JP2011501435A5 - - Google Patents
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Description
また、図6Aは、新たな種類のウエハのための初期セットアップ時、または、メニスカス処理の即時中断時に用いる装置109の一実施形態を示す。各対応する(上側および下側)近接ヘッド110は、キャリア130に対して横傾斜および縦傾斜の両方を調整するのに有用な物理的パラメータPHPの一実施形態を備えるよう構成される。調整のために、例示の上側近接ヘッド110は、軌道174によって案内されるキャリア130に対するヘッドの姿勢調整を可能にするために、調整器163のアレイ162を備えるよう構成される。アレイ162の実施形態について、まず横傾斜に関して説明し、次いで、縦傾斜に関して説明する。図6Aは、調整器163を含むよう構成されたアレイ162による近接ヘッド110の横傾斜および縦傾斜の調整のための一般的なレイアウトを示す。調整器163−1および163−2が、近接ヘッド110の反対面179−1および179−2上に取り付けられており、図に示すように、レール172−1に沿ってX方向に離間されている。さらに、調整器163−3および163−4が、近接ヘッド110の反対面179−1および179−2上にそれぞれ取り付けられており、図に示すように、反対側のレール172−1に沿ってX方向に離間されている。図6Bは、各調整器163が、軌道174のレール172(例えば、172−1および172−2)の間に伸びるフレーム176上に取り付けられることを示している。調整器163−1および163−3は、ヘッド110の−X側にあり、調整器163−2および163−4は、ヘッド110の+X側にある。調整器163−1および163−2は、同じように動作して、(例えば、横傾斜調整のために)、キャリア130の平面134に対してヘッド110のサイド178−1を一緒に上げる、または、一緒に下げるように構成されている。調整器163−3および163−4は、同じZ方向で同じように動作して、(例えば、横傾斜調整のために)、キャリア130の平面134に対してヘッド110の反対サイド178−2を一緒に上げる、または、一緒に下げるように構成されている。調整器163−1および163−3は、同じZ方向で同じように動作して、(例えば、縦傾斜調整のために)、一方の面179−1を一緒に上げる、または、下げることにより、キャリア130の平面134に対するヘッド110の姿勢を変えるように構成されている。調整器163−1および163−4は、同じZ方向で同じように動作して、(例えば、縦傾斜調整のために)、反対側の面179−2を一緒に上げる、または、下げることにより、キャリア130の平面134に対するヘッド110の姿勢を変えるように構成されている。例示の4つの調整器163は、さらに、横傾斜および縦傾斜の両方を組み合わせた調整を行うよう構成される。
後傾の姿勢(ヘッド110の前面179−2が後面179−1に対して上がっている縦傾斜を示す図3Bを参照)を調整する一例として、図6Aによると、調整器163−2および163−4を両方とも下に移動させることによって、ヘッド110の+X側の前縁部179−2を下げて、キャリア130に対するヘッド110の傾斜を変えることができる。これにより、後傾の姿勢を変えて、例えば、図2Dに示した望ましい傾斜にすることができる。別の姿勢では、追加の調整が必要になる場合もある。例えば、図3Bの後傾の傾斜を変えるために、調整器163−2および163−4の上述の下方移動に加えて、調整器163−1および163−3を両方とも上に移動させることによって、ヘッド110の−X側の後縁部179−1を上げることができる。これらの調整は、例えば、ギャップ101U−1ないし101U−4を一様にして、ギャップ101D(図2D)を有する一様なギャップ状態にすることによって、キャリア平面134およびヘッド平面114の相対的な傾斜を変えることができる。反対向きの縦傾斜(すなわち、前傾)では、調整器163を反対向きに調整する必要がある。
