CN101943590B - 流量测定装置 - Google Patents

流量测定装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101943590B
CN101943590B CN201010125042XA CN201010125042A CN101943590B CN 101943590 B CN101943590 B CN 101943590B CN 201010125042X A CN201010125042X A CN 201010125042XA CN 201010125042 A CN201010125042 A CN 201010125042A CN 101943590 B CN101943590 B CN 101943590B
Authority
CN
China
Prior art keywords
throttling element
holding member
flow path
primary flow
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201010125042XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN101943590A (zh
Inventor
上田直亚
山本克行
前田修治
辻雄二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Publication of CN101943590A publication Critical patent/CN101943590A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101943590B publication Critical patent/CN101943590B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters
    • G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
    • G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
    • G01F1/42—Orifices or nozzles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6842—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow with means for influencing the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
    • G01F5/005—Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

一种流量测定装置，在利用节流件保持部件保持节流件的旁通结构的流量测定装置中，减小了因节流件保持部件的制造偏差引起的分流比的变化。在流路块设置主流路，并且与主流路并排地设置副流路。在主流路的前半部，外周面凹设截面C字形的衬套收纳部，将没有衬套收纳部的部分作为流路壁部。在使主流路和副流路连通的分流导入流路及分流回收流路中，分流导入流路的分流口在主流路的前部在流路壁部开口，分流回收流路的回收口在主流路的后部在主流路的壁面开口。节流件从前方收纳于主流路内且与定位止动部抵接，通过从前方插入节流件保持衬套的端面使节流件保持于衬套收纳部。

Description

流量测定装置
技术领域
本发明涉及流量测定装置，具体而言是涉及用于测定气体的流量的流量测定装置。
背景技术
通常的直管型流量测定装置如图1(a)或者(b)所示，通过流量检测元件1测定在流路12内流动的气体的流速V，基于测定到的流速V和流路截面面积等测定流路12内的气体流量。
这样的结构的流量测定装置中，在流路12内有一定流量的气体流动的情况下，如图1(a)所示，当流路截面积小时则气体的流速V变大，如图1(b)所示，当流路截面积大时则气体的流速V变小。另一方面，流量检测元件11具有规定的可测定范围，当气体的流速V超出可测定范围时，流速V的计测精度降低，或者造成不能计测。因此，在直接测定例如200L/min(为liters/min的简记)等大流量气体的直管型流量测定装置中，为了使流速V降低到流量检测元件11的可测定范围，需要扩大流路12的直径，从而使装置的小型化受到限制。
因此，为了使大流量测定用的流量测定装置小型化，提案有如图2所示的那样的旁通流路结构的流量测定装置。在旁通流路结构的流量测定装置中，从主流路13分支出副流路14，在主流路13内设有节流件25。在主流路13内流动的气体通过在节流件25的前后产生的压差使一部分分流到副流路14，利用流量检测元件11测定在副流路14流动的气体的流速Vp。而且，采用根据在主流路13和副流路14流动的气体的分流比、副流路14的流速Vp及副流路14的流路截面积等求出总流量的方式。
(关于专利文献1)
作为旁通流路结构的流量测定装置，公知有专利文献1所公示的装置。如图3所示，在该流量测定装置21中，在主流管22内形成有主流路13，且在主流管22的外侧形成有副流路14，在主流路13内开口的导入口23和排出口24分别在副流路14的两端连通。另外，在主流路13内，在导入口23和排出口24的中间设有节流件25，通过节流件25的开口直径及形状调节主流路13和副流路14的分流比。
但是，在该流量测定装置21中，为了消减零件数量、降低分流比的制造偏差，而将节流件25与主流管22进行一体成型。因此存在的问题是，节流件25的开口直径及形状不可变更，若要变更节流件25的开口直径等，则必须重新设计更改主流管22的整体并进行制造，为了根据用途将流量范围的流量测定装置凑齐，不仅提高了成本，且需要大的库存空间。
另一方面，若可交换节流件25且使主流管22通用化，则如图4所示，要考虑将节流件25与主流管22分开形成。该情况下，如图4所示，只要将节流件25收纳于主流路13内并利用粘接剂26将节流件25的全周与主流路13的壁面粘接即可。
但是，该方法中，由于粘接剂26的涂敷工序及粘接剂的加热固化处理等而使流量测定装置的组装工时增加。另外，在将涂敷有粘接剂26的节流件25收纳于主流路13内的方法中，有可能因粘接剂26附着于主流路13的壁面(特别是导入口23的附近)而招致测定精度的下降。或者，在预先将粘接剂26涂敷于主流路13的壁面然后再收纳节流件25的方法中，由于粘接剂26从节流件25和主流路13的壁面之间溢出，因而招致测定精度的降低，需要有粘接剂的管理。
(关于专利文献2)
作为节流件与主流管分开形成，且不使用粘接剂将节流件固定于主流路内的旁通流路结构的流量测定装置，还有专利文献2所公示的装置。在专利文献2所公开的流量测定装置中，如图5所示，在主流路13内收纳有节流件25和做成圆筒状的套筒32，在形成于主流路13内的定位止动部34和套筒32之间夹持并保持节流件25。在套筒32的端面和定位止动部34上分别形成有嵌合孔35、37，使压入到套筒32的嵌合孔35的支承销38插通节流件25的通孔36，且插入定位止动部34的嵌合孔37。由此阻止套筒32转动，使开口于套筒32的通气孔33与导入口23对齐而进行定位。此外，套筒32的后方，交互收纳气体整流板39和辅助衬套40。
