JP2011222578A - 電子部品製造装置及び電子部品製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】内部導体パターンを精度よく形成することのできる多層構造の電子部品の製造装置及び製造方法を得る。
【解決手段】ステージ10上に保持されたマザー基板1にマスクを掛け、マザー基板1上に設けた感光性ペーストを該マスクを介して露光する電子部品の製造装置。この製造装置は、吸引ポンプ13を動作させることでマザー基板1を気密に保持する縁部を有する開口部11を形成したステージ10と、開口部11に負圧又は正圧を作用させる内圧調整ポンプ15と、ステージ10に保持されたマザー基板1に対して開口部11側から押上げ力を作用させる押上げ手段20と、を備えている。開口部11に負圧又は正圧を作用させること、及び、押上げ手段20にてマザー基板1を押し上げることにより、マザー基板1の反りを矯正する。
【選択図】図3
【解決手段】ステージ10上に保持されたマザー基板1にマスクを掛け、マザー基板1上に設けた感光性ペーストを該マスクを介して露光する電子部品の製造装置。この製造装置は、吸引ポンプ13を動作させることでマザー基板1を気密に保持する縁部を有する開口部11を形成したステージ10と、開口部11に負圧又は正圧を作用させる内圧調整ポンプ15と、ステージ10に保持されたマザー基板1に対して開口部11側から押上げ力を作用させる押上げ手段20と、を備えている。開口部11に負圧又は正圧を作用させること、及び、押上げ手段20にてマザー基板1を押し上げることにより、マザー基板1の反りを矯正する。
【選択図】図3
Description
本発明は、電子部品製造装置及び電子部品製造装置方法、特に、インダクタなどの電子素子を内蔵した多層構造の電子部品の製造装置及び製造方法に関する。
従来、インダクタなどの電子素子を内蔵した電子部品は、例えば、特許文献1に記載されているように、セラミックグリーンシート上にフォトリソグラフィによる加工(以下、フォトリソ工法と称する)によって所定形状の内部導体パターンを形成し、さらに、1層目上にセラミックグリーンシートを所定厚みに塗布し、その表面にフォトリソ工法によって2層目の内部導体パターンを形成して製造されている。
しかしながら、このようなフォトリソ工法によって多層構造の電子部品を製造する際には、内部導体パターンを焼成、冷却するため、基板(セラミックシート)と内部導体パターンとの熱膨張率の差(通常、導体パターンの収縮が大きい)によって基板に反りが生じてしまう。基板が反ると、露光工程で、基板と露光マスクとの間隔(露光ギャップ)に部分的なばらつきを生じ、内部導体パターンの形成精度が低下し、製品の歩留まりが悪くなるという問題点を生じていた。特に、内部導体パターンがインダクタであると、線幅のばらつきによって設計どおりのL値を得ることができない。
なお、従来、フォトリソ工法を行う際に基板を吸引テーブルにて保持しているが、この種の吸引テーブルは基板を保持できる程度であり、基板の反りを矯正することまでも意図しておらず、矯正できるものでもなかった。
そこで、本発明の目的は、内部導体パターンを精度よく形成することのできる多層構造の電子部品の製造装置及び製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の第1の形態である電子部品製造装置は、
ステージ上に保持されたマザー基板上にフォトリソ工法によって所定形状の内部導体パターンを形成する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧及び/又は正圧を作用させる内圧調整手段と、
を備えたことを特徴とする。
ステージ上に保持されたマザー基板上にフォトリソ工法によって所定形状の内部導体パターンを形成する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧及び/又は正圧を作用させる内圧調整手段と、
を備えたことを特徴とする。
本発明の第2の形態である電子部品製造方法は、
マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に感光性ペーストを印刷する印刷工程と、
前記感光性ペースト上にマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品の製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧及び正圧を作用させることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする。
マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に感光性ペーストを印刷する印刷工程と、
前記感光性ペースト上にマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品の製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧及び正圧を作用させることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする。
