JP2011189456A - Grinding device and grinding method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform dressing work by always allowing a dresser board to abut under substantially equal pressure on a grinding surface of a grinding wheel in parallel to grinding work. <P>SOLUTION: A positioning mechanism 11 for constituting a dressing means 1 positions the dresser board 8 held by a holding table 10 in a predetermined position Z2 above a holding surface 20 of a chuck table 2, and performs dressing of the grinding wheel 310 in a state of pressing the holding table 10 from below by a pressing member 13 interposed between the holding table 10 and the positioning mechanism 11, and regulates rocking of the holding table 10 in the horizontal direction by a regulating member 12, and can thereby perform grinding of a workpiece W in parallel to dressing by allowing the dresser board 8 to abut on the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 with a simple constitution. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、研削砥石による被加工物の研削と同時に研削砥石のドレッシングを行う研削装置及び研削方法に関する。   The present invention relates to a grinding apparatus and a grinding method for performing dressing of a grinding wheel simultaneously with grinding of a workpiece by a grinding wheel.

半導体ウェーハ、サファイア、ＳｉＣ等の各種被加工物は、研削装置によって研削されて所定の厚さに形成された後に分割されてデバイスとなる。研削装置においては、被加工物に対して回転する研削砥石の研削面を当接させることにより被加工物の研削が行われる。   Various workpieces such as semiconductor wafers, sapphire, SiC and the like are ground by a grinding apparatus to a predetermined thickness and then divided into devices. In the grinding device, the workpiece is ground by bringing the grinding surface of the rotating grinding wheel into contact with the workpiece.

かかる研削を行うと、研削面には目詰まりが生じやすく、この目詰まりにより研削能力が低下するため、当該研削面を頻繁にドレッシングする必要がある。そこで、ドレッサーボードをチャックテーブルの近傍に配置し、研削作業終了後に研削ホイールのドレッシングを行うことができるようにし、ドレッシング作業の効率化を図っている（例えば特許文献１参照）。   When such grinding is performed, the ground surface is likely to be clogged, and this clogging reduces the grinding ability. Therefore, it is necessary to dress the ground surface frequently. In view of this, a dresser board is disposed in the vicinity of the chuck table so that the grinding wheel can be dressed after the grinding operation is completed, thereby improving the efficiency of the dressing operation (see, for example, Patent Document 1).

特開２００３−３０５６４３号公報JP 2003-305543 A

しかし、例えばサファイアやＳｉＣなどの難研削材の研削など、研削砥石に目詰まりが生じやすい場合には、被加工物の研削とドレッシングとを交互に行っていたのでは目詰まりを防止することができない。   However, if clogging is likely to occur in the grinding wheel, such as grinding difficult-to-grind materials such as sapphire and SiC, clogging can be prevented by grinding the workpiece and dressing alternately. Can not.

一方、被加工物の研削と並行して研削砥石のドレッシングを行う場合は、ドレッシングによりドレッサーボードが摩耗すると、研削砥石に対するドレッサーボードの当接圧力が十分ではなくなり、ドレッシングが不十分となるという問題がある。   On the other hand, when dressing the grinding wheel in parallel with the grinding of the workpiece, if the dresser board is worn by dressing, the contact pressure of the dresser board against the grinding wheel is not sufficient, and the dressing becomes insufficient There is.

本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、研削作業と並行して、研削砥石の研削面に対して常にほぼ同等の圧力でドレッサーボードを当接させてドレッシング作業を行うことを可能とすることにある。   The present invention has been made in view of the above-mentioned facts, and its main technical problem is that, in parallel with the grinding operation, the dresser board is always brought into contact with the grinding surface of the grinding wheel at substantially the same pressure. It is to be able to perform work.

第一の発明は、被加工物を保持する保持面を有する回転可能なチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削手段と、研削手段をチャックテーブルの保持面に垂直な方向に移動させる研削送り手段と、チャックテーブルに隣接して配設され研削砥石の研削面をドレッシングするためのドレッサーボードを備えたドレッシング手段とを具備する研削装置において、ドレッシング手段は、ドレッサーボードを上面において保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持されたドレッサーボードをチャックテーブルの保持面よりも上方の所定位置に位置付け可能な位置付け機構と、保持テーブルと位置付け機構との間に介在し保持テーブルを下方から押圧する押圧部材と、ドレッシング時に保持テーブルが水平方向に揺動するのを規制する規制部材とを少なくとも含んでいる。   A first invention includes a rotatable chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a grinding means having a grinding wheel for grinding the workpiece held on the chuck table, and holding the grinding means on the chuck table. In a grinding apparatus comprising grinding feed means for moving in a direction perpendicular to the surface, and dressing means provided with a dresser board for dressing the grinding surface of the grinding wheel disposed adjacent to the chuck table, the dressing means comprises: A holding table that holds the dresser board on the top surface, a positioning mechanism that can position the dresser board held on the holding table at a predetermined position above the holding surface of the chuck table, and an interposition between the holding table and the positioning mechanism A pressing member for pressing the holding table from below, and a holding table during dressing. Le contains at least a restricting member for restraining the swinging horizontally.

