JP2011189673A - Screen printing apparatus and method for tension measurement of mask in the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a screen printing apparatus, capable of conveniently and quickly measuring tension of a mask, and to provide a method for tension measurement of the mask in the screen printing apparatus. <P>SOLUTION: After a squeegee 14, which is mounted on a bottom of a squeegee raising shaft 61 lifted and lowered to the mask 13, is brought into contact with a central part of the mask 13 before contacting a substrate 2, the tension of the mask 13 is calculated by depressing the mask 13 by lowering the squeegee rasing shaft 61 based on a relation between an axial load F of the squeegee rasing shaft 61 measured in the condition and a depressing amount δ in the central part of the mask 13. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、マスクを介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printer that prints a paste on a substrate through a mask and a mask tension measuring method in the screen printer.

基板に半田ペースト等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷機は、基板の電極に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が上下に一致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して電極にペーストを転写させるようになっている。   A screen printer that prints a paste such as solder paste on a board contacts the mask with a pattern hole corresponding to the electrode on the board in contact with the board so that the pattern hole is vertically aligned, and then the paste is supplied By sliding the squeegee on the mask and scraping the paste, the paste is transferred to the electrode through the pattern hole of the mask.

このようなスクリーン印刷機では、マスクは通常、金属製の薄板材料で構成されており、矩形の枠状部材から成るマスク枠によって四辺が保持されることによって一定のテンションが与えられてフラットな状態となっているが、マスクの使用回数が増えてくると、マスクの自重や、基板との版離れのときに受ける下方への引っ張り荷重等を受けること等によってテンションが低下してくる。そうすると、版離れ時における基板のマスクの離間のタイミングが遅れて印刷不良が生じる場合があるため、従来、基板に接触させる前のマスクに分銅を取り付けてマスクに一定の下方荷重を与え、その荷重の値とマスクの下方変位量との関係に基づいて、マスクのテンションを算出するようにしていた（例えば、特許文献１）。   In such a screen printing machine, the mask is usually made of a metal thin plate material, and is flat with a certain tension applied by holding the four sides by a mask frame made of a rectangular frame-shaped member. However, as the number of times the mask is used increases, the tension decreases due to the weight of the mask and the downward tensile load received when the plate is separated from the substrate. In this case, since the timing of separation of the mask of the substrate at the time of separating the plate may be delayed and printing failure may occur, conventionally, a weight is attached to the mask before contacting the substrate and a constant downward load is applied to the mask, and the load The tension of the mask is calculated on the basis of the relationship between the value of and the amount of downward displacement of the mask (for example, Patent Document 1).

特開２００１−６２９９６号公報JP 2001-62996 A

しかしながら、上記のようにマスクに分銅を取り付けてマスクのテンションを算出する場合には、マスクをスクリーン印刷機内とは異なる別の場所に移動させて専用のマスク保持治具によりマスクを保持して行う必要があり、作業性の面でも設備的な面でもコスト高となるおそれがあるという問題点があった。   However, when the weight of a mask is calculated by attaching a weight to the mask as described above, the mask is moved to a different location from the inside of the screen printing machine and the mask is held by a dedicated mask holding jig. Therefore, there is a problem that the cost may increase in terms of workability and equipment.

そこで本発明は、マスクのテンションを簡便かつ迅速に計測することができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのテンション計測方法を提供することを目的とする。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a screen printing machine and a mask tension measuring method for a screen printing machine, which can easily and quickly measure the tension of the mask.

請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、マスクに対して昇降されるスキージ昇降軸と、スキージ昇降軸の下端に取り付けられ、マスクに上方から当接した状態でスキージ昇降軸がマスクに対して水平面内方向に相対移動されることによりマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、マスクに対して昇降され、下端に接触部材が取り付けられた昇降軸と、昇降軸の軸方向荷重の測定を行う荷重測定手段と、基板に接触させる前のマスクの中央部に接触部材を接触させた昇降軸を下降させてマスクを押し下げた状態で、荷重測定手段により測定される昇降軸の軸方向荷重とマスクの中央部の押し下げ量との関係に基づいてマスクのテンションの算出を行うテンション算出部とを備えた。   The screen printing machine according to claim 1, wherein the screen is in contact with the mask from above, the mask being in contact with the upper surface of the substrate, the squeegee lifting shaft that is raised and lowered relative to the mask, and the lower end of the squeegee lifting shaft. The squeegee lifting shaft slides on the mask by being moved relative to the mask in the horizontal plane direction, and is a screen printing machine provided with a squeegee that transfers the paste supplied on the mask to the substrate, A lift shaft that is lifted and lowered with respect to the mask and has a contact member attached to the lower end thereof, a load measuring means that measures the axial load of the lift shaft, and a contact member that is in contact with the central portion of the mask before contacting the substrate. The mask tension is lowered based on the relationship between the axial load of the lifting shaft measured by the load measuring means and the amount of pressing of the central portion of the mask while the lifting shaft is lowered and the mask is pressed down. And a tension calculating unit to calculate the ® down.

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、前記荷重測定手段は、昇降軸と接触部材の間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルから成る。   The screen printing machine according to claim 2 is the screen printing machine according to claim 1, wherein the load measuring means is a load cell attached to an elastic body interposed between the lifting shaft and the contact member. Become.

請求項３に記載のスクリーン印刷機は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機であって、前記昇降軸はスキージ昇降軸から成り、前記接触部材はスキージ昇降軸の下端に取り付けられた前記スキージから成り、荷重測定手段はスキージ昇降軸の軸方向荷重を昇降軸の軸方向荷重として測定する。   The screen printer according to claim 3 is the screen printer according to claim 1 or 2, wherein the elevating shaft comprises a squeegee elevating shaft, and the contact member is attached to a lower end of the squeegee elevating shaft. The squeegee comprises a squeegee, and the load measuring means measures the axial load of the squeegee lifting shaft as the axial load of the lifting shaft.

請求項４に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法は、基板の上面に接触されるマスクと、マスクに対して昇降されるスキージ昇降軸と、スキージ昇降軸の下端に取り付けられ、マスクに上方から当接した状態でスキージ昇降軸がマスクに対して水平面内方向に相対移動されることによりマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法であって、マスクに対して昇降される昇降軸の下端に取り付けられた接触部材を、基板に接触させる前のマスクの中央部に接触させる工程と、マスクの中央部に接触部材を接触させた昇降軸を下降させてマスクを押し下げる工程と、マスクを押し下げた状態で測定される昇降軸の軸方向荷重とマスクの中央部の押し下げ量との関係に基づいてマスクのテンションの算出を行う工程とを含むことを特徴とする。   A mask tension measuring method for a screen printing machine according to claim 4, wherein the mask is in contact with the upper surface of the substrate, the squeegee lifting shaft lifted with respect to the mask, and the lower end of the squeegee lifting shaft. A screen provided with a squeegee that slides on the mask when the squeegee lifting shaft is moved relative to the mask in a horizontal plane direction in contact with the mask, and transfers the paste supplied on the mask to the substrate. A method for measuring a mask tension in a printing press, wherein a contact member attached to a lower end of a lifting shaft that is lifted and lowered with respect to the mask is brought into contact with a central portion of the mask before contacting the substrate, and the center of the mask Lowering the lift shaft with the contact member in contact with the part and pushing down the mask, and the axial direction of the lift shaft measured with the mask pressed down Characterized in that it comprises a step to calculate the mask in tension on the basis of the relationship between the depressed amount of the heavy and the central portion of the mask.

請求項５に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法は、請求項４に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法であって、昇降軸の軸方向荷重を、昇降軸と接触部材の間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルにより測定する。   The mask tension measuring method in the screen printing machine according to claim 5 is the mask tension measuring method in the screen printing machine according to claim 4, wherein the axial load of the lifting shaft is applied to the lifting shaft and the contact member. It is measured by a load cell attached to an elastic body interposed therebetween.

請求項６に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法は、請求項４又は５に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法であって、前記昇降軸はスキージ昇降軸から成り、前記接触部材はスキージ昇降軸の下端に取り付けられた前記スキージから成り、荷重測定手段はスキージ昇降軸の軸方向荷重を昇降軸の軸方向荷重として測定する。   The mask tension measuring method in the screen printer according to claim 6 is the mask tension measuring method in the screen printer according to claim 4 or 5, wherein the elevating shaft comprises a squeegee elevating shaft, and the contact The member includes the squeegee attached to the lower end of the squeegee lifting shaft, and the load measuring means measures the axial load of the squeegee lifting shaft as the axial load of the lifting shaft.

本発明では、基板に接触させる前のマスクの中央部を押し下げた昇降軸の軸方向荷重（圧縮荷重）に基づいてマスクのテンションを算出（計測）するようになっているので、マスクのテンションを計測するためにマスクをスクリーン印刷機内とは異なる別の場所に移動させることなく、また専用のマスク保持治具を必要とすることなく、マスクのテンションを簡便かつ迅速に計測することができる。   In the present invention, the mask tension is calculated (measured) on the basis of the axial load (compressive load) of the lifting shaft that pushes down the central portion of the mask before being brought into contact with the substrate. The mask tension can be measured easily and quickly without moving the mask to a different location from the inside of the screen printer for measurement and without requiring a dedicated mask holding jig.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図The top view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図The front view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図The side view of the screen printer in one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに設置されたマスクの平面図The top view of the mask installed in the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and the mask holder 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの近傍部分の斜視図The perspective view of the vicinity part of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるスキージの近傍部分の正面図The front view of the vicinity part of the squeegee with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the procedure of the screen printing operation which the screen printer in one embodiment of this invention performs （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるマスクのテンションの計測手順の説明図(A) (b) (c) Explanatory drawing of the measurement procedure of the tension of the mask in the screen printer in one embodiment of the present invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの正面図(A) (b) The front view of the board | substrate holding | maintenance movement unit with which the screen printer in one embodiment of this invention is provided. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printer in one embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printer in one embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) (c) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printing machine according to the embodiment of the present invention. （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機における異物検出の手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the procedure of the foreign material detection in the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機における異物検出の手順の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the procedure of the foreign material detection in the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるスキージの付着ペーストの計測方法の説明図(A) (b) Explanatory drawing of the measuring method of the adhesion paste of the squeegee in the screen printer in one embodiment of this invention. （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備える基板保持移動ユニットの側面図(A) (b) (c) Side view of the substrate holding and moving unit provided in the screen printing machine according to the embodiment of the present invention.

