JP2011228526A - 基板搬送治具 - Google Patents

Abstract

【課題】各種サイズのプリント基板を略垂直姿勢で収容して搬送することができ、省スペース化を図る。
【解決手段】方形に形成された枠体と、該枠体の対向する縦枠間及び横枠間かつ片側面に所定間隔で張設された糸状線材とから成る一対のネット枠と、一対のネット枠の一方の横枠に設けられ、糸状線材が張設された片側面同士が対峙するように一対のネット枠を開閉自在に連結する兆番と、一方の横枠に対向する他方の横枠に設けられる掛止具とを具備する。
【選択図】図２

Description

本発明は、基板搬送治具に関する。

周知のように、プリント基板は、エッチング処理等の化学処理によってパターン配線を形成し、このパターン配線によって複数の電子部品を相互接続することによって所望の電子回路を基板上に構成するものである。このようなプリント基板は、複数の製造工程を経て製造されるが、製造工程の１つに、穴あけ加工及びめっき処理からなるスルーホール形成工程を経た基板の表面を専用の基板洗浄装置によって洗浄する洗浄工程がある。下記非特許文献１には、このようなプリント基板の製造工程に供される基板洗浄装置の一例が開示されている。

前記製造工程では、一般的に定形サイズの板から複数枚同時に製造し、出荷前に実装する形状にルーターやシャーリング等で分割加工が行われる。この加工時に発生した切粉等を基板の表面から洗浄する工程が行われている。
外形加工洗浄機では、種々の寸法のプリント基板が流れるため、これらの基板は一般的にローラーやネットコンベア等の搬送装置を用いて水平搬送中に水洗、乾燥（水切り）処理が行われている。

プリント基板の進行方向に対して水洗ゾーンでは、スプレーノズルが複数段上下に、また乾燥ゾーンではブロアノズルが複数段上下に配置されている。

http://www.yamagata-kikai.co.jp/wash/index.html?lid＝509[2010/01/19 13:46:15]

ところで、従来の基板洗浄装置は、水平搬送方式が採用されているため水洗ゾーン、乾燥ゾーンともスプレーノズル、ブロアノズルが複数配置されていることから、装置全体として構造が大型化して占有床面積が大きくなる。
また、従来の基板洗浄装置では、ローダーやアンローダーを使用せずに作業者が単独でプリント基板の搬出入作業を行うケースが多く、基板洗浄装置の占有床面積が大きいと作業領域が広くなり負担増となる問題がある。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、各種サイズのプリント基板を略垂直姿勢で収容して搬送することができ、省スペース化を図ることを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明では、第１の解決手段として、方形に形成された枠体と、該枠体の対向する縦枠間及び横枠間かつ片側面に所定間隔で張設された糸状線材とから成る一対のネット枠と、一対のネット枠の一方の横枠に設けられ、糸状線材が張設された片側面同士が対峙するように一対のネット枠を開閉自在に連結する兆番と、一方の横枠に対向する他方の横枠に設けられる掛止具とを具備する、という手段を採用する。

基板搬送治具に係る第２の解決手段として、上記第１の手段において、糸状線材は複数の交差部位で結束されている、という手段を採用する。

基板搬送治具に係る第３の解決手段として、上記第１または第２の手段において、糸状線材は撥水性を有する、という手段を採用する。

本発明によれば、基板搬送治具が、方形に形成された枠体の片側面に一定間隔で縦横に張設した複数の糸状線材が対峙するように、一対のネット枠の一方の横枠が開閉可能に連結されており、基板の両面が対面する複数の糸状線材の張力により保持されるので、各種サイズの基板に対応することが可能となり、同時に搬送される複数の基板の両面を効率良く洗浄することができる。
また、一般的なローラーやネットコンベア等の搬送装置と比較して、各種サイズの基板を略垂直姿勢で収容して搬送することができる。よって、本発明によれば、基板洗浄装置の占有床面積を省スペース化することができ、作業者単独による搬出入作業を軽減することができる。