この研削装置において、押圧部材は位置付け機構の上部に配設され保持テーブルを下方から支持する圧縮コイルバネであり、規制部材は１本または複数本の棒形状の剛性部材であって圧縮コイルばねの内周側に挿入されることが望ましい。この場合において、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を測定する高さ位置測定手段を備え、圧縮コイルばねのばね定数をｋ［Ｎ／ｍｍ］、ドレッシング時における前記ドレッサーボードへの所望初期荷重をｐ［Ｎ］とすると、所定位置は、チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置からｐ／ｋ［ｍｍ］上方の位置である。位置付け機構は、保持テーブルの下方に配設されたシリンダ部とシリンダ部によって駆動されるピストンとからなるエアシリンダ機構であり、ピストンの先端に保持テーブルが装着されており、規制部材及び押圧部材は、エア供給源から出力されたエアがレギュレータによって所定圧力に調整されてシリンダ部に供給されることによって鉛直方向に進退可能に配設された複数本のピストンであり、ピストンが上方に進出することにより、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置よりも上方の所定位置にドレッサーボードの上面が位置付けされる構成とすることが望ましい。   In this grinding apparatus, the pressing member is a compression coil spring that is disposed above the positioning mechanism and supports the holding table from below, and the regulating member is one or a plurality of rod-shaped rigid members that are included in the compression coil spring. It is desirable to be inserted on the circumferential side. In this case, the dresser board is provided with height position measuring means for measuring the height position of the upper surface of the workpiece held on the chuck table, the spring constant of the compression coil spring is k [N / mm], and the dresser board at the time of dressing. Assuming that the desired initial load is p [N], the predetermined position is a position p / k [mm] above the upper surface position of the workpiece held on the chuck table. The positioning mechanism is an air cylinder mechanism composed of a cylinder portion disposed below the holding table and a piston driven by the cylinder portion. A holding table is attached to the tip of the piston, and the regulating member and the pressing member are A plurality of pistons arranged such that the air output from the air supply source is adjusted to a predetermined pressure by a regulator and supplied to the cylinder portion so as to be able to advance and retract in the vertical direction, and the pistons advance upward Accordingly, it is desirable that the upper surface of the dresser board is positioned at a predetermined position above the height position of the upper surface of the workpiece held by the chuck table.

第二の発明は、上記の研削装置を用いて被加工物の上面を研削する研削方法に関するもので、ドレッサーボードをドレッシング手段を構成する保持テーブルにおいて保持するドレッサーボード保持ステップと、被加工物をチャックテーブルの保持面において保持する被加工物保持ステップと、チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を測定する被加工物上面位置測定ステップと、被加工物の上面の高さ位置よりも上方の所定位置に、保持テーブルに保持されたドレッサーボードの上面に位置付けするドレッサーボード位置付けステップと、ドレッサーボード位置付けステップの後に、研削砥石を徐々に下降させて被加工物の研削を行い、研削と同時に保持テーブルに保持されたドレッサーボードを研削して研削砥石の研削面のドレッシングを行う研削ドレッシングステップとからなる。   A second invention relates to a grinding method for grinding an upper surface of a workpiece using the above-described grinding apparatus, a dresser board holding step for holding a dresser board in a holding table constituting a dressing means, and a workpiece. Workpiece holding step for holding on the holding surface of the chuck table, workpiece upper surface position measuring step for measuring the height position of the upper surface of the workpiece held on the chuck table, and height of the upper surface of the workpiece The dresser board positioning step positioned on the upper surface of the dresser board held by the holding table at a predetermined position above the position, and the workpiece is ground by gradually lowering the grinding wheel after the dresser board positioning step. Grinding surface of grinding wheel by grinding dresser board held on holding table at the same time as grinding Comprising a grinding dressing step of dressing.

本発明では、ドレッシング手段を構成する位置付け機構が、保持テーブルに保持されたドレッサーボードをチャックテーブルの保持面よりも上方の所定位置に位置付けることができるため、簡単な構成で、ドレッサーボードを研削砥石の研削面に当接させ、ドレッシングと並行して被加工物の研削を行うことができる。   In the present invention, since the positioning mechanism constituting the dressing means can position the dresser board held by the holding table at a predetermined position above the holding surface of the chuck table, the dresser board can be ground with a simple configuration. The workpiece can be ground in parallel with the dressing.

