JP2011506937A - 基板上のピクセルウェル内の堆積インクを、ラインスキャンカメラを使用して測定する方法及び装置 - Google Patents
基板上のピクセルウェル内の堆積インクを、ラインスキャンカメラを使用して測定する方法及び装置 Download PDFInfo
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Abstract
基板内の堆積インクを測定するシステム及び方法が提供される。本発明は、光を、基板上の堆積インクを透過させるように構成された光源と、CCDセンサアレイを有するカメラとを含み、前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。多数の他の態様が提供される。
Description
本出願は、次の米国仮特許出願に基づく優先権を主張するものであり、この米国仮特許出願は、本明細書において参照されることにより、当該出願の内容全体が本明細書に組み込まれる:
2007年12月6日に出願され、かつ「基板内の堆積インクを、ラインスキャンカメラを使用して測定する方法及び装置」と題する米国仮特許出願第61/012,048号(代理人整理番号第12812/L号)。
2007年12月6日に出願され、かつ「基板内の堆積インクを、ラインスキャンカメラを使用して測定する方法及び装置」と題する米国仮特許出願第61/012,048号(代理人整理番号第12812/L号)。
関連出願の相互参照
本出願は、2007年12月6日に出願され、かつ「基板上に堆積したインクを透過する光透過率の測定を向上させるシステム及び方法」と題する米国仮特許出願第61/012052号(代理人整理番号第12767/L号);
2008年12月6日に出願され、かつ「基板上に堆積したインクを透過する光透過率の測定を向上させるシステム及び方法」と題する米国特許出願第 号(代理人整理番号第12767号);及び
2007年6月5日に出願され、かつ「インクジェットプリントヘッドノズルを、堆積インクを透過させて測定される光透過率を使用して校正するシステム及び方法」と題する米国特許出願第11/758,631号(代理人整理番号第11129号)
に関する。
本出願は、2007年12月6日に出願され、かつ「基板上に堆積したインクを透過する光透過率の測定を向上させるシステム及び方法」と題する米国仮特許出願第61/012052号(代理人整理番号第12767/L号);
2008年12月6日に出願され、かつ「基板上に堆積したインクを透過する光透過率の測定を向上させるシステム及び方法」と題する米国特許出願第 号(代理人整理番号第12767号);及び
2007年6月5日に出願され、かつ「インクジェットプリントヘッドノズルを、堆積インクを透過させて測定される光透過率を使用して校正するシステム及び方法」と題する米国特許出願第11/758,631号(代理人整理番号第11129号)
に関する。
これらの特許出願の各特許出願は、本明細書において参照されることにより、当該各出願の内容全体が本明細書に組み込まれる。
発明は概して、インクジェットシステムに関し、特に、堆積インクを測定する方法及び装置に関する。
フラットパネルディスプレイ(Flat Panel Displays:FPDs)には多くの場合、インクが堆積したインクウェルを有する基板が使用される。インクウェル内の堆積インクは、インクウェルを透過する光を画像表示の一部として選択的に通す。例えば、赤色インクウェルは、当該インクウェルを透過する白色光を赤色にする赤色インクを堆積することができる。インクが堆積したインクウェル(ピクセルと総称される)を、他のピクセル群と組み合わせて使用することにより、画像群をディスプレイ上に形成することができる。
表示される画像群は、基板に堆積したインクの量によって望ましくない影響を受ける可能性がある。例えば、1つのピクセルに非常に多量のインクを堆積させる場合、基板(例えば、カラーフィルタ)を透過する光の色は、所望の色よりも濃い色合いの赤色となる可能性がある。逆に、インクウェルに堆積するインクの量が非常に少ない場合、当該色は、より淡い色に見える可能性がある(例えば、薄い色、色あせた色など)。従って、ディスプレイの一部分は、ディスプレイの他の部分とは異なる色を表示する可能性がある。透過光の特性は、光色特性(light color properties)と表記することができる。
インクジェットシステムを用いて、インクをインクウェルに堆積させることができる。インクジェットシステムでは、インクをインクウェルに液滴として堆積させるインクジェットプリントヘッドを用いる。液滴は通常、容積制御される。すなわち、プリントヘッドは、インクウェルに堆積する各インク液滴に含まれるインクの容積を制御するデバイスを含む。幾つかの場合においては、所望量のインクをインクウェルに正確に堆積させることは難しい。従って、インクウェルに堆積するインク量を正確に決定する必要がある。