前記第1の形態である製造装置及び前記第2の形態である製造方法において、ステージの開口部の縁部に気密に保持されたマザー基板は、そりが生じていたとしても、開口部を負圧及び正圧に制御することにより、マザー基板のそりが矯正され、マザー基板とマスクとの間隔が調整される。これにて、複数層からなるマザー基板上にフォトリソ工法にて所定形状の内部導体パターンを精度よく形成することができる。
本発明の第3の形態である電子部品製造装置は、
ステージ上に保持されたマザー基板にマスクを掛け、該マザー基板上に設けた感光性ペーストを該マスクを介して露光する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧を作用させる内圧調整手段と、
前記ステージに保持されたマザー基板に対して前記開口部側から押上げ力を作用させる押上げ手段と、
を備えたことを特徴とする。
ステージ上に保持されたマザー基板にマスクを掛け、該マザー基板上に設けた感光性ペーストを該マスクを介して露光する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧を作用させる内圧調整手段と、
前記ステージに保持されたマザー基板に対して前記開口部側から押上げ力を作用させる押上げ手段と、
を備えたことを特徴とする。
本発明の第4の形態である電子部品製造方法は、
マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に感光性ペーストを印刷する印刷工程と、
前記感光性ペースト上にマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品の製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧を作用させること、及び、前記マザー基板を開口部側から押し上げることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする。
マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に感光性ペーストを印刷する印刷工程と、
前記感光性ペースト上にマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品の製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧を作用させること、及び、前記マザー基板を開口部側から押し上げることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする。
前記第3の形態である製造装置及び前記第4の形態である製造方法において、ステージの開口部の縁部に気密に保持されたマザー基板は、そりが生じていたとしても、開口部を負圧に制御すること及びマザー基板を開口部側から押し上げることにより、マザー基板のそりが矯正され、マザー基板とマスクとの間隔が調整される。これにて、複数層からなるマザー基板上にフォトリソ工法にて所定形状の内部導体パターンを精度よく形成することができる。
前記製造方法においては、露光工程を中断し、マザー基板とマスクとの間隔を調整した後に、露光工程を再開してもよく、あるいは、マザー基板とマスクとの間隔を調整する工程を露光工程中に行うようにしてもよい。露光工程の途中で間隔調整工程を実行することで、感光性ペーストから発生したガスが基板とマスクとの間から排除され、多層構造体の品質が向上する。
本発明によれば、マザー基板の反りを矯正することにより、多層構造の電子部品における内部導体パターンを精度よく形成することができる。
以下、本発明に係る電子部品製造装置及び電子部品製造方法の実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部品、部分には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
(導体パターンの一例、図1参照)
本発明に係る製造装置及び製造方法によってマザー基板上に形成される導体パターンは、例えば、図1に示すコイル状のパターン5であり、比較的広い面積のマザー基板1上に複数個のパターン5がフォトリソ工法にてマトリクス状に形成され、このようなマザー基板1が複数層に積層され、一体的に焼結された後、1単位の電子部品(インダクタやLC複合部品)に分割される。
本発明に係る製造装置及び製造方法によってマザー基板上に形成される導体パターンは、例えば、図1に示すコイル状のパターン5であり、比較的広い面積のマザー基板1上に複数個のパターン5がフォトリソ工法にてマトリクス状に形成され、このようなマザー基板1が複数層に積層され、一体的に焼結された後、1単位の電子部品(インダクタやLC複合部品)に分割される。
なお、以下の実施例で説明するフォトリソ工法はセラミックシート上に導電性粒子を含む感光性ペーストを塗布し、マスクを介して露光し、現像して所定形状の導体パターンを形成する方法である。
(第1実施例、図2〜図5参照)
図2に示すように、第1実施例である製造装置は、側壁にて囲まれた四角形状の開口部11を形成したステージ10と開口部11の中央部に配置された押上げ手段20とで構成されている。側壁の上面(縁部)に形成した吸引溝12には吸引ポンプ13が接続されている。開口部11の床面には開口部11内を負圧に作用させる内圧調整ポンプ15が接続されている。
図2に示すように、第1実施例である製造装置は、側壁にて囲まれた四角形状の開口部11を形成したステージ10と開口部11の中央部に配置された押上げ手段20とで構成されている。側壁の上面(縁部)に形成した吸引溝12には吸引ポンプ13が接続されている。開口部11の床面には開口部11内を負圧に作用させる内圧調整ポンプ15が接続されている。