ドレッシング手段の第１の実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 1st Embodiment of a dressing means. ドレッシング手段の第１の実施形態を示す正面図である。It is a front view which shows 1st Embodiment of a dressing means. 第１の実施形態のドレッシング手段を備えた研削装置を略示的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the grinding device provided with the dressing means of 1st Embodiment. 研削及びドレッシングを行う状態を略示的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematically the state which performs grinding and dressing. ドレッシング手段の第２の実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows 2nd Embodiment of a dressing means. 第２の実施形態のドレッシング手段を備えた研削装置を略示的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows roughly the grinding apparatus provided with the dressing means of 2nd Embodiment.

（１）第１の実施形態
図１に示すドレッシング手段１は、ドレッサーボード８を上面において保持する保持テーブル１０を備えている。保持テーブル１０は、位置付け機構１１によって昇降駆動される。位置付け機構１１は、鉛直方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０の下端に連結されボールネジ１１０を回動させるモータ１１１とを有している。ボールネジ１１０の上端部には、ボールネジ１１０の回動に伴い昇降する基台１１２が螺合しており、ボールネジ１１０の回動により基台１１２が昇降する構成となっている。基台１１２は、ロッド１１３によって支持された状態で昇降する。 (1) 1st Embodiment The dressing means 1 shown in FIG. 1 is provided with the holding table 10 which hold | maintains the dresser board 8 in an upper surface. The holding table 10 is driven up and down by the positioning mechanism 11. The positioning mechanism 11 includes a ball screw 110 having a vertical axis and a motor 111 that is connected to the lower end of the ball screw 110 and rotates the ball screw 110. A base 112 that moves up and down as the ball screw 110 rotates is screwed to the upper end of the ball screw 110, and the base 112 is moved up and down as the ball screw 110 rotates. The base 112 moves up and down while being supported by the rod 113.

基台１１２の上面側には、上方に向けて起立する規制部材１２が固定されている。規制部材１２は、１本または複数本の棒形状の剛性部材であり、規制部材１２の上端側は、図２に示すように、保持テーブル１０の下面１００側に形成された挿入穴１０１に挿入される。   On the upper surface side of the base 112, a regulating member 12 that rises upward is fixed. The restriction member 12 is one or a plurality of rod-shaped rigid members, and the upper end side of the restriction member 12 is inserted into an insertion hole 101 formed on the lower surface 100 side of the holding table 10 as shown in FIG. Is done.

複数の規制部材１２のまわりには、１つの圧縮コイルばね１３が巻かれている。この圧縮コイルばね１３は、上端が保持テーブル１０の下面１００に当接し、下端が基台１１２の上面１１２ａに当接し、位置付け機構１１の上部に配設され、保持テーブル１０と位置付け機構１１との間に介在している。この圧縮コイルばね１３は、保持テーブル１０を下方から上方に向けて押圧する押圧部材としての役割を果たす。圧縮コイルばね１３の作用により保持テーブル１０が上方に持ち上げられることで、規制部材１２の上端と挿入穴１０１の天井面１０１ａとの間に空間１０１ｂが形成される。したがって、規制部材１２に対して下方から上方に向けて力が加わることにより、規制部材１２は、空間１０１ｂの高さ分だけ挿入穴１０１に沿って下方に移動可能となっている。   One compression coil spring 13 is wound around the plurality of regulating members 12. The compression coil spring 13 has an upper end in contact with the lower surface 100 of the holding table 10, and a lower end in contact with the upper surface 112 a of the base 112. The compression coil spring 13 is disposed on the upper portion of the positioning mechanism 11. Is intervening. The compression coil spring 13 serves as a pressing member that presses the holding table 10 upward from below. When the holding table 10 is lifted upward by the action of the compression coil spring 13, a space 101 b is formed between the upper end of the restriction member 12 and the ceiling surface 101 a of the insertion hole 101. Therefore, when a force is applied to the restriction member 12 from below to above, the restriction member 12 can move downward along the insertion hole 101 by the height of the space 101b.