另外，在如专利文献2那样的结构中，由于必须在主流路13的深处将支承销36插入到定位止动部34的嵌合孔37，因而该作业难以进行。因此，如图6(b)所示，也考虑到下述的方法，即，通过使突部42向套筒32的后端部外周突出，将该突部42如图6(a)那样嵌合于设置在主流路13的壁面的凹处41，由此，阻止套筒32转动。
专利文献1：专利第3870969号公报
专利文献2：特愿2004-355045号公报
但是，在如示于图5的专利文献2那样的结构及如示于图6(a)、(b)那样的结构中，由于部件的制造偏差，有时在套筒32的通气孔33和导入口23之间产生位置偏移。例如，在如图5那样的结构中，由于套筒32的通气孔33的位置偏差及嵌合孔35的位置偏差、定位止动部34的嵌合孔37的位置偏差等，从而使通气孔33和导入口23的位置产生偏移。即使在如图6那样的结构中，由于套筒32的通气孔33的位置偏差及突部42的位置偏差、主流路13的凹处41的位置偏差而使通气孔33和导入口23的位置产生偏移。
这样，在通气孔33和导入口23的位置有偏移时，由于对从主流路13流入到副流路14的气体的流动产生影响，因而成为主流路13和副流路14间的分流比产生偏差、流量测定装置的测定精度下降的原因。
为了确认发生套筒32的位置偏移时分流比产生偏差的现象，本发明者们进行了下面的实验。首先，为了进行实验而预先备好两种类型的流量测定装置(标准模型1、2)。这些流量装置主流路13的流路截面积为0.00031m2，节流件25的截面积(开口面积)为0.00018m2，副流路14的流路截面积为5.00×10-5，在外径为24mm、内径为22mm的套筒32上开口形成有直径为5mm的通气孔33。标准模型1为流量大的模式(设定流量为500L/min)，标准模型2为流量小的模式(设定流量为300L/min)。
使用这些流量测定装置，对从通气孔33与导入口23对齐的位置向套筒32的轴方向或者圆周方向偏移时的分流比的变化率、及主流路13、副流路14以及节流件25的平均流速及流量进行了测定。将该结果示于图7。
图7的样品No.1、No.4分别使用标准模型1、2，且如图8(a)、(b)，以使通气孔33不论在套筒32的长度方向还是圆周方向都与导入口23对齐的方式进行调节。样品No.2、No.5分别使用标准模型1、2，且如图9(a)，以使通气孔33在套筒32的轴方向从导入口23偏离0.25mm(通气孔33的直径的5％)的方式进行调节。样品No.3、No.6分别使用标准模型1、2，且如图9(b)，以使通气孔33在其圆周方向从与导入口23对齐的位置偏移1.2度的方式进行调节。
另外，各样品No.1～6的分流比变化率是指，设通气孔33没有位置偏差时的分流比为主流路的流量∶副流路的流量＝A∶B、设产生了位置偏差时的分流比为主流路的流量∶副流路的流量＝a∶b时，用下述数学式表示。另外，主流路的流量是指不包含在副流路流动的气体的流量。
数学式1
Figure GSB00000799103800041
根据图7得知，在标准模型1、2中，当通气孔33在套筒32的轴方向偏移其直径的5％时，分流比变化率的变化约为6～15％左右。另外，当通气孔33在套筒32的圆周方向偏移1.2度时，分流比变化率的变化约为10～18％左右。且得知，越是大流量用的流量装置分流比的变化越是明显。
因此，为了提高流量测定装置(特别是大流量用的流量测定装置)的测定精度，希望不发生套筒的通气孔和导入口的位置偏移，以减小分流比的偏差。
另外，如图9(a)、(b)所示，为了使导入口23不被通气孔33的边缘局部堵塞，考虑使通气孔33的直径比导入口23的直径大的方法。但是，在该方法中，由于通气孔33和导入口23之间产生台阶部分，因此，因该台阶部分而在向副流路14侧分流的气体的流动中产生湍流，其结果是不能减小分流比的偏差。
发明内容
本发明是鉴于这样的技术课题而设立的，其目的在于，在使用用于保持节流件的部件(节流件保持部件)来保持节流件的旁通流路结构的流量测定装置中，减小因节流件保持部件的制造偏差及位置偏移等而引起的分流比的变化。
本发明的流量测定装置具备：流路块，其具有两端开口的主流路和从所述主流路分支的副流路；流量测定元件，其设置于所述副流路；分流口及回收口，其在所述主流路的壁面开口且与所述副流路连通，将流到所述主流路的气体的一部分从所述分流口向所述副流路分流，使通过所述副流路的气体从所述回收口返回到所述主流路，其特征在于，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，在除了含有所述分流口的区域和含有所述回收口的区域以外的区域，凹设有保持部件收纳部，在所述主流路内收纳有节流件，嵌入所述保持部件收纳部的节流件保持部件通过与所述节流件抵接而保持所述节流件，所述主流路的壁面由所述主流路中形成有所述保持部件收纳部的区域以外的壁面和所述节流件保持部件的内面构成。
本发明的流量测定装置中，由于将用于保持节流件的节流件保持部件嵌入到保持部件收纳部，该保持部件收纳部凹设在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面的除了含有所述分流口的区域和含有所述回收口的区域以外的区域，因而即使节流件保持部件及保持部件收纳部有偏差(误差)，也不必担心节流件保持部件与分流口及回收口重叠。另外，还不必担心节流件保持部件在主流路内旋转而对分流口及回收口产生干涉。因此，在将节流件与流路块分体且可更换的旁通流路结构的流量测定装置中，可减小因部件的偏差而带来的分流比的偏差。另外，由于利用主流路中的形成保持部件收纳部的区域以外的壁面和嵌入保持部件收纳部的节流件保持部件的内面，大致光滑地形成主流路的壁面，因此，还可使主流路的气体的流动顺畅。其结果，根据本发明，可使分流比稳定且可提高流量测定装置的测定精度。
在本发明的流量测定装置的一实施方式中，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面突设有定位止动部，通过使所述节流件抵接于所述定位止动部进行定位，在所述节流件保持部件的端面和所述定位止动部之间夹持并保持所述节流件。根据该实施方式，由于通过使节流件抵接于突设在主流路内的定位止动部而进行定位，因而可提高节流件的定位精度，降低分流比的偏差。
此外，在该实施方式中，也可以在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，从所述定位止动部朝向所述流路块的一端面凹设有均匀的截面形状的保持部件收纳部，在所述节流件保持部件上贯穿其长度方向的全长而形成有切口部，以在所述节流件保持部件的切口部收纳所述主流路中的形成所述保持部件收纳部的区域以外的壁面的方式，将所述节流件保持部件插入所述保持部件收纳部。根据该实施方式，由于即使是非硬质且具有刚性的节流件保持部件也很容易插入保持部件收纳部，因而可使用非硬质又具有刚性的节流件保持部件牢固地固定节流件。
