JP2011509168A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- 以下の工程を有する、燃料ガスを含むガス流の処理方法：
複数のポンプ段階を有する真空ポンプ配列を介して前記ガス流を運ぶ工程；及び
最後のポンプ段階の直前若しくは直後に、前記ガス流にガス状の酸化剤を加えて前記燃料ガスを酸化させる工程。 - 前記真空ポンプ配列が、少なくとも１つのポンプ段階を有する二次真空ポンプと、二次真空ポンプの下流に設置され且つ最後のポンプ段階を有する一次真空ポンプとを有し、前記酸化剤が前記ガス流に加えられ、前記燃料ガスが前記一次ポンプのすぐ上流で酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記ガス流が２０〜９００ｍｂａｒの範囲内の圧力にあるときに、前記酸化剤がガス流に加えられ、前記燃料ガスが酸化されることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
- 前記真空ポンプ配列が複数のポンプ段階を有する真空ポンプを有し、該複数のポンプ段階が前記最後のポンプ段階を有し、前記酸化剤が前記ガス流に加えられ、前記燃料ガスが前記真空ポンプのすぐ下流で酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記ガス流が９００〜１２００ｍｂａｒの範囲内の圧力にあるときに、前記酸化剤がガス流に加えられ、前記燃料ガスが酸化されることを特徴とする、請求項２に記載の方法。
- 前記燃料ガスが、炭化水素、ＳｉＨ4、ＣＯ、Ｈ2、ＮＨ3及びオルトケイ酸テトラエチルの１つを含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記炭化水素がＣ2Ｈ2、Ｃ2Ｈ4、Ｃ10Ｈ16及びＣ3Ｈ6の１つを含むことを特徴とする、請求項６に記載の方法。
- 前記酸化剤が酸素を含むことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記酸化剤が、空気の流れの中で前記ガス流に供給されることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
- 前記燃料ガスがパイロットバーナーを用いて酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記燃料ガスが酸化触媒を用いて酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記燃料ガスが加熱された装置の中で酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記燃料ガスがプラズマ低減装置の中で酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記燃料ガスが熱分解装置を有する装置の中で酸化されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
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