JP2017033975A - Transport device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To clamp a warped substrate in corrected state.SOLUTION: In a transport device, a circuit board 52 warped downward is lifted to a position lower than a set height by a set distance. Next, the circuit board is clamped by clamp members 56, 58, and pressed downward by a pressing tool 88 at the edge. After pressing by means of the pressing tool is released, the circuit board is moved upward by a set distance. Consequently, a board warped downward can be clamped in corrected state. A circuit board warped upward is lifted to a set height. Next, that circuit board is pressed downward by the pressing tool in the central part, and deformed into a state warped downward. After the circuit board pressed by the pressing tool is clamped by the clamp member, pressing by the pressing tool is released. Consequently, the board warped upward can be clamped in corrected state.SELECTED DRAWING: Figure 15

Description

本発明は、基板を搬送するコンベア装置と、基板の両縁を挟持して基板をクランプするクランプ装置と、基板を下方から支持する支持部材とを備えた搬送装置に関するものである。   The present invention relates to a conveyor device that includes a conveyor device that transports a substrate, a clamp device that clamps the substrate by clamping both edges of the substrate, and a support member that supports the substrate from below.

搬送装置では、基板がコンベア装置によって所定の位置まで搬送される。そして、その基板が、支持部材によってコンベア装置から持ち上げられ、その持ち上げられた基板が、クランプ装置によってクランプされる。クランプ対象の基板には、反りが生じているものがあり、反りが生じた状態で基板がクランプされた場合には、基板に対する作業精度が低下する虞がある。このため、下記特許文献に記載されているように、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプするための技術が開発されている。   In the transport device, the substrate is transported to a predetermined position by the conveyor device. Then, the substrate is lifted from the conveyor device by the support member, and the lifted substrate is clamped by the clamp device. Some substrates to be clamped are warped, and when the substrate is clamped in a state where the warp has occurred, there is a risk that the working accuracy for the substrate may be lowered. For this reason, as described in the following patent documents, a technique for clamping a warped substrate in a corrected state has been developed.

特開2003−086997号公報JP 2003-086997 A

上記特許文献に記載の技術によれば、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプすることが可能となる。しかしながら、上記特許文献に記載の搬送装置は、基板を上下方向において挟持する構造であるため、基板の両縁を左右方向に挟持して基板をクランプする構造の搬送装置に、上記特許文献に記載の技術を適用することはできない。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、本発明の課題は、基板の両縁を左右方向に挟持してクランプする構造の搬送装置において、反りの生じている基板を矯正した状態でクランプすることである。   According to the technique described in the above patent document, it is possible to clamp the warped substrate in a corrected state. However, since the transport device described in the above-mentioned patent document has a structure for sandwiching the substrate in the vertical direction, the transport device having a structure for clamping the substrate by sandwiching both edges of the substrate in the left-right direction is described in the above-mentioned patent document. The technology cannot be applied. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to correct a warped substrate in a transport device having a structure in which both edges of the substrate are clamped by clamping in the left-right direction. It is to clamp in the state.

上記課題を解決するために、本願に記載の搬送装置は、基板を搬送するコンベア装置と、1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材とを備え、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、当該搬送装置が、前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、基板の中央部が縁部より突出する状態である上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第1クランプ部を有する制御装置とを備え、前記第1クランプ部が、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さまで、前記支持部材によって持ち上げる第1支持部材作動制御部と、前記支持部材によって持ち上げられた基板の中央部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧することで、基板を前記下反り状態に変形させる第1押圧部材作動制御部と、前記押圧部材によって押圧されている基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第1挟持部材作動制御部と、前記押圧部材による押圧を解除する第2押圧部材作動制御部とを有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a transport device described in the present application includes a conveyor device that transports a substrate and a pair of sandwiching members, and at least one of the pair of sandwiching members is brought close to both edges of the substrate. Is provided between the pair of clamping members and a support member that supports the substrate from below, and is conveyed to a predetermined position by the conveyor device. A transport device that lifts a substrate from the conveyor device by the support member and clamps the lifted substrate by the clamp device, the transport device being disposed above the conveyor device, A first member that controls the operation of the transport device in order to clamp the pressing member that is pressed from above and the substrate in a warped state in which the central portion of the substrate protrudes from the edge portion. A control device having a ramp unit, wherein the first clamp unit lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device up to a preset set height by the support member. And a first pressing member operation control unit that deforms the substrate into the warped state by pressing the central portion of the substrate lifted by the support member downward by the pressing member, and the pressing member It has a 1st clamping member operation | movement control part which clamps the board | substrate currently pressed by said pair of clamping members, and a 2nd pressing member operation | movement control part which cancels | releases the press by the said pressing member.

上記課題を解決するために、本願に記載の搬送装置は、基板を搬送するコンベア装置と、1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材とを備え、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、当該搬送装置が、前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、基板の縁部が中央部より突出する状態である下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第2クランプ部を有する制御装置とを備え、前記第2クランプ部が、前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、前記支持部材によって持ち上げる第2支持部材作動制御部と、前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第2挟持部材作動制御部と、前記1対の挟持部材によって挟持された基板の縁部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧する第3押圧部材作動制御部と、前記押圧部材による押圧が解除された後に、前記1対の挟持部材によって挟持された基板を、前記支持部材によって、前記設定距離、上方に移動させる第3支持部材作動制御部とを有することを特徴とする。   In order to solve the above problems, a transport device described in the present application includes a conveyor device that transports a substrate and a pair of sandwiching members, and at least one of the pair of sandwiching members is brought close to both edges of the substrate. Is provided between the pair of clamping members and a support member that supports the substrate from below, and is conveyed to a predetermined position by the conveyor device. A transport device that lifts a substrate from the conveyor device by the support member and clamps the lifted substrate by the clamp device, the transport device being disposed above the conveyor device, A second member that controls the operation of the transporting device to clamp the pressing member that presses the substrate and the substrate in the downward warped state in which the edge of the substrate protrudes from the center portion. A control device having a ramp portion, wherein the second clamp portion lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device by the support member to a position lower than a preset set height by a set distance. 2 support member operation control unit; a second clamping member operation control unit that clamps the substrate lifted by the support member by the pair of clamping members; and an edge of the substrate sandwiched by the pair of clamping members A third pressing member operation control unit that presses downward by the pressing member, and a substrate held by the pair of holding members after the pressing by the pressing member is released, by the support member, And a third support member operation control unit that moves the set distance upward.

本願に記載の搬送装置では、上反り状態の基板が、コンベア装置によって所定の位置まで搬送され、その基板が予め設定された設定高さまで、支持部材によって持ち上げられる。次に、支持部材によって持ち上げられた基板が、中央部において、押圧部材によって下方に向かって押圧されることで、基板が下反り状態に変形される。そして、押圧部材によって押圧されている基板が、挟持部材によって挟持された後に、押圧部材による押圧が解除される。これにより、上反り状態の基板を矯正した状態で、挟持部材によってクランプすることが可能となる。   In the transport device described in the present application, the substrate in the warped state is transported to a predetermined position by the conveyor device, and the substrate is lifted by the support member to a preset height. Next, the substrate lifted by the support member is pressed downward by the pressing member at the central portion, so that the substrate is deformed into a downward warped state. And after the board | substrate currently pressed by the press member is clamped by the clamp member, the press by a press member is cancelled | released. Thereby, it becomes possible to clamp by the clamping member in the state which corrected the board | substrate of the curvature state.

また、本願に記載の搬送装置では、下反り状態の基板が、コンベア装置によって所定の位置まで搬送され、その基板が予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、支持部材によって持ち上げられる。次に、支持部材によって持ち上げられた基板が、挟持部材によって挟持され、その挟持された基板が、縁部において、押圧部材によって下方に向かって押圧される。そして、押圧部材による押圧が解除された後に、挟持部材によって挟持された基板が、支持部材によって設定距離、上方に移動される。これにより、下反り状態の基板を矯正した状態で、挟持部材によってクランプすることが可能となる。   Further, in the transport device described in the present application, the substrate in the downward warp state is transported to a predetermined position by the conveyor device, and the substrate is lifted by the support member to a position lower than the preset set height by a set distance. Next, the substrate lifted by the support member is sandwiched by the sandwiching member, and the sandwiched substrate is pressed downward by the pressing member at the edge. Then, after the pressing by the pressing member is released, the substrate held by the holding member is moved upward by a set distance by the supporting member. Thereby, it becomes possible to clamp by the clamping member in the state which corrected the board | substrate of the downward curvature state.

はんだ印刷機を示す平面図である。It is a top view which shows a solder printer. 搬送装置を示す側面図である。It is a side view which shows a conveying apparatus. 制御装置を示すブロック図である。It is a block diagram which shows a control apparatus. 平坦な回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping a flat circuit board. 平坦な回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping a flat circuit board. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a warp state. 下反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a downward curvature state. 下反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a downward curvature state. 下反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a downward curvature state. 下反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a downward curvature state. 下反り状態の回路基板をクランプする際の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus at the time of clamping the circuit board of a downward curvature state. 第2実施例の搬送装置を示す側面図である。It is a side view which shows the conveying apparatus of 2nd Example. 上反り状態の回路基板をクランプする際の第2実施例の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus of 2nd Example at the time of clamping the circuit board of a curvature state. 上反り状態の回路基板をクランプする際の第2実施例の搬送装置の作動図である。It is an action | operation figure of the conveying apparatus of 2nd Example at the time of clamping the circuit board of a curvature state.

