CN101354273A - 复合式气体流量测量方法及其装置 - Google Patents

复合式气体流量测量方法及其装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101354273A
CN101354273A CNA2008101200565A CN200810120056A CN101354273A CN 101354273 A CN101354273 A CN 101354273A CN A2008101200565 A CNA2008101200565 A CN A2008101200565A CN 200810120056 A CN200810120056 A CN 200810120056A CN 101354273 A CN101354273 A CN 101354273A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas flow
data
type gas
measurement device
mechanical type
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008101200565A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101354273B (zh
Inventor
韩怀成
毛巨林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
New sensing system Co., Ltd.
Original Assignee
Meixin Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Meixin Semiconductor Wuxi Co Ltd filed Critical Meixin Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority to CN2008101200565A priority Critical patent/CN101354273B/zh
Priority to JP2011517730A priority patent/JP5425902B2/ja
Priority to EP08800638.2A priority patent/EP2312276A4/en
Priority to US13/054,733 priority patent/US20110125424A1/en
Priority to PCT/CN2008/001645 priority patent/WO2010006474A1/zh
Publication of CN101354273A publication Critical patent/CN101354273A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101354273B publication Critical patent/CN101354273B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/32—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow using swirl flowmeters
    • G01F1/325—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl
    • G01F1/3259—Means for detecting quantities used as proxy variables for swirl for detecting fluid pressure oscillations
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
    • G01F1/46—Pitot tubes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
    • G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
    • G01F15/024—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means involving digital counting

Abstract

本发明公开了一种复合式气体流量测量方法及其装置，在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。它有效地解决目前气体流量测量装置存在的量程比窄，适用范围小以及测量精度低、可靠性差的问题，本发明结构简单、成本低，值得相关行业推广使用。