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板２を搬入してその基板２の表面に設けられた電極３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰｓｔ（図３参照）を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板２を下流側の電子部品実装機（図示せず）等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機１における基板２の搬送方向をＸ軸方向（図１の紙面左右方向）、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（図１の紙面上下方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向をスクリーン印刷機１の前後方向、Ｘ軸方向をスクリーン印刷機１の横（左右）方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機１のオペレータＯＰ（図１）がスクリーン印刷機１に対して作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、その反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. A screen printing machine 1 shown in FIGS. 1, 2 and 3 is a kind of electronic component mounting apparatus constituting an electronic component mounting line for mounting substrate production. A substrate 2 is carried in and placed on the surface of the substrate 2. After performing screen printing for transferring a paste Pst (see FIG. 3) such as a solder paste or a conductive paste onto the provided electrode 3, the substrate 2 is transferred to an electronic component mounting machine (not shown) on the downstream side. The operation to carry out is executed continuously. Hereinafter, for convenience of explanation, the transport direction of the substrate 2 in the screen printing machine 1 is the X axis direction (left and right direction in FIG. 1), and the horizontal direction perpendicular to the X axis direction is the Y axis direction (up and down direction in FIG. 1). ) And the vertical direction is the Z-axis direction. The Y-axis direction is the front-rear direction of the screen printing machine 1 and the X-axis direction is the horizontal (left-right) direction of the screen printing machine 1. Further, in the front-rear direction, the operator OP (FIG. 1) of the screen printing machine 1 performs the operation on the screen printing machine 1 (below the paper surface in FIG. 1) is the front side of the screen printing machine 1, and the opposite side (see FIG. 1). 1) is the rear side of the screen printer 1.

図１、図２及び図３において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台１１上に設けられた基板保持移動ユニット１２、基板保持移動ユニット１２の上方に設けられた金属製の薄板材料から成るプレート状のマスク１３、前後一対のスキージ１４及びカメラユニット１５を備えている。   1, 2, and 3, the screen printing machine 1 according to the present embodiment includes a substrate holding / moving unit 12 provided on a base 11, and a metal thin plate provided above the substrate holding / moving unit 12. A plate-shaped mask 13 made of a material, a pair of front and rear squeegees 14 and a camera unit 15 are provided.

図２及び図３において、基板保持移動ユニット１２は、水平移動部２１、昇降部２２、コンベア部２３及び基板保持部２４から成る。   2 and 3, the substrate holding / moving unit 12 includes a horizontal moving unit 21, a lifting / lowering unit 22, a conveyor unit 23, and a substrate holding unit 24.

図２及び図３において、水平移動部２１は、Ｙテーブル駆動モータＭｙの作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル２１ａ、Ｘテーブル駆動モータＭｘの作動によってＹテーブル２１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃの上面に固定されたベーステーブル２１ｄ及びベーステーブル２１ｄの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド２１ｅから成る。   2 and 3, the horizontal moving unit 21 moves to the Y table 21a that moves in the Y-axis direction with respect to the base 11 by the operation of the Y table drive motor My, and to the Y table 21a by the operation of the X table drive motor Mx. The X table 21b that moves in the X axis direction, the θ table 21c that rotates around the Z axis with respect to the X table 21b, the base table 21d that is fixed to the upper surface of the θ table 21c, and the upper surface of the base table 21d that extends upward It consists of a plurality of lift table guides 21e provided.

図２及び図３において、昇降部２２は、水平移動部２１の複数の昇降テーブルガイド２１ｅにガイドされてベーステーブル２１ｄに対して昇降する昇降テーブル２２ａ及び昇降テーブル２２ａの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド２２ｂから成る。   2 and 3, the elevating unit 22 is provided to extend upward from the upper surface of the elevating table 22a and the elevating table 22a which are guided by a plurality of elevating table guides 21e of the horizontal moving unit 21 and elevate with respect to the base table 21d. And a plurality of support unit lifting guides 22b.

図３において、コンベア部２３は下受けユニット昇降ガイド２２ｂの上端に取り付けられて昇降テーブル２２ａとともにベーステーブル２１ｄに対して昇降する前後一対のベルトコンベア支持部材２３ａと、各ベルトコンベア支持部材２３ａに支持されてＸ軸方向に進退動作する前後一対のベルトコンベア２３ｂから成っており、これら前後のベルトコンベア２３ｂが同期して作動することにより、基板２のＸ軸方向への搬送がなされる。   In FIG. 3, the conveyor unit 23 is attached to the upper end of the receiving unit elevating guide 22b and supported by a pair of front and rear belt conveyor supporting members 23a that elevate and lower with respect to the base table 21d together with the elevating table 22a, and each belt conveyor supporting member 23a. The front and rear belt conveyors 23b are moved forward and backward in the X-axis direction, and the front and rear belt conveyors 23b are operated in synchronization, whereby the substrate 2 is transported in the X-axis direction.

図２及び図３において、基板保持部２４は、コンベア部２３が備える前後のベルトコンベア支持部材２３ａそれぞれの上部にＹ軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材２４ａ（図１も参照）、コンベア部２３の下方において、下受けユニット昇降ガイド２２ｂにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル２４ｂ及び下受けユニット支持テーブル２４ｂの上面に設けられた下受けユニット２４ｃから成る。下受けユニット２４ｃは、下受けユニット支持テーブル２４ｂとともに昇降テーブル２２ａに対して昇降することにより、コンベア部２３上の基板２を下方から支持する。前後のクランプ部材２４ａは、前後のベルトコンベア２３ｂによって両端部が支持され、下受けユニット２４ｃによって下面が支持された基板２のＹ軸方向の両側部を基板２の外方から挟んでクランプする。   2 and 3, the substrate holding part 24 is a pair of front and rear clamping members 24a (see also FIG. 1) provided on the upper parts of the front and rear belt conveyor support members 23a provided in the conveyor part 23 so as to be movable in the Y-axis direction. ), A lower receiving unit support table 24b which is guided by the lower receiving unit elevating guide 22b and which is moved up and down, and a lower receiving unit 24c provided on the upper surface of the lower receiving unit supporting table 24b. The lower receiving unit 24c supports the substrate 2 on the conveyor unit 23 from below by moving up and down with respect to the lifting table 22a together with the lower receiving unit support table 24b. The front and rear clamp members 24a are clamped by sandwiching both sides in the Y-axis direction of the substrate 2 supported at both ends by the front and rear belt conveyors 23b and supported by the lower receiving unit 24c from the outside of the substrate 2.

図１及び図２において、基板保持移動ユニット１２を構成するコンベア部２３のＸ軸方向の両側（基板２の搬送方向の上流側と下流側）の位置には、スクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面左側）から投入された基板２を搬送（搬入）してコンベア部２３に受け渡す基板搬入コンベア２５と、コンベア部２３から受け渡された基板２をスクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面右側）に搬送（搬出）する基板搬出コンベア２６が備えられている。   In FIGS. 1 and 2, at the positions on both sides in the X-axis direction (upstream side and downstream side in the conveyance direction of the substrate 2) of the conveyor unit 23 that constitutes the substrate holding and moving unit 12, the screen printing machine 1 (see FIG. 1 and the substrate loading conveyor 25 that conveys (loads) the substrate 2 that has been loaded from the left side of the sheet of FIG. 2 and delivers it to the conveyor unit 23, and the substrate 2 that has been delivered from the conveyor unit 23 to the outside of the screen printer 1 A substrate carry-out conveyor 26 for carrying (carrying out) is provided (on the right side in FIG. 1 and FIG. 2).

図１及び図２において、基台１１上には基板搬入コンベア２５及び基板搬出コンベア２６をそれぞれＹ軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム２８が設けられており、これら一対の門型フレーム２８によってマスクホルダ３０が支持されている。マスクホルダ３０は、門型フレーム２８に両端が取り付けられて基板保持移動ユニット１２が備える基板保持部２４の上方をＸ軸方向に延びて配置された前後一対のガイド部材３１と、一対のガイド部材３１上をＹ軸方向に延びて設けられた左右一対のマスク支持レール３２とから成る。マスク１３はこのマスクホルダ３０が備える左右のマスク支持レール３２によって左右両端が支持されて基板保持移動ユニット１２の上方に水平姿勢に保持されている（図４も参照）。   In FIG. 1 and FIG. 2, a pair of portal frames 28 are provided on the base 11 so as to straddle the substrate carry-in conveyor 25 and the substrate carry-out conveyor 26 in the Y-axis direction. The holder 30 is supported. The mask holder 30 has a pair of front and rear guide members 31 that are attached to the portal frame 28 and extend in the X-axis direction above the substrate holding portion 24 provided in the substrate holding and moving unit 12 and a pair of guide members. 31 comprises a pair of left and right mask support rails 32 extending in the Y-axis direction. The mask 13 is held in a horizontal position above the substrate holding and moving unit 12 by being supported at both left and right by left and right mask support rails 32 provided in the mask holder 30 (see also FIG. 4).

図１及び図４において、マスク１３は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠１３ｗによって四辺が支持されており、マスク枠１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、基板２上の複数の電極３に対応した多数のパターン孔１３ａが設けられている。すなわちマスク１３は、基板２の電極３の配置に応じて形成された多数のパターン孔１３ａを有したものとなっている。   In FIG. 1 and FIG. 4, the mask 13 is supported by a mask frame 13w made of a rectangular frame-like member in plan view, and a rectangular region surrounded by the mask frame 13w has a plurality of areas on the substrate 2. A large number of pattern holes 13 a corresponding to the electrodes 3 are provided. That is, the mask 13 has a large number of pattern holes 13 a formed according to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2.

図１において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側位置決め用マークｍｋが設けられている。一方、図４において、マスク１３には、基板側位置決め用マークｍｋに対応して配置された２つ一組のマスク側位置決め用マークＭＫが設けられている。これら基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に合致する状態で基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極３とマスク１３のパターン孔１３ａは上下に合致した状態となる。   In FIG. 1, two sets of substrate-side positioning marks mk are provided at diagonal positions of the substrate 2. On the other hand, in FIG. 4, the mask 13 is provided with a pair of mask side positioning marks MK arranged corresponding to the substrate side positioning marks mk. When the substrate 2 is brought into contact with the mask 13 with the substrate-side positioning mark mk and the mask-side positioning mark MK aligned vertically, the electrode 3 of the substrate 2 and the pattern hole 13a of the mask 13 are aligned vertically. Become.

図１及び図２において、一対の門型フレーム２８には、Ｘ軸方向に延びたＸ軸ステージ５１の両端部がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸ステージ５１上にはカメラ支持ステージ５２がＸ軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ５２には前述のカメラユニット１５が取り付けられている。カメラユニット１５は、撮像視野を下方に向けた第１カメラ１５ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ１５ｂを備えている（図３）。   1 and 2, the pair of portal frames 28 support both ends of an X-axis stage 51 extending in the X-axis direction so as to be slidable in the Y-axis direction. A camera support stage 52 is provided on the X-axis stage 51 so as to be movable in the X-axis direction. The camera unit 15 is attached to the camera support stage 52. The camera unit 15 includes a first camera 15a whose imaging field is directed downward and a second camera 15b whose imaging field is directed upward (FIG. 3).