以下、本発明を実施するための形態として、本発明の実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as modes for carrying out the present invention.

[第1実施例]
<はんだ印刷機の構成>
図1に、本発明の実施例のはんだ印刷機10を示す。はんだ印刷機10は、回路基板にクリームはんだを印刷するための装置である。はんだ印刷機10は、搬送装置20と、移動装置22と、スキージ装置24と、はんだ供給装置26と、マスク移動装置(図2参照)27と、押圧装置(図2参照)28とを備えている。
[First embodiment]
<Configuration of solder printer>
FIG. 1 shows a solder printer 10 according to an embodiment of the present invention. The solder printer 10 is an apparatus for printing cream solder on a circuit board. The solder printer 10 includes a transport device 20, a moving device 22, a squeegee device 24, a solder supply device 26, a mask moving device (see FIG. 2) 27, and a pressing device (see FIG. 2) 28. Yes.

搬送装置20は、図2に示すように、コンベア装置30と、クランプ装置32と、支持装置34とを備えている。コンベア装置30は、1対の搬送レール36,38と、1対のコンベアベルト40,42と、電磁モータ(図3参照)44とを有している。1対の搬送レール36,38は、X軸方向に延びるとともに、互いに向かい合った状態で、はんだ印刷機10のベース46の上に立設されている。なお、搬送レール36は、Y軸方向において、ベース46に固定的に設けられており、搬送レール38は、ボールねじ機構(図示省略)により搬送レール36に接近・離間する方向、つまり、Y軸方向にスライド可能にベース46上に設けられている。また、1対のコンベアベルト40,42は、1対の搬送レール36,38に対応して設けられており、各コンベアベルト40,42は、対応する搬送レール36,38に、ブラケット48,50を介して、X軸方向に延びるように保持されている。1対のコンベアベルト40,42は、上面において、回路基板52を支持し、その回路基板52は、電磁モータ44の駆動により、X軸方向に搬送される。   As shown in FIG. 2, the transport device 20 includes a conveyor device 30, a clamp device 32, and a support device 34. The conveyor device 30 includes a pair of transport rails 36 and 38, a pair of conveyor belts 40 and 42, and an electromagnetic motor (see FIG. 3) 44. The pair of transport rails 36 and 38 are erected on the base 46 of the solder printer 10 so as to extend in the X-axis direction and face each other. The transport rail 36 is fixedly provided on the base 46 in the Y-axis direction, and the transport rail 38 is moved in a direction approaching and separating from the transport rail 36 by a ball screw mechanism (not shown), that is, the Y-axis. It is provided on the base 46 so as to be slidable in the direction. The pair of conveyor belts 40 and 42 are provided corresponding to the pair of transport rails 36 and 38, and each conveyor belt 40 and 42 is attached to the corresponding transport rails 36 and 38 with brackets 48 and 50. And is held so as to extend in the X-axis direction. The pair of conveyor belts 40 and 42 support the circuit board 52 on the upper surface, and the circuit board 52 is conveyed in the X-axis direction by driving the electromagnetic motor 44.

クランプ装置32は、1対の挟持部材56,58と、電磁モータ(図3参照)60とを有している。挟持部材56は、搬送レール36の上端に固定されている。一方、挟持部材58は、搬送レール38の上端に、エアシリンダ(図3参照)61を介して、挟持部材56に接近・離間する方向、つまり、Y軸方向にスライド可能に配設されている。なお、エアシリンダ61のエア圧は任意に変更可能となっている。また、電磁モータ60は、搬送レール38をスライドさせるボールねじ機構を作動させるものであり、電磁モータ60の駆動により、搬送レール38が、搬送レール36に接近・離間する。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近・離間し、1対の挟持部材56,58の間の距離が任意に調整される。なお、クランプ装置32は、エンコーダ(図3参照)62を有している。エンコーダ62は、搬送レール38をスライドさせるボールねじ機構の回転角度を検出するものであり、エンコーダ62の検出値に基づいて、1対の搬送レール36,38の間の距離、つまり、1対の挟持部材56,58の間の距離が検出される。   The clamp device 32 includes a pair of clamping members 56 and 58 and an electromagnetic motor (see FIG. 3) 60. The clamping member 56 is fixed to the upper end of the transport rail 36. On the other hand, the clamping member 58 is disposed on the upper end of the transport rail 38 via an air cylinder (see FIG. 3) 61 so as to be slidable in the direction approaching and separating from the clamping member 56, that is, in the Y-axis direction. . The air pressure of the air cylinder 61 can be arbitrarily changed. The electromagnetic motor 60 operates a ball screw mechanism that slides the conveyance rail 38, and the conveyance rail 38 approaches and separates from the conveyance rail 36 by driving the electromagnetic motor 60. Thereby, the clamping member 58 approaches / separates the clamping member 56, and the distance between the pair of clamping members 56, 58 is arbitrarily adjusted. The clamp device 32 has an encoder (see FIG. 3) 62. The encoder 62 detects a rotation angle of a ball screw mechanism that slides the conveyance rail 38, and based on a detection value of the encoder 62, a distance between the pair of conveyance rails 36, 38, that is, a pair of pairs. The distance between the clamping members 56 and 58 is detected.

支持装置34は、支持台64と、昇降装置(図3参照)66と、複数の支持ピン(図では3つ示されている)68とを有している。支持台64は、1対の搬送レール36,38の間に配設されており、昇降可能とされている。そして、昇降装置66の作動により、支持台64は、任意の高さに昇降する。また、複数の支持ピン68は、例えば、3×3列に並んだ状態、つまり、X方向に3列に並び、Y方向に3列に並んだ状態で、支持台64の上に立設されている。なお、支持ピン68は、支持台64に着脱可能とされている。   The support device 34 includes a support base 64, an elevating device (see FIG. 3) 66, and a plurality of support pins (three are shown in the drawing) 68. The support base 64 is disposed between the pair of transport rails 36 and 38 and can be moved up and down. And the support stand 64 raises / lowers to arbitrary height by the action | operation of the raising / lowering apparatus 66. FIG. Further, the plurality of support pins 68 are erected on the support base 64 in a state of being arranged in 3 × 3 rows, that is, in a state of being arranged in 3 rows in the X direction and 3 rows in the Y direction, for example. ing. The support pins 68 can be attached to and detached from the support base 64.

また、移動装置22は、図1に示すように、Y軸方向スライド機構70とX軸方向スライド機構72とによって構成されている。Y軸方向スライド機構70は、Y軸方向に移動可能にベース46上に設けられたY軸スライダ76を有している。そのY軸スライダ76は、電磁モータ(図3参照)78の駆動により、Y軸方向の任意の位置に移動する。また、X軸方向スライド機構72は、X軸方向に移動可能にY軸スライダ76の側面に設けられたX軸スライダ80を有している。そのX軸スライダ80は、電磁モータ(図3参照)82の駆動により、X軸方向の任意の位置に移動する。   Further, as shown in FIG. 1, the moving device 22 includes a Y-axis direction slide mechanism 70 and an X-axis direction slide mechanism 72. The Y-axis direction slide mechanism 70 has a Y-axis slider 76 provided on the base 46 so as to be movable in the Y-axis direction. The Y-axis slider 76 is moved to an arbitrary position in the Y-axis direction by driving an electromagnetic motor (see FIG. 3) 78. The X-axis direction slide mechanism 72 has an X-axis slider 80 provided on the side surface of the Y-axis slider 76 so as to be movable in the X-axis direction. The X-axis slider 80 is moved to an arbitrary position in the X-axis direction by driving an electromagnetic motor (see FIG. 3) 82.

スキージ装置24は、搬送装置20の上方において、Y軸スライダ76の下面側に取り付けられている。スキージ装置24は、スキージ(図示省略)を有しており、そのスキージは、下方に延び出す状態で、Y軸方向および、上下方向に移動可能にスキージ装置24によって保持されている。そして、スキージは、電磁モータ(図3参照)84の駆動により、Y軸方向に移動し、電磁モータ(図3参照)86の駆動により、上下方向に移動する。   The squeegee device 24 is attached to the lower surface side of the Y-axis slider 76 above the transport device 20. The squeegee device 24 has a squeegee (not shown), and the squeegee is held by the squeegee device 24 so as to be movable in the Y-axis direction and the vertical direction while extending downward. The squeegee moves in the Y-axis direction by driving an electromagnetic motor (see FIG. 3) 84 and moves up and down by driving an electromagnetic motor (see FIG. 3) 86.

はんだ供給装置26は、クリームはんだを供給する装置であり、クリームはんだを吐出する吐出口が、はんだ供給装置26の下面に形成されている。また、はんだ供給装置26は、X軸スライダ80に着脱可能に装着されている。   The solder supply device 26 is a device for supplying cream solder, and an outlet for discharging cream solder is formed on the lower surface of the solder supply device 26. The solder supply device 26 is detachably attached to the X-axis slider 80.

マスク移動装置27は、搬送装置20とスキージ装置24との間に配設されており、メタルマスクを任意の位置に移動させる。メタルマスクには、回路基板52のパッド等のパターンに合わせてパターン孔が形成されている。   The mask moving device 27 is disposed between the transport device 20 and the squeegee device 24, and moves the metal mask to an arbitrary position. Pattern holes are formed in the metal mask in accordance with the pattern of the pads of the circuit board 52.