ドレッシング手段１は、図３に示すように、チャックテーブル２及び研削手段３を備えた研削装置４に配設される。チャックテーブル２の上面は保持面２０となっており、載置された被加工物Ｗを吸引保持して回転可能となっている。チャックテーブル２に隣接する位置にはドレッシング手段１のドレッサーボード８が配設される。また、チャックテーブル２に隣接して、チャックテーブル２に保持された被加工物Ｗの上面Ｗ１の高さ位置を測定する高さ位置測定手段５が配設されている。図３の例における高さ位置測定手段５は、触針式のものであるが、これには限定されない。   As shown in FIG. 3, the dressing means 1 is disposed in a grinding device 4 having a chuck table 2 and a grinding means 3. The upper surface of the chuck table 2 is a holding surface 20, and can rotate by sucking and holding the workpiece W placed thereon. A dresser board 8 of the dressing means 1 is disposed at a position adjacent to the chuck table 2. Further, a height position measuring means 5 for measuring the height position of the upper surface W1 of the workpiece W held on the chuck table 2 is disposed adjacent to the chuck table 2. Although the height position measuring means 5 in the example of FIG. 3 is a stylus type, it is not limited to this.

研削手段３は、鉛直方向の軸心を有する回転軸３０の下端に研削ホイール３１が装着されて構成されており、研削ホイール３１の下面には複数の研削砥石３１０が円環状に固着されている。研削砥石３１０の下面は、被加工物と接触する研削面３１０ａとなっている。チャックテーブル２に隣接する位置で且つ研削ホイール３１の回転軌道の下方にはドレッシング手段１を構成するドレッサーボード８が位置している。研削手段３は、研削送り手段３２によって保持面２０に垂直な方向に駆動される。   The grinding means 3 is configured by attaching a grinding wheel 31 to the lower end of a rotary shaft 30 having a vertical axis, and a plurality of grinding wheels 310 are fixed to the lower surface of the grinding wheel 31 in an annular shape. . The lower surface of the grinding wheel 310 is a grinding surface 310a that comes into contact with the workpiece. A dresser board 8 constituting the dressing means 1 is located at a position adjacent to the chuck table 2 and below the rotation trajectory of the grinding wheel 31. The grinding means 3 is driven in a direction perpendicular to the holding surface 20 by the grinding feed means 32.

次に、研削装置４を用いて被加工物Ｗの上面Ｗ１を研削すると同時に、研削砥石３１０の研削面３１０ａをドレッサーボード８に接触させて研削砥石３１０のドレッシングを行う場合について説明する。   Next, the case where the grinding wheel 310 is dressed by bringing the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 into contact with the dresser board 8 while grinding the upper surface W1 of the workpiece W using the grinding device 4 will be described.

最初に、図３に示したように、保持テーブル１０においてドレッサーボード８を保持する（ドレッサーボード保持ステップ）。また、チャックテーブル２において上面Ｗ１を上方に露出させた状態で被加工物Ｗを保持する（被加工物保持ステップ）。   First, as shown in FIG. 3, the dresser board 8 is held in the holding table 10 (dresser board holding step). Further, the workpiece W is held with the upper surface W1 exposed upward in the chuck table 2 (workpiece holding step).

被加工物保持ステップの後、高さ位置測定手段５を用いて、チャックテーブル２に保持された被加工物Ｗの上面の高さ位置Ｚ１を測定する。この高さ位置Ｚ１は、例えばチャックテーブル２の保持面２０を基準とし、保持面２０との高さの差として求める（被加工物上面位置測定ステップ）。   After the workpiece holding step, the height position Z1 of the upper surface of the workpiece W held on the chuck table 2 is measured using the height position measuring means 5. The height position Z1 is obtained as a difference in height from the holding surface 20 with reference to the holding surface 20 of the chuck table 2, for example (workpiece upper surface position measuring step).

次に、位置付け機構１１は、ドレッサーボード８の上面８ａを、被加工物Ｗの上面Ｗ１の高さ位置Ｚ１よりも上方の所定位置Ｚ２に位置付けする。ここで、圧縮コイルばね１３のばね定数をｋ［Ｎ／ｍｍ］、研削砥石３１０のドレッシング時におけるドレッサーボード８への所望初期荷重をｐ［Ｎ］とすると、当該所定位置Ｚ２は、被加工物Ｗの上面Ｗ１の高さ位置Ｚ１から（ｐ／ｋ）［ｍｍ］上方の位置である（ドレッサーボード位置付けステップ）。   Next, the positioning mechanism 11 positions the upper surface 8a of the dresser board 8 at a predetermined position Z2 above the height position Z1 of the upper surface W1 of the workpiece W. Here, if the spring constant of the compression coil spring 13 is k [N / mm] and the desired initial load on the dresser board 8 during dressing of the grinding wheel 310 is p [N], the predetermined position Z2 is the workpiece. This is a position (p / k) [mm] above the height position Z1 of the upper surface W1 of W (dresser board positioning step).

