JP2011215077A - 紫外線探傷灯 - Google Patents

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Abstract

【課題】浸透探傷試験や磁粉探傷試験に供される被探傷体の検査領域を効率的に紫外線照明することのできる簡易な構成の紫外線探傷灯を提供する。
【解決手段】被探傷体を照明すべき最小照明領域の大きさよりも狭い領域に、射出光の光軸を一方向に揃えて複数の紫外線発光ダイオードを環状に配置し、これらの紫外線発光ダイオードからそれぞれ射出される紫外線光の各光軸上に各紫外線発光ダイオードから射出された紫外線光を各別に集光して前記被探傷体に照射する複数の集光レンズを設け、これらの集光レンズを一体に支持したレンズ支持体を該紫外線光の光軸方向に進退させて、前記被探傷体に照射する紫外線光の照射領域の大きさを可変する。
【選択図】図1

Description

本発明は、浸透探傷試験または磁粉探傷試験に用いられて被探傷体を照明するに好適な紫外線探傷灯に関する。
鉄鋼の溶接部における損傷や変質等の欠陥の有無を非破壊検査する手法として浸透探傷試験や磁粉探傷試験が知られている。この種の試験は、被探傷体に磁力を加えた状態で該被探傷体の検査領域に微小な磁性粉を散布したとき、前記磁性粉の付着パターンが変化することを観察することで欠陥の有無を検査するものである。このような検査法を採用した検査装置については、例えば特許文献1等に詳しく紹介される。
尚、一般的には前記磁性粉に蛍光剤を塗布しておき、この磁性粉を散布した検査領域を紫外線光にて照明することで該磁性粉の付着パターンの観察の容易化が図られている。
ところで前述した検査領域の照明に用いられる紫外線光の光源には、専ら、紫外線蛍光ランプが用いられている。しかし蛍光ランプの駆動源が大掛かりである上、その発光が安定するまでに時間が掛かると言う不具合がある。そこで紫外線蛍光ランプに代えて紫外線発光ダイオードを用いることが考えられている。しかし紫外線蛍光ランプに比較して紫外線発光ダイオードの発光強度は弱く、例えばJISで規定されるような観察条件を満たすことが困難である。ちなみに上記照明光源には、該照明光源から40cm離して設けられた被探傷体の検査領域において、1mW/cm以上の照度で紫外線光を照射し得ることが要求される。
この点、外観検査装置においては、外観検査に供される対象物をカメラによる撮像に十分な照度(明るさ)で均一に照明するべく、複数の発光ダイオードを円環状に配置した照明光源を用いて上記対象物を広範囲に照明することが行われている(例えば特許文献2を参照)。
特開2001−194316号公報 特開2000−121563号公報
しかしながら特許文献2に示されるような光源の構成もまた大掛かりである。しかも一般的には暗室内において実施される前述した浸透探傷試験や磁粉探傷試験において、特許文献2に示されるような光源を用いて、その被探傷体における検査領域だけを局所的に紫外線照明することも困難であると言う問題がある。
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、浸透探傷試験や磁粉探傷試験に供される被探傷体の検査領域を効率的に紫外線照明することのできる簡易な構成の紫外線探傷灯を提供することにある。
上述した目的を達成するべく本発明に係る紫外線探傷灯は、浸透探傷試験または磁粉探傷試験に供せられる被探傷体を紫外線光にて照明する為のものであって、
前記被探傷体を照明すべき最小照明領域の大きさよりも狭い領域に、射出光の光軸を一方向に揃えて環状に配置された複数の紫外線発光ダイオードと、
これらの紫外線発光ダイオードから所定の拡がり角を有してそれぞれ射出される紫外線光の各光軸上に設けられて、前記各紫外線発光ダイオードから射出された紫外線光を各別に集光して前記被探傷体に照射する複数の集光レンズと、
これらの集光レンズを一体に支持したレンズ支持体と、