押圧装置28は、メタルマスクと搬送装置20との間に配設されている。押圧装置28は、移動装置(図3参照)87と、押圧具(図2参照)88と、電磁モータ(図3参照)90とを有している。移動装置87は、押圧具88をXY方向の任意の位置に移動させる。押圧具88は、図2に示すように、概してブロック状をなし、上下方向に移動可能に移動装置87によって保持されている。そして、押圧具88は、電磁モータ90の駆動により上下方向に移動する。   The pressing device 28 is disposed between the metal mask and the transport device 20. The pressing device 28 includes a moving device (see FIG. 3) 87, a pressing tool (see FIG. 2) 88, and an electromagnetic motor (see FIG. 3) 90. The moving device 87 moves the pressing tool 88 to an arbitrary position in the XY direction. As shown in FIG. 2, the pressing tool 88 has a generally block shape and is held by a moving device 87 so as to be movable in the vertical direction. The pressing tool 88 moves up and down by driving the electromagnetic motor 90.

さらに、はんだ印刷機10は、図3に示すように、制御装置100を備えている。制御装置100は、コントローラ102と、複数の駆動回路104とを備えている。複数の駆動回路104は、上記電磁モータ44,60,78,82,84,86,90、エアシリンダ61、昇降装置66、移動装置87に接続されている。コントローラ102は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路104に接続されている。これにより、搬送装置20、移動装置22、スキージ装置24、はんだ供給装置26、マスク移動装置27、押圧装置28の作動が、コントローラ102によって制御される。また、コントローラ102は、エンコーダ62に接続されている。これにより、コントローラ102は、エンコーダ62の検出値を取得し、1対の挟持部材56,58の間の距離を演算する。   Furthermore, the solder printer 10 is provided with the control apparatus 100, as shown in FIG. The control device 100 includes a controller 102 and a plurality of drive circuits 104. The plurality of drive circuits 104 are connected to the electromagnetic motors 44, 60, 78, 82, 84, 86, 90, the air cylinder 61, the lifting device 66, and the moving device 87. The controller 102 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, mainly a computer, and is connected to a plurality of drive circuits 104. As a result, the operations of the transport device 20, the moving device 22, the squeegee device 24, the solder supply device 26, the mask moving device 27, and the pressing device 28 are controlled by the controller 102. The controller 102 is connected to the encoder 62. As a result, the controller 102 acquires the detection value of the encoder 62 and calculates the distance between the pair of clamping members 56 and 58.

<回路基板へのクリームはんだの印刷>
はんだ印刷機10では、上述した構成によって、回路基板52にクリームはんだが印刷される。具体的には、回路基板52が、コンベア装置30によって所定の作業位置まで搬送される。次に、支持装置34の支持台64が上昇され、回路基板52が、図4に示すように、複数の支持ピン68によってコンベアベルト40,42から持ち上げられる。この際、支持台64は、予め設定された設定高さHまで上昇される。この設定高さHは、回路基板52の上面と、クランプ装置32の挟持部材56,58の上面とが同じ高さ、つまり、面一となるように設定されている。なお、回路基板52が持ち上げられる際には、搬送レール38は、電磁モータ60によって搬送レール36から離間する方向に移動されている。
<Cream solder printing on circuit board>
In the solder printer 10, cream solder is printed on the circuit board 52 with the above-described configuration. Specifically, the circuit board 52 is conveyed to a predetermined work position by the conveyor device 30. Next, the support base 64 of the support device 34 is raised, and the circuit board 52 is lifted from the conveyor belts 40 and 42 by a plurality of support pins 68 as shown in FIG. At this time, the support base 64 is raised to a preset height H set in advance. The set height H is set so that the upper surface of the circuit board 52 and the upper surfaces of the clamping members 56 and 58 of the clamping device 32 are the same height, that is, flush with each other. When the circuit board 52 is lifted, the transport rail 38 is moved in a direction away from the transport rail 36 by the electromagnetic motor 60.

次に、回路基板52が持ち上げられると、図5に示すように、搬送レール38が、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近する方向に移動し、回路基板52が、挟持部材56,58によって挟持され、クランプされる。また、回路基板52の上に、マスク移動装置27の作動によりメタルマスク110が、載置される。なお、回路基板52の上に、メタルマスク110が載置される前に、撮像装置(図示省略)によってメタルマスク110に記されたマークと、回路基板52に記されたマークとが撮像され、その撮像データに基づいて、回路基板52とメタルマスク110との位置合わせが行われる。また、メタルマスク110のサイズは、回路基板52のサイズより大きいため、挟持部材56,58の上にも延び出しているが、回路基板52の上面と挟持部材56,58の上面とは面一とされているため、回路基板52とメタルマスク110とは密着しており、それらの間に隙間は殆ど無い。   Next, when the circuit board 52 is lifted, the transport rail 38 is moved in a direction approaching the transport rail 36 by the electromagnetic motor 60 as shown in FIG. Thereby, the clamping member 58 moves in a direction approaching the clamping member 56, and the circuit board 52 is clamped and clamped by the clamping members 56 and 58. The metal mask 110 is placed on the circuit board 52 by the operation of the mask moving device 27. Before the metal mask 110 is placed on the circuit board 52, the mark marked on the metal mask 110 and the mark marked on the circuit board 52 are imaged by an imaging device (not shown). Based on the imaging data, the circuit board 52 and the metal mask 110 are aligned. Further, since the size of the metal mask 110 is larger than the size of the circuit board 52, the metal mask 110 also extends over the clamping members 56 and 58. However, the upper surface of the circuit board 52 and the upper surfaces of the clamping members 56 and 58 are flush with each other. Therefore, the circuit board 52 and the metal mask 110 are in close contact with each other, and there is almost no gap between them.

回路基板52が、挟持部材56,58によってクランプされると、はんだ供給装置26が、移動装置22の作動により、回路基板52の上に載置されたメタルマスク110の所定の位置の上方に移動する。そして、はんだ供給装置26は、クリームはんだをメタルマスク110の上に供給する。はんだ供給装置26によるクリームはんだの供給が完了すると、スキージ装置24が、移動装置22の作動により、供給されたクリームはんだの上方に移動する。そして、スキージ装置24は、スキージを下方に移動させた後に、Y軸方向に移動させる。これにより、メタルマスク110の上面にクリームはんだが塗布され、パターン孔の内部にクリームはんだが入り込む。この際、回路基板52とメタルマスク110とは密着しており、それらの間に隙間がないため、回路基板52にクリームはんだを適切に印刷することが可能となる。   When the circuit board 52 is clamped by the holding members 56 and 58, the solder supply device 26 is moved above a predetermined position of the metal mask 110 placed on the circuit board 52 by the operation of the moving device 22. To do. Then, the solder supply device 26 supplies cream solder onto the metal mask 110. When the supply of the cream solder by the solder supply device 26 is completed, the squeegee device 24 moves above the supplied cream solder by the operation of the moving device 22. The squeegee device 24 moves the squeegee in the Y-axis direction after moving it downward. As a result, cream solder is applied to the upper surface of the metal mask 110, and the cream solder enters the pattern holes. At this time, since the circuit board 52 and the metal mask 110 are in close contact with each other and there is no gap between them, it is possible to appropriately print the cream solder on the circuit board 52.

しかしながら、回路基板52には、反りが生じているものがあり、反りが生じている回路基板52では、回路基板52とメタルマスク110との間に隙間が生じる。このため、回路基板52に適切にクリームはんだを印刷できず、印刷精度が低下する虞がある。詳しくは、例えば、回路基板52の中央部が縁部より突出した状態(以下、「上反り状態」と記載する場合がある)の回路基板52が、コンベア装置30によって搬送され、図6に示すように、その回路基板52が支持装置34によって持ち上げられる。そして、その状態で、回路基板52が挟持部材56,58によってクランプされると、回路基板52の中央部より下方に位置する縁部において、回路基板52とメタルマスク110との間に隙間が生じ、その部分では、クリームはんだの印刷が適切に行われない虞がある。また、挟持部材56,58のクランプにより、回路基板52の上反り状態が助長される。   However, some of the circuit boards 52 are warped, and a gap is generated between the circuit board 52 and the metal mask 110 in the warped circuit board 52. For this reason, cream solder cannot be appropriately printed on the circuit board 52, and there is a possibility that the printing accuracy is lowered. Specifically, for example, the circuit board 52 in a state in which the central portion of the circuit board 52 protrudes from the edge (hereinafter sometimes referred to as “upward warped state”) is conveyed by the conveyor device 30 and is shown in FIG. Thus, the circuit board 52 is lifted by the support device 34. In this state, when the circuit board 52 is clamped by the clamping members 56 and 58, a gap is generated between the circuit board 52 and the metal mask 110 at the edge located below the center of the circuit board 52. In that part, there is a possibility that the cream solder is not properly printed. Further, the upper warping state of the circuit board 52 is promoted by the clamps of the holding members 56 and 58.

このため、例えば、押圧装置28を用いて、回路基板52の上反り状態を矯正することが考えらえる。詳しくは、上反り状態の回路基板52が支持装置34によって持ち上げられている際に、図7に示すように、押圧装置28の押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧される。これにより、回路基板52は上反り状態が矯正される。ただし、押圧具88による押圧が解除されると、回路基板52は、上反り状態に復元する。そこで、例えば、回路基板52を支持する支持ピン68として、吸引機能を有する支持ピンを採用すれば、回路基板52を下方に向かって吸引することが可能となる。これにより、回路基板52の上反り状態への復元を防止し、回路基板52の矯正を維持することが可能となる。しかしながら、吸引機能を有する支持ピンを採用する場合には、コストアップ等が生じるため、好ましくない。   For this reason, for example, it is conceivable to correct the warping state of the circuit board 52 using the pressing device 28. Specifically, when the circuit board 52 in the warped state is lifted by the support device 34, as shown in FIG. 7, the central portion of the circuit board 52 is pressed by the pressing tool 88 of the pressing device 28. Thereby, the circuit board 52 is corrected to be warped. However, when the pressing by the pressing tool 88 is released, the circuit board 52 is restored to a warped state. Therefore, for example, if a support pin having a suction function is employed as the support pin 68 that supports the circuit board 52, the circuit board 52 can be sucked downward. As a result, it is possible to prevent the circuit board 52 from being restored to the warped state and maintain the correction of the circuit board 52. However, when a support pin having a suction function is employed, it is not preferable because a cost increase occurs.