另外，在所述实施方式中，也可以在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，从所述定位止动部朝向所述流路块的一端面设有均匀的截面形状的保持部件收纳部，在所述节流件保持部件上贯穿其长度方向的一部分而形成有切口部，以在所述节流件保持部件的切口部收纳所述主流路中的形成所述保持部件收纳部的区域以外的壁面的方式，将所述节流件保持部件插入所述保持部件收纳部。根据该实施方式，由于即使是非硬质且具有刚性的节流件保持部件也很容易插入保持部件收纳部，因而可使用非硬质又具有刚性的节流件保持部件牢固地固定节流件。
在本发明的流量测定装置的另一实施方式中，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面设有槽状的保持部件收纳部，在所述节流件的外周面设有突起，在所述保持部件收纳部嵌入所述突起并将所述节流件收纳于所述主流路内，通过插入到所述保持部件收纳部的棒状的所述节流件保持部件来保持所述节流件。根据该实施方式，由于可利用小的截面积的节流件保持部保持节流件，故而可使气体的流动稳定。
在本发明的流量测定装置的另一实施方式中，利用从所述主流路的一开口嵌入到所述保持部件收纳部的所述节流件保持部件、和从所述主流路的另一开口嵌入到所述保持部件收纳部的另一所述节流件保持部件，夹持并保持收纳于所述主流路内的节流件。在这样的实施方式中，通过两侧的节流件保持部件夹持，将节流件固定，因此，在主流路内不需要用于对节流件进行定位的定位止动部，可通过调整两侧的节流件保持部件的长度将节流件保持在任意的位置，由此，可调节分流比。
在本发明的流量测定装置的另一实施方式中，所述节流件保持部件由多个节流件保持部件构成。在这样的实施方式中，将节流件保持部件分割成多个，因此，可根据节流件的厚度调节节流件保持部件的个数。在节流件的前后分别使用多个节流件保持部件的情况下，通过调节两侧的节流件保持部件的个数，可以改变节流件的位置。因此，可以容易地调节分流比。
在本发明的流量测定装置的再另一实施方式中，通过安装于所述流路块的端面的端盖按压所述节流件保持部件的端面。在这样的实施方式中，由于利用端盖按压节流件保持部件的端面，因而通过端盖可防止节流件保持部件的脱落。
另外，在这样的实施方式中，也可以在所述节流件保持部的端面和所述端盖之间夹持有弹性部件。若在节流件保持部件的端面和端盖之间夹持有弹性部件时，则可利用弹性部件的弹性反作用力将节流件保持部件按压在节流件，能够可靠地保持节流件。
在本发明的流量测定装置的再另一实施方式中，所述流路块通过将彼此分体的主流路部和副流路部组装而构成，在所述主流路部形成所述主流路，在所述副流路部形成所述副流路。根据这样的实施方式，可根据用途更换副流路部。另外，可以将一条流路内具备流量检测元件的市场销售或者已有的流量测定装置用作副流路部。
另外，用于解决本发明的所述课题的方法，具有将进行了所述说明的构成要素进行适当组合的特征，本发明可进行这种构成要素的组合的许多变更。
附图说明
图1(a)及(b)是用于说明直管型流量测定装置的测定原理的概略剖面图；
图2是用于说明旁通流路结构的流量测定装置的测定原理的概略剖面图；
图3是专利文献1所公示的流量测定装置的局部剖面图；
图4是说明专利文献1所公示的流量测定装置的改进例的剖面图；
图5是专利文献2所公示的流量测定装置的概略剖面图；
图6(a)是说明专利文献2所公示的流量测定装置的改进例的概略剖面图，图6(b)是表示图6(a)的流量测定装置所使用的套筒的立体图；
图7是表示使用6个流量测定装置的样品对套筒的通气孔的位置偏移和分流比变化率的关系进行调查的结果的表；
图8(a)及(b)表示示于图7的样品No.1和No.4的结构的概略图；
图9(a)是表示示于图7的样品No.2和No.5的结构的概略图，图9(b)是表示示于图7的样品No.6和No.6的结构的概略图；
图10是本发明第一实施方式的流量测定装置的外观立体图；
图11(a)是第一实施方式的流量测定装置的俯视图，图11(b)是图11(a)的X-X线的剖面图，图11(c)是图11(b)的Y-Y线的剖面图；
图12是第一实施方式的流量测定装置的分解立体图；
图13(a)及(b)是图12所表示的流路块的正面图及背面图；
图14(a)是图13(a)的Z-Z线的剖面图，图14(b)是上述的流路块局部剖面的立体图；
图15(a)、(b)及(c)是表示开口面积互不相同的节流件的正面图，图15(d)是节流件保持衬套的正面图；
图16(a)及(b)是安装了节流件、节流件保持衬套及密封环的流路块的立体图及正面图；
图17(a)及(b)是用于说明流量检测元件的流量检测的原理的概略剖面图；
图18是表示第一实施方式的流量测定装置的变形例的剖面图；
图19为第一实施方式的流量测定装置的另一变形例，是去掉端盖的状态的正面图；
图20(a)为第一实施方式的流量测定装置的另一变形例，是去掉端盖的状态的正面图，图20(b)是用于该变形例的节流件和节流件保持衬套的正面图；
图21(a)是第一实施方式的流量测定装置的再另一变形例的剖面图，图21(b)是图21(a)的W-W线的剖面图；
图22是用于上述的流量测定装置的流路块的立体图；
图23是表示本发明第二实施方式的流量测定装置的剖面图；
图24是第二实施方式的流量测定装置所使用的流路块的局部剖面的立体图；
图25(a)是第二实施方式的流量测定装置所使用的节流件保持衬套的立体图，图25(b)是表示第二实施方式的流量测定装置所使用的节流件保持衬套的立体图；
图26为本发明第三实施方式的流量测定装置，是去掉端盖并在中央剖开的状态的立体图；
图27为第三实施方式的流量测定装置的变形例，是去掉端盖并在中央剖开的状态的立体图；
图28为本发明第四实施方式的流量测定装置，是去掉端盖并在中央剖开的状态的立体图；
图29为本发明第五实施方式的流量测定装置的立体图；
图30为将第五实施方式的流量测定装置的局部分解后的立体图。
附图标记说明
51、91、93～95、101～105：流量测定装置
52：流路块
53：主流路
54：流路壁部
55a：主流路部
55b：副流路部
56：副流路
60：电路基板
61：流量检测元件
63：节流件
64：凸缘
65、65a、65b、65c：节流件保持衬套
66：切口部
72：分流导入流路
72a：分流口
73：分流回收流路
73a：回收口
74：衬套收纳部
75：定位止动部
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的最佳实施方式。但是，本发明不限于下述的实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内可进行各种设计变更。
(第一实施方式)
下面，参照图10～图17说明第一实施方式的流量测定装置。图10是第一实施方式的流量测定装置51的立体图。图11(a)是流量测定装置51的平面图，图11(b)是图11(a)的X-X线的剖面图，图11(c)是图11(b)的Y-Y的线剖面图。图12是流量测定装置51的分解立体图。
如图12所示，流量测定装置51主要由具有主流路53和副流路56的流路块52、具有流量检测元件61的电路基板60、罩62、节流件63、节流件保持衬套65(节流件保持部件)、一对密封环67及一对端盖68构成。
首先，说明图12的流量测定装置51中使用的流路块52的结构。图13(a)、(b)是流路块52的正面图及背面图。图14(a)是图13(a)的Z-Z线的剖面图，图14(b)是在通过分流导入流路72的部位剖开的流路块52的立体图。流路块52将形成有主流路53的主流路部55a和形成有副流路56的副流路部55b一体成型，制成合成树脂成型品。
