量计自动检定装置
CN208333627U (zh) 一种液体流量计在线检测自校准装置
CN103674146A (zh) 一种基于超声流量计的质量流量计
CN102645248B (zh) 一种自校正的热式-旋进旋涡组合式气体流量测量方法
CN102279025B (zh) 插入式传感器集成体的集成式气体质量流量计
JPH11211525A (ja) フローセンサを利用した流量計
CN204514403U (zh) 一种差压涡街质量流量计
CN203534679U (zh) 孔板流量计的校正系统
JP7037883B2 (ja) 排ガス流量測定装置、燃費測定装置、排ガス流量測定装置用プログラム、及び排ガス流量測定方法
JPH10170320A (ja) 流量計

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110818

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20110908

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20110908

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20120118

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130124

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130129

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130425

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130507

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130529

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130605

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130607

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20131029

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20131127

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5425902

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250