このようなことに鑑みて、はんだ印刷機10では、現状の構成物のみを利用して、上反り状態の回路基板52が、上反り状態が矯正された状態でクランプされる。詳しくは、まず、図8に示すように、回路基板52の中央部を支持するための支持ピン68、つまり、Y軸方向の中央に配列された支持ピン68が、支持台64から取り外される。そして、回路基板52が、コンベア装置30によって作業位置に搬送された後に、支持装置34の支持台64が上昇される。これにより、回路基板52が、複数の支持ピン68によってコンベアベルト40,42から持ち上げられる。この際、支持台64は、設定高さHまで上昇され、回路基板52の縁の上面は、回路基板52の反りにより、挟持部材56,58の上面より僅かに下方に位置する。   In view of the above, in the solder printer 10, the circuit board 52 in the warped state is clamped in a state in which the warped state is corrected, using only the current components. Specifically, first, as shown in FIG. 8, the support pins 68 for supporting the center portion of the circuit board 52, that is, the support pins 68 arranged at the center in the Y-axis direction are removed from the support base 64. Then, after the circuit board 52 is conveyed to the work position by the conveyor device 30, the support base 64 of the support device 34 is raised. As a result, the circuit board 52 is lifted from the conveyor belts 40 and 42 by the plurality of support pins 68. At this time, the support base 64 is raised to the set height H, and the upper surface of the edge of the circuit board 52 is positioned slightly below the upper surfaces of the holding members 56 and 58 due to the warp of the circuit board 52.

次に、図9に示すように、押圧装置28の押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧される。この際、回路基板52の縁部が中央部より突出した状態(以下、「下反り状態」と記載する場合がある)となるように、回路基板52の中央部が押圧具88によって押圧される。これにより、回路基板52の上反り状態が矯正され、回路基板52の縁の上面と、挟持部材56,58の上面とが殆ど一致する。続いて、回路基板52が押圧具88によって押圧された状態で、図10に示すように、搬送レール38が、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、挟持部材58が挟持部材56に接近する方向に移動し、回路基板52が、挟持部材56,58によってクランプされる。この際、1対の挟持部材56,58の間の距離が、(X−A)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。なお、Xは、反りが生じていない状態の回路基板52のY軸方向の長さ寸法であり、Aは、比較的小さな値(例えば、1mm程度)に設定された設定値である。これにより、回路基板52は、下反り状態で1対の挟持部材56,58によってクランプされる。そして、押圧具88による回路基板52の押圧が解除される。   Next, as shown in FIG. 9, the central portion of the circuit board 52 is pressed by the pressing tool 88 of the pressing device 28. At this time, the central portion of the circuit board 52 is pressed by the pressing tool 88 so that the edge portion of the circuit board 52 protrudes from the central portion (hereinafter sometimes referred to as a “lower warped state”). . As a result, the upper warping state of the circuit board 52 is corrected, and the upper surface of the edge of the circuit board 52 and the upper surfaces of the holding members 56 and 58 almost coincide with each other. Subsequently, in a state where the circuit board 52 is pressed by the pressing tool 88, the transport rail 38 is moved in a direction approaching the transport rail 36 by the electromagnetic motor 60 as shown in FIG. 10. As a result, the clamping member 58 moves in a direction approaching the clamping member 56, and the circuit board 52 is clamped by the clamping members 56 and 58. At this time, the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled so that the distance between the pair of clamping members 56 and 58 becomes (X-A). Note that X is a length dimension in the Y-axis direction of the circuit board 52 in a state where no warpage occurs, and A is a set value set to a relatively small value (for example, about 1 mm). Thereby, the circuit board 52 is clamped by the pair of clamping members 56 and 58 in the downward warped state. Then, the pressing of the circuit board 52 by the pressing tool 88 is released.

続いて、挟持部材58が、電磁モータ60によって挟持部材56から離間する方向に移動される。この際、図11に示すように、1対の挟持部材56,58の間の距離が、(X−B)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。なお、Bは、Aより小さな値(例えば、0.3〜0.5mm程度)に設定された設定値である。これにより、回路基板52は、下反り状態に維持されるが、下反り状態が緩和された状態で、1対の挟持部材56,58によってクランプされる。この際、回路基板52は、下反り状態であるが、殆ど平坦な状態で、1対の挟持部材56,58によってクランプされる。このように、上述した手順に従って、回路基板52をクランプすることで、上反り状態の回路基板52を矯正し、殆ど平坦な状態でクランプすることが可能となる。また、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とを一致させることが可能となる。これにより、回路基板52へのクリームはんだの印刷精度を担保することが可能となる。   Subsequently, the clamping member 58 is moved in a direction away from the clamping member 56 by the electromagnetic motor 60. At this time, as shown in FIG. 11, the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled so that the distance between the pair of sandwiching members 56 and 58 becomes (X−B). B is a set value set to a value smaller than A (for example, about 0.3 to 0.5 mm). Thereby, the circuit board 52 is maintained in the downward warped state, but is clamped by the pair of clamping members 56 and 58 in a state where the downward warped state is relaxed. At this time, the circuit board 52 is in a downward warped state but is almost flat and is clamped by the pair of clamping members 56 and 58. In this way, by clamping the circuit board 52 according to the above-described procedure, it is possible to correct the warped circuit board 52 and clamp it in an almost flat state. In addition, the upper surface of the circuit board 52 and the upper surfaces of the clamping members 56 and 58 can be matched. Thereby, it becomes possible to ensure the printing accuracy of the cream solder on the circuit board 52.

また、下反り状態の回路基板52を従来の手法に従ってクランプしようとすると、クランプできない場合がある。詳しくは、回路基板52を1対の挟持部材56,58によってクランプするべく、図12に示すように、支持台64が設定高さHまで上昇された場合に、回路基板52の反り量が回路基板52の厚さを超えていると、回路基板52の縁が、挟持部材56の上面より上方に位置する。このような場合には、搬送レール38を搬送レール36に接近させても、挟持部材56,58によって回路基板52をクランプすることはできない。   In addition, if the circuit board 52 in the warped state is to be clamped according to the conventional technique, the clamp may not be possible. Specifically, in order to clamp the circuit board 52 with a pair of clamping members 56 and 58, when the support base 64 is raised to a set height H as shown in FIG. If the thickness of the substrate 52 is exceeded, the edge of the circuit substrate 52 is positioned above the upper surface of the clamping member 56. In such a case, the circuit board 52 cannot be clamped by the clamping members 56 and 58 even if the transport rail 38 is brought close to the transport rail 36.

このようなことに鑑みて、はんだ印刷機10では、回路基板52を1対の挟持部材56,58によってクランプするべく、図13に示すように、支持台64が設定高さHから設定距離Cを減算した高さ(H−C)まで上昇させる。設定距離Cは、はんだ印刷機10で定められている回路基板52の反り量の許容値である。これにより、支持装置34によって支持された回路基板52の縁は、挟持部材56,58の上面より下方に位置する。なお、下反り状態の回路基板52をクランプする際には、支持台64の上に全ての支持ピン68がセットされる。   In view of the above, in the solder printer 10, the support base 64 is moved from the set height H to the set distance C to clamp the circuit board 52 by the pair of clamping members 56 and 58, as shown in FIG. Is raised to the height (HC) subtracted. The set distance C is an allowable value of the warp amount of the circuit board 52 determined by the solder printer 10. Accordingly, the edge of the circuit board 52 supported by the support device 34 is positioned below the upper surfaces of the sandwiching members 56 and 58. When clamping the circuit board 52 in the downward warped state, all the support pins 68 are set on the support base 64.

次に、搬送レール38が、図14に示すように、電磁モータ60によって搬送レール36に接近する方向に移動される。これにより、回路基板52は、挟持部材56,58によってクランプされる。ただし、回路基板52から挟持部材58に、所定の力が加えられた場合に、挟持部材58がスライドするように、エアシリンダ61のエア圧が調整される。つまり、挟持部材56,58による回路基板52の挟持力が、所定の力より低くなるように、エアシリンダ61のエア圧が調整される。なお、その所定の力は、押圧装置28の押圧具88による押圧力に設定されている。   Next, as shown in FIG. 14, the transport rail 38 is moved in a direction approaching the transport rail 36 by the electromagnetic motor 60. Thereby, the circuit board 52 is clamped by the clamping members 56 and 58. However, the air pressure of the air cylinder 61 is adjusted so that the clamping member 58 slides when a predetermined force is applied from the circuit board 52 to the clamping member 58. That is, the air pressure of the air cylinder 61 is adjusted so that the clamping force of the circuit board 52 by the clamping members 56 and 58 is lower than a predetermined force. The predetermined force is set to a pressing force by the pressing tool 88 of the pressing device 28.

