JP7474541B1 - 流量制御装置 - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000008859 change Effects 0.000 claims abstract description 35
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 42
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 10
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000004044 response Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
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- Flow Control (AREA)
Abstract
Description
P′=P×Fu(set)
I′=I×Fu(set)
D′=D×Fu(set)
前記Fu(set)は流量設定値に固有の関数である設定係数関数であるが、演算処理の簡略化を図るために、0-50%の比例定数と50-100%の比例定数とが異なる折れ線形状の折れ線関数が採用されている。次に、制御値算出部72は、P′I′D′係数を一次側圧力に基づいて以下のように変更している。
P″=P′×Gu(set)
I″=I′×Gu(set)
D″=D′×Gu(set)
前記Gu(set)は一次側圧力に固有の関数である圧力係数関数であるが、演算処理の簡略化を図るために、入力される一次側圧力に比例した比例関数が採用されている。
このように、特許文献5に記載された発明を具体的に実施するためには、流量設定値及び一次側圧力に基づいて、P、I、DをP″、I″、D″に変更し、当該P″、I″、D″を用いて偏差にPID演算を施してフィードバック制御値を算出する必要があり、前記折れ線関数や比例関数が用いられる結果、精度を向上することが困難である。
すなわち、流路内を流れる流体の流量を測定し、その流量測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、
前記流量センサ部の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ部と、
前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値とをパラメータとして含む算出式から前記流量制御バルブ部の開度制御信号を算出して出力する制御部とを備えた流量制御装置において、
前記流量設定値と流量測定値との差である偏差が一定以内である期間を定常期間とし、それ以外の期間を変化期間とした場合、
前記流量センサ部が受ける外的要因によって、前記定常期間中に前記流量センサ部が出力する流量測定信号が上昇方向又は下降方向に一定以上変化したとき、
流量制御バルブ部の現在の開度制御信号の変化後の新たな開度制御信号は、流量制御バルブ部の現在の開度制御信号に対して、ゼロを除く適宜定められる係数に流量設定値と流量測定値との差である偏差を乗算した結果得られるものを、流量設定値と流量測定値との差である偏差を微分したものの絶対値にゼロを除く適宜定められる係数を乗算した結果得られるものにゼロを除く実数を加算することによって得られるもので除算したものを加算することによって得られることを特徴とする。
そこで、偏差が大きい場合のみ偏差を小さくするという方法が好ましい。この考え方に従うものが本発明の流量制御装置である。ゼロを除く適宜定められる係数とは、流量設定値をパラメータとし、流量制御バルブ部の開度制御信号ならびに流量測定値に対する外的要因の影響を抑制する効果が最適化されるように適宜定められる係数であり、流量設定値と流量測定値との差である偏差と、時間と、ゼロを除く適宜定められる係数と、ゼロを除く実数とを用いて、流量制御バルブ部の現在の開度制御信号の変化後の新たな開度制御信号は、流量制御バルブ部の現在の開度制御信号に対して、ゼロを除く適宜定められる係数に流量設定値と流量測定値との差である偏差を乗算した結果得られるものを、流量設定値と流量測定値との差である偏差を微分したものの絶対値にゼロを除く適宜定められる係数を乗算した結果得られるものにゼロを除く実数を加算することによって得られるもので除算したものを加算することにより、流量制御バルブ部の開度制御信号が過大になることなく、瞬時の供給圧変動などの外的要因に対しても安定した流量制御を行うことが可能である。
MV’=MV+k×ε/(η|dε/dt|+c) (1)
MV’は流量制御バルブ部の現在の開度制御信号の変化後の新たな開度制御信号、MVは流量制御バルブ部の現在の開度制御信号、εは流量設定値と流量測定値との差である偏差、tは時間、k、ηはゼロを除く適宜定められる係数、cはゼロを除く実数である。ゼロを除く適宜定められる係数k、ηは、流量設定値をパラメータとし、流量制御バルブ部の開度制御信号ならびに流量測定値に対する外的要因の影響を抑制する効果が最適化されるように適宜定められる係数である。
(1)式において、仮に、ε≠0且つdε/dt=0である場合、以下の式(2)のようになる。
MV’=MV+k×ε/c (2)
(1)式において、仮に、ε=0(dε/dtは任意の値)である場合、以下の式(3)のようになる
MV’=MV (3)
(1)、(2)、(3)式を見れば明らかなように、本発明によれば、瞬時の供給圧変動などの外的要因に対しても安定した流量制御を行うことができる。
△MV=k×ε/(η|dε/dt|+c) (4)
2 内部流路
3 流量センサ部
4 流量制御バルブ部
5 制御部
6 信号受信部
7 算出部
8 開度制御信号出力部
9 流量出力部
10 レギュレータ
11 圧力計
12 流量制御装置
13 流量測定装置
14 マスフローコントローラ
15 ニードルバルブ
71 偏差算出部
72 制御値算出部
73 流量出力計算部
Claims (1)
- 流路内を流れる流体の流量を測定し、その流量測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、
前記流量センサ部の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ部と、
前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値とをパラメータとして含む算出式から前記流量制御バルブ部の開度制御信号を算出して出力する制御部とを備えた流量制御装置において、
前記流量設定値と流量測定値との差である偏差が一定以内である期間を定常期間とし、それ以外の期間を変化期間とした場合、
前記流量センサ部が受ける外的要因によって、前記定常期間中に前記流量センサ部が出力する流量測定信号が上昇方向又は下降方向に一定以上変化したとき、
流量制御バルブ部の現在の開度制御信号の変化後の新たな開度制御信号は、流量制御バルブ部の現在の開度制御信号に対して、ゼロを除く適宜定められる係数に流量設定値と流量測定値との差である偏差を乗算した結果得られるものを、流量設定値と流量測定値との差である偏差を時間に関して微分したものの絶対値にゼロを除く適宜定められる係数を乗算した結果得られるものにゼロを除く実数を加算することによって得られるもので除算したものを加算することによって得られることを特徴とする流量制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023120946 | 2023-07-25 | ||
JP2023120946 | 2023-07-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7474541B1 true JP7474541B1 (ja) | 2024-04-25 |
Family
ID=90735738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023185163A Active JP7474541B1 (ja) | 2023-07-25 | 2023-10-30 | 流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7474541B1 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008041390A1 (fr) | 2006-10-03 | 2008-04-10 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Régulateur de débit massique |
JP2010079827A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Horiba Stec Co Ltd | マスフローコントローラ |
-
2023
- 2023-10-30 JP JP2023185163A patent/JP7474541B1/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008041390A1 (fr) | 2006-10-03 | 2008-04-10 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Régulateur de débit massique |
JP2010079827A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-08 | Horiba Stec Co Ltd | マスフローコントローラ |
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