JP2011258626A - 部品実装装置および部品実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搭載ユニット20を備えた第1ヘッド13が部品供給ステージ3から取り出され中継ステージ18に載置された半導体チップ6aを受け取っている間に、ブローユニット22および吸引ユニット23を備えた第2ヘッド14を基板保持ステージ5にアクセスさせて、基板7の部品実装位置7aに対して清浄気体を吹き付けるブロー工程を実行し、共通のヘッド移動機構12によって同軸に移動する第1ヘッド13、第2ヘッド14を交互に基板保持ステージ5に対してアクセスさせるように構成する。
【選択図】図7
Description
3 部品供給ステージ
4 ユニット集合ステージ
4a 移動テーブル
5 基板保持ステージ
5a 基板保持テーブル
6 半導体ウェハ
6a 半導体チップ
7 基板
7a 部品実装位置
11 Y軸フレーム
12 ヘッド移動機構
13 第1ヘッド
14 第2ヘッド
15 ピックアップヘッド移動機構
16 ピックアップヘッド
18 中継ステージ
19 部品認識カメラ
20 搭載ユニット
20a 部品保持ノズル
21 塗布ユニット
22 ブローユニット
23 吸引ユニット
24 第1カメラ
25 第2カメラ
26 第3カメラ
31 XYテーブル機構
40 X軸移動機構
53 XYテーブル機構
[P1] ピックアップ作業位置
[P2] 中継位置
[P3] 部品認識位置
[P4] 実装作業位置
Claims (4)
- 部品を供給する部品供給ステージと、前記部品供給ステージから前記部品をピックアップするピックアップヘッドと、前記部品が実装される基板を保持する基板保持ステージと、前記基板保持ステージと前記部品供給ステージとの間に配置され前記部品供給ステージからピックアップされた前記部品が載置される中継ステージと、
前記中継ステージに載置された前記部品を受け取って、もしくは前記部品供給ステージから前記部品をピックアップして、前記基板保持ステージに保持された基板に搭載する第1ヘッドと、
前記第1ヘッドと同軸上で交互に動作して、前記基板の表面もしくは実装済みの部品の上面の部品実装位置に対して清浄気体を吹き付けて塵埃を除去するブローノズルが装着された第2ヘッドと、
前記第1ヘッドが前記部品を受け取っている間に、もしくは前記部品供給ステージから前記部品をピックアップしている間に、前記第2ヘッドを前記基板保持ステージにアクセスさせ、保持された基板に清浄気体を吹き付けるブロー動作を実行させる制御部とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。 - 前記第2ヘッドは、前記部品実装位置に部品接合用の接着剤を転写または塗布により供給するためのヘッドを兼ね、前記制御部は、前記ブロー動作を実行させた後に接着剤の供給を行わせることを特徴とする請求項1記載の電子部品実装装置。
- 部品供給ステージから部品をピックアップヘッドによってピックアップする部品ピックアップ工程と、
前記部品が実装される基板を保持する基板保持ステージと前記部品供給ステージとの間に配置された中継ステージに前記部品供給ステージからピックアップされた部品を載置する部品載置工程と、
前記中継ステージに載置された前記部品を第1ヘッドによって受け取って前記基板保持ステージに保持された基板に位置合わせして搭載する部品搭載工程と、
前記第1ヘッドと共通のヘッド移動機構によって移動し、前記第1ヘッドと同軸上で交互に動作する第2ヘッドによって、前記基板の表面もしくは実装済みの部品の上面の部品実装位置に対して清浄気体を吹き付けて塵埃を除去するブロー工程とを含み、
前記第1ヘッドが前記部品を受け取っている間に、もしくは前記部品供給ステージから前記部品をピックアップしている間に、前記第2ヘッドを前記基板保持ステージにアクセスさせ、前記ブロー工程を実行することを特徴とする電子部品実装方法。 - 前記第2ヘッドは、前記部品実装位置に部品接合用の接着剤を転写または塗布により供給するためのヘッドを兼ね、前記ブロー工程を終了した後に接着剤を供給することを特徴とする請求項3記載の電子部品実装方法。
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JP2010129753A JP2011258626A (ja) | 2010-06-07 | 2010-06-07 | 部品実装装置および部品実装方法 |
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JP (1) | JP2011258626A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0171443U (ja) * | 1987-10-31 | 1989-05-12 | ||
JPH0263196A (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品の実装方法 |
JPH05166858A (ja) * | 1991-12-19 | 1993-07-02 | Matsushita Electron Corp | ダイボンディング方法 |
-
2010
- 2010-06-07 JP JP2010129753A patent/JP2011258626A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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