JP2011206716A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布軌跡を撮像する撮像部は、その主走査方向の撮像中心位置が塗布軌跡T1、T2、T3、T4の周期性振動の周期Sの半分だけ離隔した位置となるように配置され、塗布軌跡T1、T2、T3、T4の周期性振動の1周期のほぼ全域の領域を撮像する一対のCCDカメラ90a、90bを備える。
【選択図】 図7
Description
11 基板移動機構
12 レール
13 基台
14 回転台
15 撮像部
16 試験塗布ステージ部
17 受液部
18 受液部
19 ノズルピッチ調整機構
20 塗布ヘッド
21 ヘッド移動機構
22 ガイド部
23 ノズル
24 塗布液貯留部
25 エア供給源
31 スライダ
32 貫通孔
33 プーリ
34 同期ベルト
35 画像処理部
39 制御部
42 スライダ
43 ハウジング
41 樹脂テープ
44 巻き出しローラ
45 巻き取りローラ
90 CCDカメラ
100 ガラス基板
Claims (12)
- 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して塗布液を吐出するノズルと、
前記ノズルを、基板の表面に対して平行な主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、
前記基板保持部を、前記主走査方向と直交し、かつ、基板の表面に対して平行な副走査方向に、前記ノズルに対して相対的に移動させる副走査方向移動機構と、
前記主走査方向移動機構により前記ノズルを主走査方向に移動させながら当該ノズルから塗布液を連続して吐出することにより形成された塗布軌跡を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像した塗布軌跡の画像から、塗布軌跡の前記副走査方向の位置を判定する判定手段と、
を備え、
前記撮像手段は、前記塗布軌跡の周期性振動の1周期のほぼ全域の領域を撮像することとを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記撮像手段は、その主走査方向の撮像中心位置が、前記塗布軌跡の周期性振動の周期の半分だけ離隔した位置となるように配置された一対のカメラを備える塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置において、
前記撮像手段は、前記塗布軌跡の周期性振動の1周期の全域を撮像する単一のカメラを備える塗布装置。 - 請求項2または請求項3に記載の塗布装置において、
前記判定手段は、前記撮像手段におけるカメラにより撮像した画像の前記塗布軌跡の位置の平均値を、塗布軌跡の位置と判定する塗布装置。 - 請求項4に記載の塗布装置において、
前記ノズルは、前記主走査方向および前記副走査方向に関して等間隔に複数個配設されており、
前記カメラは、前記複数のノズルにより形成された複数の塗布軌跡を同時に撮像する塗布装置。 - 請求項5に記載の塗布装置において、
前記判定手段により判定した複数の塗布軌跡の位置のピッチに基づいて、前記複数のノズルの前記副走査方向のピッチを調整するノズルピッチ調整機構をさらに備える塗布装置。 - 請求項4に記載の塗布装置において、
前記撮像手段は、前記主走査方向移動機構によるノズルの移動ストロークの両端部付近に一対配設されており、これら一対の撮像手段におけるカメラにより撮像され、前記判定手段により判定された塗布軌跡の位置から、これら一対の撮像手段におけるカメラの位置を調整する塗布装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の塗布装置において、
前記主走査方向移動機構は、前記主走査方向に延びるガイド部材と、このガイド部材に係合しつつガイド部材との間に気体を噴出することにより非接触状態で前記ガイド部材に支持されるスライダとを有する非接触移動機構から構成される塗布装置。 - 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に平行な副走査方向および基板に平行でこの副走査方向と直交する主走査方向に関して、各々等間隔に配設され、前記基板に対して塗布液を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルを、主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、
前記基板保持部を、前記副走査方向に、前記複数のノズルに対して相対的に移動させる副走査方向移動機構と、
前記主走査方向移動機構により前記複数のノズルを主走査方向に移動させながら当該複数のノズルから塗布液を連続して吐出することにより形成された複数の塗布軌跡を各々撮像する、複数のカメラを備えた撮像手段と、
前記撮像手段における各カメラにより撮像した各塗布軌跡の画像から、各塗布軌跡の前記副走査方向の位置を判定する判定手段と、
を備え、
前記撮像手段における各カメラは、前記副走査方向に対しては、前記複数のノズルの副走査方向の間隔に対応する距離だけ互いに離隔した領域を撮像し、前記主走査方向に対しては、前記複数のノズルの主走査方向の間隔、あるいはこの前記複数のノズルの主走査方向の間隔に前記塗布軌跡の周期性振動の振幅Sの整数倍の距離を加算した距離に対応する距離だけ互いに離隔した領域を撮像する、
ことを特徴とする塗布装置。 - 請求項9に記載の塗布装置において、
前記判定手段は、前記撮像手段における各カメラにより撮像した画像の前記塗布軌跡の位置の平均値を、塗布軌跡の位置と判定する塗布装置。 - 請求項9に記載の塗布装置において、
前記判定手段により判定した複数の塗布軌跡の位置のピッチに基づいて、前記複数のノズルの前記副走査方向のピッチを調整するノズルピッチ調整機構をさらに備える塗布装置。 - 請求項9乃至請求項11のいずれかに記載の塗布装置において、
前記主走査方向移動機構は、前記主走査方向に延びるガイド部材と、このガイド部材に係合しつつガイド部材との間に気体を噴出することにより非接触状態で前記ガイド部材に支持されるスライダとを有する非接触移動機構から構成される塗布装置。
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JP2007152164A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布装置における複数のノズルのピッチの調整方法 |
JP2009109446A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP2009131735A (ja) * | 2007-11-28 | 2009-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置 |
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