JP2011249358A - 抵抗変化メモリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態の抵抗変化メモリは、第1の配線レベルILV1に位置し、第1の方向に延びる制御線L1と、第2の配線レベルILV2に位置し、第2の方向に延びる制御線L2と、制御線L1と制御線L2との間に設けられるセルユニットCUとを含むメモリセルアレイを有し、複数の配線レベルに設けられる少なくとも2つの抵抗線RL3A,RL5と、抵抗線RL3A,RL5間に設けられ、セルユニットCUの構成部材又はコンタクトプラグZCの構成部材と同じ構成部材を含む抵抗体91と、を有し、抵抗素子領域17内に設けられる抵抗素子90を含んでいる。
【選択図】図8
Description
(1) 抵抗変化メモリ
(a) 全体構成
図1乃至図8を用いて、本実施形態に係る抵抗変化メモリについて、説明する。
1つのセルユニットにおいて、メモリ素子と整流素子との接続関係は、メモリ素子と整流素子の位置関係が2通り、整流素子の向きが2通りで、合計4通り存在する。したがって、2つのメモリセルアレイ内のセルユニットに関して、メモリ素子と整流素子の接続関係のパターンは、16通り(4通り×4通り)存在する。図4のa〜pは、この16通りの接続関係を表している。本実施形態は、これら16通りの接続関係の全てに対して適用可能である。
図9A乃至図19を用いて、本実施形態に用いられる抵抗素子の構造について、説明する。
図9A乃至図10Bを用いて、本実施形態の抵抗変化メモリにおける1つの抵抗素子の基本構造について説明する。
図9Aに示される例では、抵抗体91は、2つの抵抗線RL1,RL2の間に挟まれている。抵抗体91は、例えば、層間絶縁膜(図示せず)内に埋め込まれている。
図11A乃至図18Bを用いて、抵抗素子の平面レイアウト及びその断面構造について説明する。尚、図11A乃至18Bにおいて、図面の明確化のため、層間絶縁膜の図示は省略する。
抵抗体チェーンRC1は、配線レベルILVnの抵抗線RL11,RL12,RL13と、配線レベルILVmの抵抗線RL21,RL22,RL23と、それらの抵抗線RL11〜RL13,RL21〜RL23間にそれぞれ挟まれた複数の抵抗体911,912,913,914,915,916とから構成される。
しかし、図16A及び図16Bに示されるように、抵抗素子を構成する抵抗線RL1,RL2,RL3の配線長を長くして、高い抵抗値の抵抗素子を形成してもよい。例えば、互いに接続された抵抗線RL1,RL2,RL3は、抵抗素子90を上面(第3方向)から見た抵抗素子の寸法の3倍以上の長さを有している。
図19を用いて、メモリ素子と同じ構成部材(抵抗膜21R)を含む抵抗素子の抵抗値の調整について、説明する。図19は、抵抗素子の抵抗値を調整するための回路構成を示す模式図である。
抵抗膜21Rを含む抵抗素子90は、スイッチ素子SW1A及びスイッチ素子SW1Bを介して、周辺回路領域19内に設けられた所定の回路ブロック50に接続される。
一方、抵抗素子90は、オフしたスイッチ素子SW2A,SW2Bによって、抵抗素子の抵抗値を調整するための回路10A,10B,40Aから電気的に分離される。それゆえ、パルスジェネレータ10A、電流/電圧調整回路10B及びデータ判定回路40Aが、セルユニットに対するデータの書き込み/読み出しのために駆動されても、抵抗素子90内の抵抗膜21Rの抵抗値を変化させる電流/電圧パルスが、抵抗素子90に供給されることはない。
図20A乃至図22を用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法について説明する。
図20A乃至図20Cを用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法1を説明する。図20A乃至図20Cは、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法の一工程をそれぞれ示している。図20A乃至図20Cにおいて、メモリセルアレイ領域12、引き出し領域15及び抵抗素子領域17の主要部が図示されている。各図において、メモリセルアレイ領域12に関して、第1方向に沿う断面と第2方向に沿う断面とが、それぞれ図示されている。
図21A乃至図21Dを用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法2について説明する。図21A乃至図21Dは、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法2における、メモリセルアレイ領域12、引き出し領域15及び抵抗素子領域17に対する各製造工程をそれぞれ示している。本製造方法2において、上述の製造方法1と共通する工程についての詳細な説明は、省略する。
また、引き出し領域15及び抵抗素子領域17において、例えば、セルユニットの構成部材及び導電層が除去され、層間絶縁膜80上に、絶縁膜81が堆積される。尚、導電層は、配線又は抵抗素子の構造に応じて、引き出し領域15及び抵抗素子領域17は残存していてもよい。
