JP2011243855A - 太陽電池素子およびその製造方法ならびに太陽電池モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】p型半導体層を有する半導体基体1を備えた太陽電池素子10であって、前記p型半導体層は内部にSi−N結合を有しており、前記p型半導体層の上にパッシベーション層7が設けられている太陽電池素子10とする。また、p型半導体層を有する半導体基体1を準備する基体準備工程と、前記p型半導体層の表面を、窒素原子を含むガスを用いて形成されるプラズマに曝す表面処理工程と、前記プラズマに曝した前記p型半導体層の上にパッシベーション層7を形成する層形成工程とを有する太陽電池素子10の製造方法。
【選択図】図3
Description
図1乃至図3に示すように、太陽電池素子10は、光が入射する受光面(図3における上面であり、以下では第1面という)10aとこの第1面10aの裏面に相当する非受光面(図3における下面であり、以下では第2面という)10bを有する。また、太陽電池素子10は、板状の半導体基体9(例えば、一導電型の半導体層である半導体基板1と、この半導体基板1における第1面10a側に設けられた逆導電型の半導体層である逆導電型層2とから構成される)と、半導体基体9における第1面10aの側(本実施形態では、逆導電型層2上)に設けられた反射防止層3と、第2面10b側に設けられた例えば正の固定電荷を有するパッシベーション層7とを備えている。
以下、太陽電池素子についてより具体的な例について説明する。p型の導電型を呈する結晶シリコン基板を用いた例を説明する。半導体基体9を構成する結晶シリコン基板からなる半導体基板1がp型を呈するようにする場合、ドーパント元素としては、例えば、ボロンあるいはガリウムを用いるのが好適である。
本実施形態の太陽電池素子の基本的な製造方法について簡単に説明する。本実施形態では、少なくとも以下の工程を順次行うものとする。まず、p型半導体層である半導体基板1を有する半導体基体を準備する基体準備工程を行う。次に、半導体基板1の表面を、窒素原子を含むガスを用いて形成されるプラズマに曝す表面処理工程を行う。そして、プラズマに曝した半導体基板1の上にパッシベーション層7を形成する層形成工程を行う。
本実施形態の太陽電池モジュールは、例えば、ガラス、樹脂または金属等の支持基板上に、1つの太陽電池素子10、または、導体により電気的に直列接続させた複数の太陽電池素子10を、耐湿性に優れた例えばEVA(Ethylene Vinyl Acetate)等の充填材にて封止した構成とすることが可能である。この場合、金属または樹脂等の枠体を支持基板の周囲に設けてもよい。
F(E,φs)=1/[1+exp(E−qφs−Ef)/kT]
で与えられる。
ここで、q:電気素量、φs:表面ポテンシャル、Ef:フェルミエネルギー、en(E),ep(E):エネルギーEにおける電子と正孔の放出率であり、次式の数1で与えられる。
en(E)texp[−en(E)t]は、en(E)t=1の時に、極大値をとるので式数4と近似する。
パルス電圧の印加時に界面準位が全て電子により満たされるとすれば、
F(E,φs(0))=1
と考えてよい。
また、Ec−Ef=kTln(Nc/ND)の関係を用いて、式数6と表されるので、界面準位密度N(E)は次のように求まる。
2 :逆導電型層
3 :反射防止層
4 :第1電極
4a :第1出力取出電極
4b :第1集電電極
5 :第2電極
5a:第1層
5b:第2層
6 :BSF領域
7 :パッシベーション層
8 :表層内部領域
10 :太陽電池素子
10a:第1面
10b:第2面
Claims (6)
- p型半導体層を有する半導体基体を備えた太陽電池素子であって、
前記p型半導体層は内部にSi−N結合を有しており、
前記p型半導体層の上にパッシベーション層が設けられていることを特徴とする太陽電池素子。 - 前記p型半導体層は結晶質シリコンからなることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池素子。
- 前記p型半導体層と前記パッシベーション層との界面における界面準位密度が、5×1011cm2/eV以下であることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池素子。
- p型半導体層を有する半導体基体を準備する基体準備工程と、
前記p型半導体層の表面を、窒素原子を含むガスを用いて形成されるプラズマに曝す表面処理工程と、
前記プラズマに曝した前記p型半導体層の上にパッシベーション層を形成する層形成工程とを有することを特徴とする太陽電池素子の製造方法。 - 前記ガスは水素をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の太陽電池素子を備えていることを特徴とする太陽電池モジュール。
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