また、本発明によれば、縦横に張設された糸状線材の直交部位が結束されているので、縦横糸状線材の間隔を一定に保持することができ、少なくとも横方向に対向して直近位置に配置される糸状線材により基板の下面ないし両面が保持される、つまり基板のズレ落ちが防止され、縦方向に張設される複数の糸状線材により基板同士の重なりを防止することができるので、搬送中や洗浄中における基板の落下を防止することができる。

さらに、本発明によれば、糸状線材は撥水性材料で構成されているので、基板を保持した状態でスプレー洗浄等の水圧によって基板と線材間に洗浄液が滑り込み流れ落ちるため洗浄に悪影響を及ぼさない。

本発明の第１実施形態に係る基板搬送治具の一方側ネット枠を示す正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。 本発明の第１実施形態に係る基板搬送治具の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。 本発明の第１実施形態に係る基板搬送治具における図２のＡ−Ａ断面図（ａ）及びＢ部拡大図である。 本発明の第２実施形態に係る基板搬送治具の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。 本発明の第２実施形態に係る基板搬送治具の開閉動作を示す側面図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
〔第１実施形態〕
図１は、基板搬送治具の片側ネット枠を示す正面図（ａ）及び側面図（ｂ）、図２は基板搬送治具の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）、また図３は、図２のＡ−Ａ断面図（ａ）及びＢ部拡大図である。なお、これら図におけるｘ軸、ｙ軸は直交座標系を示している。ｘ軸は水平方向（横方向）であり、ｙ軸は垂直方向（縦方向）である。

図２に示すように、第１実施形態に係る基板搬送治具Ｊは、主な構成要素として、ステンレス製の鋼管あるいは丸棒（直径１０ｍｍ程度）で形成される縦枠Ｆ１，Ｆ２ないし横枠Ｆ３，Ｆ４により方形に形成された一対の枠体１Ａ，１Ｂと、互いに対向する縦枠Ｆ１，Ｆ２間ないし横枠Ｆ３，Ｆ４間に複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙを互いに直交するように一定間隔で張設した複数の糸状線材２とを備えた一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２、これら一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の下横枠Ｆ４間を開閉可能に連結する兆番（ヒンジ）Ｈ１，Ｈ２、両ネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の上横枠Ｆ３間を連結する掛止具８Ａ，８Ｂを備えている。

このような基板搬送治具Ｊは、例えばプリント基板（以下基板と称する）の製造工程において、前工程から搬入された縦横サイズの異なる矩形状の基板Ｗ１，Ｗ２を一括して一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２間に収容し、複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙの張力により各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２の両面を保持する。この状態で垂直姿勢で搬送されてきた基板搬送治具Ｊは、次工程である図示しない基板洗浄槽に上方から搬入された前記基板Ｗ１，Ｗ２に洗浄処理が施されると後工程に送り出される。

図１を参照して、一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の詳細構成について説明する。なお、一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２は、同一構成を有するので枠体１Ｂで構成される一方のネット枠ＮＦ２について説明する。

ネット枠ＮＦ２は、枠体１Ｂ（１Ａ）を構成する両縦枠Ｆ１，Ｆ２の外周縁に複数の掛止片５Ｙが一定間隔で突設されると共に、両横枠Ｆ３，Ｆ４の外周縁に複数の掛止片５Ｘが一定間隔で突設されている。
そこで、対向する縦枠Ｆ１，Ｆ２間ないし横枠Ｆ３，Ｆ４間には、枠体１Ｂの片側面で縦線材２Ｘと横線材２Ｙが互いに直交するように対向する掛止片５Ｘ，５Ｘ間ないし掛止片５Ｙ，５Ｙ間に一定間隔毎に張設する。

複数の糸状線材２は、単一の縦線材２Ｙを対向する横方向に配置した掛止片５Ｘ，５Ｘ間に、単一の横線材２Ｘを縦方向に配置した掛止片５Ｙ，５Ｙ間毎に夫々連続して張設しても良く、または、縦枠Ｆ１，Ｆ２間の全ての掛止片５Ｙ，５Ｙ、及び横枠Ｆ３，Ｆ４間の全ての掛止片５Ｘ，５Ｘ毎にそれぞれ横線材２Ｙおよび縦線材２Ｘを個別に張設することもできる。