如图14(a)所示，主流路部55a具有在前后方向贯通的主流路53，在主流路53的轴方向的大致中央部，用于抵接节流件63的做成环状的定位止动部75从主流路53的壁面突出。如图13(a)及图14(b)所示，在定位止动部75的前方，主流路53的内面中去掉上面的区域从应成为主流路53的壁面的面被除去一定的深度，凹设截面C字状的衬套收纳部74(保持部件收纳部)。其结果是，衬套收纳部74自定位止动部75至主流路部55a的前端面为均匀的截面且沿轴方向延伸。另外，残留于主流路53的上部的流路壁部54自定位止动部75至主流路部55a的前端面也为均匀的截面且沿轴方向延伸。如图13(a)及(b)所示，在主流路部55a的前端面及后端面，以包围主流路53的端面开口的方式形成有环状的环保持槽58。在环保持槽58的外侧，在主流路部55a的前端面及后端面的四角分别形成有螺丝孔59。
副流路部55b设置于主流路部55a的上面。如图12及图24(a)、(b)所示，在副流路部55b的大致整体上形成有上面开口的呈浅的盒状外观的副流路形成室57。在副流路形成室57的底部形成有沿前后方向延伸的副流路56，在流路块52内，分流导入流路72和分流回收流路73分别从副流路56的两端朝向主流路53垂直地延伸。分流导入流路72的下端的分流口72a在定位止动部75的前方(即，位于下述的节流件63的前方)在流路壁部54的壁面53a开口。同样，分流回收流路73的下端的回收口73a在定位止动部75的后方在主流路53的顶面开口。
其次，说明图12的流量测定装置51中使用的节流件63和节流件保持衬套65。节流件63在外周的局部具有凸缘64，在中央部具有用于控制气体的流动的开口部76。根据主流路53和副流路56的分流比准备例如图15(a)、(b)及(c)那样的开口部76的面积(开口面积)不同的多种类型的节流件63。在此，所示的节流件63都是在中央部具有圆形的开口部76，但是，作为节流件63，除此以外，也可以是具有蜂窝状多个孔或具有微小的多个孔的多孔质体。但是，下面对使用具有圆形的开口部76的节流件63的情况进行说明。
任意一个节流件63的自开口部76的中心至没有凸缘64的部分的边缘的半径，与流路块52的自主流路53的中心至流路壁部54的壁面53a的半径相等。另外，凸缘64为与流路块52的衬套收纳部74的截面形状相同的形状且为相同的尺寸，节流件63的自开口部76的中心至凸缘64边缘半径与主流路52的自主流路53的中心至衬套收纳部74的半径相等。另外，为了使气体顺畅地通过，而对开口部76的边缘实施了锥形处理。
因此，任意一个节流件63都可以通过使凸缘64与衬套收纳部74对齐而收纳于主流路53内，从流路52的前端面收纳于主流路53的节流件63与定位止动部75抵接而被定位。
节流件保持衬套65为将圆筒形的局部遍及长度方向全长切开的形状，且具有遍及全长的缝隙状的切口部66。节流件保持衬套65的外径与衬套收纳部75的直径相等，节流件保持衬套65的厚度与衬套收纳部74的深度相等。切口部66的宽度与流路壁部54的宽度相等。另外，节流件63的厚度和节流件保持衬套65的长度加在一起等于从定位止动部75的前面至流路块52的前端面的距离。
通过使切口部66与流路壁部54对齐，可使节流件保持衬套65插入衬套收纳部74。由于节流件保持衬套65的做成大致C字状的截面形状与节流件63的凸缘64的形状一致，因此，当将节流件保持衬套65从节流件63的后面插入衬套收纳部74时，如图15(d)所示，节流件保持衬套65的端面与节流件63的凸缘64抵接并推压节流件63。图16(a)及(b)表示这样在主流路53内插入节流件63及节流件保持衬套65的状态。
这样，在将节流件63和节流件保持衬套65安装于主流路53内的状态下，在定位止动部75的前方，由流路壁部54的壁面53a和节流件保持衬套65的内面53c形成主流路53的壁面。前方的主流路53的内径(壁面53a及内面53c的直径)与定位止动部75的后方的主流路53的壁面53b的内径相等。另外，在图示例中，安装了节流件保持衬套65之后的主流路53截面为圆形状，但是主流路53也可以具有多边形状(例如，四边形状、五边形状、六边形状、八边形状等)的截面。
接着，说明副流路部55b。如图12所示，流量检测元件61安装在电路基板60的下面。另一方面，在副流路形成室57的底面、副流路56的上面开口。如图11(b)所示，电路基板60在以流量检测元件61为下的状态下，经由以包围副流路56的开口区域的方式配置的环状的橡胶衬垫(未图示)重叠于副流路形成室57的底面，并利用热铆接及螺丝紧固等装置将电路基板60固定于副流路形成室57。由于电路基板60至少在面向副流路56的开口区域的部分没有孔，因此，副流路56的上面由电路基板60气密性地密闭。另外，流量检测元件61收纳于副流路56中的局部宽度变宽的部分，并被定位于副流路56内的规定位置。其次，副流路部55b的上面用罩62堵塞。
流量检测元件61只要是可测定气体的流速的装置，就不用特别限定其种类。作为流量检测元件61可使用例如具有加热器和热电元件的流量传感器。该流量检测元件61中，如图17(a)所示，通过蚀刻在基板77的上面形成空腔78，在空腔78上覆罩绝缘性薄膜79并通过基板77保持绝缘性薄膜79的边缘。在绝缘性薄膜79的中央部，由多晶硅形成加热器，在加热器80的上游侧和下游侧分别设有热电元件81a、81b。热电元件81a、81b将Al线素和多晶硅线素交互连接并Z字形配置。热电元件81a、81b对于加热器80对称配置，计测加热器80两侧对称的位置的温度。另外，符号82a、82b为加热器80及热电元件81a、81b的电极焊盘。
在测定时，加热器80按规定的温度发热，在加热器80的周围产生规定的温度分布α(温度梯度)。由于热电元件81a、81b为对称的配置，因此，如图17(a)所示在气体不流经加热器80上的情况下，两热电元件81a、81b的检测温度相等，温度差为零。与此相对，如图17(b)所示，在加热器80上产生气体的流动(用箭头表示)时，由于加热器80的热量向下游侧输送且温度分布α向下游侧移动，因此，下游侧的热电元件81b的检测温度上升，上游侧的热电元件81a的检测温度下降，可根据两热电元件81a、81b的检测温度的温度差计算出气体的流速。
然后，如图16(a)及(b)所示，在将密封环67嵌入到环保持槽58后，在流路块52的两端面分别安装端盖68，将穿过四角的通孔70的螺栓71紧固于流路块52的螺丝孔59，而将端盖68固定于流路块52。其结果是，密封环67在端盖68的背面和流路块52的端面之间受到挤压，确保了流路块52的端面和端盖68之间的气密性。另外，通过利用端盖68推压节流件保持衬套65端，可使节流件保持衬套65的另一端推压节流件63。端盖68的连接孔69为连接输送气体的导管等的部分，并与主流路53连通。这样组装而成的流量测定装置51示于图10及图11。流量测定装置51的尺寸例如为长80mm、宽30mm、高35mm。
在这样构成的流量测定装置51中，如图11(b)中箭头所示，当从连接孔69向主流路53内流入气体时，因该气体通过节流件63时的阻力而在节流件63的前后产生压力差。由于该压力差而使在主流路53流动的气体的一部分通过分流导入流路72向副流路56分流，通过副流路56的气体通过分流回收流路73再次回收到主流路53。而且，在分流后的气体流经副流路56时，通过流量检测元件61测定流经副流路56的气体的流量，基于流经主流路53的气体的流量和流经副流路56的气体的流量的分流比计算出总流量。另外，该流量测定装置51中，可以从前面侧导入气体，也可以从背面侧导入气体，可以双方向使用。