本発明の幾つかの態様では、インク厚測定システムは、光を、基板上の堆積インクを透過させるように構成される光源と、電荷結合素子(以後、「CCD」と表記する)センサを有するラインスキャンカメラとを含み、前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。
本発明の他の幾つかの態様では、インクジェットプリンティングシステムは、基板を支持するように構成された可動ステージと;インクを前記基板上に堆積するように構成された複数のプリントヘッドを支持するように構成された印刷ブリッジと;前記可動ステージの上方または下方のうちの一方に配置され、かつ光を、前記基板上に堆積された前記インクを透過させるように構成された光源と;前記印刷ブリッジで支持され、かつセンサアレイを含むカメラと、を含む。前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。前記センサアレイの複数列の一部の列はそれぞれ、選択ラインの前記堆積インクを連続的にスキャンするように構成される。
本発明の他の幾つかの態様では、1つの方法が提供され、前記方法では、光を、基板上の堆積インクを透過させ;前記透過光を、センサアレイを含むカメラで受信し;前記センサアレイの1セットの複数列を選択し;そして前記堆積インクを透過する光透過率を、前記堆積インク上の1つの選択ラインの上方に位置する、前記センサアレイの前記選択した1セットの複数列のうち1列を使用して測定する。
本発明の他の特徴及び態様は、以下の詳細な説明、添付の請求項、及び添付の図面から更に完全な形で明らかになる。
本発明に従って提供される方法及び装置では、基板上にピクセルウェルに向けて噴射される、または堆積するインクを正確に測定する。本発明に従って提供される幾つかの実施形態では、インクウェル(インクピクセル)内の堆積インクを透過し、かつCCDカメラアレイが受信する光を測定することができ、そして堆積インクの厚さに直接関連付けることができるこの測定値を使用して、堆積インクの厚さ、及びピクセルウェルに堆積したインクの量を求めることができる。同じ実施形態では、または別の実施形態では、CCDカメラアレイのCCDセンサ群の一部(例えば、CCDアレイの中心に位置する比較的狭い列のセンサ群)を選択して、透過光を、少ない個数の選択CCDセンサのみを使用して測定することができるようにする。従って、堆積インクは、より小さい光変動(例えば、より安定した光強度)を受けるカメラピクセル群で測定することができるので、測定の精度を高めることができる。幾つかの実施形態では、同じインクウェルを透過する光は、異なる列のCCDセンサ群により繰り返し測定することができ、そしてこれらの測定値をまとめて積分することにより、インクウェルを透過する光透過率を、より正確に測定することができる。この時間遅延積分型測定は、カメラ(及び光源)または基板(可動ステージ上に支持される)を移動させるとともに、インクウェルの単一スポットを透過する光透過率を、異なる列のCCDセンサ群で測定し、そして測定結果を、光透過率を続けて測定するために使用される次の列に1つずつ累積的にシフトすることにより行なうことができる。本発明のこれらの態様、及び他の態様について、図1〜6を参照しながら以下に説明する。
図1は、本発明に従って提供される堆積インク測定システム100の第1の例示的な実施形態の側部断面図を示している。測定システム100は、基板104上の堆積インク102を透過光106で測定する。透過光106は、光源108からカメラ110に、堆積インク102及び基板104を通って透過することができる。カメラ110は、透過光106を受信するCCDアレイ112を有することができる。カメラ110は、透過光106を信号群(例えば、デジタル信号群)に変換し、これらの信号を使用して、堆積インク102の厚さを、以下に更に詳細に説明するように計算することができる。
幾つかの実施形態では、基板104は、インクジェットプリンティングシステムのステージ114上に支持することができる。ステージ114は窓を含むことができ、この窓によって、光源108(例えば、ステージ114の下方に配置され、かつ支持される)からの光106は、基板104、及びステージ114の上方に配置することができるカメラ110に達することができる。カメラ110は、インクジェットプリンティングシステムの印刷ブリッジ116上に支持することができる。幾つかの実施形態では、光源108及びカメラ110の両方を一括して、ステージ114の上方に(または、下方に)配置することができ、そして反射面を用いて光を誘導することにより、基板を透過させてカメラに戻すことができる。堆積インク測定システム100をインクジェットプリンティングシステムに組み込むことにより、インクを基板104に堆積させることができ、そして次に、基板104をインクジェットプリンティングシステムから取り外す必要を伴うことなく、堆積したインクの量のその場測定を行なうことができる。これにより、時間を節約することができ、そして蒸発溶媒を含むことができ、従って変化容積を持つことができる堆積インクを更に正確に測定することができる。