Description

复合式气体流量测量方法及其装置
技术领域
本发明涉及气体流量测量领域，尤其是涉及一种量程比宽、测量精度高、可靠性好的复合式气体流量测量方法及其装置。
背景技术
众所周知，现在用以测量气体流量的方法有很多种，相应的测试装置也多种多样，但每种装置都有其测试的局限性，比如机械式气体流量测量装置在气体流速较大的情况下性能稳定，测量精度也比较高，但机械式气体流量测量装置在气体流速较小时误差较大，例如涡街式的气体流量测量装置在气体流速小于5米每秒时几乎无法进行准确的测量，而热式气体流量测量装置适合在气体流速较小时的测量，在气体流速较大时其误差较大。因此，单一的气体流量测量装置较难做到宽量程比、高精度的测量。公开日为2001年1月31日、公开号为CN1282417的专利文件公开了一种可以在宽的流量范围上精确测定流量的流量计，它是在配管的流路内设置小流量用测量区域和大流量用测量区域。在小流量用测量区域内，设置将流路分割为多个小流路并对气体的流进行整流的整流过滤器。分别流过多个小流路的气体的各平均流速基本相等。气体的一部分，到达在小流量用流速传感器的两侧立式设置的喷嘴，借助于该喷嘴的作用进行加速。小流量用测量区域的小流量用流速传感器，在小流量区段上，输出与通过小流路并由喷嘴加速后的气体的流速对应的信号，大流量用测量区域的大流量用流速传感器，在大量区段上，输出与气体的流速对应的信号。上述装置虽然在一定程度上扩展了量程比，提高了测量精度，但是该装置结构较为复杂，制作成本较高，同时，该装置在实际应用中，流态变化的影响也难以完全消除。
发明内容
本发明为解决目前气体流量测量装置存在的量程比窄、适用范围小的问题而提供一种量程比宽、适用范围广的复合式气体流量测量方法及其装置。
本发明的另一个目的是为解决目前气体流量测量装置存在的测量精度低、可靠性差的问题而提供一种测量精度高、可靠性好复合式气体流量测量方法及其装置。
本发明为达到上述技术目的所采用的具体技术方案为：复合式气体流量测量方法是：在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。在机械式气体流量测量装置上并接旁路管，并旁路管上设置MEMS流量传感器，将两种流量测量装置的所测数据通过数据处理系统处理，最后通过显示系统显示出气体流量数据，将在大流速时稳定性与准确性较高机械式气体流量测量装置与在测量小流速时具有明显优势的MEMS流量传感器有机结合，不但有效展宽了气体流量测量装置的量程比，扩展了气体流量测量装置的适用范围，而且数据处理系统在数据处理过程中，综合考虑了两套测量装置的测量数据，从而也提高了气体流量的测量精度，此外，由于两套测量装置同时工作，大大提高了整个气体流量测量装置的可靠性。
作为一种优选方法，复合式气体流量测量方法是数据处理系统对机械式气体流量测量装置的所测数据经过温度、压力补偿后与MEMS流量传感器的数据进行综合分析处理，气体流速较小时，以MEMS流量传感器的数据为准，气体流速较大时，以机械式气体流量测量装置的数据为准，在机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的量程重叠部分，根据气体流速大小对机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的数据按比例加权后进行相加处理。这样的处理方式，使得MEMS流量传感器在流速较大状态以及机械式气体流量测量装置在流速较小状态下产生的较大误差得到了一定程度的补偿，提高了气体流量的测量精度。
作为一种优选方法，当机械式气体流量测量装置无测量数据时，数据处理系统以MEMS流量传感器的数据为准，MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统以机械式气体流量测量装置的数据为准。在缺少一路测量数据的情况下，数据处理系统以剩下的一路测量数据为准，这种数据处理方法只根据实时测量数据进行处理，数据处理系统的程序结构简单。
作为另一种可选方法，机械式气体流量测量装置或MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统根据剩下的一路测量数据并按事先设定的加权曲线来确定最后的气体流量数据。这种数据处理方法根据实时测量数据并结合事先设定的加权曲线数据进行处理，数据处理系统需存储事先设定的加权曲线数据，程序结构相对复杂。
一种复合式气体流量测量装置，在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统。在传统的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，并在旁路管内设置MEMS流量传感器，用两种测量装置对气体流量同时进行测量，将所测数据根据两种测量装置在不同流速条件下的测量优势通过数据处理系统进行综合处理，最后在数据显示系统上显示出测量数据。这种气体流量测量机构，将在大流速时稳定性与准确性较高机械式气体流量测量装置与在测量小流速时具有明显优势的MEMS流量传感器有机结合，不但有效展宽了气体流量测量装置的量程比，而且数据处理系统在数据处理过程中，综合考虑了两套测量装置的测量数据，从而也提高了气体流量的测量精度，此外，由于两套测量装置同时工作，大大提高了整个气体流量测量装置的可靠性。