押上げ手段20は、圧電アクチュエータにて構成されている。また、ステージ10の直上にはレーザ式の変位センサ25(図3参照)が配置され、ステージ10上に設置されたマザー基板1の反りを検出(測定)可能である。
以上の構成からなる製造装置を用いて多層構造の電子部品を以下の工程で製造する。(1)1層目となる所定面積のマザー基板1を用意し、ステージ10の開口部11に載置する(図3(A)参照)。このマザー基板1は、所定厚みの無地の焼成済みのもの、あるいは、図1に示した内部導体パターン5が形成されており、焼成、冷却されたものである。(2)マザー基板1が無地の場合は、マザー基板1上に導電粒子を含む感光性ペーストを塗布するとともに、吸引ポンプ13を動作させてマザー基板1の外周部を気密に保持する。一方、マザー基板1上に導体パターン5が形成されているのであれば、マザー基板1上にセラミックスラリーを所定の厚さに塗布して乾燥させ、あるいは、マザー基板1と同じ面積のセラミックグリーンシートを重ね合わせる。このように積層されたマザー基板1上に導電粒子を含む感光性ペーストを塗布するとともに、吸引ポンプ13を動作させてマザー基板1の外周部を気密に保持する。
(3)ステージ10上にマザー基板1を保持した状態で、レーザ変位センサ25でマザー基板1上を走査し、マザー基板1の反りを検出(測定)する。なお、押上げ手段20はその上面が開口部11の縁部の高さより若干下方に設定されている。マザー基板1は通常中央部分が上方に反った凸形状であり、この場合は、内圧調整ポンプ15を動作させて開口部11に負圧を作用させると、マザー基板1は中央部分が押上げ手段20に当接して凹形状になる(図3(B)参照)。この状態をレーザ変位センサ25で走査して反りを検出(測定)し、押上げ手段20を上方に駆動することでマザー基板1の中央部分を押し上げ、マザー基板1の反りを矯正する(図3(C)参照)。
(4)平坦に矯正されたマザー基板1上の感光性ペーストに、図4に示すように、所定形状の開口を形成したマスク30を設置し、露光によって感光性ペーストをマスク30の開口形状に沿って硬化させる。このとき、マザー基板1は平坦に矯正されているため、感光性ペーストを介してマスク30はマザー基板1に間隔のばらつきなく接触し、内部導体パターン5が精度よく形成される。(5)露光工程が終了すると、マザー基板1はステージ10から取り外され、次工程である現像工程に移される。
ところで、マスク30はガラス製であることからレーザを透過する。従って、図5(A),(B)に示すように、マザー基板1上に感光性ペーストを介してマスク30を設置した状態で、レーザ変位センサ25で走査することにより、マザー基板1とマスク30との間隔を測定することができる。この測定結果からマザー基板1の反りを検出し、押上げ手段20を上方向又は下方向に動作させることで、マザー基板1の反りを矯正することもできる。
さらに、露光工程を中断し、押上げ手段を上下動させてマザー基板1とマスク30との間隔を調整した後に、露光工程を再開してもよく、あるいは、露光工程の途中でマザー基板1とマスク30との間隔を調整してもよい。この調整工程は複数回であってもよい。このように、露光工程の途中で敢えてマザー基板1を凹状又は凸状に変形させることで、露光中に感光性ペーストから発生したガスをマザー基板1とマスク30との間から排除することができ、電子部品の品質が向上する。
一般的に、酸素は感光性ペーストの光硬化を阻害する。しかし、ガスが発生すると、酸素がガスに置き換わり、酸素濃度が低下する。その結果、感光性ペーストの効果が促進される。従って、ガス濃度と露光時間との関係で光硬化の状態が変化するおそれがある。また、マザー基板1の表面でガスの濃度差が生じると、露光パターンにむらが生じるおそれもある。このようなガスを排除することで、感光性ペーストの光硬化状態を安定させることができる。
(第2実施例、図6参照)
図6に示すように、押上げ手段20として、前記第1実施例で用いた圧電アクチュエータに代えて、ねじ21をモータ22で回転駆動する方式を用いてもよい。ねじ21はステージ10の床部分に気密に螺着されている。本第2実施例における他の構成や製造工程は第1実施例と同様である。
図6に示すように、押上げ手段20として、前記第1実施例で用いた圧電アクチュエータに代えて、ねじ21をモータ22で回転駆動する方式を用いてもよい。ねじ21はステージ10の床部分に気密に螺着されている。本第2実施例における他の構成や製造工程は第1実施例と同様である。
(第3実施例、図7参照)
押上げ手段20は開口部11内の複数個所に配置されていてもよい。例えば、図7に示すように、押上げ手段20を開口部11の中央部を含めて周囲の4カ所にバランスよく配置してもよい。
押上げ手段20は開口部11内の複数個所に配置されていてもよい。例えば、図7に示すように、押上げ手段20を開口部11の中央部を含めて周囲の4カ所にバランスよく配置してもよい。
(第4実施例、図8参照)
製造装置は、第4実施例として図8に示すように、押上げ手段20を省き、内圧調整ポンプ15を開口部11に負圧及び正圧を選択的に作用させる機能を有するものとした。他の構成は前記第1実施例と同様である。
製造装置は、第4実施例として図8に示すように、押上げ手段20を省き、内圧調整ポンプ15を開口部11に負圧及び正圧を選択的に作用させる機能を有するものとした。他の構成は前記第1実施例と同様である。
