JP2011204265A - マスフローコントローラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部2と、当該流量センサ部2の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブ3と、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にPID演算を施して流量制御バルブ3へのフィードバック制御値を算出する算出部7と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部8と、を備え、前記算出部7が、安定状態におけるPID演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも1つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更する。
【選択図】図3
Description
本実施形態のマスフローコントローラ100は、図1に模式図を示すように、内部流路1と、その内部流路1内を流れる流体Fの流量を測定する流量センサ部2と、その流量センサ部2の例えば下流側に設けた流量制御バルブ3と、前記流量センサ部2及び流量制御バルブ3の上流側に設けた圧力センサ部4と、制御部5とを備えているもので、例えば図2に示すように、半導体プロセスにおけるチャンバへのガス供給システムに用いられる。
I’=I×Fu(set) ・・・(2)
D’=D×Fu(set) ・・・(3)
I”=I’×Gu(p) ・・・(5)
D”=D’×Gu(p) ・・・(6)
I’=I×Fd(set) ・・・(8)
D’=D×Fd(set) ・・・(9)
I”=I’×Gd(p) ・・・(11)
D”=D’×Gd(p) ・・・(12)
このように構成した本実施形態に係るマスフローコントローラ100によれば、安定状態におけるPID演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び前記流量設定値に基づいて変更させているので、従来の流量設定値により比例係数、積分係数及び微分係数を比例させて変更させる方法に比べて、より最適な比例係数、積分係数及び微分係数を得ることができ、その結果、一次側圧力の圧力変動の影響を受けにくく、安定した流量制御を行うことができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。以下の説明において前記実施形態に対応する部材には同一の符号を付すこととする。
1 ・・・流路
2 ・・・流量センサ部
3 ・・・流量制御バルブ
7 ・・・算出部
8 ・・・開度制御信号出力部
Claims (4)
- 流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、
当該流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、
前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にPID演算を施して流量制御バルブへのフィードバック制御値を算出する算出部と、
前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部と、を備え、
前記算出部が、安定状態におけるPID演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも1つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更することを特徴とするマスフローコントローラ。 - 前記算出部が、所定の一次側圧力が与えられた場合に、一次側圧力の時間変化量の正負によって、比例係数、積分係数及び微分係数を異ならせるものである請求項1記載のマスフローコントローラ。
- 前記算出部が、所定の流量設定値が与えられた場合に、一次側圧力の時間変更量の正負によって、比例係数、積分係数及び微分係数を異ならせるものである請求項1又は2記載のマスフローコントローラ。
- 前記算出部が、一次側圧力の時間変化量の正負によって、比例係数、積分係数及び微分係数の値そのものを変更し、それによって変更された比例係数、積分係数及び微分係数に流量設定値を前記流量設定値に固有の関数に代入して得られる値を用いて所定演算することにより変更し、それによって変更された比例係数、積分係数及び微分係数に一次側圧力を前記一次側圧力に固有の関数に代入して得られる値を用いて所定演算することにより変更するものである請求項1、2又は3記載のマスフローコントローラ。
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