旁路管的进口位于机械式气体流量测量装置的气流上游侧，旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧，作为优选，旁路管的内径为2至10毫米。旁路管是利用主管道气体进出口的压差进行气体流量测量的，因此，旁路管的进口位于机械式气体流量测量装置的气流上游侧，旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧。对于直径较大的主管道，可以采用内径相对较大的旁路管，而对于直径较小的主管道，则应采用内径相对较小的旁路管，从而使旁路管的横截面积远远小于主管道，使其对主管道上的机械式气体流量测量装置几乎不产生影响。
作为优选，机械式气体流量测量装置的气流上游侧设有均速管总压取压孔，均速管的出口端与旁路管的进口相连接，旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧。均速管测量方式的优点是可以测量管内截面的平均流速，不受流态畸变的影响从而提高测量精度，同时也减少了测量管内流体中的杂质对MEMS流量传感器的直接冲击与污染，延长了MEMS流量传感器的使用寿命。
作为优选，机械式气体流量测量装置为速度式、差压式气体体积流量测量装置。复合式气体流量测量装置所采用的并接旁路管、在旁路管内设置MEMS流量传感器的复合测量方式，适用于所有在进气侧与出气侧之间存在压差的机械式气体流量测量装置。
本发明的有益效果是：它有效地解决目前气体流量测量装置存在的量程比窄，适用范围小问题。同时，也解决了目前气体流量测量装置存在的测量精度低、可靠性差的问题，本发明结构简单、成本低，值得相关行业推广使用。
附图说明
图1是本发明复合式气体流量测量装置的一种结构示意图。
图2是本发明复合式气体流量测量装置的另一种结构示意图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图对本发明技术方案的具体实施方式作进一步的说明。
实施例1
实施例1的复合式气体流量测量方法为：在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。数据处理系统对机械式气体流量测量装置的所测数据经过温度、压力补偿后与MEMS流量传感器的数据进行综合分析处理，气体流速较小时，以MEMS流量传感器的数据为准，气体流速较大时，以机械式气体流量测量装置的数据为准，在机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的量程重叠部分，根据气体流速的大小对机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的数据按比例加权后进行相加处理。当机械式气体流量测量装置无测量数据时，数据处理系统以MEMS流量传感器的数据为准，MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统以机械式气体流量测量装置的数据为准。
实施例1的复合式气体流量测量装置如图1所示，复合式气体流量测量装置是在表体1上带温度传感器7与压力传感器2的涡街式气体流量测量装置上并接旁路管8，旁路管8的进口3位于涡旋发生体4的气流上游侧，旁路管的出口6位于涡街频率检测器5的气流下游侧，旁路管8的内径为5毫米，旁路管8上设有MEMS流量传感器9。涡街式气体流量测量装置上的温度传感器7、压力传感器2、涡街频率检测器5及MEMS流量传感器9均连接数据处理系统10，数据处理系统10连接数据显示系统11，数据处理系统10上还设有输入输出接口12，整个复合式气体流量测量装置采用专用电源供电。
实施例2
实施例2采用机械式气体流量测量装置或MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统根据剩下的一路测量数据并按事先设定的加权曲线来确定最后的气体流量数据的测量方法，其余的方法和实施例1相同。
实施例2的复合式气体流量测量装置如图2所示，复合式气体流量测量装置是在表体1上带温度传感器7与压力传感器2的涡街式气体流量测量装置上并接旁路管8，在涡旋发生体4上按均速管总压取压孔的孔位要求设置均速管14及取压孔13，均速管14的出口端与旁路管8的进口3相连接，旁路管8的出口6位于涡街频率检测器5的气流下游侧，其余和实施例1相同。
复合式气体流量测量装置使用时，被测气体的绝大部分流经主管道的机械式气体流量测量装置，少量的气体在主管道气体测量装置两端的压差作用下流经旁路管，主管道气体测量装置的所测流量数据根据同步测得的主管道压力及温度数据由数据处理系统进行温压补偿处理后转换为标况体积数据，流经旁路管的少量气体则通过MEMS流量传感器进行气体流量的另一路测量，MEMS流量传感器的测量数据可以直接标定为标况体积数据，从而使两路气体流量测量均实现标方测量，使两种测量方式有机的结合到一起。数据处理系统根据两路测量装置在不同流速下的测量特点，对其所测数据进行综合分析处理，并通过显示系统显示出最终气体流量数据。从而实现了宽量程比、高精度、高可靠性的标况流量测量，它符合现代气体流量质量计量要求的发展趋势。