次に、回路基板52の両縁部が、図15に示すように、押圧装置28の押圧具88によって押圧される。これにより、回路基板52の下反り状態が矯正され、回路基板52が平坦となる。この際、押圧具88の押圧力が、回路基板52を介して、挟持部材58に伝達する。そして、その力によって、挟持部材58が、挟持部材56から離間する方向に押えられ、その方向にスライドする。これにより、回路基板52の矯正に伴う回路基板52の幅方向への伸長が、挟持部材58のスライドにより吸収される。ただし、挟持部材56,58の挟持力は生じているため、回路基板52は平坦な状態で挟持部材56,58によって挟持される。   Next, both edge portions of the circuit board 52 are pressed by the pressing tool 88 of the pressing device 28 as shown in FIG. Thereby, the downward warping state of the circuit board 52 is corrected, and the circuit board 52 becomes flat. At this time, the pressing force of the pressing tool 88 is transmitted to the clamping member 58 via the circuit board 52. And the clamping member 58 is pressed in the direction away from the clamping member 56 by the force, and slides in that direction. Thereby, the expansion in the width direction of the circuit board 52 accompanying the correction of the circuit board 52 is absorbed by the slide of the holding member 58. However, since the clamping force of the clamping members 56 and 58 is generated, the circuit board 52 is clamped by the clamping members 56 and 58 in a flat state.

続いて、支持台64が設定距離C、上昇される。つまり、支持台64が、当初の高さ(H−C)から設定距離C、上昇されることで、図16に示すように、設定高さHまで上昇される。この際、挟持部材56,58に挟持されている回路基板52の縁が挟持部材56,58に摺動した状態で、回路基板52が持ち上げられる。これにより、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とが面一となる。このように、上述した手順に従って、回路基板52をクランプすることで、下反り状態の回路基板52を矯正し、平坦な状態でクランプすることが可能となる。また、回路基板52の上面と、挟持部材56,58の上面とを一致させることが可能となる。これにより、回路基板52へのクリームはんだの印刷精度を担保することが可能となる。   Subsequently, the support base 64 is raised by a set distance C. That is, the support base 64 is raised to the set height H as shown in FIG. 16 by being raised by the set distance C from the initial height (HC). At this time, the circuit board 52 is lifted with the edges of the circuit board 52 held between the holding members 56 and 58 sliding on the holding members 56 and 58. Thereby, the upper surface of the circuit board 52 and the upper surfaces of the clamping members 56 and 58 are flush with each other. In this way, by clamping the circuit board 52 according to the above-described procedure, the circuit board 52 in the downward warped state can be corrected and clamped in a flat state. In addition, the upper surface of the circuit board 52 and the upper surfaces of the clamping members 56 and 58 can be matched. Thereby, it becomes possible to ensure the printing accuracy of the cream solder on the circuit board 52.

なお、第1実施例のはんだ印刷機10では、回路基板52の種類に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。詳しくは、回路基板52は、一般的に、種類に応じて、上反り状態と下反り状態との何れかの状態となっている。つまり、例えば、A種の回路基板52は、殆ど下反り状態であり、B種の回路基板52は、殆ど上反り状態である。このため、A種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法が採用され、B種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法が採用される。そして、B種の回路基板52に対するはんだの印刷作業が行われる際には、複数の支持ピン68のうちの回路基板52の中央部を支持する支持ピン68が、支持台64から取り外される。   In the solder printing machine 10 according to the first embodiment, depending on the type of the circuit board 52, a clamping method corresponding to the circuit board 52 in the upward warped state and a clamping method corresponding to the circuit board 52 in the downward warping state are provided. Either one is adopted. Specifically, the circuit board 52 is generally in either an upper warped state or a lower warped state depending on the type. That is, for example, the A-type circuit board 52 is almost in a warped state, and the B-type circuit board 52 is almost in a warped state. For this reason, when a solder printing operation is performed on the A-type circuit board 52, a clamping method corresponding to the circuit board 52 in the warped state is employed, and the solder printing operation is performed on the B-type circuit board 52. In this case, a clamping method corresponding to the circuit board 52 in the warped state is employed. When the solder printing operation is performed on the B type circuit board 52, the support pins 68 that support the central portion of the circuit board 52 among the plurality of support pins 68 are removed from the support base 64.

[第2実施例]
第1実施例のはんだ印刷機10では、上述したように、回路基板52の種類に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。これは、回路基板52は、一般的に、種類に応じて、上反り状態と下反り状態との何れかの状態となっているためである。しかしながら、稀に、同じ種類の回路基板52であっても、上反り状態の回路基板と下反り状態の回路基板とが混在している場合がある。つまり、A種の回路基板52は、殆ど下反り状態であるが、A種の回路基板が、稀に、上反り状態である場合がある。このようなことに鑑みて、第2実施例のはんだ印刷機では、回路基板の反り状態が検出され、検出結果に応じて、上反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法と、下反り状態の回路基板52に対応するクランプ方法との何れかが採用される。
[Second Embodiment]
In the solder printer 10 according to the first embodiment, as described above, according to the type of the circuit board 52, the clamping method corresponding to the circuit board 52 in the warped state and the clamp corresponding to the circuit board 52 in the downward warp state. One of the methods is adopted. This is because the circuit board 52 is generally in either the upper warped state or the lower warped state depending on the type. However, rarely, even with the same type of circuit board 52, there may be a mixture of an upper warped circuit board and a lower warped circuit board. That is, the A-type circuit board 52 is almost in a warped state, but the A-type circuit board is rarely in an upward-warped state. In view of the above, in the solder printing machine according to the second embodiment, the warping state of the circuit board is detected, and according to the detection result, the clamping method corresponding to the circuit board 52 in the upper warping state, and the lower warping state Any one of the clamping methods corresponding to the circuit board 52 is employed.

具体的には、第2実施例のはんだ印刷機では、図17に示すように、支持台64に、上記実施例と同じ支持ピン68と、伸縮支持ピン120とが載置されている。また、押圧具88に距離センサ122が取り付けられている。なお、第2実施例のはんだ印刷機は、伸縮支持ピン120および、距離センサ122を除いて、第1実施例のはんだ印刷機10と略同じ構成である。このため、第2実施例では、伸縮支持ピン120および距離センサ122を中心に説明し、同様の機能の構成要素については、第1実施例のはんだ印刷機10と同じ符号を用いて、説明を省略する。   Specifically, in the solder printing machine of the second embodiment, as shown in FIG. 17, the same support pins 68 and extendable support pins 120 as in the above embodiment are placed on the support base 64. A distance sensor 122 is attached to the pressing tool 88. The solder printer of the second embodiment has substantially the same configuration as the solder printer 10 of the first embodiment, except for the expansion / contraction support pins 120 and the distance sensor 122. For this reason, in the second embodiment, description will be made centering on the telescopic support pin 120 and the distance sensor 122, and the same functional components will be described using the same reference numerals as those of the solder printer 10 of the first embodiment. Omitted.

伸縮支持ピン120は、円筒部124と、ピン部126と、圧縮バネ128とを有している。円筒部124は、概して有底円筒状をなしている。ピン部126は、円筒部124の内部において、上端部を突出させた状態で、進退可能に保持されている。圧縮バネ128は、円筒部124の底面とピン部126の底面との間に圧縮された状態で配設されている。これにより、伸縮支持ピン120は、伸縮可能とされている。また、伸縮支持ピン120には、ストッパ(図示省略)が設けられており、ピン部126の突出量が制限されている。なお、伸縮支持ピン120の高さ寸法は、最も伸長した状態で、支持ピン68の高さ寸法と同じとされている。   The telescopic support pin 120 includes a cylindrical portion 124, a pin portion 126, and a compression spring 128. The cylindrical portion 124 has a generally bottomed cylindrical shape. The pin portion 126 is held inside the cylindrical portion 124 so as to be able to advance and retreat with the upper end portion protruding. The compression spring 128 is disposed in a compressed state between the bottom surface of the cylindrical portion 124 and the bottom surface of the pin portion 126. Thereby, the expansion-contraction support pin 120 can be expanded and contracted. Further, the telescopic support pin 120 is provided with a stopper (not shown), and the protruding amount of the pin portion 126 is limited. The height dimension of the telescopic support pin 120 is the same as the height dimension of the support pin 68 in the most extended state.

また、複数の伸縮支持ピン120が、支持台64の上面において、Y軸方向における中央部に、X軸方向に並んで配列されている。一方、複数の支持ピン68が、支持台64の上面において、Y軸方向における両端部に、X軸方向に並んで配列されている。これにより、回路基板52は、中央部において伸縮支持ピン120により支持され、Y軸方向の両縁部において支持ピン68により支持される。   A plurality of expansion / contraction support pins 120 are arranged on the upper surface of the support base 64 side by side in the X-axis direction at the center in the Y-axis direction. On the other hand, a plurality of support pins 68 are arranged side by side in the X-axis direction at both ends in the Y-axis direction on the upper surface of the support base 64. As a result, the circuit board 52 is supported by the expansion / contraction support pins 120 at the center, and supported by the support pins 68 at both edges in the Y-axis direction.

また、距離センサ122は、押圧具88の側面に配設されている。距離センサ122は、下方に向かってレーザ光等を照射し、そのレーザ光が対象物により反射した光を受光する。そして、レーザ光の照射から反射光の受光までの時間に基づいて、距離センサ122と対象物との間の距離を検出する。このような原理により、距離センサ122は、コンベア装置30により搬送された回路基板52と距離センサ122との間の距離を検出する。   The distance sensor 122 is disposed on the side surface of the pressing tool 88. The distance sensor 122 irradiates laser light or the like downward, and receives the light reflected by the object. Then, the distance between the distance sensor 122 and the object is detected based on the time from the irradiation of the laser light to the reception of the reflected light. Based on this principle, the distance sensor 122 detects the distance between the circuit board 52 conveyed by the conveyor device 30 and the distance sensor 122.