根据这样的旁通结构，在大流量测定用的流量测定装置51的情况下，可以缩小主流路53的流路截面积，可使流量测定装置51小型化。另外，在该流量测定装置51中，可以根据要测定的流量范围，通过变更为例如图15(a)～(c)那样的开口面积不同的节流件63来变更主流路53和副流路56的分流比，可以进行调整以使副流路56的气体的流速收于流量检测元件61的可测定范围(输出为线形的范围)，因此，可根据客户要求及用途提供各种流量范围的流量测定装置，而且，可使节流件63以外的零件即流路块52等零件通用化，也可降低流量测定装置51的制造成本。
另外，在这样的构造的流量测定装置51中，不会使节流件保持衬套65重叠于与副流路56连接的分流口72a，或者使分流口72a和节流件保持衬套65干扰。而且，主流路53的壁面由流路壁面54的壁面53a和节流件保持衬套65的内面53c构成没有凹凸的光滑的面(在图实例为圆筒面)。因此，维持了流经主流路53内的气体流动的稳定性，易于将流经主流路53的流量和流经副流路56的流量的分流比保持在恒定，可以提高流量测定装置51的流量的测定精度。
(第一实施方式的变形例)
图18是表示第一实施方式的变形例的剖面图。该流量测定装置91中，与第一实施方式的情况相比较，使节流件保持衬套65和流路壁部54的长度缩短若干，使节流件保持衬套65的端面和流路壁部54的端面比主流路55a的前端面缩回若干。而且，在节流件保持衬套65的端面及流路壁部54的端面和端盖68的背面之间夹持有O型环等弹性部件92，并压紧弹性部件92。根据这样的变形例，可利用弹性部件92的弹性反作用力将节流件保持衬套65推压到节流件63，因此，可牢固地保持节流件63。
另外，也可以在节流件保持衬套65及流路壁部54的各端面和端盖68的背面之间与弹性部件92一起夹持除尘用的网(未图示)等。
图19所示的为第一实施方式的另一变形例，是去掉了端盖68的状态的正面图。该变形例的流量测定装置93中，使节流件保持衬套65形成为截面半圆状，与此相对应，也将节流件63的凸缘64及衬套收纳部74形成为半圆状。在节流件63由金属等制作且具有刚性的情况下，由于只要用节流件保持衬套65推压节流件63的局部即可，因此，即使缩小节流件保持衬套65的截面也没关系。
图20(a)、(b)所示的变形例(流量测定装置94)使节流件保持衬套65的截面积和凸缘64进一步缩小。即，如图20(b)所示，在节流件63的两侧设有突起状的凸缘64(突起)，两个节流件保持衬套65以使截面形状成为与凸缘64的形状相同的棒状的方式而形成。另外，在主流路53的两侧面槽状地形成有与凸缘64的形状相同的截面的衬套收纳部74。而且，如图20(a)所示，将凸缘64嵌入衬套收纳部74并将节流件63收纳于主流路53内之后，在左右衬套收纳部74分别插入节流件保持衬套65以保持节流件63。另外，将节流件保持衬套65及衬套收纳部74的截面形状做成使节流件保持衬套65不从衬套收纳部74拔出脱落到主流路53内的那样的形状。
在图19及图20所示的变形例中，由于缩小了节流件保持衬套65的截面积，因此，可扩大节流件保持衬套65和流路壁部64的各边缘彼此的交界及分流口72a的距离。因此，即使在节流件保持衬套65和流路壁部54的各边缘彼此的交界的气体的流动产生湍流，也难以对流入分流口72a的气体带来影响，从而可使分流比稳定。
图21(a)是表示第一实施方式的另一变形例的流量测定装置95的剖面图，图21(b)是图21(a)的W-W线的剖面图。另外，图22是表示流量测定装置95的流路块52的立体图。在该变形例中，下端的分流口72a在流路壁部54的壁面53a形成开口，且垂直地形成有两个分流导入流路72。在副流路形成室57的底面，以连接左右分流导入流路72的上端间的方式水平地设置合流流路96。同样，以连接左右分流回收流路73的上端间的方式水平地设置分散流路97。此外，以连接合流流路96的中央和分散流路97的中央的方式设置副流路56。
在该流量测定装置95中，流经主流路53的气体的一部分从两个部位的分流口72a通过分流导入流路72流入合流流路96，从两端流入合流流路96的气体从其中央部被送入副流路56，在通过副流路56时由流量检测元件61测定流量。而且，通过副流路56的气体流入分散流路97且被左右分开，通过分流回收流路73，再次从回收口73a返回到主流路53，与通过主流路53的气体一起流动。
因此，根据这样的结构，可将从两个部位的分流口72a分流的气体汇集到一条副流路56，将流速分布的偏差进行平均化之后，由流量检测元件61测定气体的流速。因此，可使副流路56的流量稳定，可提高流量的测定精度。
另外，由于副流路部55b的结构无特别限制，因而除图21及图22所示的之外，也可以是专利文献1及(日本)特愿2008-222992所公示的结构。
(第二实施方式)
图23是表示本发明第二实施方式的流量测定装置101的剖面图。图24是用于流量测定装置101的流路块52的局部剖面的立体图。图25(a)是用于流量测定装置101的节流件保持衬套65的立体图。
如图25(a)所示，在该流量测定装置101中，切口部66不是贯穿节流件保持衬套65的全长而形成，而是使切口部66的长度比节流件保持衬套65的长度短。另一方面，如图24所示，在流路块52的主流路53内，留有形状及尺寸与切口部66一致的流路壁部54，在此之外的区域形成有衬套收纳部74a。分流口72a在流路壁部54形成开口，在流路壁部54的边缘和分流口72a之间确保有足够的距离以对分流比不产生影响。通过这样的实施方式中，也可以实现与第一实施方式的流量测定装置51同样的作用效果。
另外，如图25(b)所示，在该实施方式所使用的节流件保持衬套65也可以分为：具有缝隙状的切口部66的节流件保持衬套65a、和圆筒状的节流件保持衬套65b。
(第三实施方式)
图26为本发明第三实施方式的流量测定装置102的局部剖面的立体图。在该实施方式中，如以下进行说明的那样，主流路53的后部(回收口73a开口的一侧)也采用与前部(分流口72a形成开口的一侧)一样的结构。在流量测定装置102中，主流路53内不设置定位止动部75，从主流路部55a的前端面到后端面形成有流路壁部54和衬套收纳部74。因此，收纳节流件63等之前的主流路从主流路部55a的前端面到后端面成为均匀的截面形状。
在衬套收纳部74的后部插有一节流件保持衬套65，在其前面插入有节流件63，在节流件63的前方，在节流件收纳部74插有另一节流件保持衬套65。一节流件保持衬套65的长度和节流件63的厚度及另一节流件保持衬套65的长度的合计尺寸与主流路部55a的前端面和后端面的距离相等(或者，在将弹性部件92插入节流件保持衬套65的端面的情况下，上述合计尺寸比主流路55a的前端面和后端面的距离短若干)，通过在流路块52的两面安装端盖68，将节流件63夹持在节流件保持衬套65间并定位保持。
根据这种结构的流量测定装置102，在将前后的节流件保持衬套65的长度之和保持为恒定的状态下，通过改变各节流件保持衬套65的长度，可使节流件63的位置发生变化，由此，可调整分流比。
(第三实施方式的变形例)