前記複数の集光レンズを前記紫外線発光ダイオードからそれぞれ射出された紫外線光の光軸上に位置付けたまま、前記レンズ支持体を該紫外線光の光軸方向に進退させて、前記被探傷体に照射する紫外線光の照射領域の大きさを可変するレンズ進退機構と、
を具備し、前記集光レンズにてそれぞれ集光された紫外線光を互いに重ね合わせて前記被探傷体に照射することを特徴としている。
ちなみに前記集光レンズは、例えば前記紫外線発光ダイオード側に平坦面を向けた片凸レンズからなる。また前記レンズ進退機構は、具体的には前記レンズ支持体を、前記集光レンズが前記紫外線発光ダイオードに接する直前の位置から前記最小照明領域の大きさの程度まで前記紫外線光を集光し得る位置まで前記紫外線光の光軸方向に進退させるように構成される。
好ましくは、前記レンズ進退機構は、例えば
前記紫外線発光ダイオードを一端側に組み付けた円筒状の第1の筐体と、
この第1の筐体に組み付けられた前記紫外線発光ダイオードに前記レンズ支持体を対峙させて前記レンズ支持体を前記第1の筐体の軸方向にのみ進退自在にガイドするガイド体と、
前記第1の筐体と前記レンズ支持体との間に設けられて前記レンズ支持体を前記紫外線発光ダイオードから離反する向きに付勢するバネ体と、
このバネ体に抗して前記第1の筐体の周面に設けられたねじ部に螺合して該第1の筐体の軸方向に進退し、前記レンズ支持体を前記第1の筐体側に押し付けて前記紫外線発光ダイオードと前記集光レンズとの対向距離を設定する円筒状の第2の筐体と
を備えて構成される。
また前記レンズ支持体については、前記紫外線光の照射方向に可視光を射出する可視光発光ダイオードを、環状に配列された前記複数の集光レンズ間の中心位置に備えることが好ましい。また前記複数の紫外線発光ダイオードを、所定の周期で同時にパルス発光駆動することも好ましい。尚、上記周期については、例えば被探傷体の検査対象領域を撮像するカメラの撮像タイミングに同期させることが望ましい。
上記構成の紫外線探傷灯によれば、被探傷体を照明すべき最小照明領域の大きさよりも狭い領域に、複数の紫外線発光ダイオードを、その射出光の光軸を一方向に揃えて環状に配置しており、各紫外線発光ダイオードから射出された紫外線光を、その光軸上にそれぞれ設けた集光レンズにて各別に集光し、各集光レンズにてそれぞれ集光された紫外線光を互いに重ね合わせて前記被探傷体に照射するので、被探傷体を照明する紫外線光の照度を簡易に高めることができる。
特に複数の紫外線発光ダイオードからそれぞれ射出された紫外線光を、その光軸上にそれぞれ設けた集光レンズにて各別に集光するので、紫外線発光ダイオードと集光レンズとの距離を変えるだけでその集光特性(集光パターン)を、その光軸を中心として対称性よく安定に変化させることができる。従って複数の紫外線発光ダイオードと、これらの各紫外線発光ダイオードのそれぞれに対応する複数の集光レンズとの距離を一括して変化させるだけで、各集光レンズにてそれぞれ集光された紫外線光を互いに重ね合わせて被探傷体に照射される紫外線光の照明パターン(照明領域の大きさ)を、照明強度分布の偏りを招来することなく安定に変化させることができる。
また紫外線光の照射方向に可視光を射出する可視光発光ダイオードを備えれば、紫外線光の照射領域を目視により確認することが容易である。更に複数の紫外線発光ダイオードを、所定の周期で同時にパルス発光駆動すれば、紫外線発光ダイオードの実効的な駆動エネルギを抑えながら、カメラにて被探傷体を撮像するに必要な照明強度(照度)を容易に得ることができる。
本発明の一実施形態に係る紫外線探傷灯の要部概略構成を示す断面図。 複数の紫外線発光ダイオードがそれぞれ発する紫外線光の強度分布と、被探傷体に照射される紫外線光の照射パターンを示す図。 紫外線ダイオードと集光レンズとの距離を変化させたときの、被探傷体に照射される紫外線光の照射パターンの変化を示す図。 本発明に係る紫外線探傷灯を用いて構築される探傷装置の概略構成図。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る紫外線探傷灯について説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る紫外線探傷灯の要部概略構成を示す断面図で、1は複数の紫外線発光ダイオード(UV−LED)2を搭載したLED基板である。