また、枠体１Ｂの縦枠Ｆ１，Ｆ２および横枠Ｆ３，Ｆ４外周縁に突設した全ての掛止片５Ｘ，５Ｙには、１本の糸状線材２を始端から終端までを連続して掛止させて一定間隔で縦横に張設することもできる。
このように、複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙは、枠体１Ｂの片側面に一定間隔で互いに直交して張設されることで格子状に配置され、それぞれの直交する部位が結合されて複数の結束部４が形成される。

ネット枠ＮＦ１，ＮＦ２に使用される糸状線材２は、直径が０．５ｍｍ程度の断面円形であって、好ましくは伸縮性がほとんど無く、また撥水性を有する編み糸、例えば釣り糸などで使用されている超高分子ポリエチレンを原糸としたＰＥラインが使用される。このＰＥラインは、ポリエチレン系の新素材（ダイニーマやテクミロン素材）の組み糸で、直線強度はナイロンと同じ太さに比べ２．５〜３倍の強度を有している。

図２に示すように、このような一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の下横枠Ｆ４間にはヒンジＨ１，Ｈ２が設けられている。すなわち、一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２は、閉じた状態において縦横線材２Ｘ，２Ｙが張設された片側面同士が対峙するようにヒンジＨ１，Ｈ２により開閉可能に連結されている。各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２は、ネット枠ＮＦ１，ＮＦ２が開いた状態において、一方のネット枠ＮＦ１の縦横線材２Ｘ，２Ｙ上に重ならないように載置され、他方のネット枠ＮＦ２を閉じることで一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の間に挟持される。また、一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の上横枠Ｆ３間には、例えばバネで付勢される掛止具８Ａ，８Ｂが設けられており、弾力的により挟持結合される。
さらに、掛止具８Ａ，８Ｂ間には、コ字状に折曲したハンガー６の両端が支持されており、基板搬送治具Ｊの搬送時には、ハンガー６が図示しない搬送装置の吊り具に掛止されて略垂直姿勢で搬送される。

ここで、各種基板Ｗ１，Ｗ２の板厚は、０．８ｍｍ〜１．６ｍｍのものが使用されており、基板搬送治具Ｊ内に収容された各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２の両面は、互いに直交するように一定間隔で張設した複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙの張力により保持される。この場合、サイズの異なる基板Ｗ１，Ｗ２は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように横方向に対向して直近位置に張設される一対の横線材２Ｙにより下面ないし両面が保持される。

すなわち、各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２の下端縁は、一対の横線材２Ｙの張力により支持されると共に、前記基板Ｗ１，Ｗ２の上方両面は上部に張設されている一対の横線材２Ｙ間の張力により支持されることになる。

なお、基板Ｗ１，Ｗ２の板厚が厚い場合は、横線材２Ｙの線径が太いものを使用すれば保持力が安定する。細い線径の場合は、複数本（２〜３本）の線材を縒り合わせて太くしたものを使用しても良い。
また、直交するように張設した複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙのうち、縦線材２Ｙ間の間隔は、少なくとも洗浄の対象となる基板の最小サイズの１／２以下に設定するのが好ましい。
このように、複数の糸状線材２は、縦横線材２Ｘ，２Ｙの直交する部位が夫々結束部４で結合されるので、縦横線材２Ｘ，２Ｙの間隔を一定に保持することができる。

次に、このように構成された基板搬送治具Ｊの動作について、図２（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。
先ず、基板の製造工程において、定形サイズの基板（マザーボード）から複数枚同時に製造し、出荷前に実装する形状に切断加工が施される。各種サイズに切断された基板は、外形加工洗浄機に搬送されて水洗、乾燥処理が施される。
そこで、各種基板の洗浄に際し各種サイズに切断された基板は、開放された基板搬送治具Ｊの内部に収容する。