基板104のピクセルマトリクス内の堆積インク102は、透過光106で測定することができるいずれかの適切なインクとすることができる。透過光106は、白色光(例えば、白色光として人の眼に見えるスペクトル)とすることができるが、いずれかの適切なスペクトル領域を用いてもよい。例えば、特定のCCDアレイを用いて一層正確になる、または特定のインク調製またはインクカラーに一層適する特定の周波数帯を用いることが望ましい。透過光106は、いずれかの適切な輝度値とすることもできる。例えば、透過光106は、約10〜1,000,000cd(カンデラ)の明るさの白色光であることが望ましいが、光をもっと明るくする、またはもっと暗くしてもよい。透過光106は、光源108から供給することができる。
光源108は発光ダイオードとすることができるが、いずれかの適切な光源を用いてもよい。光源108は指向性光源(例えば、レーザ光源、収束化光源、コリメート光源など)とすることができるが、非指向性光源(例えば、放射光源)を用いてもよい。光源108は均質光源、統一光源、拡散光源、及び/又は集積光源とすることができる。
CCDアレイ112を有するカメラ110はシングルピクセルCCDカメラまたはマルチピクセルCCDカメラとすることができるが、いずれかの適切なカメラ110及び/又はCCDアレイ112を用いてもよい。カメラ110は、データをCCDアレイ112から読み出す電子部品を含むことができる。例えば、カメラ110はデータ読み出し回路を有することができ、このデータ読み出し回路は、CCDアレイ112の行及び列を選択してデータを特定のCCDセンサから読み出すように構成される。カメラ110は更に、CCDアレイ112から読み出されるデータをフィルタリングし、積分し、及び/または、処理して解釈する回路及び/又はアルゴリズムを含むことができる。カメラ110は更に、他のデバイス及び/又はコンピュータと通信するように構成された回路を含むことができる。例えば、カメラ110は、ユニバーサルシリアルバス(Universal Serial Bus:USB)回路を含むことができ、このUSB回路は、読み出しデータをUSB通信プロトコルに変換する。従って、別のデバイス及び/又はコンピュータは、データをカメラ110から読み出して他のデータ及び/又は選択値と比較することができる。
動作状態では、透過光106は、光源108から堆積インク102を透過し、CCDアレイ112に到達する。CCDアレイ112は、透過光106を受信し、そして透過光106を信号に変換する。例えば、CCDアレイ112は受信透過光106を、スペクトル、強度、輝度、パワー、レベル、振幅の2値表現に、または他のいずれかの適切な透過光パラメータに変換することができる。このような信号は保存する、及び/または、送信することができる。例えば、当該信号はメモリ回路に保存することができ、このメモリ回路にCCDセンサ群を割り込ませる、または織り交ぜる。メモリ回路は、特定のCCDピクセルを参照するワードライン(word lines:WL)及びリードライン(read lines:RL)を有することができる。従って、カメラ110または他のいずれかの適切なデバイスは、CCDアレイ112のいずれかの特定のCCDセンサから供給される信号を読み出すことができる。このようなCCDセンサ群から成るグループ群を選択して、堆積インク102を、図2〜6に関する以下の記述に更に詳細に説明されるように測定することができる。
幾つかの実施形態では、インクジェットプリンティングシステムは更にコントローラ118を含むことができ、コントローラ118は、基板104を支持するステージ114の動きだけでなく、カメラ110及び光源108の動き、及び動作(例えば、露出順序)を制御するように構成することができる。
