JP2011524259A - レーザ加工システムにおける後方反射の低減法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図3
Description
Claims (20)
- 後方反射を低減するか、または実質的に阻止するレーザ加工システムであって、
入射レーザビームを発生するレーザ源と、
前記入射レーザビームを加工表面に向けるレーザビーム出力部と、
前記加工表面とほぼ垂直である第1の伝播軸に沿って前記入射レーザビームを受光するレンズと、を含み、
前記レンズは、前記第1の伝播軸とほぼ平行であって、且つその伝播軸から偏位されている主軸を含み、
前記レンズが、前記入射レーザビームを前記加工表面とは直角ではない角度を成す第2の伝播軸に沿って、前記加工表面に集束させて、前記加工表面からの反射レーザビームの少なくとも大部分が前記レーザビーム出力部に戻らないように構成される、システム。 - 前記レーザビーム出力部と前記加工表面との間に配置されるビーム制止手段をさらに含み、前記反射レーザビームの別の部分が経路に沿って前記レーザビーム出力部へ戻ることができないようにする、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビーム制止手段が、前記レーザビーム出力部と前記レンズとの間に配置され、
前記ビーム制止手段が、前記入射レーザビームの前記第1の伝播軸をほぼ中心とする開口を含み、
前記開口は、前記入射レーザビームの直径にほぼ等しいかまたはより大きく、前記入射レーザビームが前記レーザビーム出力部から前記レンズに通過可能である、請求項2に記載のシステム。 - 前記レーザビーム出力部と前記レンズとの間に配置される第2のビーム位置決め装置をさらに含み、前記入射レーザビームを前記レンズに亘って走査する、請求項1に記載のシステム。
- 前記第2のビーム位置決め装置は、前記レンズに関して第1の位置から第2の位置に前記入射レーザビームの経路を変更し、
焦点面が前記加工表面とほぼ平行であるように、前記レンズから前記加工表面への前記入射レーザビームの経路が、前記第1の位置と前記第2の位置との間でほぼ一定のままである、請求項4に記載のシステム。 - 前記第2のビーム位置決め装置が一対の検流計駆動のミラーを含む、請求項4に記載のシステム。
- 前記レーザ源が、ファイバーレーザを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記レーザビーム出力部が、光ファイバーを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記レーザビーム出力部と前記レンズとの間に配置されるコリメータをさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記レンズの主軸と前記入射ビームの前記第1の伝播軸との間の偏位量が前記入射レーザビームの直径のほぼ半分以上である、請求項1に記載のシステム。
- レーザによって加工物を加工する方法であって、
入射レーザビーム発生することと、
前記入射レーザビームを第1の伝播軸に沿ってレンズに伝播させることと、
前記レンズによって、前記入射レーザビームの経路を前記第1の伝播軸から第2の伝播軸に変更することと、を含み、
前記第2の伝播軸が、加工表面とは直角ではない角度を成す、方法。 - 前記入射レーザビームの前記経路を変えることは、前記第1の伝播軸に対して、前記レーザビームの主軸を偏位させて位置付けることを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記レンズの主軸と前記入射ビームの前記第1の伝播軸との間の偏位量が、前記入射レーザビームの直径のほぼ半分以上である、請求項12に記載の方法。
- 少なくとも反射ビームの一部が、前記第1の伝播軸に沿って伝播できないようにすることをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記入射レーザビームを、前記第1の伝播軸を中心とする開口を通すことをさらに含み、
前記開口が、前記入射ビームの直径にほぼ等しいか、またはより大きい、請求項14に記載の方法。 - 走査の間、前記集束手段と前記加工表面との間のビーム経路長をほぼ同じに維持するために、第2のビーム位置決め装置を使用して、前記レンズに亘って前記入射ビームを走査することをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記入射レーザビームが前記第1の伝播軸に沿って伝播するときに、前記入射レーザビームを実質的に視準する、請求項11に記載の方法。
- レーザ加工システムは、
入射レーザビームを発生する発生手段と、
前記入射レーザビームを加工表面に向ける出力手段と、
前記入射レーザビームを前記加工表面に集束させる集束手段と、を含み、
前記集束手段は、前記加工表面に対してほぼ垂直である第1の伝播軸を含み、
前記入射レーザビームを、前記第1の伝播軸から、前記加工表面に対して垂直でない第2の伝播軸に向け直すために、前記集束手段の主軸が前記第1の伝播軸から偏位されている、レーザ加工システム。 - 前記入射ビームが、前記出力手段から前記集束手段に通過できるようにし、且つ少なくとも反射ビームの一部が前記集束手段から前記出力手段に通過できないようにする開口手段をさらに含む、請求項18に記載のシステム。
- 走査の間、前記集束手段と前記加工表面との間のビーム経路長をほぼ同じに維持するために、前記入射ビームを前記集束手段に亘って走査するビーム位置決め手段をさらに含む、請求項19に記載のシステム。
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