JP2011204968A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】接続部分の信頼性が高く、半導体素子への応力による負荷を低減することが可能な半導体装置を提供すること。
【解決手段】電極4が配置された半導体素子3と、半導体素子3が配置されるリードフレーム部分2aを有するリードフレーム2と、半導体素子3の電極4と他のリードフレーム部分2bを電気的に接続する金属接続体7を備え、金属接続体7は、金属薄膜70を2枚以上重ね合わせた構造であって、電極4との電気的接続部分6aと、他のリードフレーム部分2bとの電気的接続部分6bにおいて、2枚以上の金属薄膜70が互いに電気的に接続されており、2箇所の電気的接続部分6a、6bの間に、2枚以上の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分を有する、半導体装置である。
【選択図】図1
【解決手段】電極4が配置された半導体素子3と、半導体素子3が配置されるリードフレーム部分2aを有するリードフレーム2と、半導体素子3の電極4と他のリードフレーム部分2bを電気的に接続する金属接続体7を備え、金属接続体7は、金属薄膜70を2枚以上重ね合わせた構造であって、電極4との電気的接続部分6aと、他のリードフレーム部分2bとの電気的接続部分6bにおいて、2枚以上の金属薄膜70が互いに電気的に接続されており、2箇所の電気的接続部分6a、6bの間に、2枚以上の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分を有する、半導体装置である。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
近年、パワーデバイスにおいて大電流化、高効率化が要求されてきており、低抵抗で半導体素子とリードフレームを電気的に接続する必要がある。そのためワイヤーを用いて接続するワイヤーボンディング法にかわり、金属の板を用いて接続する方法が開発されてきている(例えば、特許文献1参照。)。
金属板を用いて接続するパワー半導体装置について、図11を用いて説明する。図11(a)は、従来のパワー半導体装置の斜視構成図である。図11(b)は、従来のパワー半導体装置の正面構成図である。図11(c)は、従来のパワー半導体装置の平面図である。
図11(a)〜(c)に示す従来の半導体装置には、基材1と、リードフレーム部分2aとリードフレーム部分2bを有し、基材1上に配置されたリードフレーム2と、リードフレーム部分2a上に実装された半導体素子3が設けられている。半導体素子3とリードフレーム部分2aは例えば、はんだ、導電性ペースト、絶縁性樹脂などで固定されている。基材1としては、エポキシ樹脂に無機フィラを含有したもの、アルミニウム板の表面をアルマイト処理し絶縁化したものなどが用いられる。
また、半導体素子3は上面に電極4を備え、電極4とリードフレーム部分2bは金属板5を介して電気的に接続される。この金属板5は、例えば、銅やアルミニウムから形成されている。金属板5と、電極4及びリードフレーム部分2bとは、それぞれ接続部6a、6bにおいて接続部材15a、15bにより電気的に接続されている。この接続部材15a、15bとしては、例えば、はんだや導電性ペーストが用いられる。
このように、金属板5を用いた場合、ワイヤーに比べ、断面積の大きい金属板5を用いて電流を流すため、抵抗を低くすることができる。尚、半導体素子3、や金属板5などは、一般的に保護や絶縁のために、エポキシ樹脂、あるいはシリコーン樹脂などからなるモールド樹脂により覆われている。
このような半導体装置において、例えば低温環境下−65℃と高温環境下150℃の状況を繰り返し往復させる温度サイクル試験を行うと、基材1と金属板5との熱膨張係数の差により接続部6a、6bに繰り返し応力が発生する。ワイヤーを用いた接続の場合、ワイヤー自体に剛性がないため接続部6a、6bに発生する応力は小さいため不良は発生し難い。
しかしながら、金属板5を用いた場合、金属板5は例えば幅1mm長さ3mm厚さ0.2mmの銅からなる板を折り曲げ加工で成形したものであり、剛性があるため大きな応力が接続部6a、6bに発生する。そのため、接続部6a、6bの接続部材15a、15bによる接続が破壊され、接続不良が発生するという課題があった。また、例えば半導体素子1の材料が窒化ガリウム(GaN)の薄膜からなる場合、GaNは脆弱なため、応力による負荷によって電極4下のGaN層が破壊される問題が生じる場合もあった。
本発明は、従来の半導体装置の課題を考慮し、接続部分の信頼性が高く、半導体素子への応力による負荷を低減することが可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第1の本発明は、
電極が配置された半導体素子と、
前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分を有するリードフレームと、
前記半導体素子の前記電極と他のリードフレーム部分を電気的に接続する金属接続体を備え、
前記金属接続体は、金属薄膜を2枚以上重ね合わせた構造であって、
前記電極との電気的接続部分と、前記他のリードフレーム部分との電気的接続部分において、前記2枚以上の金属薄膜が互いに電気的に接続されており、
前記2箇所の電気的接続部分の間に、前記2枚以上の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分を有する、半導体装置である。
