JP6457275B2 - Grinding equipment - Google Patents
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Description
本発明は、板状ワークを研削する研削装置に関し、特に、反りを持った積層ワークを研削する研削装置に関する。 The present invention relates to a grinding apparatus for grinding a plate-shaped workpiece, and more particularly to a grinding apparatus for grinding a laminated workpiece having warpage.
板状ワークを研削する研削装置においては、板状ワークを吸引保持するチャックテーブルが円錐状に形成されており、チャックテーブルの保持面は、チャックテーブルの回転中心を頂点とし外周が僅かに低くなるように傾斜している。このため、保持面に吸引保持される板状ワークも、保持面の形状に沿って緩傾斜の円錐状になる。研削加工の際には、緩傾斜した板状ワークの上面と砥石の研削面とが平行になるようにチャックテーブルの傾きが調整される(例えば、特許文献1又は特許文献2参照)。特許文献1又は特許文献2に記載の研削装置では、チャックテーブルが複数の軸によって支持されており、複数の軸の高さを相対的に微調整することでチャックテーブルの傾きが調整される。 In a grinding apparatus for grinding a plate-like workpiece, the chuck table for sucking and holding the plate-like workpiece is formed in a conical shape, and the holding surface of the chuck table is slightly lowered in outer periphery with the center of rotation of the chuck table as a vertex. So as to be inclined. For this reason, the plate-like workpiece sucked and held by the holding surface also has a slowly inclined conical shape along the shape of the holding surface. At the time of grinding, the inclination of the chuck table is adjusted so that the gently inclined upper surface of the plate-like workpiece and the grinding surface of the grindstone are parallel (see, for example, Patent Document 1 or Patent Document 2). In the grinding apparatus described in Patent Document 1 or Patent Document 2, the chuck table is supported by a plurality of shafts, and the inclination of the chuck table is adjusted by relatively finely adjusting the heights of the plurality of shafts.
ところで、研削対象となる板状ワークには、材質の異なる複数枚の板状ワークを貼り合わせた積層ワークが含まれる。このような板状ワークには、材質の違いに起因して反りが生じている場合がある。例えば、板状ワークの中心部分より外周部分が浮き上がって中凹形状に湾曲した板状ワークの場合、円錐状の保持面で板状ワークを保持しようとすると、板状ワークには元の形状に戻ろうとする反力が作用する。このため、板状ワークの外周部分が適切に吸引保持されず、均一な厚みで板状ワークを研削することができないという問題があった。 Incidentally, the plate-like workpiece to be ground includes a laminated workpiece obtained by bonding a plurality of plate-like workpieces of different materials. Such a plate-like workpiece may be warped due to a difference in material. For example, in the case of a plate-shaped workpiece whose outer peripheral portion is raised from the center portion of the plate-shaped workpiece and is curved in a concave shape, if the plate-shaped workpiece is held by a conical holding surface, the plate-shaped workpiece is restored to its original shape. The reaction force that tries to return acts. For this reason, the outer peripheral part of the plate-like workpiece is not properly sucked and held, and there is a problem that the plate-like workpiece cannot be ground with a uniform thickness.
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、反りを持った板状ワークであっても適切に吸引保持して、均一な厚みで研削することができる研削装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to provide a grinding apparatus capable of appropriately sucking and holding even a plate-shaped workpiece having warpage and grinding with a uniform thickness. To do.
本発明の研削装置は、板状ワークを保持する保持面を有するチャックテーブルを回転可能に装着する保持手段と、チャックテーブルで保持する板状ワークを環状に配設された砥石を備える研削ホイールの研削面で研削する研削手段と、保持手段と研削手段とを相対的に傾き調整させる傾き調整手段と、を備えた研削装置であって、板状ワークは、中央部分が凹んで中央部分から外周部分に向かって上側に反った形状を有しており、チャックテーブルの保持面は、回転中心を含む中央部分が上方に突出しつつも、中央部分から径方向外側に向かうに従って徐々に高くなるように傾斜し、上方に突出した中央部分より外周部分が高い中凹形状に形成され、チャックテーブルは、板状ワークを保持面の形状に倣わせるように吸引保持し、傾き調整手段は、保持面の中心から外周に至る半径部分と砥石の研削面とが平行となるように保持手段と研削手段との傾き関係を調整し、研削手段は、研削ホイールを回転させ、回転するチャックテーブルに保持された板状ワークの中心から外周に至る半径部分に研削面を接触させてインフィード研削を実施することを特徴とする。 A grinding apparatus of the present invention is a grinding wheel comprising a holding means for rotatably mounting a chuck table having a holding surface for holding a plate-like workpiece, and a grindstone in which the plate-like workpiece held by the chuck table is annularly arranged. a grinding apparatus having a grinding means for grinding in the grinding surface, and inclination adjusting means for relatively inclination adjusting the holding means and the grinding means, the plate-shaped workpiece, the outer periphery of the central portion is recessed center portion It has a shape that warps upward toward the part, and the holding surface of the chuck table is gradually increased from the central part toward the radially outer side while the central part including the center of rotation protrudes upward. inclined, is formed into a concave shape in a higher peripheral portion than a central portion protruding upward, the chuck table is sucked and held so as to modeled after the plate workpiece into a shape of the holding surface, inclination adjustment hand It includes a ground surface of the radial portion and the grindstone extending from the center to the outer circumference of the holding surface adjusts the inclination relationship between the holding means and the grinding means in parallel, the grinding means rotates the grinding wheel, rotating the chuck Infeed grinding is performed by bringing a grinding surface into contact with a radius portion extending from the center to the outer periphery of a plate-like workpiece held on a table .