マザー基板1を吸引ポンプ13を動作させてステージ10の縁部に保持した状態で、内圧調整ポンプ15で開口部11を負圧にすると、マザー基板1は凸状の反りが矯正される。一方、内圧調整ポンプ15で開口部11を正圧にすると、マザー基板1は凹状の反りが矯正される。従って、押上げ手段20を設置することなく、マザー基板1の反りを矯正できる。また、露光工程の途中で内圧調整ポンプ15の動作を正負に切り換えてマザー基板1を凹状又は凸状に変形させることで、露光中に感光体ペーストから発生したガスをマザー基板1とマスク30との間から排除できる。
なお、本発明に係る電子部品製造装置及び電子部品製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
例えば、押上げ手段は前記圧電アクチュエータやねじをモータで駆動する方式以外にシリンダやエアバックなど種々の駆動源を用いた方式を採用することができる。また、押上げ手段の配置位置は任意である。また、変位センサを設ければ、マザー基板とマスクとの間隔をより精密に調整することができるが、本発明において変位センサは必ずしも必要なものではない。
吸引ポンプと負圧動作専用の内圧調整ポンプとは同一のポンプで共用してもよい。但し、前記実施例のように、両者を別のポンプとすることで、内圧調整ポンプで開口部の内圧を正負いずれかに選択的に調整することができ、圧力の制御も容易である。
以上のように、本発明は、多層構造の電子部品の製造装置及び製造方法に有用であり、特に、内部導体パターンを精度よく形成できる点で優れている。
1…マザー基板
5…内部導体パターン
10…ステージ
11…開口部
13…吸引ポンプ
15…内圧調整ポンプ
20…押上げ手段
25…レーザ変位センサ
30…マスク
5…内部導体パターン
10…ステージ
11…開口部
13…吸引ポンプ
15…内圧調整ポンプ
20…押上げ手段
25…レーザ変位センサ
30…マスク
Claims (12)
- ステージ上に保持されたマザー基板上にフォトリソ工法によって所定形状の内部導体パターンを形成する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧及び/又は正圧を作用させる内圧調整手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品製造装置。 - 前記ステージに保持されたマザー基板に対して前記開口部側から押上げ力を作用させる押上げ手段を備えたこと、を特徴とする請求項1に記載の電子部品製造装置。
- ステージ上に保持されたマザー基板上にフォトリソ工法によって所定形状の内部導体パターンを形成する電子部品製造装置において、
マザー基板を気密に保持する縁部を有する開口部を形成したステージと、
前記開口部に負圧を作用させる内圧調整手段と、
前記ステージに保持されたマザー基板に対して前記開口部側から押上げ力を作用させる押上げ手段と、
を備えたことを特徴とする電子部品製造装置。 - 前記マザー基板を前記開口部の縁部に気密に保持するための吸引手段を備えたこと、を特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の電子部品製造装置。
- 前記ステージ上に設置されたマザー基板のそりを検出する変位センサを備えたこと、を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の電子部品製造装置。
- 前記マザー基板と該マザー基板上に設置されたマスクとの間隔を測定する変位センサを備えたこと、を特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の電子部品製造装置。
- 前記押上げ手段は前記開口部内のほぼ中央部に配置されていること、を特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれかに記載の電子部品製造装置。
- 前記押上げ手段は前記開口部内の複数個所に配置されていること、を特徴とする請求項2ないし請求項6のいずれかに記載の電子部品製造装置。
- マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に設けた感光性ペーストに対してマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧及び正圧を作用させることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする電子部品製造方法。 - マザー基板をステージ上に保持させる保持工程と、
前記マザー基板上に設けた感光性ペーストに対してマスクを介して露光する露光工程と、
を備えた電子部品製造方法であって、
前記マザー基板は前記ステージに設けた開口部の縁部に気密に保持されており、
前記開口部に負圧を作用させること、及び、前記マザー基板を開口部側から押し上げることにより、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整すること、
を特徴とする電子部品製造方法。 - 前記露光工程を中断し、前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整した後に、前記露光工程を再開すること、を特徴とする請求項9又は請求項10に記載の電子部品製造方法。