紫外線探傷灯に要求される仕様が、例えば40cm離れた位置から被探傷体を1mW/cm以上の照度で、直径30cmの円形領域を均一に照明することができ、またスポット的には直径10cmの円形領域を均一に照明することが要求される場合、ここでは中心波長365nmの紫外線光を発光する4個の紫外線発光ダイオード(UV−LED)2が用いられる。尚、上記UV−LED2のそれぞれは、例えば60°の拡がり角度で紫外線光を射出し、40cm離れた位置で1.5mW/cmの紫外線照度が得られる、いわゆる高出力型のものからなる。
これらの4個のUV−LED2は、射出する紫外線光の光軸の向きを一方向に揃えて前記LED基板1上に円環状に配置される。特に4個のUV−LED2は、被探傷体を照明すべき最小照明領域、具体的には上述した直径10cmの円形領域(スポット領域)の大きさよりも狭い領域をなす、例えば直径2.4cmの円上に等間隔に配置される。
このようにして4個のUV−LED2を搭載したLED基板1は、紫外線探傷灯の本体部をなす円筒状の第1の筐体10の一端部に、前記UV−LED2から射出される紫外線光を前記第1の筐体10の外側に向けて照射するように装着される。尚、第1の筐体10の内部には、前記UV−LED2をそれぞれ発光駆動する電源部11が組み込まれる。この電源部11によるUV−LED2の発光駆動は、後述するように所定の周期でパルス的に行われる。
一方、前記第1の筐体10の一端側には、該第1の筐体10の一端側外周面に刻設されたねじ溝(ボルト)12に螺合して円筒状の第2の筐体20が設けられる。この第2の筐体20は、その内周面に前記第1の筐体10のねじ溝12に螺合するねじ溝(ナット)21を備えたもので、第1の筐体10に対して回転させることでその螺合量が調整され、これによって前記第1の筐体10の軸方向に進退可能に設けられる。
ちなみに上述した第2の筐体20は、前記UV−LED2にそれぞれ対峙させて設けられる複数(4枚)の集光レンズ3を保持すると共に、集光レンズ3とUV−LED2との距離を調整して、被探傷体に照射する紫外線光の照射領域の大きさを変化させる役割を担う。これらの集光レンズ3は、前記UV−LED2がそれぞれ射出する紫外線光の光軸上にそれぞれ位置付けられて、各UV−LED2から射出された紫外線光を各別に集光するもので、例えば直径1cmの短焦点の片凸レンズからなる。特にこれらの集光レンズ(片凸レンズ)3は、その平坦面側を前記UV−LED2に向けて円板状のレンズ支持体4上に支持されている。前記第2の筐体20は、その先端部に内側に張り出して設けられたフランジ部22にて上述したレンズ支持体4の周縁部を前記第1の筐体10側に向けて押さえ込むことで、後述するリング状のバネ体30との間に前記レンズ支持体4を保持する。
ここで前記レンズ支持体4は、その周縁部に前記第1の筐体10側に向けて突出する棒状のガイド体(脚部)40を備える。このガイド体(脚部)40は、前記第1の筐体10の前述したLED基板1が装着された一端側に穿たれたガイド孔13に挿通されて、前記レンズ支持体4を前記第1の筐体10に対して回転不能に支持し、且つ第1の筐体10の軸方向、つまり前述した紫外線の光軸方向に進退自在に支持する役割を担う。このようにして前記ガイド孔13に挿通したガイド体40によって、前記レンズ支持体4に支持された4枚の集光レンズ3は、前記UV−LED2から射出される紫外線光の光軸上に位置付けられた状態でその光軸方向に進退可能に設けられることになる。
そして前述したリング状のバネ体30は、上述した如く進退自在に設けられたレンズ支持体4と前記第1の筐体10の一端面との間に介挿されており、前記レンズ支持体4を前記第1の筐体10から遠ざける向きに付勢偏奇している。前述した第2の筐体20は、上記リング状のバネ体30に抗して前記第1の筐体10に螺着されることで、バネ体30との間に前記レンズ支持体4を挟持し、前述したガイド体40と協働して該レンズ支持体を回転させることなく光軸方向に進退可能に支持する。こられのレンズ支持体4の支持構造は、UV−LED2に対する集光レンズ3の位置を調整し、紫外線光の照射領域の大きさ(径)を可変するレンズ進退機構を構成する。