また、図１及び図２において、一対の門型フレーム２８にはＸ軸方向に延びたスキージベース６０の両端が支持されており、スキージベース６０は門型フレーム２８に沿ってＹ軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース６０には前述の前後一対のスキージ１４がＹ軸方向に対向して設けられている。   In FIGS. 1 and 2, both ends of a squeegee base 60 extending in the X-axis direction are supported by the pair of portal frames 28, and the squeegee base 60 reciprocates in the Y-axis direction along the portal frame 28. It is free to move. The squeegee base 60 is provided with the pair of front and rear squeegees 14 opposed to each other in the Y-axis direction.

図５及び図６において、スキージベース６０の上面の中央部のＹ軸方向に対向する位置には２つのボール螺子から成るスキージ昇降軸６１が上下方向に延びて設けられている。これら２つのスキージ昇降軸６１はそれぞれ、スキージベース６０、スキージベース６０の上面に設けられた筒状のスキージ昇降軸保持部６２及びこのスキージ昇降軸保持部６２内でベアリング６２ａ（図６中に示す拡大図参照）によって上下軸回りに回転自在に保持された筒状のナット部材６３を上下方向に貫通して延びている。   5 and 6, a squeegee lifting shaft 61 composed of two ball screws is provided extending in the vertical direction at a position facing the Y-axis direction at the center of the upper surface of the squeegee base 60. Each of these two squeegee lifting shafts 61 includes a squeegee base 60, a cylindrical squeegee lifting shaft holding portion 62 provided on the upper surface of the squeegee base 60, and a bearing 62a (shown in FIG. 6) in the squeegee lifting shaft holding portion 62. As shown in the enlarged view), a cylindrical nut member 63 that is rotatably held around the vertical axis extends in the vertical direction.

スキージ昇降軸６１とナット部材６３は螺合しており、スキージ昇降軸６１はナット部材６３の上部に固定されたリング状の従動プーリ６４を上下方向に貫通して（遊嵌されて）して延びている。   The squeegee raising / lowering shaft 61 and the nut member 63 are screwed together, and the squeegee raising / lowering shaft 61 penetrates a ring-shaped driven pulley 64 fixed to the upper portion of the nut member 63 in the vertical direction (is loosely fitted). It extends.

各スキージ昇降軸６１の下端は、スキージベース６０の下方をＸ軸方向に延びて設けられたスキージホルダ取り付け部材６５の上面に結合されており、スキージホルダ取り付け部材６５の下面側には前述のスキージ１４が取り付けられている。   The lower end of each squeegee lifting shaft 61 is coupled to the upper surface of a squeegee holder mounting member 65 that extends below the squeegee base 60 in the X-axis direction. 14 is attached.

スキージホルダ取り付け部材６５の上面のスキージ昇降軸６１を挟む位置には、一対のガイドロッド６６が上下方向に延びて設けられている。これら一対のガイドロッド６６はそれぞれスキージベース６０及びスキージベース６０の上面に設けられた筒状のロッド案内部６７を上下方向に貫通して延びている。   A pair of guide rods 66 are provided extending in the vertical direction at a position on the upper surface of the squeegee holder mounting member 65 with the squeegee lifting shaft 61 interposed therebetween. The pair of guide rods 66 extend vertically through a squeegee base 60 and a cylindrical rod guide portion 67 provided on the upper surface of the squeegee base 60.

各スキージ１４はスキージホルダ取り付け部材６５の下方をスキージホルダ取り付け部材６５と平行に（すなわちＸ軸方向に）延びて設けられたスキージホルダ７０と、スキージホルダ７０に上端部が取り付けられてＸ軸方向に延びた「へら」状のスキージ本体７１から成る。   Each squeegee 14 has a squeegee holder 70 provided below the squeegee holder attaching member 65 so as to extend parallel to the squeegee holder attaching member 65 (that is, in the X-axis direction), and an upper end portion attached to the squeegee holder 70 so that the X-axis direction is provided. The squeegee main body 71 has a spatula-like shape extending in the direction.

図５及び図６において、スキージベース６０の上面には、２つのスキージ昇降軸駆動モータ７２が２つのスキージ昇降軸保持部６２をＸ軸方向に挟む位置に設けられている。これら２つのスキージ昇降軸駆動モータ７２は駆動軸７２ａを上方に向けており、各駆動軸７２ａには駆動プーリ７３が取り付けられている。２つの駆動プーリ７３のうちの一方と２つの従動プーリ６４のうちの一方との間及び２つの駆動プーリ７３のうちの他方と２つの従動プーリ６４のうちの他方との間にはそれぞれ伝動ベルト７４が掛け渡されている。   5 and 6, two squeegee lifting shaft drive motors 72 are provided on the upper surface of the squeegee base 60 at a position sandwiching the two squeegee lifting shaft holding portions 62 in the X-axis direction. These two squeegee lifting shaft drive motors 72 have a drive shaft 72a facing upward, and a drive pulley 73 is attached to each drive shaft 72a. A transmission belt is provided between one of the two driving pulleys 73 and one of the two driven pulleys 64 and between the other of the two driving pulleys 73 and the other of the two driven pulleys 64. 74 is stretched over.

スキージ昇降軸駆動モータ７２の駆動軸７２ａの回転駆動により駆動プーリ７３が回転すると、伝動ベルト７４を介して従動プーリ６４がその上下軸（この軸はスキージ昇降軸６１の上下軸と一致する）回りに回転してナット部材６３が従動プーリ６４と一体となって回転するので、スキージ昇降軸６１がナット部材６３に対して（すなわちスキージベース６０）に対して昇降する。これにより、スキージ昇降軸６１の下端に取り付けられたスキージホルダ取り付け部材６５が、一対のガイドロッド６６にガイドされてＸ軸方向に延びた姿勢のまま昇降し、これに伴ってスキージホルダ取り付け部材６５に取り付けられたスキージ１４も、Ｘ軸方向に延びた姿勢を保持したまま、スキージベース６０に対して昇降する。なお、マスク１３とスキージベース６０の上下方向の相対位置は変化しないので、スキージ昇降軸６１はマスク１３に対して昇降することになる。   When the drive pulley 73 is rotated by the rotational drive of the drive shaft 72 a of the squeegee lifting shaft drive motor 72, the driven pulley 64 is rotated around its vertical axis (this axis coincides with the vertical axis of the squeegee lifting shaft 61) via the transmission belt 74. Since the nut member 63 is rotated integrally with the driven pulley 64, the squeegee lifting shaft 61 moves up and down with respect to the nut member 63 (that is, the squeegee base 60). Thereby, the squeegee holder attaching member 65 attached to the lower end of the squeegee raising / lowering shaft 61 is lifted and lowered while being guided by the pair of guide rods 66 and extending in the X-axis direction. The squeegee 14 attached to is also moved up and down with respect to the squeegee base 60 while maintaining the posture extending in the X-axis direction. Since the relative position in the vertical direction of the mask 13 and the squeegee base 60 does not change, the squeegee lifting shaft 61 moves up and down with respect to the mask 13.

上述のように、スキージ昇降軸６１の下端はスキージホルダ取り付け部材６５の上面に取り付けられているが、スキージ昇降軸６１とスキージホルダ取り付け部材６５との間には起歪体としての弾性体７５が介装されており、この弾性体７５には歪みゲージ式のロードセル７６が取り付けられている。このためスキージ１４を介してスキージ昇降軸６１に軸方向荷重（圧縮荷重又は引っ張り荷重）が作用すると、その荷重を受けて弾性変形する弾性体７５の歪みがロードセル７６によって検出され、スキージ昇降軸６１の軸方向荷重として測定される。   As described above, the lower end of the squeegee lifting shaft 61 is attached to the upper surface of the squeegee holder mounting member 65, but an elastic body 75 as a strain generating body is interposed between the squeegee lifting shaft 61 and the squeegee holder mounting member 65. A strain gauge type load cell 76 is attached to the elastic body 75. For this reason, when an axial load (compression load or tensile load) is applied to the squeegee lifting shaft 61 via the squeegee 14, the strain of the elastic body 75 that is elastically deformed in response to the load is detected by the load cell 76. Is measured as the axial load.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１において、基板２の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア２５、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２６の各動作は、制御装置８０（図７）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構８１（図７）の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材２４ａによる基板２のクランプ動作は、制御装置８０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構８２（図７）の作動制御を行うことによってなされる。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the operations of the substrate carry-in conveyor 25 as the substrate carrying path for carrying the substrate 2, the conveyor unit 23 of the substrate holding and moving unit 12, and the substrate carry-out conveyor 26 are controlled by a control device 80 ( 7) is performed by controlling the operation of the substrate transport path operating mechanism 81 (FIG. 7) including an actuator (not shown), and the clamping operation of the substrate 2 by the clamp member 24a is performed by the controller 80 including an actuator (not shown). This is done by controlling the operation of the clamp member operating mechanism 82 (FIG. 7).

基台１１に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃの（すなわちベーステーブル２１ｄの）Ｚ軸回りの回転、ベーステーブル２１ｄに対する昇降テーブル２２ａの昇降、昇降テーブル２２ａに対する下受けユニット支持テーブル２４ｂの（すなわち下受けユニット２４ｃの）昇降の各動作は、制御装置８０が前述のＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘを含むアクチュエータ等から成る基板保持移動ユニット作動機構８３（図７）の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the Y table 21a relative to the base 11 in the Y-axis direction, movement of the X table 21b relative to the Y table 21a in the X-axis direction, rotation of the θ table 21c relative to the X table 21b (ie, the base table 21d) around the Z axis The control device 80 operates the Y table drive motor My and the X table as described above for the operations of raising and lowering the lifting table 22a with respect to the base table 21d and raising and lowering the lower support unit support table 24b with respect to the lift table 22a (that is, lower support unit 24c). This is done by controlling the operation of the substrate holding and moving unit operating mechanism 83 (FIG. 7) including an actuator including the drive motor Mx.

カメラユニット１５の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム２８に対するＸ軸ステージ５１のＹ軸方向への移動動作及びＸ軸ステージ５１に対するカメラ支持ステージ５２のＸ軸方向への移動動作の各制御は、制御装置８０が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構８４（図７）の作動制御を行うことによってなされる。   Movement of the camera unit 15 in the horizontal plane, that is, movement of the X-axis stage 51 in the Y-axis direction with respect to the pair of portal frames 28 and movement of the camera support stage 52 in the X-axis direction with respect to the X-axis stage 51 Each control is performed when the control device 80 controls the operation of the camera unit moving mechanism 84 (FIG. 7) including an actuator (not shown).

前後のスキージ１４をＹ軸方向に往復移動させるスキージベース６０の作動制御は、制御装置８０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージベース移動機構８５（図７）の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１４のスキージベース６０に対する昇降動作は、制御装置８０がスキージベース６０の上部に取り付けられた前述の２つのスキージ昇降軸駆動モータ７２の作動制御を行うことによってなされる。   The operation control of the squeegee base 60 for reciprocating the front and rear squeegees 14 in the Y-axis direction is performed by the control device 80 controlling a squeegee base moving mechanism 85 (FIG. 7) including an actuator (not shown). Further, the raising / lowering operation of each squeegee 14 with respect to the squeegee base 60 is performed by controlling the operation of the above-described two squeegee raising / lowering shaft drive motors 72 attached to the upper portion of the squeegee base 60.