すなわち、開放されたネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の一方ネット枠ＮＦ１に各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２を重ならないように載置して他方のネット枠ＮＦ２を閉じ、掛止具８Ａ，８Ｂにより両ネット枠ＮＦ１，ＮＦ２の上横枠Ｆ３間を連結する。
そこで、各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２を収容した基板搬送治具Ｊは、ハンガー６が搬送装置により吊下されて垂直姿勢で搬送され基板洗浄槽の内部に上方から搬入される。

すなわち、この状態では一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２間に収容された各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２は、図２（ａ）に示すように複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙの張力により両面ないし下端縁が保持される。

基板洗浄槽の内部では、基板搬送治具Ｊが上下移動される過程でその内部に収容された各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２は、両側から高圧で噴射される洗浄液により両面が洗浄されると、後工程に送り出される。

このように、各種サイズの基板Ｗ１，Ｗ２は、一定間隔で張設された複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙの張力により両面ないし下端縁が保持されるので、基板Ｗ１，Ｗ２のズレ落ちを防止することができる。併せて、縦方向に張設される複数の糸状線材により基板同士の重なりを防止することができ、搬送中や洗浄中における基板の落下を防止することができる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１） 上記実施形態では、洗浄時における基板搬送治具Ｊを垂直姿勢で搬送する例に
付き説明したが、これに限定されない。すなわち、基板搬送治具Ｊを複数の縦横線材２Ｘ，２Ｙを互いに直交するように一定間隔で張設した複数の糸状線材２とを備えた一対のネット枠ＮＦ１，ＮＦ２で構成することで、ローラ等を使用しない水平状態で搬送することが可能になるので基板に搬送部を直接接触させずに洗浄処理することができる。

（２） 上記実施形態では、縦線材２Ｙ間の間隔を少なくとも洗浄の対象となる基板の最
小サイズの１／２以下に設定したが、これに限定されない。すなわち、横線材２Ｘ間の間隔も最小の基板サイズ以下に設定することで、一度に大量の基板を洗浄処理することができる。

（３） 上記実施形態では、基板搬送治具Ｊを外形加工洗浄機で洗浄する例に付いて説明
したが、これに限定されない。すなわち、本発明の基板搬送治具Ｊをプリント板製造工程における洗浄工程、及び板状部品の洗浄にも使用することができる。

〔第２実施形態〕
次に、第２実施形態について説明する。
第２実施形態に係る基板搬送治具Ｊ２は、第１実施形態と同様に矩形状の基板Ｗを収容し、基板Ｗの洗浄ために垂直姿勢で基板洗浄槽（図示略）に搬入される。基板搬送治具Ｊ２は、図４に示すように、外ネット枠ＮＦ１１、内ネット枠ＮＦ２１、外ネット枠ＮＦ１１と内ネット枠ＮＦ２１とを開閉可能に連結する連結軸ＣＮ１，ＣＮ２、外ネット枠ＮＦ１１と内ネット枠ＮＦ２１とを閉状態に固定するロック機構ＬＣ１，ＬＣ２、基板搬送治具Ｊ２の搬送時に図示しない搬送装置の吊り具に掛止されるハンガー１６とから構成されている。

外ネット枠ＮＦ１１は、ステンレス製の鋼管または丸棒（直径１０ｍｍ程度）の左縦枠Ｆ１１、右縦枠Ｆ１２、上横枠Ｆ１３及び下横枠Ｆ１４により方形に形成された枠体ＦＢ１１と、対向する左縦枠Ｆ１１と右縦枠Ｆ１２との間に一定間隔を空けて並列的に張設された複数の横線材１２Ｘと、対向する上横枠Ｆ１３と下横枠Ｆ１４との間に一定間隔を空けて並列的に張設された複数の縦線材１２Ｙとから構成されている。内ネット枠ＮＦ２１は、外ネット枠ＮＦ１１と同様に、左縦枠Ｆ２１、右縦枠Ｆ２２、上横枠Ｆ２３及び下横枠Ｆ２４により方形に形成された枠体ＦＢ２１と、対向する左縦枠Ｆ２１と右縦枠Ｆ２２との間に一定間隔を空けて並列的に張設された複数の横線材２２Ｘと、対向する上横枠Ｆ２３，下横枠Ｆ２４間に一定間隔を空けて並列的に張設された複数の縦線材２２Ｙとから構成されている。内ネット枠ＮＦ２１の枠体ＦＢ２１は、図４に示すように、外ネット枠ＮＦ１１の枠体ＦＢ１１より一回り小さい。