このようなレンズ支持体4の支持構造によれば、第1の筐体10に対して第2の筐体20の回転させることで、前記各集光レンズ3は各UV−LED2からそれぞれ射出される紫外線光の光軸上で軸方向に一括して移動され、UV−LED2との距離が調整される。このUV−LED2に対する集光レンズ3の移動範囲は、例えば前記集光レンズ3が前記UV−LED2に接する直前の位置(UV−LED2から5mm程度)から、前述した最小照明領域の大きさの程度まで前記紫外線光を集光し得る位置(UV−LED2から15mm程度)までとして設定される。
このような集光レンズ3の位置調整により、該紫外線探傷灯から40cm離れた位置での紫外線光の照射領域の大きさが、例えば直径10cmから30cmの範囲で可変設定される。尚、集光レンズ3をUV−LED2に近接させた場合、該集光レンズ3による集光作用が殆ど生じなくなり、集光レンズ3をUV−LED2から遠ざけるに伴って該集光レンズ3による集光作用が大きくなるので、これによって紫外線光の照射領域の大きさが絞り込まれてくることは言うまでもない。
ここでUV−LED2から射出される紫外線光の強度分布と、被探傷体に照射される紫外線光の照射領域について説明する。UV−LED2から射出される紫外線光は、所定の拡がり角度を有している。そしてその紫外線光の強度分布は、図2に例示するように一般的にはその射出面に直交する光軸方向にピークを持ち、光軸から離れる(傾く)に従ってその強度が低下する強度分布を有している。尚、図2においてAはUV−LED2の光軸を示しており、BはUV−LED2から所定の距離を隔てた位置での紫外線光の強度分布を示している。
そして複数のUV−LED2が、前述したようにその光軸方向を揃えて近接して配置されている場合、これらのUV−LED2からそれぞれ射出された紫外線光が互いに重なり合うので、上述した所定の距離を隔てた位置での合成された紫外線光の強度分布は、図2においてCで示すように、各UV−LED2からの紫外線光の強度を足し合わせたものとなる。従って、例えばそのピーク強度の半分以上の光強度が得られる領域(いわゆる半値幅)を紫外線光の照射領域とすると、前述した如く4個のUV−LED2が、互いに近接して円環状に配置されている場合には、図2において大円Xで囲まれる領域に所定強度以上の紫外線光が照射され、この領域を紫外線照射領域であるとみなすことができる。尚、図2において小円Yは、個々のUV−LED2による紫外線照射領域を示している。
また互いに近接して円環状に配置されている4個のUV−LED2からそれぞれ射出される紫外線光が上述したように互いに重なり合って円形の照射領域を形成することは、各UV−LED2からそれぞれ射出される紫外線光を、その光軸上に設けた集光レンズ3によって各別に集光した場合でも同様である。従って前述した如く各UV−LED2からそれぞれ射出される紫外線光を、その光軸上に設けた集光レンズ3にて集光するように構成した紫外線探傷灯によれば、UV−LED2と集光レンズ3との距離を調整し、該集光レンズ3による紫外線光の集光角度を変化させれば、図3に例示するように複数の紫外線光を互いに重ね合わせて照射される紫外線光の照射領域の大きさを、強度分布の対称性と均一性を保ちながら安定に変化させることが可能となる。
ちなみに、例えば互いに近接して円環状に配置されている4個のUV−LED2を一括して覆うような集光レンズを用いて各紫外線光をそれぞれ集光した場合、各紫外線光と集光レンズの光軸がずれることになるので、集光レンズを介して集光される各紫外線光の強度分布の対称性が損なわれることになる。しかもUV−LED2と集光レンズとの距離を変化させた場合には、集光レンズを介して集光される各紫外線光の強度分布の偏り具合も大きく変化する。従ってレンズを介して集光された複数の紫外線光が互いに重なり合って照射される照射領域での強度分布の均一性が損なわれる虞がある。