图27为表示第三实施方式的变形例的局部剖面的立体图。在该流量测定装置103中，分别由长度短的多个节流件保持衬套65c形成前后节流件保持衬套65。这些节流件保持衬套65c优选使用相同长度。
根据这样的变形例，可根据各节流件保持衬套65c之间的间隙中在哪个间隙夹持节流件63来自由改变节流件63的位置，由此，可调整分流比。另外，也可以在节流件保持衬套65c间夹持气体整流板等。
(第四实施方式)
图28为本发明第四实施方式的流量测定装置104局部剖面的立体图。在图28的流量测定装置104中，通过加长节流件63的长度来扩大流体阻力。在流体阻力发生变化时，只要使节流件63的开口面积发生变化即可，但如本实施方式，通过改变节流件63的长度也可使流体阻力发生变化，可调整分流比。
在使节流件63的长度发生变化的情况下，据此只要使如第一实施方式那样的结构的节流件保持衬套65的长度发生变化，或者使如第三实施方式那样的结构的前后节流件保持衬套65的长度发生变化，或者在如第三实施方式的变形例那样的结构中增减前部或者后部的节流件保持衬套65c的个数即可。
(第五实施方式)
图29为本发明第五实施方式的流量测定装置105的立体图。图30为将流量测定装置105局部分解后的立体图。在该流量测定装置105中，分别形成构成流路块52的主流路部55a和副流路部55b。在主流路部55a的上面设有用于嵌入副流路部55b的下端部并对其定位的凹部106，在凹部106内使分流导入流路72的上端和分流回收流路73的上端开口。副流路部55b使用市场销售或者已有的流量测定装置。在副流路部55b的内部设有副流路56(市场销售或者已有的流量测定装置的流路)和流量检测元件61，副流路56的两端在副流路部55b的下面开口。
在组装主流路部55a和副流路部66b时，在分流导入流路72及分流回收流路73的上端开口的周围分别放入O型环，将副流路55b的下端部嵌入凹部106并对其进行定位，而且，将副流路56的下面开口分别与分流导入流路72和分流回收流路73连接。而且，利用螺栓将副流路部55b固定于主流路部55a的上面。
根据这样的实施方式，可利用市场销售或者已有的流量测定装置制作旁通型流量测定装置。
(其它的实施方式)
在第一实施方式及第二实施方式等中，在分流口72a形成开口的一侧(前部)在主流路53设有流路壁部54及衬套收纳部74，并通过从前方插入衬套收纳部74的节流件保持衬套65来抑制收纳于主流路53的节流件63。与此相反，也可以在回收口73a的开口的一侧(后部)在主流路53设置流路壁部54及衬套收纳部74，通过从后方插入衬套收纳部74的节流件保持衬套65来抑制收纳于主流路53的节流件63。
另外，也可对连接孔69实施螺纹加工。
产业上的可利用性
本发明的流量测定装置用于测定气体的流量，其应用领域广泛。例如在气量计及燃料电池中可用于测定气体流量的用途。另外，还可以应用于对睡眠时无呼吸症候群的治疗仪器等医疗设备、工厂的监视空气流量的工业设备(工业用空气管线)、设备组装用途等。

Claims (10)

1.一种流量测定装置，具备：流路块，其具有两端开口的主流路和从所述主流路分支的副流路；流量测定元件，其设置于所述副流路；分流口及回收口，其在所述主流路的壁面开口且与所述副流路连通，
将流到所述主流路的气体的一部分从所述分流口向所述副流路分流，使通过所述副流路的气体从所述回收口返回到所述主流路，其特征在于，
在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，在除了含有所述分流口的区域和含有所述回收口的区域以外的区域，凹设有保持部件收纳部，
在所述主流路内收纳有节流件，
嵌入所述保持部件收纳部的节流件保持部件通过与所述节流件抵接而保持所述节流件，
所述主流路的壁面由所述主流路中形成有所述保持部件收纳部的区域以外的壁面和所述节流件保持部件的内面构成。
2.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面突设有定位止动部，通过使所述节流件抵接于所述定位止动部进行定位，在所述节流件保持部件的端面和所述定位止动部之间夹持并保持所述节流件。
3.如权利要求2所述的流量测定装置，其特征在于，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，从所述定位止动部朝向所述流路块的一端面凹设有均匀的截面形状的保持部件收纳部，在所述节流件保持部件上贯穿其长度方向的全长而形成有切口部，以在所述节流件保持部件的切口部收纳所述主流路中的形成所述保持部件收纳部的区域以外的壁面的方式，将所述节流件保持部件插入所述保持部件收纳部。
4.如权利要求2所述的流量测定装置，其特征在于，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面，从所述定位止动部朝向所述流路块的一端面设有均匀的截面形状的保持部件收纳部，在所述节流件保持部件上贯穿其长度方向的一部分而形成有切口部，以在所述节流件保持部件的切口部收纳所述主流路中的形成所述保持部件收纳部的区域以外的壁面的方式，将所述节流件保持部件插入所述保持部件收纳部。
5.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，在所述流路块的作为所述主流路的空间的周面设有槽状的保持部件收纳部，在所述节流件的外周面设有突起，在所述保持部件收纳部嵌入所述突起并将所述节流件收纳于所述主流路内，通过插入到所述保持部件收纳部的棒状的所述节流件保持部件保持所述节流件。
6.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，利用从所述主流路的一开口嵌入到所述保持部件收纳部的所述节流件保持部件、和从所述主流路的另一开口嵌入到所述保持部件收纳部的另一所述节流件保持部件，夹持并保持收纳于所述主流路内的节流件。
7.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，所述节流件保持部件由多个节流件保持部件构成。
8.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，通过安装于所述流路块的端面的端盖按压所述节流件保持部件的端面。
9.如权利要求8所述的流量测定装置，其特征在于，在所述节流件保持部件的端面和所述端盖之间夹持有弹性部件。
10.如权利要求1所述的流量测定装置，其特征在于，所述流路块通过将彼此分体的主流路部和副流路部组装而构成，在所述主流路部形成所述主流路，在所述副流路部形成所述副流路。
CN201010125042XA 2009-07-01 2010-03-01 流量测定装置 Active CN101943590B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP157205/09 2009-07-01
JP2009157205A JP5272930B2 (ja) 2009-07-01 2009-07-01 流量測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101943590A CN101943590A (zh) 2011-01-12
CN101943590B true CN101943590B (zh) 2012-08-29