上述の外ネット枠ＮＦ１１において、左縦枠Ｆ１１及び右縦枠Ｆ１２には、複数の掛止片１５Ｙが縦方向に一定間隔で外側向きに突設されている。上横枠Ｆ１３及び下横枠Ｆ１４には、複数の掛止片１５Ｘが横方向に一定間隔で正面向きに突設されている。横線材１２Ｘは、対向する掛止片１５Ｙに掛止されることにより張設されている。縦線材１２Ｙは、対向する掛止片１５Ｘに掛止されることにより張設されている。横線材１２Ｘ及び縦線材１２Ｙは、枠体ＦＢ１１の片側面に一定間隔で互いに直交して張設されることで格子状に配置されている。

また、上述の内ネット枠ＮＦ２１において、左縦枠Ｆ２１及び右縦枠Ｆ２２には、複数の掛止片２５Ｙが縦方向に一定間隔で外側向きに突設されている。上横枠Ｆ２３及び下横枠Ｆ２４には、複数の掛止片２５Ｘが横方向に一定間隔で正面向きに突設されている。横線材２２Ｘは、対向する掛止片２５Ｙに掛止されることにより張設されている。縦線材２２Ｙは、対向する掛止片２５Ｘに掛止されることにより張設されている。横線材２２Ｘ及び縦線材２２Ｙは、枠体ＦＢ２１の片側面に一定間隔で互いに直交して張設されることで格子状に配置されている。

上述の横線材１２Ｘ、縦線材１２Ｙ、横線材２２Ｘ及び縦線材２２Ｙは、糸状線材であり、直径が０．５ｍｍ程度の断面円形であって、伸縮性がほとんど無いのが好ましく、撥水性を有する編み糸、例えば釣り糸などで使用されている超高分子ポリエチレンを原糸としたＰＥラインである。このＰＥラインは、ポリエチレン系の新素材（ダイニーマやテクミロン素材）の組み糸で、同じ太さのナイロンに比べ２．５〜３倍の直線強度を有している。

連結軸ＣＮ１，ＣＮ２は、外ネット枠ＮＦ１１の下横枠Ｆ１４と内ネット枠ＮＦ２１の下横枠Ｆ２４とを開閉可能に連結する。すなわち、基板搬送治具Ｊ２は、回転軸である連結軸ＣＮ１，ＣＮ２を中心に開閉可能である。基板搬送治具Ｊ２では、枠体ＦＢ２１が、枠体ＦＢ１１より一回り小さいので、図５に示すように閉状態時には、外ネット枠ＮＦ１１に内ネット枠ＮＦ２１が入り込む。
ロック機構ＬＣ１，ＬＣ２は、閉状態時に、外ネット枠ＮＦ１１と内ネット枠ＮＦ２１とを固定するものであり、上横枠Ｆ１３と上横枠Ｆ２３とに設けられた穴部に止め具が差し込まれることにより閉状態を固定する
ハンガー１６、外ネット枠ＮＦ１１の上横枠Ｆ１３に取り付けられており、基板搬送治具Ｊ２の搬送時に搬送装置（図示略）の吊り具に掛止されて略垂直姿勢で搬送される。

基板Ｗは、板厚は、０．８ｍｍ〜１．６ｍｍのものである。基板搬送治具Ｊ２では、外ネット枠ＮＦ１１及び内ネット枠ＮＦ２１が開いた状態で、どちらか一方の線材上に基板Ｗが載置され、他方が閉じられることで、基板Ｗが外ネット枠ＮＦ１１の横線材１２Ｘ及び縦線材１２Ｙと、内ネット枠ＮＦ２１の横線材２２Ｘ及び縦線材２２Ｙとによって挟持される。なお、基板Ｗの板厚が厚い場合には、横線材１２Ｘ、縦線材１２Ｙ、横線材２２Ｘ、縦線材２２Ｙに線径が太いものを使用すれば保持力が安定する。細い線径の場合は、複数本（２〜３本）の線材をより合わせて太くしたものを使用しても良い。また、各縦線材１２Ｙ、各縦線材２２Ｙの間隔は、少なくとも洗浄の対象となる基板Ｗの最小サイズの１／２以下に設定するのが好ましい。