ドレッサーボード位置付けステップの後に、研削砥石３１０の回転軌道の外周が被加工物Ｗの回転中心と一致するように研削ホイール３１を被加工物Ｗに対面させる。そして、チャックテーブル２を回転させるとともに、研削ホイール３１を回転させながら研削手段３を徐々に降下させる。そうすると、降下する研削砥石３１０の研削面３１０ａは、最初にドレッサーボード８の上面８ａに接触する。そしてさらに研削手段３を降下させると、圧縮コイルばね１３によってドレッサーボード８を上方に押し上げる方向に力が働くため、ドレッサーボード８が摩耗したとしても、ドレッサーボード８から研削砥石３１０に対して常に十分な圧力がかけられてドレッシングが行われる。ドレッシング時には、規制部材１２が、保持テーブル１０が水平方向に揺動することを規制する。   After the dresser board positioning step, the grinding wheel 31 is made to face the workpiece W so that the outer periphery of the rotation path of the grinding wheel 310 coincides with the rotation center of the workpiece W. Then, while rotating the chuck table 2, the grinding means 3 is gradually lowered while rotating the grinding wheel 31. Then, the ground surface 310a of the descending grinding wheel 310 first comes into contact with the upper surface 8a of the dresser board 8. When the grinding means 3 is further lowered, a force acts in the direction of pushing up the dresser board 8 upward by the compression coil spring 13, so that even if the dresser board 8 is worn, it is always sufficient from the dresser board 8 to the grinding wheel 310. The dressing is performed under a certain pressure. At the time of dressing, the restricting member 12 restricts the holding table 10 from swinging in the horizontal direction.

また、研削手段３を降下させることにより、図４に示すように、研削砥石３１０の研削面３１０ａとドレッサーボード８との接触状態を維持しながら、研削砥石３１０の研削面３１０ａと被加工物Ｗの上面Ｗ１とを接触させる。こうして、研削砥石３１０のドレッシングと並行して、研削砥石３１０によってワークＷの上面Ｗ１が研削される。したがって、研削により研削砥石３１０に目詰まりが生じても、研削を中断せずに効率よく研削砥石３１０のドレッシングを行うことができる。また、圧縮コイルばね１３などを利用した簡単な構成で、ドレッサーボード８を常にほぼ同等の圧力で研削砥石３１０に当接させることができる（研削ドレッシングステップ）。   Further, by lowering the grinding means 3, as shown in FIG. 4, the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 and the workpiece W are maintained while maintaining the contact state between the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 and the dresser board 8. Is brought into contact with the upper surface W1. In this way, the upper surface W1 of the workpiece W is ground by the grinding wheel 310 in parallel with the dressing of the grinding wheel 310. Therefore, even if the grinding wheel 310 is clogged by grinding, the grinding wheel 310 can be efficiently dressed without interrupting the grinding. Further, the dresser board 8 can always be brought into contact with the grinding wheel 310 with substantially the same pressure with a simple configuration using the compression coil spring 13 or the like (grinding dressing step).

（１）第２の実施形態
図５に示すドレッシング手段６は、ドレッサーボード８を上面において保持する保持テーブル６０と、保持テーブル６０を昇降させる位置付け機構６１とを備えている。位置付け機構６１は、保持テーブル６０の下方に配設されたシリンダ部６１０と、シリンダ部６１０によって昇降駆動されるピストン６１１とから構成されるエアシリンダ機構である。ピストン６１１の先端部には保持テーブル６０が装着されており、ピストン６１１の昇降に伴って保持テーブル６０も昇降する構成となっている。 (1) Second Embodiment The dressing means 6 shown in FIG. 5 includes a holding table 60 that holds the dresser board 8 on the upper surface, and a positioning mechanism 61 that raises and lowers the holding table 60. The positioning mechanism 61 is an air cylinder mechanism that includes a cylinder portion 610 disposed below the holding table 60 and a piston 611 that is driven up and down by the cylinder portion 610. A holding table 60 is attached to the tip of the piston 611, and the holding table 60 is also raised and lowered as the piston 611 is raised and lowered.

シリンダ部６１０には、レギュレータ６１２を介してエア供給源６１３が接続されており、エア供給源６１３から出力されたエアがレギュレータ６１２によって所定圧力に調整されてシリンダ部６１０に供給され、これによってピストン６１１が鉛直方向に進退可能となっている。すなわち、ピストン６１１は、保持テーブル６０を下方から押圧する押圧部材として機能する。保持テーブル６の上面６０ａの位置は、ピストン６１１の長さによって規定されている。   An air supply source 613 is connected to the cylinder part 610 via a regulator 612, and the air output from the air supply source 613 is adjusted to a predetermined pressure by the regulator 612 and supplied to the cylinder part 610. 611 can advance and retreat in the vertical direction. That is, the piston 611 functions as a pressing member that presses the holding table 60 from below. The position of the upper surface 60 a of the holding table 6 is defined by the length of the piston 611.