このような第2実施例のはんだ印刷機では、回路基板52が作業位置に搬送されると、距離センサ122によって、回路基板52の中央部と距離センサ122との間の距離Lと、回路基板52の縁部と距離センサ122との間の距離Lとが検出される。そして、検出値に基づいて、回路基板52の反り量ΔL(=|L−L|)が演算される。また、回路基板52が下反り状態であるか、上反り状態であるかが判定される。詳しくは、距離Lが距離Lより長い場合に、下反り状態であると判定され、距離Lが距離Lより長い場合に、上反り状態であると判定される。 In the solder printer of the second embodiment, when the circuit board 52 is transported to the work position, the distance sensor 122 causes the distance L 1 between the center of the circuit board 52 and the distance sensor 122 to be A distance L 2 between the edge of the substrate 52 and the distance sensor 122 is detected. Based on the detected value, the warpage amount ΔL (= | L 1 −L 2 |) of the circuit board 52 is calculated. Further, it is determined whether the circuit board 52 is in a downward warped state or an upward warped state. Specifically, if the distance L 1 is longer than the distance L 2, it is determined that the anhedral state, the distance L 2 is longer than the distance L 1, is determined to be a cambered state.

検出値に基づく演算および判定が終了すると、判定に応じたクランプ方法に従って、回路基板52がクランプされる。回路基板52が下反り状態である場合のクランプ方法は、第1実施例でのクランプ方法と同じであるため、説明を省略する。ただし、第2実施例においても、図13に示すように、回路基板52が支持装置34によって持ち上げられる際に、支持台64が設定高さHから設定距離Cを減算した高さ(H−C)まで上昇されるが、第2実施例での設定距離Cは、演算された回路基板52の反り量ΔLが用いられる。   When the calculation and determination based on the detection value is completed, the circuit board 52 is clamped according to a clamping method according to the determination. Since the clamping method in the case where the circuit board 52 is warped is the same as the clamping method in the first embodiment, the description is omitted. However, also in the second embodiment, as shown in FIG. 13, when the circuit board 52 is lifted by the support device 34, the support base 64 has a height (HC) obtained by subtracting the set distance C from the set height H. However, the calculated warping amount ΔL of the circuit board 52 is used as the set distance C in the second embodiment.

これにより、許容値を超えて反っている回路基板52であっても、挟持部材56,58によってクランプすることが可能となる。詳しくは、第1実施例では、設定距離Cは、はんだ印刷機10で定められている回路基板52の反り量の許容値であった。つまり、反り量の許容値が、例えば、2mmである場合には、設定距離Cは2に設定される。このため、2mmを超えて反っている回路基板52は、クランプできない回路基板と判定されていた。一方、第2実施例では、設定距離Cは、演算された回路基板52の反り量ΔLに設定される。このため、例えば、2mmを超えて反っている回路基板52であっても、クランプすることが可能となる。   As a result, even the circuit board 52 warped beyond the allowable value can be clamped by the clamping members 56 and 58. Specifically, in the first embodiment, the set distance C is an allowable value of the warp amount of the circuit board 52 determined by the solder printer 10. That is, when the allowable value of the warp amount is 2 mm, for example, the set distance C is set to 2. For this reason, the circuit board 52 warped by more than 2 mm has been determined to be a circuit board that cannot be clamped. On the other hand, in the second embodiment, the set distance C is set to the calculated warpage amount ΔL of the circuit board 52. For this reason, for example, even the circuit board 52 that warps beyond 2 mm can be clamped.

また、回路基板52が上反り状態である場合のクランプ方法は、第1実施例でのクランプ方法と殆ど同じであるため、異なる箇所を中心に説明する。まず、第1実施例では、クランプ対象の回路基板が、上反り状態である場合には、支持台64から、回路基板52の中央部を支持する支持ピン68が取り外されていた。一方、第2実施例では、支持台64から、回路基板52の中央部を支持する伸縮支持ピン120は取り外されない。これは、伸縮支持ピン120は、支持ピン68と異なり、伸縮するためである。   In addition, the clamping method when the circuit board 52 is warped is almost the same as the clamping method in the first embodiment, and therefore, different points will be mainly described. First, in the first embodiment, when the circuit board to be clamped is warped, the support pins 68 that support the central portion of the circuit board 52 are removed from the support base 64. On the other hand, in the second embodiment, the telescopic support pins 120 that support the central portion of the circuit board 52 are not removed from the support base 64. This is because, unlike the support pin 68, the expansion / contraction support pin 120 expands and contracts.

詳しくは、クランプ対象の回路基板52が上反り状態である場合には、回路基板52が作業位置に搬送された後に、支持台64が設定高さHに上昇され、回路基板52が支持ピン68および伸縮支持ピン120によって持ち上げられる。そして、図18に示すように、押圧具88によって、回路基板52の中央部が押圧され、回路基板52は下反り状態とされる。この際、回路基板52の中央部は伸縮支持ピン120によって支持されているため、伸縮支持ピン120は押圧具88の押圧に伴って、収縮する。このように、第2実施例では、回路基板52の中央部を支持する支持ピンとして、伸縮支持ピン120が採用されているため、回路基板52の中央部を支持する支持ピンの取り外しを行う必要が無い。これにより、支持台64に伸縮支持ピン120を、常時、セットしておくことが可能となり、下反り状態の回路基板52と上反り状態の回路基板52との何れにも対応することが可能となる。   Specifically, when the circuit board 52 to be clamped is warped, the support base 64 is raised to the set height H after the circuit board 52 is transported to the working position, and the circuit board 52 is supported by the support pins 68. And lifted by the telescopic support pin 120. And as shown in FIG. 18, the center part of the circuit board 52 is pressed by the pressing tool 88, and the circuit board 52 is made into the downward warping state. At this time, since the central portion of the circuit board 52 is supported by the expansion / contraction support pins 120, the expansion / contraction support pins 120 contract as the pressing tool 88 is pressed. As described above, in the second embodiment, the expansion / contraction support pin 120 is employed as the support pin for supporting the center portion of the circuit board 52, and therefore, it is necessary to remove the support pin for supporting the center portion of the circuit board 52. There is no. As a result, the expansion / contraction support pins 120 can be always set on the support base 64, and it is possible to cope with both the circuit board 52 in the downward warped state and the circuit board 52 in the upward warped state. Become.

また、第1実施例では、回路基板52がクランプされる際に、エンコーダ62の検出値、つまり、1対の挟持部材56,58の間の距離を利用して、電磁モータ60の作動が制御されるが、第2実施例では、距離センサ122の検出値、つまり、距離センサ122と回路基板52との間の距離を利用して、電磁モータ60の作動が制御される。詳しくは、電磁モータ60の作動が制御される際に、距離センサ122によって、回路基板52の中央部と距離センサ122との間の距離Lが検出される。そして、その距離Lが、回路基板52の縁部と距離センサ122との間の距離Lに設定距離Dを加算した距離(L+D)となるように、電磁モータ60の作動が制御される。これにより、回路基板52を、下反り状態に維持したままで、挟持部材56,58によってクランプすることが可能となる。なお、設定距離Dは、挟持部材56,58によってクランプされた回路基板52が僅かに下反り状態となるように設定された距離である。具体的には、例えば、第1実施例において、1対の挟持部材56,58の間の距離が(X−B)とされた状態でクランプされた回路基板52の反り量と同程度に回路基板52が反るように、設定距離Dは設定されている。 In the first embodiment, when the circuit board 52 is clamped, the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled using the detection value of the encoder 62, that is, the distance between the pair of clamping members 56 and 58. However, in the second embodiment, the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled using the detection value of the distance sensor 122, that is, the distance between the distance sensor 122 and the circuit board 52. Specifically, when the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled, the distance sensor 122 detects the distance L 1 between the center portion of the circuit board 52 and the distance sensor 122. Then, the operation of the electromagnetic motor 60 is controlled so that the distance L 1 becomes a distance (L 2 + D) obtained by adding the set distance D to the distance L 2 between the edge of the circuit board 52 and the distance sensor 122. Is done. As a result, the circuit board 52 can be clamped by the holding members 56 and 58 while maintaining the warped state. The set distance D is a distance set so that the circuit board 52 clamped by the holding members 56 and 58 is slightly warped. Specifically, for example, in the first embodiment, the circuit is approximately the same as the warpage amount of the circuit board 52 clamped in a state where the distance between the pair of sandwiching members 56 and 58 is (XB). The set distance D is set so that the substrate 52 is warped.

このように、第2実施例のはんだ印刷機では、距離センサ122の検出結果に応じて、回路基板52が上反り状態であるか、下反り状態であるかが判定され、判定された回路基板52の反り状態に応じたクランプ方法が採用される。これにより、同じ種類の回路基板52に、上反り状態の回路基板と下反り状態の回路基板とが混在している場合であっても、適切に回路基板をクランプすることが可能となる。   As described above, in the solder printing machine according to the second embodiment, it is determined whether the circuit board 52 is warped or warped according to the detection result of the distance sensor 122, and the determined circuit board is determined. A clamping method corresponding to the warping state of 52 is employed. As a result, even when the same type of circuit board 52 includes both a warped circuit board and a lower warped circuit board, the circuit board can be appropriately clamped.