カメラユニット１５を構成する第１カメラ１５ａは、制御装置８０に制御されて、基板保持移動ユニット１２が備える基板保持部２４によって保持された基板２の基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行い、第２カメラ１５ｂは、制御装置８０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行う。第１カメラ１５ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ１５ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置８０に入力される（図７）。また、各スキージ１４に対応して設けられた２つのロードセル７６によって測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重の値も制御装置８０に入力される（図７）。   The first camera 15a constituting the camera unit 15 is controlled by the control device 80 to take an image of the substrate-side positioning mark mk of the substrate 2 held by the substrate holding unit 24 provided in the substrate holding and moving unit 12, and The two camera 15b is controlled by the control device 80 to image the mask side positioning mark MK provided on the mask 13. Both the image data obtained by the imaging of the first camera 15a and the image data obtained by the imaging of the second camera 15b are input to the control device 80 (FIG. 7). The value of the axial load of the squeegee lifting shaft 61 measured by the two load cells 76 provided corresponding to each squeegee 14 is also input to the control device 80 (FIG. 7).

次に、図８〜図１０のフローチャート及び図１１〜図１９の説明図を加えてスクリーン印刷機１の動作手順を説明する。ここで、図８はスクリーン印刷機１の動作のメインルーチンのフローチャート、図９及び図１０はそのメインルーチンにおけるサブルーチンのフローチャートである。   Next, the operation procedure of the screen printing machine 1 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 8 to 10 and the explanatory diagrams of FIGS. Here, FIG. 8 is a flowchart of a main routine of the operation of the screen printer 1, and FIGS. 9 and 10 are flowcharts of subroutines in the main routine.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、基板２に対するスクリーン印刷作業を実行する前に、マスクホルダ３０に設置したマスク１３のテンションの計測を行う（図８のステップＳＴ１に示すマスクテンション計測工程）。マスク１３のテンションの計測では、制御装置８０は、スキージベース移動機構８５の作動制御を行って、マスクホルダ３０に設置されているマスク１３のほぼ中央部の上方に２つのスキージ１４の一方を位置決めした後（図１１（ａ）。図９のステップＳＴ２１に示すスキージ位置決め工程）、そのスキージ１４に対応するスキージ昇降軸駆動モータ７２を作動させてマスク１３に対してスキージ昇降軸６１を下降させ（図１１（ａ）中に示す矢印Ａ１）、スキージ１４の下縁を、基板２に接触させる前のマスク１３の中央部に接触させる（図１１（ｂ）。図９のステップＳＴ２２に示すスキージ接触工程）。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, the tension of the mask 13 placed on the mask holder 30 is measured before executing the screen printing operation on the substrate 2 (mask tension measuring process shown in step ST1 of FIG. 8). . In measuring the tension of the mask 13, the control device 80 controls the operation of the squeegee base moving mechanism 85 to position one of the two squeegees 14 substantially above the center of the mask 13 installed in the mask holder 30. (FIG. 11A. Squeegee positioning step shown in step ST21 of FIG. 9), the squeegee lifting shaft driving motor 72 corresponding to the squeegee 14 is operated to lower the squeegee lifting shaft 61 with respect to the mask 13 ( 11A, the lower edge of the squeegee 14 is brought into contact with the central portion of the mask 13 before being brought into contact with the substrate 2 (FIG. 11B) .Squeegee contact shown in step ST22 of FIG. Process).

制御装置８０は、上記のようにしてスキージ１４を基板２に接触させる前のマスク１３の中央部に接触させたら、そのマスク１３の中央部にスキージ１４を接触させたスキージ昇降軸６１を下降させて（図１１（ｃ）中に示す矢印Ａ２）、マスク１３の中央部を押し下げる（図１１（ｃ）。図９のステップＳＴ２３に示すマスク押し下げ工程）。   When the control device 80 makes contact with the central portion of the mask 13 before the squeegee 14 is brought into contact with the substrate 2 as described above, the control device 80 lowers the squeegee lifting shaft 61 that makes the squeegee 14 contact with the central portion of the mask 13. (Arrow A2 shown in FIG. 11 (c)), the center portion of the mask 13 is pushed down (FIG. 11 (c). Mask pushing step shown in step ST23 of FIG. 9).

このマスク押し下げ工程におけるマスク１３の中央部の押し下げ量δ（図１１（ｃ））は、マスク１３が弾性領域内で若干量下方に撓む程度の大きさとする。このマスク１３の中央部の押し下げにより、スキージ昇降軸６１にはスキージ１４及び弾性体７５を介してマスク１３からの反力を受け、スキージ昇降軸６１に軸方向荷重としての圧縮荷重Ｆ（図１１（ｃ））が作用する。   The pressing amount δ (FIG. 11C) of the central portion of the mask 13 in this mask pressing step is set to such a magnitude that the mask 13 is bent slightly downward in the elastic region. By pushing down the central portion of the mask 13, the squeegee lifting shaft 61 receives a reaction force from the mask 13 via the squeegee 14 and the elastic body 75, and the squeegee lifting shaft 61 receives a compressive load F (FIG. 11) as an axial load. (C)) acts.

制御装置８０は、上記のようにしてマスク１３の中央部を押し下げたら、そのマスク１３を押し下げた状態で、スキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）Ｆの測定を行い（図９のステップＳＴ２４に示す荷重測定工程）、その測定したスキージ昇降軸６１の軸方向荷重Ｆとマスク１３の中央部の押し下げ量δとの関係に基づいて、マスク１３のテンションの算出を行う（図９のステップＳＴ２５に示すテンション算出工程）。このとき制御装置８０は、基板２に接触させる前のマスク１３の中央部にスキージ１４を接触させたスキージ昇降軸６１を下降させてマスク１３を押し下げた状態で、荷重測定手段としてのロードセル７６により測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重Ｆとマスク１３の中央部の押し下げ量δとの関係に基づいてマスク１３のテンションの算出を行うテンション算出部として機能する。   When the central portion of the mask 13 is pushed down as described above, the control device 80 measures the axial load (compression load) F of the squeegee lifting shaft 61 with the mask 13 pushed down (step of FIG. 9). The load measurement step shown in ST24), and the tension of the mask 13 is calculated based on the relationship between the measured axial load F of the squeegee lifting shaft 61 and the amount of depression δ at the center of the mask 13 (step of FIG. 9). (Tension calculation step shown in ST25). At this time, the control device 80 lowers the squeegee lifting shaft 61 with which the squeegee 14 is brought into contact with the central portion of the mask 13 before being brought into contact with the substrate 2, and pushes down the mask 13, so that the load cell 76 as a load measuring means is used. It functions as a tension calculator that calculates the tension of the mask 13 based on the relationship between the axial load F of the squeegee lifting shaft 61 to be measured and the amount of depression δ at the center of the mask 13.

制御装置８０の記憶部８０ａには、マスク１３が正常なテンションを有している場合に、そのマスク１３の中央部を規定の押し下げ量δ０だけ押し下げたときに測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重Ｆの基準値Ｆ０が記憶されており、制御装置８０は、実際にマスク１３を規定の押し下げ量δ０だけ押し下げたときに測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重の値Ｆが基準値Ｆ０以上であればマスク１３のテンションは正常であり、基準値Ｆ０を下回っていればマスク１３のテンションは非正常であると判断する。   In the storage unit 80a of the control device 80, when the mask 13 has a normal tension, the axis of the squeegee lifting shaft 61 measured when the central portion of the mask 13 is pushed down by a predetermined pushing amount δ0. A reference value F0 of the directional load F is stored, and the control device 80 determines that the axial load value F of the squeegee lifting shaft 61 measured when the mask 13 is actually pushed down by the prescribed depression amount δ0. If it is F0 or more, it is determined that the tension of the mask 13 is normal, and if it is below the reference value F0, it is determined that the tension of the mask 13 is abnormal.

制御装置８０は、上記のステップＳＴ２５でマスク１３のテンションの算出を行ったら、ステップＳＴ２３で下降させたスキージ１４を元の位置まで上昇させる（図９のステップＳＴ２６に示すスキージ上昇工程）。そして、上記の要領で、ステップＳＴ２５で算出したマスク１３のテンションが正常であるか否かの判断を行う（図９のステップＳＴ２７に示す判断工程）。   After calculating the tension of the mask 13 in step ST25, the control device 80 raises the squeegee 14 lowered in step ST23 to the original position (squeegee raising process shown in step ST26 of FIG. 9). Then, in the above manner, it is determined whether or not the tension of the mask 13 calculated in step ST25 is normal (determination step shown in step ST27 in FIG. 9).

制御装置８０は、ステップＳＴ２７において、算出したマスク１３のテンションが正常でない（非正常である）と判断した場合には、スクリーン印刷機１の動作を一時中断したうえで、基台１１に設けられたディスプレイ装置８６（図７）を介した画像表示により、マスク１３のテンションが非正常である旨の報知を行う（図９のステップＳＴ２８に示す報知工程）。この報知を受けたオペレータＯＰは、マスク１３の交換を行って基台１１に設けられた動作再開ボタン８７（図７）の操作を行うが、制御装置８０は、動作再開ボタン８７の操作信号の出力に基づいて行う、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたか否かの判断において（図９のステップＳＴ２９に示す判断工程）、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたと判断したときには、ステップＳＴ２２に戻ってマスク１３のテンションの計測を再実行する。   If the control device 80 determines in step ST27 that the calculated tension of the mask 13 is not normal (not normal), the control device 80 is provided on the base 11 after temporarily suspending the operation of the screen printing machine 1. In addition, a notification that the tension of the mask 13 is abnormal is given by image display via the display device 86 (FIG. 7) (notification step shown in step ST28 of FIG. 9). Upon receiving this notification, the operator OP replaces the mask 13 and operates the operation restart button 87 (FIG. 7) provided on the base 11, but the control device 80 receives the operation signal of the operation restart button 87. In determining whether or not the operation resume button 87 has been operated by the operator OP based on the output (determination step shown in step ST29 in FIG. 9), if it is determined that the operation resume button 87 has been operated by the operator OP, step Returning to ST22, the measurement of the tension of the mask 13 is performed again.

一方、制御装置８０は、ステップＳＴ２７において、算出したマスク１３のテンションが正常であると判断したときには、ディスプレイ装置８６を介した画像表示により、マスク１３のテンションが正常である旨の報知を行ったうえで（図９のステップＳＴ３０に示す報知工程）、メインルーチンに戻る。   On the other hand, when it is determined in step ST27 that the calculated tension of the mask 13 is normal, the control device 80 notifies the fact that the tension of the mask 13 is normal by image display via the display device 86. Then (notification process shown in step ST30 in FIG. 9), the process returns to the main routine.