図６に示すように、ドレッシング手段６は、チャックテーブル２及び研削手段３を備えた研削装置７に配設される。なお、チャックテーブル２及び研削手段３は、第１の実施形態として図３、４に示したものと同様に構成されるため、ここでは説明を省略する。   As shown in FIG. 6, the dressing means 6 is disposed in a grinding device 7 including the chuck table 2 and the grinding means 3. Since the chuck table 2 and the grinding means 3 are configured in the same manner as those shown in FIGS. 3 and 4 as the first embodiment, the description thereof is omitted here.

この研削装置７を用いて被加工物Ｗの上面Ｗ１を研削すると同時に、研削砥石３１０をドレッサーボード８に接触させて研削砥石３１０のドレッシングを行う場合について説明する。   The case where the grinding wheel 310 is brought into contact with the dresser board 8 and the grinding wheel 310 is dressed while the upper surface W1 of the workpiece W is ground using the grinding device 7 will be described.

最初に、保持テーブル６０においてドレッサーボード８を保持する（ドレッサーボード保持ステップ）。また、チャックテーブル２において上面Ｗ１を上方に露出させた状態で被加工物Ｗを保持する（被加工物保持ステップ）。   First, the dresser board 8 is held on the holding table 60 (dresser board holding step). Further, the workpiece W is held with the upper surface W1 exposed upward in the chuck table 2 (workpiece holding step).

次に、シリンダ部６１０にエアが供給されピストン６１１が上方に進出し、ドレッサーボード８の上面８ａは、被加工物Ｗの上面Ｗ１の高さ位置Ｚ３よりも上方の所定位置Ｚ４に位置付けられる。ここで、保持テーブル６０の上面にドレッサーボード８を保持されピストン６１１が上方に進出するとドレッサーボード８の上面８ａが被加工物Ｗの上面Ｗ１の高さ位置Ｚ３よりも上方の所定位置Ｚ４に位置付けられるように、ピストン６１１の長さが予め規定されている（ドレッサーボード位置付けステップ）。   Next, air is supplied to the cylinder part 610 and the piston 611 advances upward, and the upper surface 8a of the dresser board 8 is positioned at a predetermined position Z4 above the height position Z3 of the upper surface W1 of the workpiece W. Here, when the dresser board 8 is held on the upper surface of the holding table 60 and the piston 611 advances upward, the upper surface 8a of the dresser board 8 is positioned at a predetermined position Z4 above the height position Z3 of the upper surface W1 of the workpiece W. As described above, the length of the piston 611 is defined in advance (the dresser board positioning step).

ドレッサーボード位置付けステップの後に、研削砥石３１０の回転軌道の外周が被加工物Ｗの回転中心と一致するように研削ホイール３１を被加工物Ｗに対面させる。そして、チャックテーブル２を回転させるとともに、研削ホイール３１を回転させながら研削手段３を降下させる。そうすると、研削砥石３１０の研削面３１０ａは、最初にドレッサーボード８の上面８ａに接触する。そしてさらに研削手段３を降下させると、エアシリンダ機構が保持テーブル６０及びドレッサーボード８を上方の研削面３１０aに押圧する。レギュレータ６１２は、研削砥石３１０に対して所定の圧力がかかるようにエアーの供給圧力を調整する。また、レギュレータ６１２によってその圧力が一定に維持されるため、ドレッサーボード８が摩耗したとしても、ドレッサーボード８から研削砥石３１０に対して常に一定の圧力がかけられてドレッシングが行われる。レギュレータ６１２は、研削砥石３１０の種類（レジン、ビトリファイドボンド等や集中度）の違いに応じて、エアの供給圧力を調整し、研削面３１０aにかかる圧力を調整することができる。ドレッシング時には、ピストン６１１は、保持テーブル６０の水平方向の揺動を記載する規制部材として機能する。   After the dresser board positioning step, the grinding wheel 31 is made to face the workpiece W so that the outer periphery of the rotation path of the grinding wheel 310 coincides with the rotation center of the workpiece W. Then, the chuck table 2 is rotated, and the grinding means 3 is lowered while the grinding wheel 31 is rotated. Then, the grinding surface 310 a of the grinding wheel 310 first contacts the upper surface 8 a of the dresser board 8. When the grinding means 3 is further lowered, the air cylinder mechanism presses the holding table 60 and the dresser board 8 against the upper grinding surface 310a. The regulator 612 adjusts the air supply pressure so that a predetermined pressure is applied to the grinding wheel 310. Further, since the pressure is maintained constant by the regulator 612, even if the dresser board 8 is worn, dressing is performed by always applying a constant pressure from the dresser board 8 to the grinding wheel 310. The regulator 612 can adjust the pressure applied to the grinding surface 310a by adjusting the air supply pressure in accordance with the type of the grinding wheel 310 (resin, vitrified bond, etc. or concentration). During dressing, the piston 611 functions as a regulating member that describes the horizontal swing of the holding table 60.