電極が配置された半導体素子と、
前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分を有するリードフレームと、
前記半導体素子の前記電極と他のリードフレーム部分を電気的に接続する金属接続体を備え、
前記金属接続体は、金属薄膜を2枚以上重ね合わせた構造であって、
前記電極との電気的接続部分と、前記他のリードフレーム部分との電気的接続部分において、前記2枚以上の金属薄膜が互いに電気的に接続されており、
前記2箇所の電気的接続部分の間に、前記2枚以上の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分を有する、半導体装置である。
又、第2の本発明は、
前記2枚以上の金属薄膜は、少なくとも1枚の前記金属薄膜の厚さが、他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、第1の本発明の半導体装置である。
前記2枚以上の金属薄膜は、少なくとも1枚の前記金属薄膜の厚さが、他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、第1の本発明の半導体装置である。
又、第3の本発明は、
前記半導体素子の前記電極と前記金属接続体との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われており、
前記金属接続体と前記他のリードフレーム部分との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われている、第1の本発明の半導体装置である。
前記半導体素子の前記電極と前記金属接続体との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われており、
前記金属接続体と前記他のリードフレーム部分との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われている、第1の本発明の半導体装置である。
又、第4の本発明は、
前記電気的接続部分における前記2枚以上の金属薄膜は、はんだまたは導電性ペーストによって、電気的に互いに接続されている、第1の本発明の半導体装置である。
前記電気的接続部分における前記2枚以上の金属薄膜は、はんだまたは導電性ペーストによって、電気的に互いに接続されている、第1の本発明の半導体装置である。
又、第5の本発明は、
前記金属薄膜の厚さは、100μm以下である、第1の本発明の半導体装置である。
前記金属薄膜の厚さは、100μm以下である、第1の本発明の半導体装置である。
又、第6の本発明は、
前記金属接続体は、厚さ20μm以下の前記金属薄膜を5枚以上重ね合わせて形成されている、第1の本発明の半導体装置である。
前記金属接続体は、厚さ20μm以下の前記金属薄膜を5枚以上重ね合わせて形成されている、第1の本発明の半導体装置である。
又、第7の本発明は、
他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、前記金属薄膜の厚さが、50μmより大きく100μm以下であり、
前記他の金属薄膜は、厚さが50μm以下である、第2の本発明の半導体装置である。
他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、前記金属薄膜の厚さが、50μmより大きく100μm以下であり、
前記他の金属薄膜は、厚さが50μm以下である、第2の本発明の半導体装置である。
又、第8の本発明は、
前記2箇所の電気的接続部分とは、前記金属接続体の両端部分であり、
前記金属接続体は、前記2枚以上の金属薄膜の各両端面がずれるよう重ね合わされて形成されている、第1又は4の本発明の半導体装置である。
前記2箇所の電気的接続部分とは、前記金属接続体の両端部分であり、
前記金属接続体は、前記2枚以上の金属薄膜の各両端面がずれるよう重ね合わされて形成されている、第1又は4の本発明の半導体装置である。
又、第9の本発明は、
少なくとも2枚以上の金属薄膜を重ね合わせる重ね合わせ工程と、前記2枚以上の金属薄膜を、2箇所で互いに電気的に接続し、前記2箇所の間に機械的に接続されていない部分を形成する金属薄膜接続工程を有する金属接続体作製工程と、
半導体素子の電極と、前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分以外の他のリードフレーム部分とを電気的に接続するために、前記電極と前記他のリードフレーム部分に前記金属接続体を取り付ける取り付け工程とを備えた、半導体装置の製造方法である。
少なくとも2枚以上の金属薄膜を重ね合わせる重ね合わせ工程と、前記2枚以上の金属薄膜を、2箇所で互いに電気的に接続し、前記2箇所の間に機械的に接続されていない部分を形成する金属薄膜接続工程を有する金属接続体作製工程と、
半導体素子の電極と、前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分以外の他のリードフレーム部分とを電気的に接続するために、前記電極と前記他のリードフレーム部分に前記金属接続体を取り付ける取り付け工程とを備えた、半導体装置の製造方法である。
又、第10の本発明は、
前記金属薄膜接続工程は、はんだディップ法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記金属薄膜接続工程は、はんだディップ法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