なお、制御装置100のコントローラ102は、図3に示すように、第1クランプ部130と、第2クランプ部132と、判定部134とを有している。第1クランプ部130は、上反り状態の回路基板52をクランプするための機能部である。第2クランプ部132は、下反り状態の回路基板52をクランプするための機能部である。判定部134は、距離センサ122の検出値に基づいて、回路基板52が下反り状態であるか上反り状態であるかを判定するための機能部である。   In addition, the controller 102 of the control apparatus 100 has the 1st clamp part 130, the 2nd clamp part 132, and the determination part 134, as shown in FIG. The first clamp part 130 is a functional part for clamping the circuit board 52 in the warped state. The second clamp part 132 is a functional part for clamping the circuit board 52 in the downward warped state. The determination unit 134 is a functional unit for determining whether the circuit board 52 is in the downward warped state or the upward warped state based on the detection value of the distance sensor 122.

また、第1クランプ部130は、第1支持部材作動制御部140と、第1押圧部材作動制御部142と、第1狭持部材作動制御部144と、第2押圧部材作動制御部146と、第3狭持部材作動制御部148とを含む。第1支持部材作動制御部140は、上反り状態の回路基板52を支持する支持台64を設定高さHまで、支持装置34によって持ち上げるための機能部である。第1押圧部材作動制御部142は、第1支持部材作動制御部140の制御によって持ち上げられた回路基板52の中央部を押圧具88によって押圧するための機能部である。第1狭持部材作動制御部144は、第1押圧部材作動制御部142の制御によって押圧された回路基板52を、挟持部材56,58によって挟持するための機能部である。第2押圧部材作動制御部146は、第1押圧部材作動制御部142の制御による押圧具88の押圧を解除するための機能部である。第3狭持部材作動制御部148は、第2押圧部材作動制御部146による押圧の解除の後に、搬送レール38を作動させるための機能部である。   The first clamp unit 130 includes a first support member operation control unit 140, a first pressing member operation control unit 142, a first holding member operation control unit 144, a second pressing member operation control unit 146, A third holding member operation control unit 148. The first support member operation control unit 140 is a functional unit for lifting the support base 64 that supports the circuit board 52 in the warped state to the set height H by the support device 34. The first pressing member operation control unit 142 is a functional unit for pressing the central portion of the circuit board 52 lifted by the control of the first support member operation control unit 140 with the pressing tool 88. The first holding member operation control unit 144 is a functional unit for holding the circuit board 52 pressed by the control of the first pressing member operation control unit 142 between the holding members 56 and 58. The second pressing member operation control unit 146 is a functional unit for releasing the pressing of the pressing tool 88 under the control of the first pressing member operation control unit 142. The third holding member operation control unit 148 is a functional unit for operating the transport rail 38 after the second pressing member operation control unit 146 releases the press.

また、第2クランプ部132は、第2支持部材作動制御部150と、第2狭持部材作動制御部152と、第3押圧部材作動制御部154と、第3支持部材作動制御部156とを含む。第2支持部材作動制御部150は、下反り状態の回路基板52を支持する支持台64を高さ(H−C)まで、支持装置34によって持ち上げるための機能部である。第2狭持部材作動制御部152は、第2支持部材作動制御部150の制御によって持ち上げられた回路基板52を、挟持部材56,58によって挟持するための機能部である。第3押圧部材作動制御部154は、第2狭持部材作動制御部152の制御によって挟持された回路基板52の両縁部を押圧具88によって押圧するための機能部である。第3支持部材作動制御部156は、第3押圧部材作動制御部154の制御による押圧具88の押圧が解除された後に、設定距離C上昇させるための機能部である。   The second clamp part 132 includes a second support member operation control unit 150, a second holding member operation control unit 152, a third pressing member operation control unit 154, and a third support member operation control unit 156. Including. The second support member operation control unit 150 is a functional unit for lifting the support base 64 that supports the circuit board 52 in the warped state to the height (HC) by the support device 34. The second holding member operation control unit 152 is a functional unit for holding the circuit board 52 lifted by the control of the second support member operation control unit 150 between the holding members 56 and 58. The third pressing member operation control unit 154 is a functional unit for pressing both edges of the circuit board 52 sandwiched by the control of the second holding member operation control unit 152 with the pressing tool 88. The third support member operation control unit 156 is a functional unit for increasing the set distance C after the pressing of the pressing tool 88 under the control of the third pressing member operation control unit 154 is released.

ちなみに、上記実施例において、搬送装置20は、搬送装置の一例である。コンベア装置30は、コンベア装置の一例である。クランプ装置32は、クランプ装置の一例である。挟持部材56,58は、挟持部材の一例である。エンコーダ62は、第1検出センサの一例である。支持ピン68は、支持部材および支持ピンの一例である。押圧具88は、押圧部材の一例である。制御装置100は、制御装置の一例である。伸縮支持ピン120は、支持部材および支持ピンの一例である。距離センサ122は、検出センサおよび第2検出センサの一例である。第1クランプ部130は、第1クランプ部の一例である。第2クランプ部132は、第2クランプ部の一例である。判定部134は、判定部の一例である。第1支持部材作動制御部140は、第1支持部材作動制御部の一例である。第1押圧部材作動制御部142は、第1押圧部材作動制御部の一例である。第1狭持部材作動制御部144は、第1狭持部材作動制御部の一例である。第2押圧部材作動制御部146は、第2押圧部材作動制御部の一例である。第3狭持部材作動制御部148は、第3狭持部材作動制御部の一例である。第2支持部材作動制御部150は、第2支持部材作動制御部の一例である。第2狭持部材作動制御部152は、第2狭持部材作動制御部の一例である。第3押圧部材作動制御部154は、第3押圧部材作動制御部の一例である。第3支持部材作動制御部156は、第3支持部材作動制御部の一例である。   Incidentally, in the above-described embodiment, the transport device 20 is an example of a transport device. The conveyor device 30 is an example of a conveyor device. The clamp device 32 is an example of a clamp device. The clamping members 56 and 58 are an example of a clamping member. The encoder 62 is an example of a first detection sensor. The support pin 68 is an example of a support member and a support pin. The pressing tool 88 is an example of a pressing member. The control device 100 is an example of a control device. The telescopic support pin 120 is an example of a support member and a support pin. The distance sensor 122 is an example of a detection sensor and a second detection sensor. The first clamp part 130 is an example of a first clamp part. The second clamp part 132 is an example of a second clamp part. The determination unit 134 is an example of a determination unit. The first support member operation control unit 140 is an example of a first support member operation control unit. The first pressing member operation control unit 142 is an example of a first pressing member operation control unit. The first holding member operation control unit 144 is an example of a first holding member operation control unit. The second pressing member operation control unit 146 is an example of a second pressing member operation control unit. The third holding member operation control unit 148 is an example of a third holding member operation control unit. The second support member operation control unit 150 is an example of a second support member operation control unit. The second holding member operation control unit 152 is an example of a second holding member operation control unit. The third pressing member operation control unit 154 is an example of a third pressing member operation control unit. The third support member operation control unit 156 is an example of a third support member operation control unit.

なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。具体的には、例えば、上記実施例では、はんだ印刷機の搬送装置に、本発明が適用されているが、装着作業機等の種々の対基板作業機の搬送装置に、本発明を適用することが可能である。   In addition, this invention is not limited to the said Example, It is possible to implement in the various aspect which gave various change and improvement based on the knowledge of those skilled in the art. Specifically, for example, in the above-described embodiment, the present invention is applied to the transfer device of the solder printer, but the present invention is applied to the transfer device of various anti-substrate work machines such as a mounting work machine. It is possible.

また、上記実施例では、1対の挟持部材56,58の間の距離が、エンコーダ62の検出値に基づいて演算され、間接的に検出されているが、1対の挟持部材56,58の間の距離を直接的に検出してもよい。つまり、エンコーダ62の代わりに、1対の挟持部材56,58の間の距離を検出する距離センサを設けてもよい。   In the above embodiment, the distance between the pair of clamping members 56 and 58 is calculated based on the detection value of the encoder 62 and indirectly detected. The distance between them may be detected directly. That is, instead of the encoder 62, a distance sensor that detects the distance between the pair of clamping members 56 and 58 may be provided.

また、上記実施例では、押圧具88は電磁モータ90の駆動により上下方向に移動するが、別の駆動源、例えば、エアシリンダ等の駆動により上下方向に移動してもよい。   Moreover, in the said Example, although the pressing tool 88 moves to an up-down direction by the drive of the electromagnetic motor 90, you may move to an up-down direction by the drive of another drive source, for example, an air cylinder.