また仮に各UV−LED2から射出される紫外線光が集光レンズの光軸を通るとみなしうるようにするには、焦点距離の長い集光レンズを用いることが必要となり、UV−LED2に対する集光レンズの位置を大きく変化させても、その集光作用の変化をさほど期待することができなくなる。換言すれば前述したように紫外線光の照射領域を直径10cm程度から30cm程度まで変化させるには、例えばUV−LED2に対する集光レンズの位置を10cm程度も変化させることが必要となる。
従って前述したようにUV−LED2のそれぞれに対して、その光軸上に短焦点の集光レンズ3を設けることは非常に効果的である。特に前述した構成の紫外線探傷灯によれば、複数のUV−LED2の光軸上にそれぞれ位置付ける集光レンズ3として短焦点の片凸レンズを用いているので、集光レンズ3の移動範囲を10mm程度と狭く抑えながら、該紫外線探傷灯から40cm離れた位置での紫外線光の照射領域の大きさを、例えば直径10cmから30cmまで大きく変化させ得ると言う効果が得られる。
しかも前述した構成の紫外線探傷灯において、40cm離れた被探傷体上で直径10cmの照射領域(78.5cm)を形成した場合には、図3に示すように14mW/cmの紫外線強度が得られ、前述した規格を十分に満足し得ることが確認できた。また集光レンズ3をUV−LED2に近づけて直径20cmの照射領域(314cm)を形成した場合には4.2mW/cmの紫外線強度を、そして集光レンズ3をUV−LED2に5mmの位置まで最接近させて直径30cmの照射領域(706.5cm)を形成した場合には1.4mW/cmの紫外線強度がそれぞれ得られることが確認できた。
ところで前述したUV−LED2については連続通電して発光駆動するようにしても良いが、所定の周期でパルス発光駆動することも有効である。特に図4に例示するように
紫外線探傷灯50を用いて照明した被探傷体Sを紫外線カメラ51により撮像し、その検査画像を画像検査装置52により分析して前記被探傷体Sを検査するような場合、カメラ51による撮像タイミングに同期させて前記紫外線探傷灯50をパルス発光駆動することが好ましい。
このようにして紫外線探傷灯50(UV−LED2)をパルス発光駆動するように構成すれば、UV−LED2に対する平均的な駆動電力を抑えながら、UV−LED2をパルス発光する際の瞬時的な通電電流を大きくすることで、その発光強度を容易に高めることができる。しかもこのようにしてUV−LED2の駆動電流を大きくしても、その平均的な駆動電流が大きくなることがないので、該UV−LED2の発熱を抑えることができ、従ってその取り扱いの容易化を図ることができる。
また上述した紫外線探傷灯50のパルス駆動によりUV−LED2の発光強度を高くした場合には、紫外線光の照射強度自体が高くなるので、例えば被探傷体Sを暗幕で覆うなどしてその検査環境を遮光しなくても、外光(自然光)の影響を少なくして、つまりS/Nを十分に確保してカメラ51による被探傷体Sの撮像を確実に行うことができる。
尚、上述した紫外線光をどの領域に照射するかについては、例えば前述した如く集光レンズ3を円環状に配置して支持したレンズ支持体4の中心位置に可視光発光ダイオード5を設けておき、この可視光発光ダイオード5によって前記紫外線光の照射領域をスポット的に照明するようにしておけば、暗室内において探傷検査を行う場合でも、紫外線光の照射領域を目視により容易に確認することが可能となる。
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。ここでは4個のUV−LEDを用いた探傷灯を例に説明したが、その照明仕様によっては3個のUV−LEDを用いるだけでも良く、或いは5個以上のUV−LEDを用いることも可能である。但し、この場合にも複数のUV−LEDを円環状に配列し、各UV−LEDの光軸に対してそれぞれに対して集光レンズを設けることは勿論のことである。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施可能なことは言うまでもない。