又、第11の本発明は、
前記金属薄膜接続工程は、超音波接合法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記金属薄膜接続工程は、超音波接合法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
又、第12の本発明は、
前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分にはんだを配置するはんだ配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記はんだが配置された部分と、前記他のリードフレーム部分の前記はんだが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記はんだを加熱溶融し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分にはんだを配置するはんだ配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記はんだが配置された部分と、前記他のリードフレーム部分の前記はんだが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記はんだを加熱溶融し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
又、第13の本発明は、
前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に導電性ペーストを配置する導電性ペースト配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記導電性ペーストが配置された部分と、前記他のリードフレームの前記導電性ペーストが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記導電性ペーストを加熱硬化し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に導電性ペーストを配置する導電性ペースト配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記導電性ペーストが配置された部分と、前記他のリードフレームの前記導電性ペーストが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記導電性ペーストを加熱硬化し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、第9の本発明の半導体装置の製造方法である。
本発明によれば、接続部分の信頼性が高く、半導体素子への応力による負荷を低減することが可能な半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することが出来る。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。
(実施の形態1)
以下、本発明にかかる実施の形態1について、主に図1及び図2を参照しながら説明する。図1(a)は、本実施の形態1における半導体装置の正面構成図であり、図1(b)は、本実施の形態1における半導体装置の平面図である。
(実施の形態1)
以下、本発明にかかる実施の形態1について、主に図1及び図2を参照しながら説明する。図1(a)は、本実施の形態1における半導体装置の正面構成図であり、図1(b)は、本実施の形態1における半導体装置の平面図である。
はじめに、図1(a)、(b)を用いて本実施の形態1の半導体装置の構成の概略について説明する。
図1(a)、(b)に示すように、本実施の形態1の半導体装置には、基材1と、基材1の上に配置されたリードフレーム2が設けられている。このリードフレーム2は、リードフレーム部分2aと、リードフレーム部分2bを有しており、リードフレーム部分2a上に半導体素子3が実装されている。
半導体素子3の上面には電極4が配置されており、電極4とリードフレーム部分2bを電気的に接続する金属接続体7が設けられている。そして、電極4と金属接続体7は、接続部6aにおいて接続部材15aによって電気的に接続されており、金属接続体7とリードフレーム部分2bは、接続部6bにおいて接続部材15bによって電気的に接続されている。尚、図示していないが、半導体素子3、や金属接続体7などは、一般的に保護や絶縁のために、エポキシ樹脂、あるいはシリコーン樹脂などからなるモールド樹脂により覆われている。又、本発明の他のリードフレーム部分の一例は、本実施の形態のリードフレーム部分2bに相当する。
次に、本実施の形態1の半導体装置の各構成について詳細に説明する。
(基材1の説明)
基材1は、リードフレーム2を保持する役目と、半導体素子3の発熱を効率よく放熱する役目がある。基材1としては、例えば、熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂など)に無機フィラ(アルミナ、窒化ボロン、シリカなど)を含有したもの、あるいはセラミック(窒化アルミニウム、窒化珪素、アルミナなど)、あるいは金属板の表面を絶縁層で覆ったもの(アルミニウムの表面を陽極酸化膜で絶縁処理したもの、アルミニウム表面に絶縁樹脂あるいは、セラミックを貼り合わせたものなど)、を用いることが出来る。