幾つかの実施形態では、光源は光学部品群を含むことができ、これらの光学部品は、光源から放出され、かつ透過率を測定するために使用される光ビームの強度及び色の一貫性を高め易くするように構成される。一貫性を高めることにより、測定結果を更に正確にすることができる。本発明の幾つかの実施形態では、光学部品は1つ以上のカラーフィルタを含むことができ、これらのカラーフィルタは、測定対象の堆積インクの色に対応させることができる。例えば、選択フィルタを使用して、光源からの光を所望の波長範囲に制限することにより、強度及び色が更に均一になる光ビームを供給することができる。幾つかの実施形態では、フィルタ切り替え機構を使用して、異なるカラーフィルタを選択することができる。異なるカラーフィルタは、制限される、及び/または、透過される所望の波長に基づいて選択することができる。幾つかの実施形態では、校正手順中に、システムは、基準測定値を、フィルタを透過して出力される光の複数の色の各色に関して、及び、基準白色光に関して生成することができる。次に、適切なデータを、対応する有色インクの対応する測定値に相互に関連付けることができる。このようにして、ピクセルウェル群を透過する光の量を、基準測定値と比較して求めることができる。
図2は、本発明に従って提供される堆積インク測定システム100の拡大側部断面図を示している。堆積インク測定システム100の拡大図は、第1基板104を示しており、この第1基板104は、3個のピクセルウェルを含み、各ピクセルウェルには堆積インク102a〜cが収容される。透過光106は、光ビームを表わす複数の矢印として描かれている。更に、図示のように、CCDアレイ112はCCDセンササブアレイ202a〜cに分割される。
CCDセンササブアレイ202a〜cの各サブアレイは、複数の選択CCDセンサを含むことができる。CCDアレイ112は、m×nCCDセンサ群から成るアレイ群として表わすことができ、この場合、mはCCDアレイ112の「行(row)」であり、そしてnはCCDアレイ112の「列(column)」である。CCDセンササブアレイ202a〜cの各サブアレイは、m×nCCDセンサ群の一部分または小範囲とすることができる。例えば、2048×192アレイCCDセンサ群では、中央の2048×96センサ群を中央部CCDセンササブアレイ202bとすることができる。すなわち、中央部2048×96センサ群を用いて、透過光106を感知する。第1及び第3CCDセンササブアレイ202a及び202cは、透過光106を検出しないように構成することができる。追加される形で、または別の構成として、第1及び第3CCDセンササブアレイ202a及び202cは透過光106を検出するが、対応するデータを読み出さない、通信しない、及び/または、分析しないようにすることができる。幾つかのカメラでは、中央部CCDセンササブアレイ202bは、さらに均質的なサンプル光を受信することができ、そして例えば、アパーチャまたはレンズからの光が阻止される、または再誘導されることに起因する境界またはエッジの影響を受けるということがない。
図3は、本発明に従って提供される堆積インク測定方法300の第1の例示的な実施形態を示している。堆積インク測定方法300では、堆積インクを、上に説明したCCDアレイ112を用いることにより測定する。ステップ302では、方法300に従って、光を、基板上の堆積インクを透過させる。次に、ステップ304では、透過光を、CCDアレイ112を有するカメラ110で受信する。ステップ306では、第1の方法300において、CCDサブアレイ202a〜cを選択する。ステップ308では、選択されたCCDサブアレイ202a〜cを使用して堆積インクを測定する。
図4A及び4Bは、本発明の実施形態に従って提供される堆積インク測定システム400の第2の例示的な実施形態を模式的に示している。堆積インク測定システム400のこの第2の例示的な実施形態では、基板404上の堆積インク402を、基板404をスキャンしながら選択CCDアレイ列406を使用して検査することができる。堆積インク402は、これもまた基板404上に堆積させることができる他の堆積インク408の間に設けてもよい。図示のように、選択CCDアレイ列406は、カメラ410に、例えばラインスキャンカメラに設けることができる。カメラ410は更に、非選択CCDアレイ列412a,412b(幻影線で示す)を含むことができる。選択CCDアレイ列406は、透過光を光源414から複数の光路416に沿って受信することができる。複数の光路416から得られるデータを合成する(例えば、時間遅延積分(time delay integration:TDI)により)ことにより、例えば堆積インク402を透過する光透過率を測定することができる。幾つかの実施形態では、図1に示すコントローラ118のようなコントローラは、時間遅延積分を使用して堆積インクの厚さを、測定された光透過率に基づいて求めるように構成することができる。追加される形で、または別の構成として、基板404が、基板方向矢印418で示すように、カメラ410及び光源414の前を通り過ぎることができる。
堆積インク402は基板404の上に配置される。堆積インク402及び基板404は、上にそれぞれ説明した堆積インク102及び基板104と同じとする、または同様とすることができる。