1 LED基板
2 紫外線発光ダイオード(UV−LED)
3 集光レンズ(片凸レンズ)
4 レンズ支持体
10 第1の筐体
11 電源部
20 第2の筐体
30 バネ体
40 ガイド体
50 紫外線探傷灯
51 紫外線カメラ
52 画像検査装置

Claims (6)

  1. 浸透探傷試験または磁粉探傷試験に供せられる被探傷体を紫外線光にて照明する紫外線探傷灯であって、
    前記被探傷体を照明すべき最小照明領域の大きさよりも狭い領域に、射出光の光軸を一方向に揃えて環状に配置された複数の紫外線発光ダイオードと、
    これらの紫外線発光ダイオードから所定の拡がり角を有してそれぞれ射出される紫外線光の各光軸上に設けられて、前記各紫外線発光ダイオードから射出された紫外線光を各別に集光して前記被探傷体に照射する複数の集光レンズと、
    これらの集光レンズを一体に支持したレンズ支持体と、
    前記複数の集光レンズを前記紫外線発光ダイオードからそれぞれ射出された紫外線光の光軸上に位置付けたまま、前記レンズ支持体を該紫外線光の光軸方向に進退させて、前記被探傷体に照射する紫外線光の照射領域の大きさを可変するレンズ進退機構と、
    を具備し、前記集光レンズにてそれぞれ集光された紫外線光を互いに重ね合わせて前記被探傷体に照射することを特徴とする紫外線探傷灯。
  2. 前記集光レンズは、前記紫外線発光ダイオード側に平坦面を向けた片凸レンズからなる請求項1に記載の紫外線探傷灯。
  3. 前記レンズ進退機構は、前記レンズ支持体を、前記集光レンズが前記紫外線発光ダイオードに接する直前の位置から前記最小照明領域の大きさの程度まで前記紫外線光を集光し得る位置まで前記紫外線光の光軸方向に進退させるものである請求項1に記載の紫外線探傷灯。
  4. 前記レンズ進退機構は、
    前記紫外線発光ダイオードを一端側に組み付けた円筒状の第1の筐体と、
    この第1の筐体に組み付けられた前記紫外線発光ダイオードに前記レンズ支持体を対峙させて前記レンズ支持体を前記第1の筐体の軸方向にのみ進退自在にガイドするガイド体と、
    前記第1の筐体と前記レンズ支持体との間に設けられて前記レンズ支持体を前記紫外線発光ダイオードから離反する向きに付勢するバネ体と、
    このバネ体に抗して前記第1の筐体の周面に設けられたねじ部に螺合して該第1の筐体の軸方向に進退し、前記レンズ支持体を前記第1の筐体側に押し付けて前記紫外線発光ダイオードと前記集光レンズとの対向距離を設定する円筒状の第2の筐体と
    を備えることを特徴とする請求項1または3に記載の紫外線探傷灯。
  5. 前記レンズ支持体は、前記紫外線光の照射方向に可視光を射出する可視光発光ダイオードを、環状に配列された前記複数の集光レンズ間の中心位置に備えることを特徴とする請求項1または2に記載の紫外線探傷灯。
  6. 前記複数の紫外線発光ダイオードは、所定の周期で同時にパルス発光駆動されるものである請求項1に記載の紫外線探傷灯。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101682231B1 (ko) * 2016-05-16 2016-12-05 한국지질자원연구원 휴대용 광물 조사경
JP2017106909A (ja) * 2015-11-18 2017-06-15 イーメージ ヴィジョン ピーティーイー. エルティーディー.Emage Vision Pte. Ltd. Uv照明を用いるコンタクトレンズの欠陥の検査
JP2018004405A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 マークテック株式会社 紫外線照射装置、及び紫外線探傷装置
JP2018136231A (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 マークテック株式会社 紫外線探傷灯用光源ユニット
