JP2011199091A - 熱電変換モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱電変換モジュールは、p型半導体素子1とn型半導体素子2とが絶縁層3を介して交互に複数配置され、p型半導体素子1およびn型半導体素子2の主面1a,1b,2a,2b両端部に電極4が形成され、この電極4を介してp型半導体素子1およびn型半導体素子2が電気的に直列に接続されている。生産性の高い、積層体構造の熱電変換モジュールにおいて、さらに半導体素子1,2の主面に電極4を形成することで、p型半導体素子1およびn型半導体素子2と電極4との間の抵抗を低減することができ、変換効率の高い熱電変換モジュールを提供することができる。
【選択図】 図1
Description
の接触面の、特に絶縁体43の端部に層間剥離が発生する場合があり、信頼性に問題があった。
1の一方主面1aの一端部およびp型半導体素子1の他方主面1bの他端部、n型半導体素子2の一方主面2aの一端部およびn型半導体素子2の他方主面2bの他端部に主面側の電極4が形成されている。
導体素子1,2に比較して絶縁体3の熱伝導率が無視できなくなると、絶縁体3を伝わる熱が無視できなくなり、変換効率の劣化を招く。例えば、先に説明したシリサイド系のMg2Siの熱伝導率κは8W/(m・K)である。代表的な耐熱性セラミックスであるアルミナセラミックスは、熱伝導率が30W/(m・K)とMg2Siの熱伝導率に比して高く、熱電変換モジュールの変換効率の劣化を招く場合がある。
いて、数10μm〜数百μmの厚みのシートを得る。シートの幅は後に切断するため、半導体素子1,2より十分大きくしておく。例えば数10cm〜1m程度とすれば良い。
2:n型半導体素子
3:絶縁体
4:電極
5:導通孔
6:端面電極
7,8:取り出し電極
Claims (5)
- p型半導体素子とn型半導体素子とが絶縁層を介して交互に複数配置され、それぞれ隣接する前記p型半導体素子および前記n型半導体素子の両端で、前記p型半導体素子および前記n型半導体素子が導体によって直列接続されている熱電変換モジュールにおいて、前記p型半導体素子および前記n型半導体素子の主面両端部に電極が形成され、該電極を介して前記p型半導体素子および前記n型半導体素子が電気的に接続されていることを特徴とする熱電変換モジュール。
- 前記電極と前記p型半導体素子または前記n型半導体素子との間に固溶層が生じていることを特徴とする請求項1記載の熱電変換モジュール。
- 前記p型半導体素子および前記n型半導体素子の前記主面に接する端面に、前記電極と導通した端面電極を形成し、該端面電極を介して隣接する前記p型半導体素子および前記n型半導体素子が接続されていることを特徴とする請求項1または2記載の熱電変換モジュール。
- 前記電極と前記端面電極とは異種の金属から成ることを特徴とする請求項3記載の熱電変換モジュール。
- 前記電極の位置に対応する前記絶縁層の位置に一方表面から他方表面に貫通する孔を形成するとともに前記一方表面と前記他方表面とを電気的に導通させた導通孔により、隣接する前記p型半導体素子と前記n型半導体素子とが接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱電変換モジュール。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013522861A (ja) * | 2011-02-22 | 2013-06-13 | パナソニック株式会社 | 熱電変換素子とその製造方法 |
JP2014049713A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Hitachi Chemical Co Ltd | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
JP2014187124A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Fujitsu Ltd | 熱電素子搭載モジュール及びその製造方法 |
WO2016203939A1 (ja) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | 富士フイルム株式会社 | 熱電変換素子および熱電変換モジュール |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02214173A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層熱電素子の製造方法 |
JPH09293909A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-11-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 熱電モジュール及びその製造方法 |
JPH10303471A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Sharp Corp | 熱電素子及びそれを用いた熱電素子モジュール |
JP2003110157A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Toshiba Corp | 熱電発電装置 |
JP2005050863A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | 熱電モジュール |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02214173A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 積層熱電素子の製造方法 |
JPH09293909A (ja) * | 1996-02-26 | 1997-11-11 | Matsushita Electric Works Ltd | 熱電モジュール及びその製造方法 |
JPH10303471A (ja) * | 1997-04-28 | 1998-11-13 | Sharp Corp | 熱電素子及びそれを用いた熱電素子モジュール |
JP2003110157A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-11 | Toshiba Corp | 熱電発電装置 |
JP2005050863A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | 熱電モジュール |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013522861A (ja) * | 2011-02-22 | 2013-06-13 | パナソニック株式会社 | 熱電変換素子とその製造方法 |
US9219214B2 (en) | 2011-02-22 | 2015-12-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Thermoelectric conversion element and producing method thereof |
JP2014049713A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Hitachi Chemical Co Ltd | 熱電変換モジュールおよびその製造方法 |
JP2014187124A (ja) * | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Fujitsu Ltd | 熱電素子搭載モジュール及びその製造方法 |
WO2016203939A1 (ja) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | 富士フイルム株式会社 | 熱電変換素子および熱電変換モジュール |
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