図22を用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法3について説明する。図22は、本実施形態の抵抗変化メモリの製造方法3における、メモリセルアレイ領域12、引き出し領域15及び抵抗素子領域17の断面工程図を示している。製造方法3において、上述の製造方法1及び2と共通する工程についての詳細な説明は、省略する。
図23を用いて、本実施形態の抵抗変化メモリの動作について、説明する。
メモリセルアレイM1は、図2のメモリセルアレイM1に相当し、メモリセルアレイM2は、図2のメモリセルアレイM2に相当する。セルユニットCU1,CU2内のメモリ素子及び非オーミック素子(例えば、整流素子)の接続関係は、図4のaに相当する。
メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して書き込み(セット)動作が実行される場合について説明する。
また、例えば、リセット状態を高抵抗状態(100kΩ〜1MΩ)とし、セット状態を低抵抗状態(1kΩ〜10kΩ)とする。
次に、メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して消去(リセット)動作を行う場合について説明する。
次に、メモリセルアレイM1内の選択セルユニットCU1-selに対して読み出し動作を行う場合について説明する。
本実施形態は、上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、各構成要素を変形して具体化できる。また、上述の実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を構成できる。例えば、上述の実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
Claims (5)
- 基板上に設けられるメモリセルアレイ領域と、
前記基板上に設けられる抵抗素子領域と、
第1の配線レベルに位置し、第1の方向に延びる第1の制御線と、前記第1の配線より上方の第2の配線レベルに位置し、前記第1方向に交差する第2の方向に延びる第2の制御線と、前記第1の制御線と前記第2の制御線との間に設けられた第1のセルユニットとを含み、前記メモリセルアレイ領域に設けられる第1のメモリセルアレイと、
前記第2の制御線と、前記第2の配線レベルより上方の第3の配線レベルに位置し、前記第1の方向に延びる第3の制御線と、前記第2の制御線と前記第3の制御線との間に設けられた第2のセルユニットとを含み、前記第1のメモリセルアレイ上に積層される第2のメモリセルアレイと、
前記第1乃至第3の配線レベルのうち少なくとも2つの配線レベルに設けられる少なくとも2つの抵抗線と、前記抵抗線間に設けられ、前記第1のセルユニットの構成部材又はコンタクトプラグの構成部材のいずれか一方と同じ構成部材を含む少なくとも1つの抵抗体と、を有し、前記抵抗素子領域内に設けられる抵抗素子と、
を具備することを特徴とする抵抗変化メモリ。 - 前記抵抗素子は、前記第1の配線レベルに位置する第1の抵抗線と、前記第3の配線レベルに位置する第2の抵抗線と、前記第1の配線レベルに位置する第3の抵抗線と、前記第1の抵抗線と前記第2の抵抗線との間に設けられる第1の抵抗体と、を有することを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記抵抗素子は、前記第1の配線レベルに位置する第1の抵抗線と、前記第2の配線レベルに位置する第2の抵抗線と、前記第1の配線レベルに位置する第3の抵抗線と、前記第2の抵抗線と前記第3の抵抗線との間に設けられる第1の抵抗体と、前記第2の抵抗線と前記第3の抵抗線との間に設けられる第2の抵抗体と、を有することを特徴とする請求項1に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記複数の抵抗線は、前記抵抗素子領域内でらせん状の構造を有し、前記抵抗体は、異なる配線レベルに設けられた前記抵抗線を接続する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
- 前記メモリ素子に前記メモリ素子の抵抗値を変化させる電流パルス又は電圧パルスを印加するパルスジェネレータと、
前記メモリ素子の抵抗値を判定する抵抗値判定回路とを、さらに具備し、
前記積層体が前記第1の抵抗体に用いられた場合、前記パルスジェネレータと前記抵抗値判定回路とを用いて、前記積層体からなる前記抵抗体の抵抗値を調整する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の抵抗変化メモリ。
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