Claims (8)

1.一种复合式气体流量测量方法，其特征是：在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。
2.根据权利要求1所述的复合式气体流量测量方法，其特征在于数据处理系统对机械式气体流量测量装置的所测数据经过温度、压力补偿后与MEMS流量传感器的数据进行综合分析处理，气体流速较小时，以MEMS流量传感器的数据为准，气体流速较大时，以机械式气体流量测量装置的数据为准，在机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的量程重叠部分，根据气体流速大小对机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的数据按比例加权后进行相加处理。
3.根据权利要求1所述的复合式气体流量测量方法，其特征在于机械式气体流量测量装置无测量数据时，数据处理系统以MEMS流量传感器的数据为准，MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统以机械式气体流量测量装置的数据为准。
4.根据权利要求1所述的复合式气体流量测量方法，其特征在于机械式气体流量测量装置或MEMS流量传感器无测量数据时，数据处理系统根据剩下的一路测量数据并按事先设定的加权曲线来确定最后的气体流量数据。
5.一种复合式气体流量测量装置，其特征是：在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管，旁路管上设有MEMS流量传感器，温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统，数据处理系统连接数据显示系统。
6.根据权利要求5所述的复合式气体流量测量装置，其特征在于所述旁路管的进口位于机械式气体流量测量装置的气流上游侧，旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧，旁路管的内径为2至10毫米。
7.根据权利要求5所述的复合式气体流量测量装置，其特征在于所述机械式气体流量测量装置的气流上游侧设有均速管总压取压孔，均速管的出口端与旁路管的进口相连接，旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧。
8.根据权利要求5或6或7所述的复合式气体流量测量装置，其特征在于所述的机械式气体流量测量装置为速度式、差压式气体体积流量测量装置。
CN2008101200565A 2008-07-17 2008-07-17 复合式气体流量测量方法及其装置 Active CN101354273B (zh)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101200565A CN101354273B (zh) 2008-07-17 2008-07-17 复合式气体流量测量方法及其装置
JP2011517730A JP5425902B2 (ja) 2008-07-17 2008-09-24 複合式気体流量測定方法及びその装置
EP08800638.2A EP2312276A4 (en) 2008-07-17 2008-09-24 METHOD FOR FLOW MEASUREMENT OF COMPOUND GAS FLUIDS AND EQUIPMENT THEREFOR
US13/054,733 US20110125424A1 (en) 2008-07-17 2008-09-24 Composite gas fluid flow measuring method and its device
PCT/CN2008/001645 WO2010006474A1 (zh) 2008-07-17 2008-09-24 复合式气体流量测量方法及其装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101200565A CN101354273B (zh) 2008-07-17 2008-07-17 复合式气体流量测量方法及其装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101354273A true CN101354273A (zh) 2009-01-28
CN101354273B CN101354273B (zh) 2010-07-07

Family

ID=40307191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008101200565A Active CN101354273B (zh) 2008-07-17 2008-07-17 复合式气体流量测量方法及其装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20110125424A1 (zh)
EP (1) EP2312276A4 (zh)
JP (1) JP5425902B2 (zh)
CN (1) CN101354273B (zh)
WO (1) WO2010006474A1 (zh)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943590A (zh) * 2009-07-01 2011-01-12 欧姆龙株式会社 流量测定装置
CN102288231A (zh) * 2011-07-27 2011-12-21 江苏伟屹电子有限公司 一种复合涡街发生体
CN102576230A (zh) * 2009-10-20 2012-07-11 Smc株式会社 流控制器
CN102645248A (zh) * 2012-05-18 2012-08-22 中国计量学院 一种自校正的热式-旋进旋涡组合式气体流量测量方法
CN104949096A (zh) * 2015-07-16 2015-09-30 广东美的厨房电器制造有限公司 蒸汽发生系统及液体流量检测方法和装置
CN105953848A (zh) * 2016-05-23 2016-09-21 西北工业大学 一种差压线性流量计
CN106248156A (zh) * 2016-10-16 2016-12-21 浙江苍南仪表集团有限公司 低功耗自诊断的大量程气体流量测量电路
CN106840292A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 辽宁思凯科技股份有限公司 Mems热式质量燃气表装置及气体流量测定方法
CN109210267A (zh) * 2018-10-17 2019-01-15 天长市海翔自控设备有限公司 一种高性能数字一体化三阀组防爆差压表
CN110274649A (zh) * 2019-06-13 2019-09-24 武汉大学 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法
CN112212926A (zh) * 2020-08-07 2021-01-12 北京协同创新研究院 一种基于多孔节流与mems压力传感器的流量测量方法
CN113207301A (zh) * 2018-12-12 2021-08-03 Avl李斯特有限责任公司 用于测量质量流量、密度、温度或流速的测量系统和方法
CN113252846A (zh) * 2021-04-30 2021-08-13 西北工业大学 一种面向长时间连续监测的油烟VOCs气体浓度监测方法及设备
CN114569845A (zh) * 2016-09-16 2022-06-03 菲舍尔和佩克尔保健有限公司 具有多个温度点的热敏电阻器流量传感器