次に、このように構成された基板搬送治具Ｊ２の動作について説明する。
基板Ｗの洗浄の際、基板Ｗは、開放された基板搬送治具Ｊ２の内部に収容される。すなわち、開放された外ネット枠ＮＦ１１，内ネット枠ＮＦ２１の一方に基板Ｗが載置され、他方が閉じられ、ロック機構ＬＣ１，ＬＣ２により外ネット枠ＮＦ１１及び内ネット枠ＮＦ２１の閉状態が固定される。そして、基板を収容した基板搬送治具Ｊ２は、ハンガー１６により搬送装置に垂直姿勢で吊り下げられて搬送され、基板洗浄槽の内部に上方から搬入される。基板洗浄槽の内部では、基板搬送治具Ｊ２が上下移動される過程で基板Ｗは、両側から噴射される高圧の洗浄液により両面が洗浄される。

以上のように、第２実施形態に係る基板搬送治具Ｊ２は、外ネット枠ＮＦ１１の横線材１２Ｘ及び縦線材１２Ｙと、内ネット枠ＮＦ２１の横線材２２Ｘ及び縦線材２２Ｙとによって基板Ｗを挟持し、ハンガー１６により搬送装置に垂直姿勢で吊り下げられて垂直姿勢で搬送される。つまり、基板搬送治具Ｊ２は、搬送装置に吊り下げられて状態で基板Ｗを略垂直姿勢で収容でき、さらに外ネット枠ＮＦ１１と内ネット枠ＮＦ２１とによる挟持により基板Ｗのズレ落ちを防止できる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態は、基板搬送治具Ｊ２を基板の外形加工洗浄機での洗浄に利用されるだけでなく、プリント基板製造工程におけるあらゆる洗浄工程や板状部品の洗浄に使用することができる。

１Ａ，１Ｂ…枠体、２…糸状線材、２Ｘ…横線材、２Ｙ…縦線材、４…結束部、５Ｙ，５Ｙ…掛止片、Ｆ１，Ｆ２…縦枠、Ｆ３，Ｆ４…横枠、ＮＦ１，ＮＦ２…ネット枠、Ｗ１，Ｗ２…基板（プリント基板）Ｊ２…基板搬送治具，ＮＦ１１…外ネット枠、ＮＦ２１…内ネット枠、ＣＮ１，ＣＮ２…連結軸、ＬＣ１，ＬＣ２…ロック機構、１６…ハンガー、ＦＢ１１…枠体、ＦＢ２１…枠体、１２Ｘ…横線材、１２Ｙ…縦線材、２２Ｘ…横線材、２２Ｙ…縦線材、Ｆ１１…左縦枠，Ｆ１２…右縦枠、Ｆ１３…上横枠，Ｆ１４…下横枠、Ｆ２１…左縦枠，Ｆ２２…右縦枠、Ｆ２３…上横枠，Ｆ２４…下横枠、１５Ｘ，１５Ｙ，２５Ｘ，２５Ｙ…掛止片、Ｗ…基板

Claims (3)

1. 方形に形成された枠体と、該枠体の対向する縦枠間及び横枠間かつ片側面に所定間隔で張設された糸状線材とから成る一対のネット枠と、
   一対のネット枠の一方の横枠に設けられ、糸状線材が張設された片側面同士が対峙するように一対のネット枠を開閉自在に連結する兆番と、
   一方の横枠に対向する他方の横枠に設けられる掛止具と
   を具備することを特徴とする基板搬送治具。
2. 前記糸状線材は複数の交差部位で結束されていることを特徴とする請求項１記載の基板搬送治具。
3. 前記糸状線材は撥水性を有することを特徴とする請求項１または２記載の基板搬送治具。
   

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