Family

ID=42782056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010125042XA Active CN101943590B (zh) 2009-07-01 2010-03-01 流量测定装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7866208B1 (zh)
EP (1) EP2270441B1 (zh)
JP (1) JP5272930B2 (zh)
KR (1) KR101148736B1 (zh)
CN (1) CN101943590B (zh)
CA (1) CA2693647C (zh)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5062106B2 (ja) * 2008-09-01 2012-10-31 オムロン株式会社 流量測定装置
US8656772B2 (en) 2010-03-22 2014-02-25 Honeywell International Inc. Flow sensor with pressure output signal
US8397586B2 (en) 2010-03-22 2013-03-19 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly with porous insert
US8113046B2 (en) 2010-03-22 2012-02-14 Honeywell International Inc. Sensor assembly with hydrophobic filter
US8756990B2 (en) 2010-04-09 2014-06-24 Honeywell International Inc. Molded flow restrictor
US9003877B2 (en) 2010-06-15 2015-04-14 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly
US8418549B2 (en) * 2011-01-31 2013-04-16 Honeywell International Inc. Flow sensor assembly with integral bypass channel
US8695417B2 (en) 2011-01-31 2014-04-15 Honeywell International Inc. Flow sensor with enhanced flow range capability
US9354095B2 (en) * 2012-10-02 2016-05-31 Honeywell International Inc. Modular flow sensor
US9052217B2 (en) 2012-11-09 2015-06-09 Honeywell International Inc. Variable scale sensor
DE102013202850A1 (de) * 2013-02-21 2014-08-21 Landis+Gyr Gmbh Durchflussmesser mit einem Schallwandler umfassenden Messeinsatz
DE102013202852A1 (de) * 2013-02-21 2014-08-21 Landis+Gyr Gmbh Durchflussmesser mit einem in ein Gehäuse einsetzbaren Messeinsatz
JP5904959B2 (ja) * 2013-03-08 2016-04-20 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式空気流量計
US10760934B2 (en) 2014-12-05 2020-09-01 Natural Gas Solutions North America, Llc Using localized flow characteristics on electronic flow meter to quantify volumetric flow
US20160161307A1 (en) 2014-12-05 2016-06-09 General Electric Company System and method for metering gas
AT516622B1 (de) * 2015-03-24 2016-07-15 Avl List Gmbh System zur Messung von zeitlich aufgelösten Durchflussvorgängen von Fluiden
US9952079B2 (en) 2015-07-15 2018-04-24 Honeywell International Inc. Flow sensor
CN106123982A (zh) * 2016-06-14 2016-11-16 广州市唯量工控技术有限公司 一种微量精密电子式气体质量流量计
CN109073432B (zh) * 2016-06-24 2021-01-29 日立汽车系统株式会社 热式流量计
CN110958855B (zh) * 2017-07-26 2023-11-14 西普拉有限公司 用于肺活量计的流量感测装置及其方法
JP7005856B2 (ja) * 2017-11-20 2022-01-24 ミネベアミツミ株式会社 気流測定装置、及びこれを用いた環境測定装置
JP7087811B2 (ja) * 2018-08-10 2022-06-21 オムロン株式会社 流量測定装置、及び流量測定装置を適用した配管設備
BR102018067660A2 (pt) * 2018-09-03 2020-03-17 Salvus Tecnologia Ltda - Epp Dispositivo para medição de fluxo por diferença de pressão para gases
CN113841029A (zh) * 2019-06-13 2021-12-24 日立安斯泰莫株式会社 流量测量装置
US11391221B2 (en) 2020-12-16 2022-07-19 Hamilton Sundstrand Corporation Mass flow metering method and system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001075400A1 (en) * 2000-03-30 2001-10-11 Mks Instruments, Inc. Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor
JP3977773B2 (ja) * 2003-05-26 2007-09-19 シーケーディ株式会社 流量制御装置
CN101194145A (zh) * 2005-05-02 2008-06-04 欧姆龙株式会社 流速测量装置