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9030975B2 (en) 2010-12-20 2015-05-12 Nec (China) Co., Ltd. Method and apparatus for scheduling downlink transmission
US9222817B2 (en) 2013-03-15 2015-12-29 Amphenol Thermometrics, Inc. Systems and methods for hybrid flow sensing
US9322683B2 (en) * 2014-05-12 2016-04-26 Invensys Systems, Inc. Multivariable vortex flowmeter
US9804011B2 (en) * 2014-09-30 2017-10-31 Dieterich Standard, Inc. Flow measurement probe with pitot tube and thermal flow measurement
US20160161307A1 (en) 2014-12-05 2016-06-09 General Electric Company System and method for metering gas
US10760934B2 (en) 2014-12-05 2020-09-01 Natural Gas Solutions North America, Llc Using localized flow characteristics on electronic flow meter to quantify volumetric flow
NL2016877A (en) * 2015-06-18 2016-12-22 Asml Holding Nv An apparatus including a gas gauge and method of operating the same
US10648842B2 (en) 2016-06-22 2020-05-12 Benoit & Cote Inc. Fluid flow measuring and control devices and method
CN106352930B (zh) * 2016-08-31 2024-01-26 国家能源投资集团有限责任公司 一种气体流量测试装置及磨煤机容量风测量仪器
CN108362907B (zh) * 2018-05-04 2024-03-22 刘冠宏 一种流体速度测量装置
CN109490573B (zh) * 2018-11-02 2021-09-17 湖南核三力技术工程有限公司 气力输送中基于管网阻力特性的物料无损流速测量方法与监测装置
CN109682433A (zh) * 2019-01-03 2019-04-26 山东威高集团医用高分子制品股份有限公司 一种氧气流量监测装置
CN110231173B (zh) * 2019-05-31 2021-02-26 西安航天动力试验技术研究所 一种微小流量供应测量装置
CN110081944A (zh) * 2019-06-05 2019-08-02 浙江埃泰克环境科技有限公司 一种基于实时压力变化的气体测量方法及所用装置
CN114577286A (zh) * 2022-04-01 2022-06-03 祎智量芯(江苏)电子科技有限公司 一种降低mems计量功耗的装置及工作方法