JP2020003252A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 マークテック株式会社 紫外線探傷灯
JP2020106434A (ja) * 2018-12-27 2020-07-09 マークテック株式会社 紫外線探傷灯
JP7406984B2 (ja) 2019-12-26 2023-12-28 マークテック株式会社 紫外線照射装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000074842A (ja) * 1998-08-31 2000-03-14 Marktec Corp スポット照明機構付紫外線探傷灯
JP2004221042A (ja) * 2003-01-13 2004-08-05 Ccs Inc パワーledを利用したスポット照明装置
JP2004239749A (ja) * 2003-02-06 2004-08-26 Eishin Kagaku Kk 紫外線発光ledを用いた紫外線探傷灯
JP3133506U (ja) * 2007-05-01 2007-07-12 株式会社キャロットシステムズ 照明付き撮影装置
JP2009300339A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Mitsuo Hashimoto 非破壊検査装置と非破壊検査方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000074842A (ja) * 1998-08-31 2000-03-14 Marktec Corp スポット照明機構付紫外線探傷灯
JP2004221042A (ja) * 2003-01-13 2004-08-05 Ccs Inc パワーledを利用したスポット照明装置
JP2004239749A (ja) * 2003-02-06 2004-08-26 Eishin Kagaku Kk 紫外線発光ledを用いた紫外線探傷灯
JP3133506U (ja) * 2007-05-01 2007-07-12 株式会社キャロットシステムズ 照明付き撮影装置
JP2009300339A (ja) * 2008-06-17 2009-12-24 Mitsuo Hashimoto 非破壊検査装置と非破壊検査方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017106909A (ja) * 2015-11-18 2017-06-15 イーメージ ヴィジョン ピーティーイー. エルティーディー.Emage Vision Pte. Ltd. Uv照明を用いるコンタクトレンズの欠陥の検査
CN106940306A (zh) * 2015-11-18 2017-07-11 伊麦视觉私人有限公司 利用uv光照的隐形眼镜缺陷检测
KR101682231B1 (ko) * 2016-05-16 2016-12-05 한국지질자원연구원 휴대용 광물 조사경
JP2018004405A (ja) * 2016-06-30 2018-01-11 マークテック株式会社 紫外線照射装置、及び紫外線探傷装置
JP2018136231A (ja) * 2017-02-22 2018-08-30 マークテック株式会社 紫外線探傷灯用光源ユニット
JP2020003252A (ja) * 2018-06-26 2020-01-09 マークテック株式会社 紫外線探傷灯
JP7076300B2 (ja) 2018-06-26 2022-05-27 マークテック株式会社 紫外線探傷灯
JP2020106434A (ja) * 2018-12-27 2020-07-09 マークテック株式会社 紫外線探傷灯
JP7406984B2 (ja) 2019-12-26 2023-12-28 マークテック株式会社 紫外線照射装置

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