選択CCDアレイ列406は、いずれかの適切な数の列のCCDセンサ群を含むことができる。例えば、選択CCDアレイ列406は、2048×192アレイCCDセンサ群のうちの中央の2048×96CCDセンサ群により構成することができる。
インク408が堆積した状態の複数のインクウェルは、インク402が堆積した状態のいずれかの適切な数の、及びいずれかの適切な構成のインクウェルとすることができる。複数の堆積インク408は、2行のインクウェルとして配置されているものとしてしか描かれていないが、インク402が堆積した状態のこれよりも多い数の、または少ない数の行のインクウェルを測定してもよい。追加される形で、または別の構成として、インクピクセルマトリクスをジグザグに(例えば、矩形状にではなく)設けてもよい。本発明に従って提供される堆積インク測定システム400は、いずれかの適切な構成の堆積インク402を用いて使用してもよい。
カメラ410は、いずれかの適切なカメラとすることができる。例えば、第2カメラ410は、ダルサ社(Dalsa, Inc.)製のHS−80−08k40とすることができる。カメラ410は、「ワークピース(work piece)」(例えば、基板404上の堆積インク402)の特徴を、選択CCDアレイ列406の各列を使用して測定することができる。追加される形で、または別の構成として、カメラ410は、選択CCDアレイ列406から供給されるデータに関する計算を行なうように構成することができる。例えば、選択CCDアレイ列406の各列からのデータは、異なる時点で捕捉し、そして順次累積加算することができる。従って、カメラ410の感度を、低い照明条件下で高めることができる。
複数の光路416は、堆積インク402を透過する指向性光の光路とすることができる。図5を参照しながら以下に更に詳細に説明するように、選択CCDアレイ列406の個々の列で、堆積インク402の同じスポット(または、用紙に直交する直線部分)を透過する露光光または測定光を、異なる時点で捕捉することにより、時間遅延積分を容易に行なうことができる。
図5は、本発明に従って提供される堆積インク測定システム400の第2の例示的な実施形態の拡大図を示している。上に示したように、堆積インク測定システム400のこの実施形態は、基板404上の堆積インク402を、選択CCDアレイ列406a〜dを使用してスキャンするように構成される。堆積インク測定システム400は、これもまた上に説明したように、例えばコントローラ118を介して時間遅延積分(TDI)動作を行なうように構成することができる。TDIを行なうことにより、堆積インク402を狭いラインに沿って、当該インクが、選択CCDアレイ列406のアレイ列406a〜d(例示のために4個のアレイ列しか描かれていないが、もっと多くのアレイ列、例えば96個のアレイ列を使用することができる)の前を通り過ぎるときに測定することができる。
例えば、基板404を、矢印418で示す方向に、カメラ410及び光源414に対して時刻t1に移動させると、CCDアレイ列406dで、堆積インク402の中心を透過する露光光を捕捉することができる。時刻t2では、CCDアレイ列406cで、堆積インク402の中心を透過する露光光を捕捉することができる。時刻t3では、CCDアレイ列406bで、堆積インク402の中心を透過する露光光を捕捉することができる。図5では、光源414から堆積インク402の中心を通ってCCDアレイ列406bに延びる実線矢印(幻影線矢印とは異なる)で示すように、基板404は、時刻t3に対応する位置に位置するものとして描かれている。別の表現をすると、図5において測定されている光は、堆積インクの中心を通っている。時刻t4では、CCDアレイ列406aで、堆積インク402の中心を透過する露光光を捕捉することができる。
異なる時刻に採取される堆積インク402の測定値は、累積的に積分(累積加算)されて、より大きい強度の信号が、光路群416の各光路に沿った透過光から得られるようになる。追加される形で、または別の構成として、TDI(時間遅延積分)では、同じ(動いている)オブジェクト、この場合は、堆積インク402の中心部(例えば、堆積インク402の中心を通る直線部分)を複数回露光して得られる量の累積加算値を使用するので、透過光を収集するために利用することができる積分時間を有効に増加させることができる。基板方向矢印418で示す堆積インク402の移動は、選択CCDアレイ列406a〜dの各列の露光シーケンスと調整または同期することができる。上に説明したように、幾つかの実施形態では、コントローラ118を用いて、基板404の動き、及びカメラ410による露光光の捕捉を調整することができる。幾つかの実施形態では、コントローラ118は、基板を支持するステージの動きだけでなく、カメラ410及び光源414の動き、及び動作(例えば、露出順序)を制御するように構成されたインクジェットプリンティングシステムの一部とすることができる。