また、研削手段３を降下させることにより、図４に示すように、研削砥石３１０の研削面３１０ａとドレッサーボード８との接触状態を維持しながら、研削砥石３１０の研削面３１０ａと被加工物Ｗの上面Ｗ１とを接触させる。こうして、研削砥石３１０のドレッシングと並行して、研削砥石３１０によってワークＷの上面Ｗ１が研削される。したがって、研削により研削砥石３１０に目詰まりが生じても、研削を中断せずに効率よく研削砥石３１０のドレッシングを行うことができる。また、エアシリンダ機構を利用した簡単な構成で、ドレッサーボード８を常に一定の圧力で研削砥石３１０に当接させることができる（研削ドレッシングステップ）。   Further, by lowering the grinding means 3, as shown in FIG. 4, the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 and the workpiece W are maintained while maintaining the contact state between the grinding surface 310a of the grinding wheel 310 and the dresser board 8. Is brought into contact with the upper surface W1. In this way, the upper surface W1 of the workpiece W is ground by the grinding wheel 310 in parallel with the dressing of the grinding wheel 310. Therefore, even if the grinding wheel 310 is clogged by grinding, the grinding wheel 310 can be efficiently dressed without interrupting the grinding. Further, the dresser board 8 can always be brought into contact with the grinding wheel 310 with a constant pressure with a simple configuration using an air cylinder mechanism (grinding dressing step).

１：ドレッシング手段
１０：保持テーブル １０１：挿入穴 １０１ａ：天井面 １０１ｂ：空間
１１：位置付け機構
１１０：ボールネジ １１１：モータ １１２：基台 １１３：ロッド
１２：規制部材
１３：圧縮コイルばね
２：チャックテーブル ２０：保持面
３：研削手段
３０：回転軸 ３１：研削ホイール ３１０：研削砥石 ３１０ａ：研削面
３２：研削送り手段
４：研削装置
５：高さ位置測定手段
６：ドレッシング手段
６０：保持テーブル
６１：位置付け機構
６１０：シリンダ部 ６１１：ピストン（押圧部材、規制部材）
６１２：レギュレータ ６１３：エア供給源
７：研削装置
８：ドレッシングボード ８ａ：上面
Ｗ：被加工物 Ｗ１：上面 1: dressing means 10: holding table 101: insertion hole 101a: ceiling surface 101b: space 11: positioning mechanism 110: ball screw 111: motor 112: base 113: rod 12: regulating member 13: compression coil spring 2: chuck table 20 : Holding surface 3: Grinding means 30: Rotating shaft 31: Grinding wheel 310: Grinding wheel 310 a: Grinding surface 32: Grinding feed means 4: Grinding device 5: Height position measuring means 6: Dressing means 60: Holding table 61: Positioning Mechanism 610: Cylinder portion 611: Piston (pressing member, regulating member)
612: Regulator 613: Air supply source 7: Grinding device 8: Dressing board 8a: Upper surface W: Workpiece W1: Upper surface

Claims (5)

