JP2011504653A5

JP2011504653A5 -

Info

Publication number: JP2011504653A5
Application number: JP2010534445A
Authority: JP
Filing date: 2008-11-12
Publication date: 2011-12-01
Anticipated expiration: 2028-11-12

Claims

ウエハ状物品（Ｗ）の周縁領域をウェット処理するための装置であって、
前記ウエハ状物品（Ｗ）をその端部において保持して回転させるための保持手段（２０，５０）と、
前記周縁領域に向けて液体を供給するための第１の液体処理ユニット（３０）と、
前記周縁領域に向けて液体を供給するための第２の液体処理ユニット（６０）と、
を備え、
前記保持手段は、前記ウエハ状物品をその端部において駆動するためのローラ（２３，５３）を含み、
前記第１の液体処理ユニット（３０）は、
第１の液体を提供して前記周縁領域の第１の区域を濡らすための第１の液体キャリア（３１，３４）と、
前記第１の液体キャリア（３１，３４）に液体を供給するための第１の液体供給ノズル（３３１）と、
前記第１の液体キャリア（３１，３４）から液体を除去するための第１の液体排出路（３６１）と、を含み、
前記第２の液体処理ユニット（６０）は、
第２の液体を提供して前記周縁領域の第２の区域を濡らすための第２の液体キャリアと、
前記第２の液体キャリアに液体を供給するための第２の液体供給ノズルと、
前記第２の液体キャリアから液体を除去するための第２の液体排出路と、
ガス処理部と、を含み、
前記ガス処理部は、前記第２の液体によって処理された前記周縁領域に向けてガスを供給して前記周縁領域から前記第２の液体の大半を除去するためのガス供給ノズルと、ガス及び除去された液体を排出するためのガス排出路と、を含む、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の液体処理ユニットと、前記第２の液体処理ユニットとの間に、ローラが配置されていない、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記第２の液体処理ユニットは、前記第１の液体処理ユニットよりも広い周縁領域を処理するように構成される、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の液体処理ユニットは、更に、前記第１の液体によって処理された前記周縁領域に向けてガスを供給して前記周縁領域から前記第１の液体の大半を除去するための第１のガス供給ノズルと、ガス及び除去された液体を排出するためのガス排出路とを含む第１のガス処理部を含む、装置。
請求項１に記載の装置であって、
少なくとも１つの液体キャリアは、前記ウエハ状物品の中心に向かって開いた溝（３４）の形態を有し、前記溝は、３ｍｍの最大幅を有する、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記第１と第２の液体処理ユニットのうちの少なくとも１つの液体処理ユニットについて、前記液体キャリア及び前記液体排出路は、中心に向かって開いた溝の形態を有し、前記液体キャリアの前記溝の幅は、前記液体排出路の前記溝の幅よりも少なくとも１ｍｍだけ小さい、装置。
請求項４に記載の装置であって、
前記第１と第２の液体処理ユニットのうちの少なくとも１つの液体処理ユニットについて、前記ガス処理部は、前記ウエハ状物品を挟んで相対する少なくとも２本のガス供給ノズルを含む、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記ウエハ状物品を保持して回転させるための前記保持手段は、少なくとも２つのローラを含む少なくとも１つのローラユニットを含む、装置。
請求項８に記載の装置であって、
少なくとも１つのローラユニットは、モータによって駆動される少なくとも１つのローラを含む、装置。
請求項８に記載の装置であって、
前記第１と第２の液体処理ユニットのうちの少なくとも１つの液体処理ユニットは、前記ローラユニットとともに前記ウエハ状物品の端部に対して行き来可能であるように前記駆動ユニットに取り付けられる、装置。
請求項１に記載の装置であって、
前記第１の液体供給ノズル及び前記第２の液体供給ノズルは、前記ウエハ状物品の外周上で測定して少なくとも１０ｃｍの距離だけ隔てて配置される、装置。
請求項１に記載の装置であって、
ウエハ状物品を前記ローラからスピンチャックに直接受けることができるように、前記ローラの下に、前記スピンチャック及び前記スピンチャックを取り囲む部屋が配置される、装置。
ウエハ状物品の周縁領域を処理するための方法であって、
前記ウエハ状物品をその端部において駆動するためのローラを含む保持手段によって、前記ウエハ状物品をその端部において保持して回転させることと、
第１の液体処理ユニットによって、前記周縁領域の第１の区域に向けて第１の液体を供給することと、
を備え、
前記第１の液体を供給することは、
前記第１の液体によって、前記周縁領域の前記第１の区域を、前記周縁領域の前記区域が前記ウエハ状物品の回転とともに前記ウエハ状物品の前記周縁領域に沿って移動するように濡らすことと、
前記第１の液体の大半を除去することと、を含み、
前記方法は、更に、
第２の液体処理ユニットによって、前記周縁領域の第２の区域に向けて第２の液体を供給すること、を備え、
前記第２の液体を供給することは、
前記第２の液体によって、前記周縁領域の前記第２の区域を、前記周縁領域の前記区域が前記ウエハ状物品の回転とともに前記ウエハ状物品の前記周縁領域に沿って移動するように濡らすことと、
前記第２の液体によって処理された前記周縁領域の区域に向けてガスを供給して前記周縁領域から前記第２の液体の残渣を除去することと、
供給されたガス及び除去された液体を排出することと、を含む、
方法。
請求項１３に記載の方法であって、更に、
前記第１の液体によって処理された前記周縁領域の区域に向けてガスを供給して前記周縁領域から前記第１の液体の残渣を除去することと、
供給されたガス及び除去された第１の液体を排出することと、
を備える方法。
請求項１３に記載の方法であって、
前記第１の液体は、固定された第１の液体キャリアによって提供され、
前記第１の液体キャリアは、
前記第１の液体キャリアに液体を供給するための第１の液体供給ノズルと、
前記第１の液体キャリアから液体を除去するための第１の液体排出路と、を含む、方法。
請求項１３に記載の方法であって、
前記ウエハ状物品の前記端部は、前記第１の液体によって処理された後で且つ前記第２の液体によって処理される前に、ローラに触れない、方法。
請求項１３に記載の方法であって、
前記ウエハ状物品は、１ｒｐｍから６０ｒｐｍの範囲内の回転速度で回転する、方法。
請求項１３に記載の方法であって、
前記第１の液体供給ノズル及び前記第２の液体供給ノズルは、選択された距離だけ互いから隔てて配置され、前記回転速度は、前記第１の液体が除去されてから前記第２の液体が供給されるまでの間の時間が１ｓから１０ｓの範囲内であるような対応する値に設定される、方法。