これにより、マスク１３のテンションが非正常な状態のまま（下方撓みが大きいまま）、スクリーン印刷が実行されて不良基板が生産されることが防止される。   As a result, it is possible to prevent the defective substrate from being produced by performing screen printing while the tension of the mask 13 is in an abnormal state (the downward deflection is large).

制御装置８０は、上記の手順によりステップＳＴ１のマスクテンション計測工程が終了したら、図示しない検知手段によって、スクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置等（図示せず）から基板搬入コンベア２５に基板２が投入されたことを検知したら、基板搬入コンベア２５とコンベア部２３を連動作動させてスクリーン印刷機１内に基板２を搬入し（図１２（ａ）中に示す矢印Ｂ）、更に、図示しない検知手段により、コンベア部２３が搬入する基板２が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部２３の作動を停止させて、基板２を静止させる（図１２（ｂ）。図８のステップＳＴ２に示す基板搬入工程）。   When the mask tension measuring step of step ST1 is completed by the above procedure, the control device 80 detects the substrate carrying conveyor from another device or the like (not shown) installed on the upstream side of the screen printing machine 1 by a detection unit (not shown). 25, when the substrate 2 is detected, the substrate carrying conveyor 25 and the conveyor unit 23 are operated in conjunction to carry the substrate 2 into the screen printer 1 (arrow B shown in FIG. 12A). Furthermore, when the detection means (not shown) detects that the substrate 2 into which the conveyor unit 23 is loaded has reached a predetermined conveyance stop position, the operation of the conveyor unit 23 is stopped and the substrate 2 is stopped (FIG. 12B). 8) A substrate carrying-in process shown in step ST2 of FIG.

制御装置８０は、基板２の搬入が終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して上昇させ（図１３（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、下受けユニット２４ｃの上端が基板２の下面に下方から当接したところで下受けユニット２４ｃの上昇を停止させて（図１３（ａ））、コンベア部２３上の基板２の両側部を前後のクランプ部材２４ａによりクランプする（図１３（ｂ）。図中に示す矢印Ｄ１）。そして、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを更に昇降テーブル２２ａに対して上昇させて、下受けユニット２４ｃで基板２を押し上げる（図１４（ａ）。図中に示す矢印Ｃ２）。これにより基板２はＹ軸方向の両端をクランプ部材２４ａに対して摺動させながら上昇し（基板２はコンベア部２３の両ベルトコンベア２３ｂから上方に離間する）、下受けユニット２４ｃが昇降テーブル２２ａに対する上昇位置に位置して基板２の上面が両クランプ部材２４ａの上面とほぼ同じ高さになったところで、制御装置８０は、下受けユニット２４ｃの押し上げを停止させる。これにより基板保持部２４によって基板２が保持された状態となる（図１４（ａ）。図８のステップＳＴ３に示す基板保持工程）。   When the loading of the substrate 2 is completed, the control device 80 raises the lower receiving unit 24c (lower receiving unit support table 24b) with respect to the lifting table 22a while keeping the lifting table 22a in the lowered position with respect to the base table 21d. (The arrow C1 shown in FIG. 13 (a)), when the upper end of the lower receiving unit 24c comes into contact with the lower surface of the substrate 2 from below, the raising of the lower receiving unit 24c is stopped (FIG. 13 (a)). Both side portions of the substrate 2 on the conveyor portion 23 are clamped by the front and rear clamping members 24a (FIG. 13 (b), arrow D1 shown in the figure). The lower receiving unit 24c is further raised with respect to the lifting table 22a while the lifting table 22a is positioned at the lowered position with respect to the base table 21d, and the substrate 2 is pushed up by the lower receiving unit 24c (FIG. 14A). Arrow C2) shown in the figure. As a result, the substrate 2 is raised while sliding both ends in the Y-axis direction with respect to the clamp member 24a (the substrate 2 is separated upward from both the belt conveyors 23b of the conveyor unit 23), and the receiving unit 24c is moved to the lifting table 22a. When the upper surface of the substrate 2 is substantially at the same height as the upper surfaces of the clamp members 24a, the controller 80 stops the push-up of the lower receiving unit 24c. As a result, the substrate 2 is held by the substrate holding section 24 (FIG. 14A). The substrate holding step shown in step ST3 of FIG.

制御装置８０は、上記のようにして基板保持部２４による基板２の保持を行ったら、カメラユニット移動機構８４の作動制御を行い（Ｘ軸ステージ５１をＹ軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ５２をＸ軸方向に移動させ）、第１カメラ１５ａを基板２に設けられた基板側位置決め用マークｍｋの直上に位置させて、第１カメラ１５ａに基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行わせる一方、第２カメラ１５ｂをマスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの直下に位置させて、第２カメラ１５ｂにマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行わせる。そして、制御装置８０は、得られた基板側位置決め用マークｍｋの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置決め用マークＭＫの画像データからマスク１３の位置を把握し、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１の作動制御を行って基板保持部２４を（したがって基板２を）水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫとが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置決めを行う（図８のステップＳＴ４に示す位置決め工程）。   After holding the substrate 2 by the substrate holder 24 as described above, the control device 80 controls the operation of the camera unit moving mechanism 84 (the X-axis stage 51 is moved in the Y-axis direction and the camera support stage is moved). 52 is moved in the X-axis direction), the first camera 15a is positioned immediately above the substrate-side positioning mark mk provided on the substrate 2, and the first camera 15a performs imaging of the substrate-side positioning mark mk. On the other hand, the second camera 15b is positioned immediately below the mask side positioning mark MK provided on the mask 13, and the second camera 15b is caused to image the mask side positioning mark MK. Then, the control device 80 grasps the position of the substrate 2 from the obtained image data of the substrate-side positioning mark mk, and grasps the position of the mask 13 from the obtained image data of the mask-side positioning mark MK. The horizontal movement unit 21 provided in the substrate holding / moving unit 12 is controlled to move the substrate holding unit 24 (and hence the substrate 2) in the horizontal plane direction, and the substrate side positioning mark mk and the mask side positioning mark MK are moved. The substrate 2 is positioned in the horizontal plane direction with respect to the mask 13 so as to face each other vertically (positioning step shown in step ST4 in FIG. 8).

制御装置８０は、上記基板２とマスク１３の水平面内方向の位置決めが終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して上昇させ（図１４（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、基板２の被印刷面である上面にマスク１３を相対的に接触させる（図１４（ｂ）。図８のステップＳＴ５に示す基板・マスク接触工程）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａと基板２上の電極３とが上下方向に合致した状態となる。   When the positioning of the substrate 2 and the mask 13 in the horizontal plane direction is finished, the control device 80 raises the lifting table 22a with respect to the base table 21d (arrow E1 shown in FIG. 14B), and the substrate 2 is covered. The mask 13 is brought into relative contact with the upper surface, which is the printing surface (FIG. 14B). The substrate / mask contact process shown in step ST5 of FIG. As a result, the pattern hole 13a of the mask 13 and the electrode 3 on the substrate 2 are aligned in the vertical direction.

制御装置８０は、基板２をマスク１３に接触させたら、スクリーン印刷機１の動作を一時中断したうえで、ディスプレイ装置８６を介した画像表示により、オペレータＯＰにペーストの供給を促す。オペレータＯＰは、現在マスク１３上に残っているペーストを目視し、そのペーストの量に基づいてペーストの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ９０（図１５（ａ））により、マスク１３上にペーストＰｓｔの供給を行う。そして、ペーストＰｓｔの供給が終わったら、前述の動作再開ボタン８７の操作を行う。オペレータＯＰは、ペーストＰｓｔの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタン８７の操作を行う。   When the control device 80 brings the substrate 2 into contact with the mask 13, the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and the operator OP is prompted to supply the paste by displaying an image via the display device 86. When the operator OP visually checks the paste remaining on the mask 13, determines whether or not to supply (supplement) the paste based on the amount of the paste, and determines that the paste should be supplied. Then, the paste Pst is supplied onto the mask 13 by a separately prepared paste supply syringe 90 (FIG. 15A). Then, when the supply of the paste Pst is finished, the operation restart button 87 described above is operated. The operator OP operates the operation restart button 87 even when it is determined that the supply of the paste Pst is unnecessary.

制御装置８０はステップＳＴ５の後、前述の動作再開ボタン８７の操作信号の出力に基づいて行う、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたか否かの判断において（図８のステップＳＴ６に示す判断工程）、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたと判断したときには、スクリーン印刷機１の動作中断を解除し、２つのスキージ１４のうちの一方のスキージ１４を下降させて、そのスキージ１４の下端を基板２に接触されているマスク１３に上方から当接させる（図８のステップＳＴ７に示すスキージ当接工程）。なお、このときマスク１３に当接させるスキージ１４は、スキージベース６０が前方のクランプ部材２４ａの上方に位置しているときには前方のスキージ１４（図１５における紙面左側のスキージ１４）であり、スキージベース６０が後方のクランプ部材２４ａの上方に位置しているときには後方のスキージ１４（図１５における紙面右側のスキージ１４）である。   The control device 80 determines whether or not the operation resumption button 87 has been operated by the operator OP after step ST5 based on the output of the operation signal of the operation resumption button 87 (determination shown in step ST6 in FIG. 8). Step) When it is determined that the operation resuming button 87 is operated by the operator OP, the operation interruption of the screen printing machine 1 is canceled, and one of the two squeegees 14 is lowered to lower the lower end of the squeegee 14. Is brought into contact with the mask 13 in contact with the substrate 2 from above (squeegee contact step shown in step ST7 of FIG. 8). At this time, the squeegee 14 brought into contact with the mask 13 is the front squeegee 14 (the squeegee 14 on the left side in FIG. 15) when the squeegee base 60 is positioned above the front clamp member 24a. When 60 is positioned above the rear clamp member 24a, it is the rear squeegee 14 (the squeegee 14 on the right side in FIG. 15).

制御装置８０は、スキージ１４を下降させてマスク１３に当接させたら、スキージベース移動機構８５の作動制御を行い、スキージ１４をマスク１３に上方から当接させた状態で、スキージベース６０を（すなわちスキージ昇降軸６１を）マスク１３に対してＹ軸方向（すなわち水平面内方向）に相対移動させることによりスキージ１４をマスク１３上で摺動させ、そのスキージ１４でマスク１３のパターン孔１３ａ内にペーストＰｓｔを充填させることによって、ペーストＰｓｔを基板２の電極３上に転写させる。   When the squeegee 14 is lowered and brought into contact with the mask 13, the control device 80 controls the operation of the squeegee base moving mechanism 85, and the squeegee base 60 is placed in contact with the mask 13 from above ( That is, the squeegee lifting shaft 61 is moved relative to the mask 13 in the Y-axis direction (that is, in the horizontal plane direction) to slide the squeegee 14 on the mask 13, and the squeegee 14 enters the pattern hole 13 a of the mask 13. By filling the paste Pst, the paste Pst is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2.