アレイ162の調整器の別の具体的な構成を、調整器163−A1として図6Cに示す。図6Cは、横傾斜または縦傾斜の調整のためにキャリア130に対してヘッド110を調整するための物理的パラメータを有するよう構成されたヘッド110を示す。すなわち、物理的パラメータは、キャリア130の平面134と近接ヘッド110の平面114との間の相対姿勢である。図6Bに関して上述したように、説明の簡単のため、調整器163−A1の図6Cの実施形態は、サイド178−1および一方の縁部179−1に関してのみ図示されている。調整器163−A1は、各サイド178および各縁部179に、すなわち、図6Aの調整器163として示すように、提供されてよいことを理解されたい。セットアップ時に、調整器163−A1は各々、プログラム150Sを通して、セットアップ信号140に直接応答しうる。図6Cは、図6Bのユニット180−1の代わりに、代表的なユニット180の一実施形態(ユニット180−2と呼ぶ)を備えるよう構成された調整器163−A1を示す。ユニット180−2は、信号153のデータ154−3に応じて、ピストン163−Pがシリンダ163−Cの中で移動する空気圧式調整器を備えるよう構成されてよい。シリンダ163−Cは、フレーム176に取り付けられてよく、ピストン163−Pは、キャリア130に対するヘッド110のサイド178−1および縁部179−1の垂直位置を調整するために、ヘッド110に固定されてよい。図6Aおよび6Bに関して説明した横傾斜および縦傾斜の調整と同様に、サイド178−1および縁部179−1の各々でのユニット180−2による調整の量は、セットアップ中に、上述のようにキャリア平面134およびウエハ平面107の間の相対的な姿勢を調整するように(ここでは、信号149のデータ140Dによって直接的に)制御されてよい。
動作256は、(i)現在のギャップを指定する較正レシピ、および、(ii)現在のギャップにおいて安定したメニスカスを確立するために用いる較正済みのプロセスパラメータを特定する。動作256が実行されてよく、現在の信号148が、表4にリストされたギャップ値を有するギャップ101Uを表す場合、そのギャップ値に対して、メニスカス104が安定するようなメニスカス処理のための一組のプロセスパラメータNSPPを備えた較正レシピ152CALが存在する。(表4に例示したような)行列190に基づいて、動作256において、相関モジュール186を実行するプロセッサ150は、現在のギャップ101Uに対応するギャップ値を有する較正レシピ152CALを特定する。特定されたレシピ152CALに対して、モジュール186は、対応するNSPPを特定する。一実施形態において、動作256は、相関モジュール186を実行するプロセッサ150が、現在のギャップ101U(ギャップ101Uは、現在の姿勢監視信号148によって表される)に対応する較正レシピ152CALを特定するサブ動作216(図8B)を備えてよい。レシピ152CALは、現在のギャップ101Uのギャップ値と等しいギャップ値を指定している。特定されたレシピ152CALについて、動作256は、さらに、サブ動作218を備え、対応するNSPP、すなわち、レシピ152CALによって指定されたNSPPを特定する。対応するNSPPの特定には、行列190を参照してよい。動作258の後に、方法は、現行レシピのプロセスパラメータを、特定された較正レシピのプロセスパラメータに自動的に調整する動作258に進んでよい。動作258において、プロセッサ150によってメニスカス安定化プログラム150Sを実行し、データ154を含む信号153の形態の出力を得てよい。データ154は、特定されたレシピ152CALによって指定されたNSPPを、現行レシピ152CRの対応するOPPと比較することによって得られる。対応するNSPPと異なる各OPPに対して、動作258は、修正済みレシピ152MR得て信号153として出力できるように、差異を示す定量的調整量(「QAA」)を出力する。方法は、動作260に進み、特定された較正レシピによって指定されたプロセスパラメータを用いて、ウエハ面のメニスカス処理を継続する。動作260において、メニスカス安定化プログラム150Sは、修正済みレシピ152MRを用いて、メニスカス処理109MPに修正済みパラメータPRPMを入力する。メニスカス104Uがギャップ値GVDほど望ましくないギャップ値101GVUを有しても、メニスカス104Uが安定であるように、修正済みパラメータPRPMが、処理条件を変更することを除けば、プロセス109MPは、修正された元のレシピ(すなわち、現行レシピ)152CRによって指定されたOPPに応答するのと同様に、修正済みパラメータPRPMに応答する。一実施形態では、方法は終了してよい。
Claims (1)
- 請求項5に記載の装置であって、特定のプロセスパラメータは、
前記流体が前記ギャップに供給される圧力、
前記流体が前記ギャップから収集される圧力、
前記近接ヘッドに対する前記ウエハの移動の速度、
前記近接ヘッドに対する前記ウエハの移動の速度のタイミング、
前記流体が前記ギャップに供給される位置であって、前記メニスカスモニタの位置に対する位置、および、
前記流体が前記ギャップから収集される位置
の内の1または複数である装置。
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