基材1は、リードフレーム2を保持する役目と、半導体素子3の発熱を効率よく放熱する役目がある。基材1としては、例えば、熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂など)に無機フィラ(アルミナ、窒化ボロン、シリカなど)を含有したもの、あるいはセラミック(窒化アルミニウム、窒化珪素、アルミナなど)、あるいは金属板の表面を絶縁層で覆ったもの(アルミニウムの表面を陽極酸化膜で絶縁処理したもの、アルミニウム表面に絶縁樹脂あるいは、セラミックを貼り合わせたものなど)、を用いることが出来る。
(リードフレーム2の説明)
リードフレーム2は基材1の上に設置されている。リードフレーム2は、例えば電流を流す、ある電圧を保つなど電気的な役割を担う。リードフレーム2の材質としては、銅にニッケルめっきをしたものが一般的である。ニッケルめっき上にさらに銀めっきあるいは金めっきが施されたものが用いられても良い。
リードフレーム2は基材1の上に設置されている。リードフレーム2は、例えば電流を流す、ある電圧を保つなど電気的な役割を担う。リードフレーム2の材質としては、銅にニッケルめっきをしたものが一般的である。ニッケルめっき上にさらに銀めっきあるいは金めっきが施されたものが用いられても良い。
尚、基材1がリードフレーム2の端面を覆うような構造であってもよい。また、基材1は熱硬化樹脂と無機フィラからなるモールド樹脂として、半導体装置全体を覆うような構造であってもよい。
(半導体素子3の説明)
半導体素子3は、素子面を上面にした形でリードフレーム部分2a上に実装されている。半導体素子3はパワー半導体として、パワーMOSFET、IGBT、バイポーラトランジスタ、ダイオードを、代表的に挙げることが出来る。近年はより効率がよいSIC、GaN材料を用いたパワーデバイスが開発されている。また構造としては縦型、横型に分類することができる。
半導体素子3は、素子面を上面にした形でリードフレーム部分2a上に実装されている。半導体素子3はパワー半導体として、パワーMOSFET、IGBT、バイポーラトランジスタ、ダイオードを、代表的に挙げることが出来る。近年はより効率がよいSIC、GaN材料を用いたパワーデバイスが開発されている。また構造としては縦型、横型に分類することができる。
代表的な例として、本実施の形態では、半導体素子3が縦型MOSFETの場合で説明する。半導体素子3の裏面ドレイン電極はリードフレーム部分2aと電気的に接続している。例えば、はんだ、導電性ペースト、などで電気的に接続され、且つ固定されている。
半導体素子3の上面にはソース用の電極4とゲート用の電極(図示せず)がある。このソース用の電極4とリードフレーム部分2bは金属接続体7を介して電気的に接続されている。
(金属接続体7の説明)
図2(a)は、本実施の形態1の金属接続体7の正面構成図である。図2(b)は、図2(a)のα部分の拡大図である。図2(a)に示すように、金属接続体7は、金属薄膜70が複数枚重なりあった構造であり、複数枚の金属薄膜70は、それらの両端の端部7a、7bにおいて互いに電気的に接続しており、両端の端部7a、7bの間には、複数の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分7cが形成されている。ここで、複数の金属薄膜が互いに機械的に接続されていないとは、複数の金属薄膜同士がずれることが可能な状態のことである。また、この機械的に接続されていない部分では、金属薄膜が互いに電気的に接続されていても良い。
図2(a)は、本実施の形態1の金属接続体7の正面構成図である。図2(b)は、図2(a)のα部分の拡大図である。図2(a)に示すように、金属接続体7は、金属薄膜70が複数枚重なりあった構造であり、複数枚の金属薄膜70は、それらの両端の端部7a、7bにおいて互いに電気的に接続しており、両端の端部7a、7bの間には、複数の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分7cが形成されている。ここで、複数の金属薄膜が互いに機械的に接続されていないとは、複数の金属薄膜同士がずれることが可能な状態のことである。また、この機械的に接続されていない部分では、金属薄膜が互いに電気的に接続されていても良い。
金属接続体7の材料としては、銅、アルミニウム、金、銀などを用いることが出来る。銅は抵抗が低く好ましい。アルミニウムは価格が安く好ましい。
また、図2(b)に示すように、複数の金属薄膜70は、それらの両端の端面70eで電気的に接続されている。本実施の形態1では、接続部材11としてはんだを用いて、複数の金属薄膜70は、その端面70eで互いに電気的及び機械的に接続されている。尚、接続部材11として、はんだに限らず、導電性ペースト等が用いられてもよい。尚、接続材料を用いずに、複数の金属薄膜70同士が、超音波接合により互いが接合されていてもよい。尚、端部7b側も同様の構成である。
また、上記金属接続体7を構成する金属薄膜70の厚さは5μm〜100μmが好ましい。
(金属接続体7と電極4の接続の説明)
再び図1を用いて説明する。金属接続体7と電極4の電気的な接続は接続部材15aを介して行われており、この接続部材15aとしては、例えば、はんだ、導電性ペースト等を用いることが出来る。尚、超音波と加圧を用いる超音波法などで金属接続体7を電極4に接続する方法もあるが、この場合、電極4および電極4下の半導体素子3に超音波や加圧によりダメージを与える場合がある。そのため、金属接続体7と電極4の接続部には、接続部材15aとして、はんだや、導電性ペーストを用いて接続する方が、接続時にこのようなダメージを半導体素子3に与えることがないため、より好ましい。