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6047462B2 (ja) * 1978-06-02 1985-10-22 株式会社日立製作所 電子制御燃料噴射装置の吸入空気量計測装置
JP2787785B2 (ja) * 1990-07-02 1998-08-20 山武ハネウエル株式会社 流量計および流量測定方法
JPH0545203A (ja) * 1991-08-12 1993-02-23 Oval Corp スモールボリユームプルーバ
US5333496A (en) * 1992-03-09 1994-08-02 Fenelon Paul J In-line parallel proportionally partitioned by-pass metering device and method
JPH06241854A (ja) * 1993-02-22 1994-09-02 Mitsubishi Electric Corp 渦流量計
CN1135366C (zh) 1997-12-15 2004-01-21 东京瓦斯株式会社 流量计
JP2000002567A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 複合型質量流量計
JP2000065609A (ja) * 1998-08-24 2000-03-03 Yazaki Corp 流量検出方法及びガス流量計
AU2001286619A1 (en) * 2000-08-22 2002-03-04 Fugasity Corporation Fluid mass flow meter with substantial measurement range
JP3637278B2 (ja) * 2000-12-20 2005-04-13 Ｓｍｃ株式会社 ２センサ式流量計
JP4106409B2 (ja) * 2002-08-29 2008-06-25 東京瓦斯株式会社 熱式流量計
JP4168417B2 (ja) * 2002-11-18 2008-10-22 株式会社山武 流体検出装置
JP2005300187A (ja) * 2004-04-06 2005-10-27 Keyence Corp 分流式流量センサ装置
JP2007057452A (ja) * 2005-08-26 2007-03-08 Oval Corp 流量計
US7343823B2 (en) * 2006-02-17 2008-03-18 Honeywell International Inc. Ultra low pressure drop flow sensor
JP2007271382A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Sunx Ltd 物理量検出装置、格納ユニット、コントロールユニット及びプログラム記憶媒体
JP4291338B2 (ja) * 2006-05-17 2009-07-08 株式会社オーバル 副流量計を用いたサーボ型容積流量計
JP5062657B2 (ja) * 2006-07-14 2012-10-31 アズビル株式会社 ヒータ付きセンサチップの異常検出装置及び異常検出方法
CN100416233C (zh) * 2006-09-30 2008-09-03 浙江麦姆龙仪表有限公司 管道气流的外引式采样的测量方法及其装置
CN200979422Y (zh) * 2006-12-13 2007-11-21 上海星空自动化仪表有限公司 一种温压补偿的涡街流量计
US7908096B2 (en) * 2007-09-28 2011-03-15 Siargo Ltd. Integrated micromachined thermal mass flow sensor and methods of making the same
US7654157B2 (en) * 2007-11-30 2010-02-02 Honeywell International Inc. Airflow sensor with pitot tube for pressure drop reduction
US7905139B2 (en) * 2008-08-25 2011-03-15 Brooks Instrument, Llc Mass flow controller with improved dynamic