制御装置８０は、スキージ１４を移動させている間、ロードセル７６によってスキージ昇降軸６１の軸方向荷重を測定し、その測定したスキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいて基板２上の異物の検出を行う。すなわち制御装置８０は、スキージ１４をマスク１３に当接させた状態でスキージ昇降軸６１をマスク１３に対してＹ軸方向（水平面内方向）に相対移動させることによりスキージ１４をマスク１３上で摺動させてマスク１３上のペーストＰｓｔを基板２に転写させつつスキージ昇降軸６１の軸方向荷重を測定し、その測定したスキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいて基板２上の異物の検出を行う（図８に示すステップＳＴ８〜ステップＳＴ１０に示す転写・異物検出工程）。   The control device 80 measures the axial load of the squeegee lifting shaft 61 by the load cell 76 while moving the squeegee 14, and detects foreign matter on the substrate 2 based on the measured axial load of the squeegee lifting shaft 61. I do. That is, the control device 80 slides the squeegee 14 on the mask 13 by moving the squeegee lifting shaft 61 relative to the mask 13 in the Y axis direction (horizontal plane direction) with the squeegee 14 in contact with the mask 13. The axial load of the squeegee lifting shaft 61 is measured while moving the paste Pst on the mask 13 onto the substrate 2, and the foreign matter on the substrate 2 is detected based on the measured axial load of the squeegee lifting shaft 61. (Transfer / foreign matter detection step shown in step ST8 to step ST10 shown in FIG. 8).

この工程において、制御装置８０は、スキージ１４がマスク１３上で摺動されているとき、荷重測定手段としてのロードセル７６により測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいて基板２上の異物の検出を行う異物検出部として機能する。   In this process, when the squeegee 14 is slid on the mask 13, the control device 80 detects foreign matter on the substrate 2 based on the axial load of the squeegee lifting shaft 61 measured by the load cell 76 as load measuring means. It functions as a foreign matter detection unit that detects.

本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、図１４（ｂ）に示すように、マスク１３の基板２との接触領域Ｒ１と、その接触領域Ｒ１のスキージ１３の移動方向（Ｙ軸方向）の両端部に位置するマスク１３の基板２との非接触領域Ｒ２（クランプ部材２４ａの上面の領域）を含んだ領域をマスク１３上のスキージ移動領域Ｒ０としており、制御装置８０は、このスキージ移動領域Ｒ０上をスキージ１４がＹ軸方向に摺動するようにスキージベース６０を移動させる。このためスキージ１４は、一方の非接触領域Ｒ２から接触領域Ｒ１を経て他方の非接触領域Ｒ２に至る経路で移動する。   In the screen printing machine 1 according to the present embodiment, as shown in FIG. 14B, both the contact region R1 of the mask 13 with the substrate 2 and both ends of the contact region R1 in the moving direction (Y-axis direction) of the squeegee 13. The area including the non-contact area R2 (area of the upper surface of the clamp member 24a) with the substrate 2 of the mask 13 located in the section is defined as the squeegee movement area R0 on the mask 13, and the control device 80 is configured to control the squeegee movement area R0. The squeegee base 60 is moved so that the squeegee 14 slides in the Y-axis direction. For this reason, the squeegee 14 moves along a route from one non-contact region R2 to the other non-contact region R2 via the contact region R1.

制御装置８０は、転写・異物検出工程では、前方のスキージ１４については、前方のスキージ１４を前方のクランプ部材２４ａの上面領域に当接させた状態でスキージベース６０を後方に移動させ、スキージ１４がマスク１３上を後方に摺動することによってペーストＰｓｔが接触領域Ｒ１上でマスク１３の後方に掻き寄せられるようにする（図１５（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）。一方、制御装置８０は、後方のスキージ１４については、後方のスキージ１４を後方のクランプ部材２４ａの上面領域に当接させた状態でスキージベース６０を前方に移動させ、スキージ１４がマスク１３上を前方に摺動することによってペーストＰｓｔが接触領域Ｒ１上でマスク１３の前方に掻き寄せられるようにする（図１５（ｃ）中に示す矢印Ｆ２）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａを介して基板２の電極３上にペーストＰｓｔが転写される。   In the transfer / foreign object detection step, the control device 80 moves the squeegee base 60 rearward with the front squeegee 14 in contact with the upper surface area of the front clamp member 24a. Slides backward on the mask 13 so that the paste Pst is raked behind the mask 13 on the contact region R1 (arrow F1 shown in FIG. 15B). On the other hand, for the rear squeegee 14, the control device 80 moves the squeegee base 60 forward with the rear squeegee 14 in contact with the upper surface area of the rear clamp member 24a, and the squeegee 14 moves over the mask 13. By sliding forward, the paste Pst is scraped to the front of the mask 13 on the contact region R1 (arrow F2 shown in FIG. 15C). As a result, the paste Pst is transferred onto the electrode 3 of the substrate 2 through the pattern hole 13 a of the mask 13.

制御装置８０は、上記のようにスキージ１４をマスク１３上で摺動させている間、ロードセル７６によって測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）が、記憶部８０ａに記憶された閾値を上回ったか否かの判断を行う（図８のステップＳＴ９に示す判断工程）。そして、測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重が閾値を上回った場合には、基板２上にごみ等の異物（後述するように、基板２枚流しの場合の上側の基板２も含む）があるものとして、スクリーン印刷機１及び基板２の保護のため、スクリーン印刷機１によるスクリーン印刷動作を停止させる（図８のステップＳＴ１１に示すスクリーン印刷動作停止工程）。   While the control device 80 slides the squeegee 14 on the mask 13 as described above, the axial load (compressive load) of the squeegee lifting shaft 61 measured by the load cell 76 is stored in the storage unit 80a. It is determined whether or not the threshold is exceeded (determination step shown in step ST9 in FIG. 8). When the axial load of the squeegee lifting shaft 61 to be measured exceeds the threshold value, foreign matter such as dust (including the upper substrate 2 in the case of flowing two substrates as will be described later) on the substrate 2. In order to protect the screen printing machine 1 and the substrate 2, the screen printing operation by the screen printing machine 1 is stopped (screen printing operation stop process shown in step ST11 of FIG. 8).

具体的には、制御装置８０は、図１６に示すように、マスク１３の基板２との接触領域Ｒ１上でスキージ１４を摺動（図１６（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）させていたときのスキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）の測定値が閾値以下のＰであったところ（図１６（ａ））、スキージ昇降軸６１の軸方向荷重の測定値がＰ＋ΔＰに上昇し（図１６（ｂ））、その値Ｐ＋ΔＰが閾値を上回った場合に基板２上に異物Ｑがあると判断する。これによりスキージ１４が異物Ｑを乗り越えてマスク１３上を進行することがなく、異物Ｑによってスキージ１４が上方に押し上げられ、過大な押し付け力が基板２に作用して基板２が破損に至る事態が防止される。また、基板２上に異物Ｑがあった状態のままスクリーン印刷が継続されることがないので、印刷不良の基板２が生産されてしまう不都合も防止される。   Specifically, as shown in FIG. 16, the control device 80 slides the squeegee 14 on the contact region R1 of the mask 13 with the substrate 2 (arrow G1 shown in FIGS. 16A and 16B). When the measured value of the axial load (compressive load) of the squeegee lifting shaft 61 is P which is equal to or less than the threshold value (FIG. 16A), the measured value of the axial load of the squeegee lifting shaft 61 is P + ΔP. When the value P + ΔP exceeds the threshold value, it is determined that there is a foreign substance Q on the substrate 2 (see FIG. 16B). As a result, the squeegee 14 does not get over the foreign matter Q and travel on the mask 13, and the squeegee 14 is pushed upward by the foreign matter Q, and an excessive pressing force acts on the substrate 2 and the substrate 2 is damaged. Is prevented. Further, since the screen printing is not continued with the foreign substance Q on the substrate 2, the inconvenience that the substrate 2 with poor printing is produced can be prevented.

また、制御装置８０は、図１７に示すように、マスク１３の基板２との非接触領域Ｒ２から基板２との接触領域Ｒ１に向かう領域で（すなわち基板２の端部を跨ぐ領域で）スキージ１４を摺動（図１７（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ｇ２）させていたときのスキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）の測定値が閾値以下のＰであったところ（図１７（ａ））、スキージ１４がマスク１３の基板２との接触領域Ｒ１に入ろうとするときに閾値を上回るＰ＋ΔＰに変化したことを検知し（図１７（ｂ））、これにより基板２の端部において異物を検出したような場合には、基板２が複数枚重ねられた状態（基板２枚流しの状態）であると判断し、ステップＳＴ１１においてスクリーン印刷動作を停止させるとともに、ディスプレイ装置８６を介した画像表示により、基板２枚流しの状態が発生した旨をオペレータＯＰに報知する。このため、基板２枚流しの状態のままスクリーン印刷が実行されて基板２そのものを無駄にしてしまう事態が防止される。   In addition, as shown in FIG. 17, the control device 80 has a squeegee in a region from the non-contact region R2 with the substrate 2 to the contact region R1 with the substrate 2 (that is, in a region straddling the end of the substrate 2). When the measured value of the axial load (compression load) of the squeegee lifting shaft 61 when sliding 14 is slid (arrow G2 shown in FIGS. 17A and 17B) is P which is equal to or less than the threshold value ( 17 (a)), when the squeegee 14 tries to enter the contact region R1 of the mask 13 with the substrate 2, it is detected that the squeegee 14 has changed to P + ΔP exceeding the threshold value (FIG. 17 (b)). When a foreign object is detected at the end, it is determined that a plurality of substrates 2 are stacked (a state where two substrates are flown), and the screen printing operation is stopped in step ST11, and the display device 86 is displayed. Through The image display has to inform the user that the state of the flowing two substrates occurs the operator OP. For this reason, it is possible to prevent the situation where the substrate 2 itself is wasted by performing screen printing while the two substrates are being flowed.

制御装置８０は、スキージ１４が一方のクランプ部材２４ａの上面領域から他方のクランプ部材２４ａの上面領域に達してペーストＰｓｔの転写が終了したことを検知したら、スキージ１４の（スキージベース６０の）移動を停止させ（図８のステップＳＴ１２に示すスキージ移動停止工程）、スキージ昇降軸６１をスキージベース６０に対して上昇させてスキージ１４をマスク１３から離間させる（図８のステップＳＴ１３に示すスキージ離間工程）。そして、このスキージ１４をマスク１３から離間させた状態で、ロードセル７６によって測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいて、スキージ１４に付着したペーストＰｓｔの量（付着ペースト量）の計測を行う（図８のステップＳＴ１４に示す付着ペースト量計測工程）。   When the control device 80 detects that the squeegee 14 has reached the upper surface region of the other clamp member 24a from the upper surface region of the one clamp member 24a and the transfer of the paste Pst has been completed, the movement of the squeegee 14 (of the squeegee base 60). 8 is stopped (squeegee movement stopping step shown in step ST12 of FIG. 8), and the squeegee lifting shaft 61 is raised with respect to the squeegee base 60 to separate the squeegee 14 from the mask 13 (squeegee separation step shown in step ST13 of FIG. 8). ). Then, with the squeegee 14 separated from the mask 13, the amount of paste Pst adhering to the squeegee 14 (adhering paste amount) is measured based on the axial load of the squeegee lifting shaft 61 measured by the load cell 76. This is performed (attached paste amount measuring step shown in step ST14 of FIG. 8).