再び図1を用いて説明する。金属接続体7と電極4の電気的な接続は接続部材15aを介して行われており、この接続部材15aとしては、例えば、はんだ、導電性ペースト等を用いることが出来る。尚、超音波と加圧を用いる超音波法などで金属接続体7を電極4に接続する方法もあるが、この場合、電極4および電極4下の半導体素子3に超音波や加圧によりダメージを与える場合がある。そのため、金属接続体7と電極4の接続部には、接続部材15aとして、はんだや、導電性ペーストを用いて接続する方が、接続時にこのようなダメージを半導体素子3に与えることがないため、より好ましい。
はんだを用いて接続する利点としては、抵抗が低くできることである。また、導電性ペーストを用いて接続する利点は、導電性ペーストは弾性率が低いため、接続部6aに発生する応力を低減することができ、より高信頼性の半導体装置を提供できることである。
(金属接続体7とリードフレーム部分2bの接続の説明)
金属接続体7とリードフレーム部分2bの電気的な接続は接続部材15bを介して行われている。この接続部材15bとしては、はんだや、導電性ペースト等を用いることが出来る。
金属接続体7とリードフレーム部分2bの電気的な接続は接続部材15bを介して行われている。この接続部材15bとしては、はんだや、導電性ペースト等を用いることが出来る。
尚、はんだを用いて接続する利点としては、抵抗が低くできることである。また、導電性ペーストを用いて接続する利点は、導電性ペーストは弾性率が低いため、接続部6bに発生する応力を低減することができ、より高信頼性の半導体装置を提供できることである。
次に、本実施の形態の金属接続体7の構成について、更に具体的に説明する。
具体的には、従来では、図11を用いて説明したように金属板5として銅からなるものを用いて、半導体素子3の電極4とリードフレーム部分2bとを電気的に接続しており、金属板5としては、厚さが200μmのものが用いられている。
このような平板モデルにおいて発生する応力は平板の厚さの3乗に比例するので、本発明の方法を用い、例えば厚さ100μmの銅薄膜2枚を用いて接続することで温度サイクル試験においても接続部6a、6bおよび接続部分直下の半導体素子3への応力は、およそ1/4まで低減できる(((100(μm))3×2(枚))/((200(μm))3×1(枚))=1/4)。さらに好ましくは例えば厚さ20μmの銅薄膜10枚を用いて接続することで発生する応力はおよそ、1/100まで低減できる(((20(μm))3×10(枚))/((200(μm))3×1(枚))=1/100)。
また、図11に示す従来の金属板5の断面積と、本実施の形態の金属接続体7の複数の金属薄膜70の断面積の和は等しいので、同等な低抵抗な接続を維持することができる。
これにより、半導体素子3の電極4とリードフレーム部分2bとの間において、低抵抗を維持しつつ、低剛性な接続を行える。その結果、低抵抗かつ高信頼性な接続を有するパワー半導体装置を提供することができる。
例えば、低温−65℃と高温150℃の熱履歴を繰り返す、温度サイクル試験においても、基材1と金属接続体7の熱膨張係数の差から発生する応力は小さく、半導体素子3およびリードフレーム部分2bと金属接続体7との接続部6a、6bは良好な信頼性を得ることができる。また接続部6a直下の半導体素子3への応力も小さくなり、半導体素子3へのダメージを低減することが出来る。よって例えば、脆弱な材料であるGaNの薄膜を有する半導体素子も用いることが出来る。
尚、上記実施の形態では、金属薄膜70として、その厚みが100μmと20μmを用いた場合について説明したが、金属薄膜70の厚みは薄ければ薄いほど発生する応力が小さくなるので好ましい。たとえば5μm厚の銅箔を用いる場合、40枚重ね合わせると低抵抗で高信頼性な接続が実現できる。ただし、薄すぎると製造時の取り扱いが困難になる。一方、厚い金属薄膜を用いると工程中の薄膜の取り扱いが容易になる。例えば、100μm厚さの銅箔を2枚重ねることで、低抵抗で高信頼性な接続が実現できる。
次に、本実施の形態1の半導体装置の製造方法について説明する。
図3(a)〜(d)は、本実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための正面構成図である。
はじめに、図3(a)に示すように複数の金属薄膜70が重ね合わされる。この図3(a)に示す工程が、本発明の重ね合わせ工程の一例に相当する。
引き続き重ね合わされた複数の金属薄膜70が、その端面部70aにおいて互いに電気的かつ機械的に接続される。例えば端面部70aをはんだディップ法(はんだ槽に端面を浸ける方法)により接続することができる。あるいは端面部70aを超音波接合法(端部に超音波と圧を加える)により接続することができる(図7(b)参照)。金属薄膜70の枚数が多い場合ははんだディップ法が適している。枚数が多いと、超音波が均等に伝わりにくく、接続が不均一になる場合があるためである。このようにして図3(b)に示すような、両端の端部7a、7bにおいて、金属薄膜70が接続された金属接続体7ができる。この図3(b)に示す工程が、本発明の金属接続体作製工程の一例に相当する。
次に、図3(c)に示すように半導体素子3の電極4および、リードフレーム部分2b上に、接続部材15a、15bとして、クリームはんだがディスペンスにより塗布される。このはんだを塗布する工程が、本発明のはんだ配置工程の一例に相当する。