図6は、本発明に従って提供される第2の例示的な堆積インク測定方法600を示している。第2の例示的な堆積インク測定方法600では、堆積インクを、CCDアレイのうちの選択セットの列群を使用して測定する。ステップ602では、光を、堆積インク402を透過させる。次に、ステップ604では、透過光を、CCDアレイを含むカメラ410で受信する。ステップ606では、1セットのCCDアレイセンサ群を選択する。例えば、幾つかの実施形態では、内側セットのCCDアレイセンサ群を選択することができる。ステップ608では、露光光を、堆積インク上の選択ラインの上方に配置される1列のCCDアレイセンサ群により測定する。ステップ610では、測定光透過率データを、既に測定されている全ての光透過率データに加算する。ステップ612では、基板404を移動させる。ステップ614では、堆積インク上の選択ラインの上方で通過すべき列のCCDアレイセンサ群が、選択された内側セットに未だ残っているかどうかについての判断を行なう。残っている場合、方法600はステップ608にループバックする。残っていない場合、ステップ616において、累積加算光透過率測定データを使用して堆積インクの厚さを求める。
これまでの記述では、本発明の例示的な実施形態のみを開示している。本発明の範囲に包含される上に開示した装置及び方法の変形例は、この技術分野の当業者であれば容易に想到することができる。例えば、幾つかの実施形態では、カメラを他のカメラと組み合わせて、堆積インクを測定することができる。更に、本発明は、スペーサ形成、偏光板コーティング、及びナノ粒子回路形成に適用することもできる。
従って、本発明を本発明の例示的な実施形態に関連付けて開示してきたが、他の実施形態は、以下の請求項によって規定される本発明の思想及び範囲に包含されるべきものであることを理解されたい。
Claims (15)
- 光を、基板上に堆積したインクを透過させるように構成された光源と;
センサアレイを有するカメラであって、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成されたカメラと、
を備え、前記センサアレイの複数列の一部の列は、選択ラインの前記堆積インクを連続的にスキャンするように構成される、システム。 - 更に、時間遅延積分を使用して、前記堆積インクの厚さを、測定された光透過率に基づいて求めるように構成されたコントローラをさらに備える、請求項1に記載のシステム。
- 前記時間遅延積分では、前記選択ラインの前記堆積インクを複数回スキャンして得られる量の累積加算値を使用する、請求項2に記載のシステム。
- 前記カメラは、前記透過光を、前記堆積インクの前記厚さを求めるために使用される信号に変換するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサアレイは電荷結合素子アレイである、請求項1に記載のシステム。
- 前記カメラは、前記複数列の前記一部の列からのデータを累積加算するように構成される、請求項1に記載のシステム。
- 基板を支持するように適合させた可動ステージと;
インクを前記基板上に堆積させるように構成された複数のプリントヘッドを支持するように構成された印刷ブリッジと;
前記可動ステージの上方または下方のうちの一方に配置され、かつ光を、前記基板上に堆積した前記インクを透過させるように構成された光源と;
前記印刷ブリッジで支持され、かつセンサアレイを含むカメラであって、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成されたカメラと、
を備え、前記センサアレイの複数列の一部の列は、前記堆積インクの選択ラインを連続的にスキャンするように構成された、インクジェットプリンティングシステム。 - 更に、時間遅延積分を使用して、前記堆積インクの厚さを、測定された光透過率に基づいて求めるように構成されたコントローラを備える、請求項7に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 前記可動ステージは、前記基板を移動させるように構成された、請求項7に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 前記基板の移動は、前記堆積インクの前記選択ラインのスキャンシーケンスとともに調整される、請求項9に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 前記時間遅延積分では、前記堆積インクの前記選択ラインの複数回スキャンして得られる結果の累積加算値を使用する、請求項8に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 前記堆積インクの厚さの判定は、その場測定である、請求項8に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 前記カメラは、前記光源とともに、前記可動ステージの上方または下方のうちの一方に配置される、請求項7に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 更に、光を誘導して、前記基板を透過させて前記カメラに戻すように構成された反射面を備える、請求項13に記載のインクジェットプリンティングシステム。