- 前記マザー基板と前記マスクとの間隔を調整する工程を前記露光工程中に行うこと、を特徴とする請求項9又は請求項10に記載の電子部品製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010086904A JP2011222578A (ja) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | 電子部品製造装置及び電子部品製造方法 |
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JP2010086904A JP2011222578A (ja) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | 電子部品製造装置及び電子部品製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP2011222578A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103779453A (zh) * | 2014-01-21 | 2014-05-07 | 中国科学院半导体研究所 | 一种控制半导体led外延片内应力的装置 |
JP2014195042A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-10-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 基板の反り矯正装置及び基板の反り矯正方法 |
JP2015043405A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 真空成形機及びそれを備えた基板処理システム、並びにそれを用いた基板処理方法 |
JP2017515148A (ja) * | 2014-05-06 | 2017-06-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 |
JP2021154736A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | エーエスエム・アセンブリー・システムズ・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | ツーリング真空ユニット |
-
2010
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014195042A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-10-09 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 基板の反り矯正装置及び基板の反り矯正方法 |
US9362151B2 (en) | 2013-02-27 | 2016-06-07 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Substrate warp correcting device and substrate warp correcting method |
JP2015043405A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 真空成形機及びそれを備えた基板処理システム、並びにそれを用いた基板処理方法 |
CN103779453A (zh) * | 2014-01-21 | 2014-05-07 | 中国科学院半导体研究所 | 一种控制半导体led外延片内应力的装置 |
JP2017515148A (ja) * | 2014-05-06 | 2017-06-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 基板支持体、基板支持ロケーションに基板を搭載するための方法、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 |
US10656536B2 (en) | 2014-05-06 | 2020-05-19 | Asml Netherlands B.V. | Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2021154736A (ja) * | 2020-03-26 | 2021-10-07 | エーエスエム・アセンブリー・システムズ・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | ツーリング真空ユニット |
JP7150925B2 (ja) | 2020-03-26 | 2022-10-11 | エーエスエムピーティー・エスエムティー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | ツーリング真空ユニット |
JP2022173391A (ja) * | 2020-03-26 | 2022-11-18 | エーエスエムピーティー・エスエムティー・シンガポール・ピーティーイー・リミテッド | ツーリング真空ユニット |
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