JP2011245574A5 - 加工装置および加工工具 - Google Patents
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Description
図3に相対運動パターン1)fの実施形態を示す。固定砥粒工具2を貼り付けた複数の加工ヘッド1は、加工力測定装置11およびユニットホルダ10と23を介してロータリホルダ24端面上の半径Rの円周上に均等分布させ、ロータリホルダの回転軸25の自転運動26に伴いロータリホルダ軸周りの公転運動をする。工作物に対する加工ヘッドの相対運動は、これら加工ヘッドの公転運動以外に、工作物の自転6、研磨ヘッドの工作物加工面上の1次元（X方向かZ方向）か2次元（XとY方向同時）運動を加えて得られる。この方式は、大口径ウエハの高効率加工に適している。
Claims (4)
- 工作物を加工工具で加工する加工装置において、
前記加工工具の加工ヘッドは、ユニットホルダに固定されるとともに固定砥粒工具が配置され、加工面に垂直な方向の縦振動および加工面に平行な方向の横振動の同時発生によって２次元超音波微振動が発生可能であり、
前記工作物は、スピンドルに保持されるとともに、スピンドルの回転駆動によって自転運動が可能であることを特徴とする加工装置。 - 前記加工ヘッドは、４極に分極された圧電素子と、前記圧電素子が貼り付けられた金属弾性体とを有し、
信号発生器からの２相の交流信号をそれぞれ増幅器で増幅した後に前記圧電素子に印加することによって、前記加工ヘッドに縦１次振動モードと屈曲４次振動モードが同時に励振され、両者の合成で前記加工ヘッドの端面に前記２次元超音波微振動が発生することを特徴とする請求項１記載の加工装置。 - 前記工作物は、エッジ部に一定の傾斜角を有する円盤状工作物であり、
前記加工工具は、前記工作物のエッジ部に沿って加工を行うことを特徴とする請求項１または２記載の加工装置。 - 加工ヘッドによって工作物を加工する加工工具において、
前記加工ヘッドには、固定砥粒工具が配置されるとともに、加工面に垂直な方向の縦振動および加工面に平行な方向の横振動の同時発生によって２次元超音波微振動が発生可能であり、
前記固定砥粒工具は、前記工作物材料と化学反応を示す砥粒、添加剤、および、前記砥粒を固めるための結合剤を含むことを特徴とする加工工具。
Priority Applications (1)
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| JP2010119235A JP2011245574A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | ２次元（楕円）超音波援用化学・機械複合加工法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2010119235A JP2011245574A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | ２次元（楕円）超音波援用化学・機械複合加工法および装置 |
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| JP2011245574A JP2011245574A (ja) | 2011-12-08 |
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| JP2010119235A Pending JP2011245574A (ja) | 2010-05-25 | 2010-05-25 | ２次元（楕円）超音波援用化学・機械複合加工法および装置 |
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