- 光を、基板上の堆積インクを透過させ;
前記透過光を、センサアレイを含むカメラで受信し;
前記センサアレイの1セットの複数列を選択し;
前記堆積インクを透過する光透過率を、前記堆積インク上の1つの選択ラインの上方に位置する、前記センサアレイの前記選択した1セットの複数列のうち1列を使用して測定する、
方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US1204807P | 2007-12-06 | 2007-12-06 | |
PCT/US2008/085775 WO2009076249A2 (en) | 2007-12-06 | 2008-12-06 | Methods and apparatus for measuring deposited ink in pixel wells on a substrate using a line scan camera |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011506937A true JP2011506937A (ja) | 2011-03-03 |
Family
ID=40756080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010537137A Withdrawn JP2011506937A (ja) | 2007-12-06 | 2008-12-06 | 基板上のピクセルウェル内の堆積インクを、ラインスキャンカメラを使用して測定する方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090184990A1 (ja) |
JP (1) | JP2011506937A (ja) |
KR (1) | KR20100110323A (ja) |
CN (1) | CN101889239A (ja) |
TW (1) | TW200938898A (ja) |
WO (1) | WO2009076249A2 (ja) |
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- 2008-12-06 CN CN2008801193803A patent/CN101889239A/zh active Pending
- 2008-12-06 WO PCT/US2008/085775 patent/WO2009076249A2/en active Application Filing
- 2008-12-06 JP JP2010537137A patent/JP2011506937A/ja not_active Withdrawn
- 2008-12-06 KR KR1020107014985A patent/KR20100110323A/ko not_active Application Discontinuation
- 2008-12-06 US US12/329,585 patent/US20090184990A1/en not_active Abandoned
- 2008-12-08 TW TW097147711A patent/TW200938898A/zh unknown
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---|---|
WO2009076249A2 (en) | 2009-06-18 |
US20090184990A1 (en) | 2009-07-23 |
TW200938898A (en) | 2009-09-16 |
KR20100110323A (ko) | 2010-10-12 |
WO2009076249A3 (en) | 2009-08-20 |
CN101889239A (zh) | 2010-11-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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