このステップＳＴ１４における付着ペースト量計測工程では、制御装置８０は、先ず、マスク１３に対して上昇された２つのスキージ１４それぞれに対応する各ロードセル７６により２つのスキージ昇降軸６１それぞれの軸方向荷重（引っ張り荷重）を測定する（図１０のステップＳＴ３１に示す荷重測定工程）。そして、測定した各スキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいて、スキージ１４に付着したペースト量を算出する（図１０のステップＳＴ３２に示すペースト量算出工程）。このとき制御装置８０は、ペーストＰｓｔを基板２に転写させた後、スキージ昇降軸６１をマスク１３に対して上昇させてスキージ１４がマスク１３から離間した状態で荷重測定手段としてのロードセル７６により測定されるスキージ昇降軸６１の軸方向荷重に基づいてスキージ１４に付着したペースト量を算出する付着ペースト量算出手段として機能する。   In the adhesion paste amount measuring step in step ST14, the control device 80 first loads the axial loads (two axial squeegee shafts 61) by the load cells 76 corresponding to the two squeegees 14 raised relative to the mask 13, respectively. (Tensile load) is measured (load measurement step shown in step ST31 of FIG. 10). Based on the measured axial load of each squeegee lifting shaft 61, the amount of paste attached to the squeegee 14 is calculated (paste amount calculating step shown in step ST32 of FIG. 10). At this time, after transferring the paste Pst to the substrate 2, the control device 80 raises the squeegee lifting shaft 61 with respect to the mask 13, and the squeegee 14 is separated from the mask 13 and measured by the load cell 76 as a load measuring means. It functions as an attached paste amount calculating means for calculating the amount of paste attached to the squeegee 14 based on the axial load of the squeegee lifting shaft 61.

制御装置８０は、上記のようにしてスキージ１４に付着したペースト量の算出を行ったら、その算出した付着ペースト量（２つのスキージ１４への付着ペースト量の総量）が、記憶部８０ａに記憶された閾値以下であるか否かの判断を行う（図１０のステップＳＴ３３に示す判断工程）。制御装置８０は、付着ペースト量が閾値以下でない（閾値を上回っている）と判断した場合には、スクリーン印刷機１の動作を一時中断したうえで、ディスプレイ装置８６を介した画像表示により、スキージ１４に付着したペーストＰｓｔの剥がし落としが必要である旨の報知を行う（図１０のステップＳＴ３４に示す報知工程）。   When the control device 80 calculates the paste amount attached to the squeegee 14 as described above, the calculated attached paste amount (total amount of attached paste amounts to the two squeegees 14) is stored in the storage unit 80a. It is determined whether it is below the threshold value (determination step shown in step ST33 of FIG. 10). When the control device 80 determines that the amount of the paste paste is not less than the threshold value (exceeds the threshold value), the operation of the screen printing machine 1 is temporarily interrupted, and then the squeegee is displayed by image display via the display device 86. 14 is notified that the paste Pst attached to 14 needs to be peeled off (notification process shown in step ST34 in FIG. 10).

例えば、スキージ１４をマスク１３から離間させているときのスキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）の測定値が、スキージ１４にペーストＰｓｔが付着していない状態にはＷである場合において（図１８（ａ））、スキージ１４にペーストＰｓｔが付着しているとスキージ昇降軸６１の軸方向荷重の測定値はペーストＰｓｔの重さΔＷの分だけ上昇してＷ＋ΔＷとなるが（図１８（ｂ））、その値Ｗ＋ΔＷが閾値を上回っている場合には、制御装置８０はスキージ１４に付着したペーストＰｓｔの剥がし落としが必要であると判断する。   For example, when the measured value of the axial load (compression load) of the squeegee lifting shaft 61 when the squeegee 14 is separated from the mask 13 is W when the paste Pst is not attached to the squeegee 14 ( 18 (a)), when the paste Pst is attached to the squeegee 14, the measured value of the axial load of the squeegee lifting shaft 61 increases by the weight ΔW of the paste Pst and becomes W + ΔW (FIG. 18 ( b)) When the value W + ΔW exceeds the threshold value, the control device 80 determines that the paste Pst attached to the squeegee 14 needs to be peeled off.

オペレータＯＰは、ディスプレイ装置８６に付着したペーストＰｓｔの剥がし落としが必要である旨の報知がなされたときには、スキージ１４に付着したペーストＰｓｔを剥がし落とす作業を行って動作再開ボタン８７の操作を行うが、制御装置８０は、動作再開ボタン８７の操作信号の出力に基づいて行う、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたか否かの判断において（図１０のステップＳＴ３５に示す判断工程）、オペレータＯＰによって動作再開ボタン８７が操作されたと判断したときには、ステップＳＴ３１に戻って付着ペースト量の計測を再実行する。これにより、オペレータＯＰは、マスク１３上の残存ペースト量の判断を正確に行うことができ、次にスクリーン印刷を行う基板２についてのステップＳＴ５の後のペースト供給時において、ペーストＰｓｔを追加供給すべきかどうかの適切な判断を行うことができるようになる。   When the operator OP is notified that the paste Pst attached to the display device 86 needs to be peeled off, the operator OP performs an operation of removing the paste Pst attached to the squeegee 14 and operates the operation restart button 87. The control device 80 determines whether or not the operation restart button 87 has been operated by the operator OP based on the output of the operation signal from the operation restart button 87 (determination step shown in step ST35 in FIG. 10). When it is determined that the operation restart button 87 has been operated, the process returns to step ST31 and the measurement of the amount of attached paste is performed again. As a result, the operator OP can accurately determine the amount of remaining paste on the mask 13, and the paste Pst should be additionally supplied at the time of supplying the paste after step ST5 for the substrate 2 to be screen-printed next. Appropriate judgment can be made.

一方、制御装置８０は、ステップＳＴ３３において、計測した付着ペースト量が閾値以下であると判断した場合には、ディスプレイ装置８６を介した画像表示により、スキージ１４に付着したペーストの剥がし落としは不要である旨の報知を行ったうえで（図１０のステップＳＴ３６に示す報知工程）、メインルーチンに戻る。   On the other hand, if the control device 80 determines in step ST33 that the measured amount of attached paste is less than or equal to the threshold value, it is not necessary to peel off the paste attached to the squeegee 14 by displaying an image via the display device 86. After notifying that there is (notification process shown in step ST36 of FIG. 10), the process returns to the main routine.

制御装置８０は、上記の手順により付着ペースト量の計測を行ったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して下降させ（図１９（ａ）中に示す矢印Ｅ２）、マスク１３から基板２を離間させる（図１９（ａ））。これにより版離れが行われ、ペーストＰｓｔが基板２の電極３上に印刷された状態となる（図８のステップＳＴ１５に示す版離れ工程）。   When the control device 80 measures the amount of adhered paste by the above procedure, the control table 80 lowers the elevating table 22a relative to the base table 21d (arrow E2 shown in FIG. 19A), and separates the substrate 2 from the mask 13. (FIG. 19A). As a result, plate separation is performed, and the paste Pst is printed on the electrode 3 of the substrate 2 (plate separation step shown in step ST15 of FIG. 8).

制御装置８０は、基板２へのペーストＰｓｔの印刷が終了したら、クランプ部材２４ａを作動させて基板２のクランプを解除したうえで（図１９（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して下降させ（図１９（ｃ）中に示す矢印Ｃ３）、基板２をコンベア部２３上に降ろす（図１９（ｃ））。これにより基板保持部２４による基板２の保持が解除される（図８のステップＳＴ１６に示す基板保持解除工程）。   When the printing of the paste Pst on the substrate 2 is completed, the control device 80 operates the clamp member 24a to release the clamp of the substrate 2 (arrow D2 shown in FIG. 19B), and then the receiving unit 24c. (The receiving unit support table 24b) is lowered with respect to the lifting table 22a (arrow C3 shown in FIG. 19C), and the substrate 2 is lowered onto the conveyor portion 23 (FIG. 19C). Thereby, the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 24 is released (substrate holding releasing step shown in step ST16 of FIG. 8).

制御装置８０は、基板２の保持を解除したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１を作動させ、基板搬出コンベア２６に対するコンベア部２３の位置調整を行ったうえで、コンベア部２３と基板搬出コンベア２６を連動作動させ、コンベア部２３上の基板２を基板搬出コンベア２６に受け渡してそのまま基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図８のステップＳＴ１７に示す基板搬出工程）。   When the holding of the substrate 2 is released, the control device 80 operates the horizontal moving unit 21 provided in the substrate holding and moving unit 12 to adjust the position of the conveyor unit 23 with respect to the substrate carry-out conveyor 26, and then the conveyor unit 23 and the substrate The carry-out conveyor 26 is operated in conjunction, the substrate 2 on the conveyor unit 23 is transferred to the substrate carry-out conveyor 26, and the substrate 2 is directly carried out of the screen printing machine 1 (substrate carry-out process shown in step ST17 in FIG. 8).

制御装置８０は、基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図８のステップＳＴ１８に示す判断工程）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ２に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After carrying out the substrate 2, the control device 80 determines whether there is another substrate 2 to be screen printed (determination step shown in step ST18 in FIG. 8). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST2 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（及びこのスクリーン印刷機１におけるマスク１３のテンション計測方法）では、基板２に接触させる前のマスク１３の中央部を押し下げたスキージ昇降軸６１の軸方向荷重（圧縮荷重）に基づいてマスク１３のテンションを算出（計測）するようになっているので、マスク１３のテンションを計測するためにマスク１３をスクリーン印刷機１内とは異なる別の場所に移動させることなく、また専用のマスク保持治具を必要とすることなく、マスク１３のテンションを簡便かつ迅速に計測することができる。   As described above, in the screen printing machine 1 (and the method for measuring the tension of the mask 13 in the screen printing machine 1) according to the present embodiment, the squeegee lifting shaft in which the central portion of the mask 13 before being brought into contact with the substrate 2 is pushed down. Since the tension of the mask 13 is calculated (measured) based on the axial load (compression load) 61, the mask 13 is different from the screen printer 1 in order to measure the tension of the mask 13. Thus, the tension of the mask 13 can be measured easily and quickly without being moved to this location and without requiring a dedicated mask holding jig.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、スキージ昇降軸６１は、スキージベース６０に対して昇降するボール螺子から成るものであったが、スキージベース６０に取り付けられたエアシリンダの下方に突没自在なピストンロッドから成るものであってもよい。また、上述の実施の形態では、スキージ１４は二つ備えられていたが、必ずしも二つ備えられていなくてもよく、ひとつのみ備えられているのであってもよい。   Although the embodiment of the present invention has been described so far, the present invention is not limited to the above. For example, in the above-described embodiment, the squeegee lifting shaft 61 is composed of a ball screw that moves up and down with respect to the squeegee base 60, but a piston that can project and retract below an air cylinder attached to the squeegee base 60. It may consist of a rod. In the above-described embodiment, two squeegees 14 are provided. However, two squeegees 14 are not necessarily provided, and only one squeegee 14 may be provided.