Cited By (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101943590B (zh) * 2009-07-01 2012-08-29 欧姆龙株式会社 流量测定装置
CN101943590A (zh) * 2009-07-01 2011-01-12 欧姆龙株式会社 流量测定装置
CN102576230A (zh) * 2009-10-20 2012-07-11 Smc株式会社 流控制器
CN102576230B (zh) * 2009-10-20 2015-05-13 Smc株式会社 流控制器
CN102288231A (zh) * 2011-07-27 2011-12-21 江苏伟屹电子有限公司 一种复合涡街发生体
CN102288231B (zh) * 2011-07-27 2012-08-29 江苏伟屹电子有限公司 一种复合涡街发生体
CN102645248A (zh) * 2012-05-18 2012-08-22 中国计量学院 一种自校正的热式-旋进旋涡组合式气体流量测量方法
CN102645248B (zh) * 2012-05-18 2013-10-02 中国计量学院 一种自校正的热式-旋进旋涡组合式气体流量测量方法
CN104949096B (zh) * 2015-07-16 2017-03-08 广东美的厨房电器制造有限公司 蒸汽发生系统及液体流量检测方法和装置
CN104949096A (zh) * 2015-07-16 2015-09-30 广东美的厨房电器制造有限公司 蒸汽发生系统及液体流量检测方法和装置
CN106840292A (zh) * 2015-12-04 2017-06-13 辽宁思凯科技股份有限公司 Mems热式质量燃气表装置及气体流量测定方法
CN105953848A (zh) * 2016-05-23 2016-09-21 西北工业大学 一种差压线性流量计
CN105953848B (zh) * 2016-05-23 2019-07-05 西北工业大学 一种差压线性流量计
CN114569845A (zh) * 2016-09-16 2022-06-03 菲舍尔和佩克尔保健有限公司 具有多个温度点的热敏电阻器流量传感器
CN106248156B (zh) * 2016-10-16 2019-12-06 浙江苍南仪表集团股份有限公司 低功耗自诊断的大量程气体流量测量电路
CN106248156A (zh) * 2016-10-16 2016-12-21 浙江苍南仪表集团有限公司 低功耗自诊断的大量程气体流量测量电路
CN109210267A (zh) * 2018-10-17 2019-01-15 天长市海翔自控设备有限公司 一种高性能数字一体化三阀组防爆差压表
CN113207301A (zh) * 2018-12-12 2021-08-03 Avl李斯特有限责任公司 用于测量质量流量、密度、温度或流速的测量系统和方法
US11959788B2 (en) 2018-12-12 2024-04-16 Avl List Gmbh Wide range flow measuring device having two Coriolis meters arranged in series and a bypass line to bypass the second Coriolis meter
CN110274649B (zh) * 2019-06-13 2020-09-01 武汉大学 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法
CN110274649A (zh) * 2019-06-13 2019-09-24 武汉大学 一种基于mems技术的热温差型流量传感器及其制备方法
CN112212926B (zh) * 2020-08-07 2022-04-08 北京协同创新研究院 一种基于多孔节流与mems压力传感器的流量测量方法
CN112212926A (zh) * 2020-08-07 2021-01-12 北京协同创新研究院 一种基于多孔节流与mems压力传感器的流量测量方法
CN113252846A (zh) * 2021-04-30 2021-08-13 西北工业大学 一种面向长时间连续监测的油烟VOCs气体浓度监测方法及设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP5425902B2 (ja) 2014-02-26
EP2312276A1 (en) 2011-04-20
CN101354273B (zh) 2010-07-07
US20110125424A1 (en) 2011-05-26
JP2011528104A (ja) 2011-11-10
EP2312276A4 (en) 2015-07-22
WO2010006474A1 (zh) 2010-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101354273B (zh) 复合式气体流量测量方法及其装置
CN100538307C (zh) 一种大流量气体管道均速管流量计风洞校验方法
CN106768103B (zh) 一种超声波流量计自动校准时间偏差的方法
CN204085645U (zh) 带有自校准结构的气体流量标准装置
CN201225920Y (zh) 音速喷嘴法和标准表法相结合的气体流量标准装置
CN201402160Y (zh) 具有零点标定功能的皮托管流量计
CN106482794B (zh) 一种egr发动机文丘里管流量计
CN1936506A (zh) 大口径气体流量的小截面分流测量方法及装置
CN201242456Y (zh) 一种基于涡街、均速管、旁路管的气体流量组合测量装置
CN103837215A (zh) 换向阀式pVTt法气体流量装置
CN201476822U (zh) 内置多参数的双通道孔板气体流量测量装置
CN114018349A (zh) 基于超声波的气体流量测量装置、测量系统及测量方法
CN201188012Y (zh) 发动机瞬时流量测量层流流量计
CN101576403A (zh) 气体流量标准装置
CN101393232A (zh) 绕流管流速流量计
CN101251397A (zh) 旁通式管路流量计
CN201193955Y (zh) 气体流量标准装置
CN103674146A (zh) 一种基于超声流量计的质量流量计
CN207395817U (zh) 一种分体式文丘里管型流量计
CN104101387B (zh) 可调节型自适笛型管风量测量仪
CN209102162U (zh) 一种多流道超声波燃气表
CN201152757Y (zh) 带压力、温度检测的液体涡轮流量计
CN208383208U (zh) 一种模组化气体流量标准装置
CN203534679U (zh) 孔板流量计的校正系统
CN202836646U (zh) 带旁通桥路的热式旋涡复合流量测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20170418

Address after: 214000 Jiangsu city of Wuxi province Qingyuan new Wu District Road No. 18 Taihu International Science Park sensor network university science and Technology Park 530 Building No. A211

Patentee after: Memsic Transducer Systems Co., Ltd.

Address before: 214028 Wuxi province high tech Industrial Development Zone, Hui Hui Road, No. 2, No.

Patentee before: Meixin Semi-conductor (Wuxi) Co., Ltd.

CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 214000 Jiangsu city of Wuxi province Quxin Wu Hui new Ring Road No. 2

Patentee after: New sensing system Co., Ltd.

Address before: 214000 Jiangsu city of Wuxi province Qingyuan new Wu District Road No. 18 Taihu International Science Park sensor network university science and Technology Park 530 Building No. A211

Patentee before: Memsic Transducer Systems Co., Ltd.