被加工物を保持する保持面を有する回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削手段と、該研削手段を該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に移動させる研削送り手段と、該チャックテーブルに隣接して配設され該研削砥石の研削面をドレッシングするためのドレッサーボードを備えたドレッシング手段とを具備する研削装置において、
該ドレッシング手段は、
該ドレッサーボードを上面において保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたドレッサーボードを該チャックテーブルの該保持面よりも上方の所定位置に位置付け可能な位置付け機構と、
該保持テーブルと該位置付け機構との間に介在し該保持テーブルを下方から押圧する押圧部材と、
ドレッシング時に該保持テーブルが水平方向に揺動するのを規制する規制部材と、
を少なくとも含んでいる研削装置。 A rotatable chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a grinding means having a grinding wheel for grinding the workpiece held on the chuck table, and the grinding means on the holding surface of the chuck table In a grinding apparatus comprising grinding feed means for moving in a vertical direction and dressing means provided with a dresser board disposed adjacent to the chuck table for dressing the grinding surface of the grinding wheel,
The dressing means comprises
A holding table for holding the dresser board on the upper surface;
A positioning mechanism capable of positioning the dresser board held by the holding table at a predetermined position above the holding surface of the chuck table;
A pressing member interposed between the holding table and the positioning mechanism and pressing the holding table from below;
A restricting member for restricting the holding table from swinging in the horizontal direction during dressing;
Including at least grinding equipment. 前記押圧部材は、前記位置付け機構の上部に配設され前記保持テーブルを下方から支持する圧縮コイルバネであり、
前記規制部材は、１本または複数本の棒形状の剛性部材であり、該圧縮コイルばねの内周側に挿入される、
請求項１に記載の研削装置。 The pressing member is a compression coil spring that is disposed on the positioning mechanism and supports the holding table from below.
The restriction member is one or a plurality of rod-shaped rigid members, and is inserted into the inner peripheral side of the compression coil spring.
The grinding apparatus according to claim 1. 前記チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を測定する高さ位置測定手段を備え、
前記圧縮コイルばねのばね定数をｋ［Ｎ／ｍｍ］、ドレッシング時における前記ドレッサーボードへの所望初期荷重をｐ［Ｎ］とすると、
前記所定位置は、前記チャックテーブルに保持された被加工物の上面位置からｐ／ｋ［ｍｍ］上方の位置である、
請求項２に記載の研削装置。 A height position measuring means for measuring the height position of the upper surface of the workpiece held by the chuck table;
When the spring constant of the compression coil spring is k [N / mm] and the desired initial load on the dresser board during dressing is p [N],
The predetermined position is a position above p / k [mm] from the upper surface position of the workpiece held on the chuck table.
The grinding apparatus according to claim 2. 前記位置付け機構は、前記保持テーブルの下方に配設されたシリンダ部と該シリンダ部によって駆動されるピストンとからなるエアシリンダ機構であり、
該ピストンの先端に該保持テーブルが装着されており、
前記規制部材及び前記押圧部材は、エア供給源から出力されたエアがレギュレータによって所定圧力に調整されて該シリンダ部に供給されることによって鉛直方向に進退可能に配設された複数本の該ピストンであり、
該ピストンが上方に進出することにより、前記チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置よりも上方の所定位置に該ドレッサーボードの上面が位置付けされる、
請求項１に記載の研削装置。 The positioning mechanism is an air cylinder mechanism including a cylinder portion disposed below the holding table and a piston driven by the cylinder portion,
The holding table is attached to the tip of the piston,
The regulating member and the pressing member are a plurality of the pistons arranged such that air output from an air supply source is adjusted to a predetermined pressure by a regulator and supplied to the cylinder portion so as to advance and retract in the vertical direction. And
When the piston advances upward, the upper surface of the dresser board is positioned at a predetermined position above the height position of the upper surface of the workpiece held by the chuck table.
The grinding apparatus according to claim 1. 請求項１乃至３のいずれかに記載の研削装置を用いて被加工物の上面を研削する研削方法であって、
前記ドレッサーボードを前記ドレッシング手段を構成する保持テーブルにおいて保持するドレッサーボード保持ステップと、
前記被加工物を前記チャックテーブルの保持面において保持する被加工物保持ステップと、
該チャックテーブルに保持された被加工物の上面の高さ位置を測定する被加工物上面位置測定ステップと、
該被加工物の上面の高さ位置よりも上方の所定位置に、該保持テーブルに保持されたドレッサーボードの上面に位置付けするドレッサーボード位置付けステップと、
該ドレッサーボード位置付けステップの後に、前記研削砥石を徐々に下降させて該被加工物の研削を行い、該研削と同時に該保持テーブルに保持されたドレッサーボードを研削して該研削砥石の研削面のドレッシングを行う研削ドレッシングステップと、
からなる研削方法。 A grinding method for grinding an upper surface of a workpiece using the grinding apparatus according to claim 1,
A dresser board holding step for holding the dresser board in a holding table constituting the dressing means;
A workpiece holding step for holding the workpiece on a holding surface of the chuck table;
A workpiece upper surface position measuring step for measuring the height position of the upper surface of the workpiece held by the chuck table;
A dresser board positioning step for positioning the upper surface of the dresser board held by the holding table at a predetermined position above the height position of the upper surface of the workpiece;
After the dresser board positioning step, the grinding wheel is gradually lowered to grind the workpiece. Simultaneously with the grinding, the dresser board held on the holding table is ground to form a grinding surface of the grinding wheel. A grinding dressing step for dressing;
A grinding method comprising:
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