引き続き金属接続体7を吸着ノズル16により搬送し、電極4およびリードフレーム部分2bがそれぞれ金属接続体7の両端の端部7a、7bに合うように位置あわせが行われ、金属接続体7が実装される。このように位置合わせを行う工程が、本発明の位置合わせ工程の一例に相当する。
その後、リフローにより接続部材15a、15bとしてのはんだが溶融される。このはんだを溶融する工程が、本発明の溶融工程の一例に相当する。
このようにして図3(d)に示すように電極4とリードフレーム部分2bは、金属接続体7および接続部材15a,15bを介して電気的および機械的に接続される。このように、金属接続体7を電極4及びリードフレーム部分2bに取り付ける工程が、本発明の取り付け工程の一例に相当する。
尚、はんだを用いて接続する利点としては抵抗が低くできることである。
又、半導体素子3のダイボンド(半導体素子3とリードフレーム部分2aの接続)をはんだで行っている場合、金属接続体7の接続に用いられるはんだ(接続部材15a、15b)の溶融温度はダイボンド材のはんだより低融点のものを用いるのが好ましい。金属接続体7の接続部材15a、15bに用いるはんだを溶融する時に、ダイボンド材のはんだが再溶融することにより、半導体素子3が位置ずれをおこす不具合を発生させないためである。
なお、接続部材15a、15bとして、はんだのかわりに導電性ペーストを用いてもよい。この場合、本発明の導電性ペースト配置工程の一例として、半導体素子3の電極4および、リードフレーム部分2b上に導電性ペーストがディスペンスにより塗布される。引き続き、本発明の位置合わせ工程の一例として、金属接続体7を吸着ノズル16により搬送し、電極4およびリードフレーム部分2bが、それぞれ金属接続体7の両端の端部7a、7bに合うように位置あわせされ、金属接続体7が実装される。その後、本発明の溶融工程の一例として、オーブンで加熱することで導電性ペースト(接続部材15a、15b)が硬化される。
このようにして図3(d)に示すように電極4とリードフレーム部分2bが、金属接続体7および導電性ペースト(接続部材15a,15b)を介して電気的および機械的に接続される。
導電性ペーストを用いて接続する利点は、導電性ペーストは弾性率が低いため、接続部6a、6bに発生する応力を低減することができ、より高信頼性のパワー半導体装置を提供できることである。
又、半導体素子3のダイボンドをはんだで行っている場合、金属接続体7の接続に用いる導電性ペースト(接続部材15a、15b)を加熱硬化させる温度はダイボンド材のはんだ融点より低い温度にすることが好ましい。金属接続体7の接続に用いる導電性ペースト(接続部材15a、15b)を加熱硬化する時に、ダイボンド材のはんだが再溶融することによる、半導体素子3の位置ずれ不具合を発生させないためである。
(実施の形態2)
次に、本発明にかかる実施の形態2における半導体装置について説明する。本実施の形態2の半導体装置の基本的な構成は実施の形態1と同じであるが、金属接続体の構成が異なっている。そのため、実施の形態1との相違点である金属接続体を中心に説明する。
次に、本発明にかかる実施の形態2における半導体装置について説明する。本実施の形態2の半導体装置の基本的な構成は実施の形態1と同じであるが、金属接続体の構成が異なっている。そのため、実施の形態1との相違点である金属接続体を中心に説明する。
図4(a)は、実施の形態1の金属接続体7の正面構成図であり、図4(b)は、金属接続体7を実装する工程を説明するための正面構成図である。又、図4(c)は、本実施の形態2の金属接続体8の正面構成図であり、図4(d)は、本実施の形態2の金属接続体8を実装する工程を説明するための正面構成図である。
実施の形態1の金属接続体7のように、複数の金属薄膜70が薄い場合、金属接続体7の形状、材料によっては、剛性が低くなる。そのため、図4(b)に示すように実装時、吸着体16で金属接続体7を持ち上げると、金属接続体7は折れ曲がった形状となり、金属接続体7の両端の端部7a、7bを、それぞれ電極4とリードフレーム部分2bに位置合わせして、実装しにくい場合がある。
そこで、本実施の形態2の金属接続体8では、図4(c)に示すように、他の金属薄膜80より厚い金属薄膜81が設けられている。これにより、図4(d)に示すように実装時に、吸着体16により金属接続体8を持ち上げた場合でも、金属接続体8は形状を保てるので、両端の端部8a、8bをそれぞれ電極4とリードフレーム部分2bに位置合わせして、容易に実装することが可能となる。
上記金属薄膜80、81の具体的な厚さとしては、最も下側に配置された金属薄膜81を厚さ100μmとして、その上側に配置された5枚の金属薄膜80を、それぞれの厚さが20μmの銅箔とする。従来の銅からなる厚さ200μmの金属板5を用いた場合に比べ、発生する応力を約1/8に低下することができ、断面積も等しいので低抵抗となる((((100(μm))3×1(枚))+((20(μm))3×5(枚)))/((200(μm))3×1(枚))=約1/8)。
これにより、実装性に優れ、かつ信頼性のよい、低抵抗で高性能なパワーデバイスを供給できる。
なお、上記では、厚みの大きい金属薄膜81を最も下側に配置し、その上側に他の金属薄膜80を配置した構成としているが、これに限らず、図5(a)に示す金属接続体8´のように厚みの大きい金属薄膜81が最も上側に配置されてもよく、更には、図5(b)に示す金属接続体8´´のように、厚みの大きい金属薄膜81が他の金属薄膜80の間に配置されていてもよい。少なくとも1枚の金属薄膜の厚さを50μmより大きく、且つ100μm以下とし、それ以外の金属薄膜の厚さを50μm以下にすることで同様な効果が得られる。また、厚みが50μから100μmの金属薄膜81が2枚以上あってもよい。
また、金属接続体は、厚さが100μmより大きい金属薄膜を含んでいてもよく、例えば、厚みが150μmの金属薄膜1枚と、厚みが50μmの金属薄膜1枚から構成されていてもよい。
要するに、金属接続体を構成する金属薄膜の最大の厚みが、従来の金属板5の厚みよりも小さければ、熱変動によって接続部6a、6bに発生する応力を低減することが可能となる。
(実施の形態3)
次に、本発明にかかる実施の形態3における半導体装置について説明する。尚、本実施の形態3の半導体装置は、実施の形態1と基本的な構成は同じであるが、金属接続体の構成が異なっている。そのため、実施の形態1との相違点である金属接続体を中心に説明する。
次に、本発明にかかる実施の形態3における半導体装置について説明する。尚、本実施の形態3の半導体装置は、実施の形態1と基本的な構成は同じであるが、金属接続体の構成が異なっている。そのため、実施の形態1との相違点である金属接続体を中心に説明する。
図6(a)は、本実施の形態3の金属接続体9の正面構成図である。図6(b)は、図6(a)のα部分とβ部分の拡大図である。図6(c)は、実施の形態1の金属接続体7の端部7a、7b近傍を示す拡大図である(尚、左図は図2(b)と同じ図である。)。
図6(c)に示すように、実施の形態1の金属接続体7では、接続部材11としてはんだを用いて、複数の金属薄膜70が接続されており、例えば、下から1番目の金属薄膜70と下から2番目の金属薄膜70との接続(矢印A参照)はそれぞれの金属薄膜の端面70eを介して接続部材11により行われている。
一方、本実施の形態3では、接続の接着を強くし信頼性を良くする方法として、図6(b)に示すように、金属薄膜90の各端面90eが、図中上側に向かうに従って右方向にずれるようにして重ね合わせ、接続部材11を用いて接続が行われている。これにより、例えば下から1番目の金属薄膜90と下から2番目の金属薄膜90の接続(矢印A参照)は、それぞれの金属薄膜90の端面90eに加えてずらした表面部分90fを介して接続部材11により行われ、より強固な接着をえることができる。
具体的には、金属薄膜90の厚さと同じ量だけずらすことで、実施の形態1の構成と比較して接着面積を2倍にすることが出来、各金属薄膜90間の接着力も約2倍とすることができる。
これにより、より信頼性のよい、低抵抗な接続を有するパワー半導体装置を供給できる。
尚、本実施の形態2では、図6(b)に示すように、同じ長さの金属薄膜90を上側にいくに従って右方向にずらしていたが、図7に示す金属接続体16の複数の金属薄膜160のように、上側に向かうに従って金属薄膜160の長さが短くなり、両側の端部16a、16bに端面160eのずれが形成されていてもよい。
又、上記実施の形態1〜3では、半導体素子3としてパワー半導体素子が用いられていたが、通常の半導体素子に対して本発明を適用しても良い。
又、本発明の2箇所の電気接続部分の一例は、上記実施の形態の金属接続体7、8、9の両端の端部7a、7b、8a、8b、9a、9bに相当し、この端部において、複数の金属薄膜が電気的に接続され、且つ電極4若しくはリードフレーム2bと電気的に接続されているが、両端に限らなくても良い。例えば、実施の形態1の金属接続体7の変形例を用いて説明すると、図8に示す金属接続体10のように、両端の端部10a、10bの間に、2箇所の金属薄膜10同士を電気的に接続した薄膜間電気接続部分10e、10fが設けられていても良い。尚、この2箇所の薄膜間電気接続部分10e、10fの間には、複数の金属薄膜が機械的に接続されていない部分10cが設けられている。この金属接続体10は、薄膜間電気接続部分10eで電極4aと電気的に接続され、薄膜間電気接続部分10fでリードフレーム部分2bと電気的に接続される。
又、上記実施の形態では、金属接続体7、8、9における複数の金属薄膜同士を電気的に接続する薄膜間電気接続部分は2箇所設けられていたが、2箇所に限らなくても良い。例えば、実施の形態1の金属接続体7の変形例を用いて説明すると、図9に示す金属接続体12のように、両端の端部12a、12bが薄膜間電気接続部分となっており、更に中央部分に薄膜間電気接続部分12eが設けられている。尚、この金属接続体12の電極4aとリードフレーム部分2bとの電気的接続は、薄膜間電気接続部分12a、12b、12eのいずれかから選択された2箇所で行われればよい。
又、上記実施の形態では、金属接続体7、8、9は、複数の金属薄膜を重ね合わせて形成されているが、図10に示す金属接続体14に示すように、重ね合わされて配置された複数の金属薄膜140に対して垂直に配置された金属薄膜141が設けられていても良い。金属接続体14では、端部14a、14bを形成する辺とは異なる辺側に金属薄膜141が配置されている。
以上のように、実施の形態1〜3では、様々な金属接続体の構成について説明したが、要するに、従来の金属板5を、実施の形態1、2のように、その厚さ方向に分割した構成とすることによって、低抵抗で熱変動により生じる応力を低減することが可能な半導体装置を実現できる。
本発明の半導体装置及び半導体装置の製造方法は、接続部分の信頼性が高く、半導体素子への応力による負荷を低減することが可能な効果を有し、パワー半導体装置等として有用である。
1 基板
2 リードフレーム
3 半導体素子
4 電極
5 金属板
6a、6b 接続部
7、8、9、10、12、14 金属接続体
7a、7b 端部
15 接続部材
16 吸着ノズル
70e、90e 端面
90f 表面部分
70a、70b、70c 端面
2 リードフレーム
3 半導体素子
4 電極
5 金属板
6a、6b 接続部
7、8、9、10、12、14 金属接続体
7a、7b 端部
15 接続部材
16 吸着ノズル
70e、90e 端面
90f 表面部分
70a、70b、70c 端面
Claims (13)
- 電極が配置された半導体素子と、
前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分を有するリードフレームと、
前記半導体素子の前記電極と他のリードフレーム部分を電気的に接続する金属接続体を備え、
前記金属接続体は、金属薄膜を2枚以上重ね合わせた構造であって、
前記電極との電気的接続部分と、前記他のリードフレーム部分との電気的接続部分において、前記2枚以上の金属薄膜が互いに電気的に接続されており、
2箇所の前記電気的接続部分の間に、前記2枚以上の金属薄膜が互いに機械的に接続されていない部分を有する、半導体装置。 - 前記2枚以上の金属薄膜は、少なくとも1枚の前記金属薄膜の厚さが、他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体素子の前記電極と前記金属接続体との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われており、
前記金属接続体と前記他のリードフレーム部分との電気的接続は、はんだまたは導電性ペーストを介して行われている、請求項1記載の半導体装置。 - 前記電気的接続部分における前記2枚以上の金属薄膜は、はんだまたは導電性ペーストによって、電気的に互いに接続されている、請求項1記載の半導体装置。
- 前記金属薄膜の厚さは、100μm以下である、請求項1記載の半導体装置。
- 前記金属接続体は、厚さ20μm以下の前記金属薄膜を5枚以上重ね合わせて形成されている、請求項1記載の半導体装置。
- 他の前記金属薄膜の厚さよりも大きい、前記金属薄膜の厚さが、50μmより大きく100μm以下であり、
前記他の金属薄膜は、厚さが50μm以下である、請求項2記載の半導体装置。 - 前記2箇所の電気的接続部分とは、前記金属接続体の両端部分であり、
前記金属接続体は、前記2枚以上の金属薄膜の各両端面がずれるよう重ね合わされて形成されている、請求項1又は4記載の半導体装置。 - 少なくとも2枚以上の金属薄膜を重ね合わせる重ね合わせ工程と、前記2枚以上の金属薄膜を、2箇所で互いに電気的に接続し、前記2箇所の間に機械的に接続されていない部分を形成する金属薄膜接続工程を有する金属接続体作製工程と、
半導体素子の電極と、前記半導体素子が配置されるリードフレーム部分以外の他のリードフレーム部分とを電気的に接続するために、前記電極と前記他のリードフレーム部分に前記金属接続体を取り付ける取り付け工程とを備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記金属薄膜接続工程は、はんだディップ法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属薄膜接続工程は、超音波接合法を用いて、前記2枚以上の金属薄膜を、前記2箇所において互いに電気的に接続する工程である、請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分にはんだを配置するはんだ配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記はんだが配置された部分と、前記他のリードフレーム部分の前記はんだが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記はんだを加熱溶融し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記取り付け工程は、
前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に導電性ペーストを配置する導電性ペースト配置工程と、
前記半導体素子の前記電極の前記導電性ペーストが配置された部分と、前記他のリードフレームの前記導電性ペーストが配置された部分に、前記金属接続体の前記2箇所をそれぞれ位置合わせする位置合わせ工程と、
前記導電性ペーストを加熱硬化し、前記金属接続体を前記半導体素子の前記電極及び前記他のリードフレーム部分に取り付ける溶融工程とを有する、請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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JP2010071846A JP2011204968A (ja) | 2010-03-26 | 2010-03-26 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
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2010
- 2010-03-26 JP JP2010071846A patent/JP2011204968A/ja active Pending
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