20:搬送装置 30:コンベア装置 32:クランプ装置 56:挟持部材 58:挟持部材 62:エンコーダ(第1検出センサ) 68:支持ピン(支持部材) 88:押圧具(押圧部材) 100:制御装置 120:伸縮支持ピン(支持ピン)(支持部材) 122:距離センサ(検出センサ)(第2検出センサ) 130:第1クランプ部 132:第2クランプ部 134:判定部 140:第1支持部材作動制御部 142:第1押圧部材作動制御部 144:第1狭持部材作動制御部 146:第2押圧部材作動制御部 148:第3狭持部材作動制御部 150:第2支持部材作動制御部 152:第2狭持部材作動制御部 154:第3押圧部材作動制御部 156:第3支持部材作動制御部   20: Conveying device 30: Conveyor device 32: Clamp device 56: Clamping member 58: Clamping member 62: Encoder (first detection sensor) 68: Support pin (support member) 88: Pressing tool (pressing member) 100: Control device 120 : Telescopic support pin (support pin) (support member) 122: distance sensor (detection sensor) (second detection sensor) 130: first clamp unit 132: second clamp unit 134: determination unit 140: first support member operation control Unit 142: first pressing member operation control unit 144: first holding member operation control unit 146: second pressing member operation control unit 148: third holding member operation control unit 150: second support member operation control unit 152: Second holding member operation control unit 154: Third pressing member operation control unit 156: Third support member operation control unit

Claims (10)

基板を搬送するコンベア装置と、
1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、
前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材と
を備え、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、
当該搬送装置が、
前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、
基板の中央部が縁部より突出する状態である上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第1クランプ部を有する制御装置と
を備え、
前記第1クランプ部が、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さまで、前記支持部材によって持ち上げる第1支持部材作動制御部と、
前記支持部材によって持ち上げられた基板の中央部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧することで、基板を前記下反り状態に変形させる第1押圧部材作動制御部と、
前記押圧部材によって押圧されている基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第1挟持部材作動制御部と、
前記押圧部材による押圧を解除する第2押圧部材作動制御部と
を有することを特徴とする搬送装置。
A conveyor device for transporting the substrate;
A clamping device having a pair of clamping members, clamping at least one of the pair of clamping members, and clamping both edges of the substrate to clamp the substrate;
A support member disposed between the pair of sandwiching members and supporting the substrate from below;
The substrate transported to a predetermined position by the conveyor device is lifted from the conveyor device by the support member, and the transported device clamps the lifted substrate by the clamp device,
The transfer device
A pressing member disposed above the conveyor device and pressing the substrate from above;
A control device having a first clamp portion for controlling the operation of the transfer device in order to clamp the warped substrate in which the central portion of the substrate protrudes from the edge portion,
The first clamp part is
A first support member operation control unit that lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device to a preset height by the support member;
A first pressing member operation control unit that deforms the substrate into the downward warped state by pressing a center portion of the substrate lifted by the support member downward by the pressing member;
A first clamping member operation control unit for clamping the substrate pressed by the pressing member by the pair of clamping members;
And a second pressing member operation control unit for releasing the pressing by the pressing member.
基板を搬送するコンベア装置と、
1対の挟持部材を有し、それら1対の挟持部材の少なくとも一方を接近させ、基板の両縁を挟持することで、基板をクランプするクランプ装置と、
前記1対の挟持部材の間に配設され、基板を下方から支持する支持部材と
を備え、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、前記支持部材によって前記コンベア装置から持ち上げ、その持ち上げられた基板を、前記クランプ装置によってクランプする搬送装置であって、
当該搬送装置が、
前記コンベア装置の上方に配設され、基板を上方から押圧する押圧部材と、
基板の縁部が中央部より突出する状態である下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御する第2クランプ部を有する制御装置と
を備え、
前記第2クランプ部が、
前記コンベア装置によって所定の位置まで搬送された基板を、予め設定された設定高さより設定距離低い位置まで、前記支持部材によって持ち上げる第2支持部材作動制御部と、
前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記1対の挟持部材によって挟持する第2挟持部材作動制御部と、
前記1対の挟持部材によって挟持された基板の縁部を、前記押圧部材によって下方に向かって押圧する第3押圧部材作動制御部と、
前記押圧部材による押圧が解除された後に、前記1対の挟持部材によって挟持された基板を、前記支持部材によって、前記設定距離、上方に移動させる第3支持部材作動制御部と
を有することを特徴とする搬送装置。
A conveyor device for transporting the substrate;
A clamping device having a pair of clamping members, clamping at least one of the pair of clamping members, and clamping both edges of the substrate to clamp the substrate;
A support member disposed between the pair of clamping members and supporting the substrate from below;
The substrate transported to a predetermined position by the conveyor device is lifted from the conveyor device by the support member, and the transported device clamps the lifted substrate by the clamp device,
The transfer device
A pressing member disposed above the conveyor device and pressing the substrate from above;
A control device having a second clamp portion for controlling the operation of the transfer device in order to clamp the substrate in a downward warped state in which the edge portion of the substrate protrudes from the central portion;
The second clamp part is
A second support member operation control unit that lifts the substrate transported to a predetermined position by the conveyor device by the support member to a position lower than a preset set height by a set distance;
A second clamping member operation control unit for clamping the substrate lifted by the support member by the pair of clamping members;
A third pressing member operation control unit that presses the edge of the substrate held by the pair of holding members downward by the pressing member;
A third support member operation control unit configured to move the substrate sandwiched by the pair of sandwiching members upward by the set distance by the support member after the pressing by the pressing member is released; A transport device.
当該搬送装置が、基板の反り量を検出する検出センサを備え、
前記設定距離が、前記検出センサによって検出された基板の反り量に相当する距離に設定されることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The transport apparatus according to claim 2, wherein the set distance is set to a distance corresponding to a warp amount of the substrate detected by the detection sensor.
当該搬送装置が、基板の反り量を検出する検出センサを備え、
前記制御装置が、
前記検出センサによって検出された基板の反り量に基づいて、クランプ予定の基板が前記下反り状態であるか否かを判定する判定部を有し、
前記第2クランプ部が、
前記判定部によってクランプ予定の基板が前記下反り状態であると判定された場合に、前記下反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御することを特徴とする請求項2または請求項3に記載の搬送装置。
The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The control device is
A determination unit that determines whether the substrate to be clamped is in the downward warping state based on the amount of warpage of the substrate detected by the detection sensor;
The second clamp part is
The operation of the transfer device is controlled to clamp the substrate in the downward warped state when the determination unit determines that the substrate to be clamped is in the downward warped state. Or the conveying apparatus of Claim 3.
前記第2挟持部材作動制御部が、
前記支持部材によって持ち上げられた基板を、前記第3押圧部材作動制御部により前記押圧部材が基板を押圧する力より低い力で前記1対の挟持部材によって挟持し、
前記第3押圧部材作動制御部の前記押圧部材の押圧により、前記1対の挟持部材の少なくとも一方が移動させられることを特徴とする請求項2ないし請求項4のいずれか1つ記載の搬送装置。
The second clamping member operation control unit is
The substrate lifted by the support member is clamped by the pair of clamping members with a force lower than the force with which the pressing member presses the substrate by the third pressing member operation control unit,
5. The transport device according to claim 2, wherein at least one of the pair of clamping members is moved by the pressing of the pressing member of the third pressing member operation control unit. .
当該搬送装置が、基板の反り量を検出する検出センサを備え、
前記制御装置が、
前記検出センサによって検出された基板の反り量に基づいて、クランプ予定の基板が前記上反り状態であるか否かを判定する判定部を有し、
前記第1クランプ部が、
前記判定部によってクランプ予定の基板が前記上反り状態であると判定された場合に、前記上反り状態の基板をクランプするために、前記搬送装置の作動を制御することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
The transfer device includes a detection sensor that detects the amount of warpage of the substrate,
The control device is
A determination unit that determines whether or not a substrate to be clamped is in the warped state based on the amount of warpage of the substrate detected by the detection sensor;
The first clamp part is
The operation of the transfer device is controlled to clamp the warped substrate when the determination unit determines that the substrate to be clamped is in the warped state. The conveying apparatus as described in.
前記第1クランプ部が、
前記第2押圧部材作動制御部による前記押圧部材の押圧が解除された後に、基板の前記下反り状態を維持しつつ、前記下反り状態が緩和されるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させる第3挟持部材作動制御部を有することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の搬送装置。
The first clamp part is
After the pressing of the pressing member by the second pressing member operation control unit is released, at least one of the pair of sandwiching members is maintained so that the downward warping state is relaxed while maintaining the downward warping state of the substrate. The conveying apparatus according to claim 1, further comprising a third clamping member operation control unit that moves one of the members.
当該搬送装置が、前記1対の挟持部材の間の距離を検出するための第1検出センサを備え、
前記第3挟持部材作動制御部が、
前記第1検出センサによって検出された距離が基板の幅より短くなるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。
The transport device includes a first detection sensor for detecting a distance between the pair of clamping members,
The third clamping member operation control unit is
The transport apparatus according to claim 7, wherein at least one of the pair of holding members is moved so that a distance detected by the first detection sensor is shorter than a width of the substrate.
当該搬送装置が、前記コンベア装置の上方に配設され、基板との距離を検出するための第2検出センサを備え、
前記第3挟持部材作動制御部が、
前記第2検出センサによって検出される基板の中央部における検出距離が、前記第2検出センサによって検出される基板の縁部における検出距離より長くなるように、前記1対の挟持部材の少なくとも一方を移動させることを特徴とする請求項7に記載の搬送装置。
The transport device is provided above the conveyor device, and includes a second detection sensor for detecting a distance from the substrate,
The third clamping member operation control unit is
At least one of the pair of clamping members is arranged such that a detection distance at the center of the substrate detected by the second detection sensor is longer than a detection distance at an edge of the substrate detected by the second detection sensor. The transport device according to claim 7, wherein the transport device is moved.
前記支持部材が、基板を下方から支持する複数の支持ピンであり、
前記複数の支持ピンのうちの基板の中央部を支持する1以上の支持ピンが、伸縮可能であることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1つに記載の搬送装置。
The support member is a plurality of support pins for supporting the substrate from below;
The transport apparatus according to claim 1, wherein one or more support pins that support a central portion of the substrate among the plurality of support pins are extendable and contractible.
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