CN101354273A (zh) * 2008-07-17 2009-01-28 美新半导体（无锡）有限公司 复合式气体流量测量方法及其装置

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2085184B1 (zh) * 1970-01-08 1973-07-13 Lafitte Rene
US4393722A (en) * 1981-06-15 1983-07-19 Scott Marvin D Flow measuring device
US4648270A (en) * 1984-02-22 1987-03-10 Sirris Flow Technology, Inc. Mass flowmeter
JPS6172636U (zh) * 1984-10-18 1986-05-17
US4858643A (en) * 1988-03-14 1989-08-22 Unit Instruments, Inc. Fluid flow stabilizing apparatus
EP0547595B1 (en) * 1991-12-19 2001-07-25 Denso Corporation Flow meter
JPH0774750A (ja) * 1993-09-01 1995-03-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 無線通信装置
GB9912561D0 (en) 1999-05-28 1999-07-28 Fusion Meters Ltd Meter
US6928865B2 (en) * 2002-05-29 2005-08-16 Ckd Corporation Thermal flowmeter having a laminate structure
US6886401B2 (en) * 2003-02-26 2005-05-03 Ckd Corporation Thermal flow sensor having sensor and bypass passages
KR101060137B1 (ko) * 2003-07-14 2011-08-29 로베르트 보쉬 게엠베하 관 내에 흐르는 매체의 적어도 하나의 파라미터를 결정하기위한 장치
JP2008222992A (ja) 2007-03-16 2008-09-25 Fujifilm Corp 膜形成用組成物、絶縁膜及び電子デバイス
US20080250854A1 (en) * 2007-04-12 2008-10-16 Junhua Ding Mass flow device using a flow equalizer for improving the output response

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001075400A1 (en) * 2000-03-30 2001-10-11 Mks Instruments, Inc. Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor
JP3977773B2 (ja) * 2003-05-26 2007-09-19 シーケーディ株式会社 流量制御装置
CN101194145A (zh) * 2005-05-02 2008-06-04 欧姆龙株式会社 流速测量装置
CN101354273A (zh) * 2008-07-17 2009-01-28 美新半导体（无锡）有限公司 复合式气体流量测量方法及其装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR101148736B1 (ko) 2012-05-24
US20110000312A1 (en) 2011-01-06
EP2270441A3 (en) 2013-12-18
EP2270441B1 (en) 2014-10-15
CA2693647C (en) 2012-08-21
EP2270441A2 (en) 2011-01-05
CA2693647A1 (en) 2011-01-01
CN101943590A (zh) 2011-01-12
JP2011013089A (ja) 2011-01-20
JP5272930B2 (ja) 2013-08-28
KR20110002411A (ko) 2011-01-07
US7866208B1 (en) 2011-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101943590B (zh) 流量测定装置
US9581480B2 (en) Micro flow sensor
CN100424477C (zh) 利用流体加速测量流体特性的装置和方法
US7454984B1 (en) Flow meter for measuring a flow rate of a flow of a fluid
CN100424476C (zh) 阀组件
US7270143B2 (en) Offset variable-orifice flow sensor
US9568112B2 (en) Flow control device
CN102288232A (zh) 模制限流器
IT201600079436A1 (it) Valvola di bilanciamento per la regolazione della distribuzione di fluidi in condotti multipli
CN104121387A (zh) 球阀
US9534942B2 (en) Variable orifice flow sensor utilizing localized contact force
CN109855691A (zh) 一种差分式层流流量测量方法及装置
EP3132233B1 (en) Flow meter
CN103674136A (zh) 热式流量计
CN101178321A (zh) 一种可转动的多参数气体采集装置
CN205991821U (zh) 双比值法湿气液相含率测量装置
CN108088510A (zh) 热质量流量计
Stewart et al. Derivation of an expansibility factor for the V-Cone meter
JP6249934B2 (ja) 差圧流量計
CN107830902A (zh) 一种气体流量计
CN213748921U (zh) 一种用于压差检漏标定的标准漏孔
JPS5928326Y2 (ja) 差圧流量計
CN208254701U (zh) 一种新型高精度整体喷嘴装置
KR200259845Y1 (ko) 유량측정엘레멘트
Ishibashi et al. Boundary Layer Transition in High Precision Critical Nozzles of Various Shapes

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant