JP2011204780A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態によれば、チャネル層3上に互いに離間して設けられ、それぞれがチャネル層3に電気的に接続されたソース電極4およびドレイン電極5と、ソース電極4とドレイン電極5との間においてチャネル層3に接して設けられたゲート電極6と、ゲート電極6とドレイン電極5との間においてチャネル層3上に設けられたパッシベーション膜7と、ゲート電極6に接触し、且つ、ドレイン電極5と離間してパッシベーション膜7上に設けられたパッシベーション膜7よりも誘電率が高い高誘電率膜8と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
【選択図】図1
Description
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置10の断面構造を示す模式図である。半導体装置10は、絶縁性基板2の表面に設けられた第1半導体層であるチャネル層3と、チャネル層3の表面に設けられた第1電極であるソース電極4および第2電極であるドレイン電極5と、さらに制御電極であるゲート電極6と、を備えた、所謂MESFET(Metal-Semiconductor Field Effect Transistor)である。
図3は、第2の実施形態に係る半導体装置20の断面構造を示す模式図である。半導体装置20は、窒化物半導体を材料とするHFET(Heterojunction FET)の一例である。
図5は、第3の実施形態に係る半導体装置50の断面構造を示す模式図である。半導体装置50も、窒化物半導体を材料とするFETの一例であり、ゲート電極16が第1誘電体膜である誘電体膜27の上に設けられている点で、図2に示す半導体装置20と相違する。すなわち、半導体装置50は、所謂MIS(metal-insulator-semiconductor)ゲート構造を有するFETである。
3 チャネル層
4、14 ソース電極
5、15 ドレイン電極
6、16 ゲート電極
6a フィールドプレート
7、17 パッシベーション膜
8、18 高誘電率膜
11 絶縁性基板
12 N型GaN層
13 N型AlGaN層
19 保護膜
27 誘電体膜
10、20、30、40、50 半導体装置
Claims (5)
- 第1半導体層と、
前記第1半導体層上に互いに離間して設けられ、それぞれが前記第1半導体層に電気的に接続された第1電極および第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間において前記第1半導体層に接して設けられた制御電極と、
前記制御電極と前記第2電極との間において前記第1半導体層上に設けられた第1誘電体膜と、
前記制御電極に接触し、且つ、前記第2電極と離間して前記第1誘電体膜上に設けられ、前記第1誘電体膜よりも誘電率が高い第2誘電体膜と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 前記第1半導体層と前記制御電極との間に設けられた第2半導体層をさらに備え、
前記第1誘電体膜は、前記制御電極と前記第2電極との間の前記第2半導体層を覆うように設けられていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。 - 前記第1半導体層および前記第2半導体層は、窒化物半導体からなり、
前記第2半導体層のバンドギャップは、前記第1半導体層のバンドギャップよりも大きいことを特徴とする請求項2記載の半導体装置。 - 前記制御電極と、前記第1誘電体膜と、前記第2誘電体膜と、の表面上に設けられた第3誘電体膜をさらに備え、
前記第3誘電体膜は、前記第2誘電体膜よりも誘電率が低いことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。 - 前記第1誘電体膜は、窒化シリコン膜であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
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JP2010068527A JP2011204780A (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 半導体装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2010
- 2010-03-24 JP JP2010068527A patent/JP2011204780A/ja active Pending
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