また、上述の実施の形態では、スキージ昇降軸６１の軸方向荷重の測定を行う荷重測定手段として、スキージ昇降軸６１とスキージ１４の間に介装された弾性体７５に取り付けられた歪みゲージ式のロードセル７６から成るものとしていたが、荷重測定手段の構成は特に限定されない。しかし、荷重測定手段がスキージ昇降軸６１とスキージ１４の間に介装された弾性体７５に取り付けられたロードセル７６から成るものである場合、スキージ昇降軸６１の軸方向荷重を非常に安価な構成で計測することができるようになり、コストの低減に大きく資することができるという利点がある。   In the above-described embodiment, the strain gauge type attached to the elastic body 75 interposed between the squeegee lifting shaft 61 and the squeegee 14 is used as a load measuring means for measuring the axial load of the squeegee lifting shaft 61. However, the configuration of the load measuring means is not particularly limited. However, when the load measuring means is composed of the load cell 76 attached to the elastic body 75 interposed between the squeegee lifting shaft 61 and the squeegee 14, the axial load of the squeegee lifting shaft 61 is very inexpensive. It is possible to measure with this, and there is an advantage that it can greatly contribute to cost reduction.

また、上述の実施の形態では、マスク１３に対して昇降され、下端にスキージ１４が取り付けられたスキージ昇降軸６１によって基板２に接触させる前のマスク１３の中央部を押し下げるようになっていたが、マスク１３の中央部を押し下げるものは必ずしもスキージ昇降軸でなくてもよく、マスク１３に対して昇降され、下端に接触部材（スキージ１４に相当するもの）が取り付けられた昇降軸であればよい。すなわち、スキージ昇降軸６１とは別に、マスク１３のテンションの計測用にマスク１３を押し下げる昇降軸を有していてもよい。この場合、昇降軸と接触部材との間に前述の弾性体７５に相当する弾性体を介装し、その弾性体に昇降軸の軸方向荷重を測定する荷重測定手段としてのロードセルを取り付ける構成とすることができる。なお、この場合、テンション算出部としての制御装置８０は、基板２に接触させる前のマスク１３の中央部に接触部材を接触させた昇降軸を下降させてマスク１３を押し下げた状態で、荷重測定手段（ロードセル７６）により測定される昇降軸の軸方向荷重とマスク１３の中央部の押し下げ量との関係に基づいてマスク１３のテンションの算出を行うことになる。   In the above-described embodiment, the center portion of the mask 13 before being brought into contact with the substrate 2 is pushed down by the squeegee lifting shaft 61 which is lifted and lowered with respect to the mask 13 and has the squeegee 14 attached to the lower end. What pushes down the central portion of the mask 13 does not necessarily have to be a squeegee lifting shaft, but may be any lifting shaft that is lifted and lowered with respect to the mask 13 and has a contact member (corresponding to the squeegee 14) attached to the lower end. . That is, in addition to the squeegee lifting shaft 61, a lifting shaft that pushes down the mask 13 for measuring the tension of the mask 13 may be provided. In this case, an elastic body corresponding to the aforementioned elastic body 75 is interposed between the lifting shaft and the contact member, and a load cell as a load measuring means for measuring the axial load of the lifting shaft is attached to the elastic body. can do. In this case, the control device 80 as the tension calculating unit measures the load in a state where the lifting shaft with the contact member brought into contact with the central portion of the mask 13 before being brought into contact with the substrate 2 is lowered and the mask 13 is pushed down. The tension of the mask 13 is calculated based on the relationship between the axial load of the lifting shaft measured by the means (load cell 76) and the amount of depression of the central portion of the mask 13.

このような構成を基準とした場合、上述の実施の形態は、上記昇降軸がスキージ昇降軸６１から成り、上記接触部材がスキージ昇降軸６１の下端に取り付けられたスキージ１４から成り、荷重測定手段はスキージ昇降軸６１の軸方向荷重を昇降軸の軸方向荷重として測定するものとなるが、上述の実施の形態にように、別途昇降軸を用いることなく、もともとスクリーン印刷機１に備えられているスキージ昇降軸６１を用いてマスク１３を押し下げるようにすれば、スクリーン印刷機１の製造コストを低減することができるという利点がある。   Based on such a configuration, in the above-described embodiment, the lifting shaft includes the squeegee lifting shaft 61, the contact member includes the squeegee 14 attached to the lower end of the squeegee lifting shaft 61, and the load measuring means. Is to measure the axial load of the squeegee lifting shaft 61 as the axial load of the lifting shaft, but is originally provided in the screen printing machine 1 without using a separate lifting shaft as in the above-described embodiment. If the mask 13 is pushed down using the squeegee lifting shaft 61, there is an advantage that the manufacturing cost of the screen printing machine 1 can be reduced.

マスクのテンションを簡便かつ迅速に計測することができるようにしたスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法を提供する。   Provided are a screen printing machine and a mask tension measuring method in a screen printing machine, which can measure a mask tension easily and quickly.

１ スクリーン印刷機
２ 基板
１３ マスク
１４ スキージ（接触部材）
６１ スキージ昇降軸（昇降軸）
７５ 弾性体
７６ ロードセル（荷重測定手段）
８０ 制御装置（テンション算出部）
Ｐｓｔ ペースト 1 Screen Printer 2 Substrate 13 Mask 14 Squeegee (Contact Member)
61 Squeegee lifting shaft (lifting shaft)
75 Elastic body 76 Load cell (load measuring means)
80 Control device (tension calculation unit)
Pst paste

Claims (6)

基板の上面に接触されるマスクと、
マスクに対して昇降されるスキージ昇降軸と、
スキージ昇降軸の下端に取り付けられ、マスクに上方から当接した状態でスキージ昇降軸がマスクに対して水平面内方向に相対移動されることによりマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、
マスクに対して昇降され、下端に接触部材が取り付けられた昇降軸と、
昇降軸の軸方向荷重の測定を行う荷重測定手段と、
基板に接触させる前のマスクの中央部に接触部材を接触させた昇降軸を下降させてマスクを押し下げた状態で、荷重測定手段により測定される昇降軸の軸方向荷重とマスクの中央部の押し下げ量との関係に基づいてマスクのテンションの算出を行うテンション算出部とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。 A mask in contact with the upper surface of the substrate;
A squeegee lifting shaft that is lifted and lowered relative to the mask;
Paste that is attached to the lower end of the squeegee lifting shaft and slides on the mask when the squeegee lifting shaft is moved relative to the mask in the horizontal plane while in contact with the mask from above. A screen printing machine equipped with a squeegee for transferring the image to a substrate,
An elevating shaft that is raised and lowered with respect to the mask and having a contact member attached to the lower end;
Load measuring means for measuring the axial load of the lifting shaft;
The axial load of the lifting shaft measured by the load measuring means and the depression of the central portion of the mask in the state where the lifting shaft having brought the contact member into contact with the central portion of the mask before contacting the substrate is lowered and the mask is pushed down. A screen printing machine comprising: a tension calculating unit that calculates a mask tension based on a relationship with the amount. 前記荷重測定手段は、昇降軸と接触部材の間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルから成ることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。   2. The screen printing machine according to claim 1, wherein the load measuring means comprises a load cell attached to an elastic body interposed between a lifting shaft and a contact member. 前記昇降軸はスキージ昇降軸から成り、前記接触部材はスキージ昇降軸の下端に取り付けられた前記スキージから成り、荷重測定手段はスキージ昇降軸の軸方向荷重を昇降軸の軸方向荷重として測定することを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。   The lifting shaft comprises a squeegee lifting shaft, the contact member comprises the squeegee attached to the lower end of the squeegee lifting shaft, and the load measuring means measures the axial load of the squeegee lifting shaft as the axial load of the lifting shaft. The screen printing machine according to claim 1 or 2. 基板の上面に接触されるマスクと、マスクに対して昇降されるスキージ昇降軸と、スキージ昇降軸の下端に取り付けられ、マスクに上方から当接した状態でスキージ昇降軸がマスクに対して水平面内方向に相対移動されることによりマスク上で摺動し、マスク上に供給されたペーストを基板に転写させるスキージとを備えたスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法であって、
マスクに対して昇降される昇降軸の下端に取り付けられた接触部材を、基板に接触させる前のマスクの中央部に接触させる工程と、
マスクの中央部に接触部材を接触させた昇降軸を下降させてマスクを押し下げる工程と、
マスクを押し下げた状態で測定される昇降軸の軸方向荷重とマスクの中央部の押し下げ量との関係に基づいてマスクのテンションの算出を行う工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法。 A mask that is in contact with the upper surface of the substrate, a squeegee lifting shaft that is lifted and lowered with respect to the mask, and a squeegee lifting shaft that is attached to the lower end of the squeegee lifting shaft and that is in contact with the mask from above. A method for measuring the tension of a mask in a screen printing machine comprising a squeegee that slides on a mask by being relatively moved in a direction and that transfers a paste supplied on the mask to a substrate,
Contacting the contact member attached to the lower end of the lifting shaft that is lifted and lowered relative to the mask with the central portion of the mask before contacting the substrate;
A step of lowering the lifting shaft with the contact member in contact with the central portion of the mask and pushing down the mask;
And a step of calculating the tension of the mask based on the relationship between the axial load of the lifting shaft measured with the mask depressed and the amount of depression of the central portion of the mask. Tension measurement method. 昇降軸の軸方向荷重を、昇降軸と接触部材の間に介装された弾性体に取り付けられたロードセルにより測定することを特徴とする請求項４に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法。   5. The method of measuring a tension of a mask in a screen printing machine according to claim 4, wherein an axial load of the lifting shaft is measured by a load cell attached to an elastic body interposed between the lifting shaft and the contact member. . 前記昇降軸はスキージ昇降軸から成り、前記接触部材はスキージ昇降軸の下端に取り付けられた前記スキージから成り、荷重測定手段はスキージ昇降軸の軸方向荷重を昇降軸の軸方向荷重として測定することを特徴とする請求項４又は５に記載のスクリーン印刷機におけるマスクのテンション計測方法。   The lifting shaft comprises a squeegee lifting shaft, the contact member comprises the squeegee attached to the lower end of the squeegee lifting shaft, and the load measuring means measures the axial load of the squeegee lifting shaft as the axial load of the lifting shaft. The mask tension measuring method in the screen printer according to claim 4 or 5.
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