この構成によれば、保持面が中凹形状に形成されるため、外周部分が浮き上がった板状ワークであっても、保持面の形状に倣って吸引保持される。よって、板状ワークが保持面から離れようとする反力を抑えることができ、適切に板状ワークを吸引保持することができる。また、保持面と研削面とが平行になるように保持手段と研削手段の傾きが調整されるため、均一な厚みで板状ワークを研削することができる。 According to this configuration, since the holding surface is formed in a concave shape, even a plate-like workpiece whose outer peripheral portion is lifted is sucked and held following the shape of the holding surface. Therefore, the reaction force that the plate-like workpiece tends to move away from the holding surface can be suppressed, and the plate-like workpiece can be sucked and held appropriately. Further, since the inclination of the holding means and the grinding means is adjusted so that the holding surface and the grinding surface are parallel, the plate-like workpiece can be ground with a uniform thickness.
本発明によれば、板状ワークの形状に合わせて保持面を形成することにより、反りを持った板状ワークであっても適切に吸引保持して、均一な厚みで研削することができる。 According to the present invention, by forming the holding surface in accordance with the shape of the plate-like workpiece, even a plate-like workpiece having warpage can be appropriately sucked and held and ground with a uniform thickness.
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置について説明する。図1は、本実施の形態に係る研削装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係る研削装置は、図1に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。なお、以下の図では、説明の便宜上、BG(Back-Grinding)テープについては記載を省略している。 Hereinafter, the grinding apparatus according to the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a grinding apparatus according to the present embodiment. Note that the grinding apparatus according to the present embodiment is not limited to the apparatus configuration dedicated to the grinding process as shown in FIG. 1, and for example, a series of processes such as a grinding process, a polishing process, and a cleaning process are performed fully automatically. It may be incorporated into a fully automatic type processing apparatus. In the following drawings, for convenience of explanation, the description of a BG (Back-Grinding) tape is omitted.
図1に示すように、研削装置1は、円環状に配設された砥石48を備える研削ホイール46を用いて、チャックテーブル21に保持された板状ワークWを研削するように構成されている。研削装置1は、チャックテーブル21の回転軸と研削ホイール46の回転軸が偏心され、円環状に配設された砥石48が板状ワークWの上面を通過することで板状ワークWが円弧状に削られて薄化される。なお、板状ワークWとしては、例えば、シリコンウエーハの上面に樹脂が塗布された積層ワークや、W−CSP(Wafer level Chip Size Package)基板等の半導体製品のパッケージ基板が挙げられる。板状ワークは、上記した構成に限定されず、サファイア、炭化ケイ素等の無機材料基板、シリコン、ガリウム砒素等の半導体基板でもよいし、樹脂や金属等で形成された基板でもよい。
As shown in FIG. 1, the grinding apparatus 1 is configured to grind the plate-like workpiece W held on the chuck table 21 using a
研削装置1の基台11の上面には、X軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口は保持手段20と共に移動可能な移動板12及び蛇腹状の防水カバー13に覆われている。防水カバー13の下方には、保持手段20をX軸方向に移動させるボールねじ式の進退手段(不図示)と、チャックテーブル21を連続回転可能にする回転手段23とが設けられている。保持手段20は、テーブル基台22(図2参照)を介してチャックテーブル21を回転手段23に装着する。チャックテーブル21の表面には、多孔質のポーラス材によって板状ワークWを吸着する保持面21bが形成されている。保持面21bは、チャックテーブル21内の流路を通じて吸引源24に接続されており、保持面21bに生じる負圧によって板状ワークWが吸引保持される。
A rectangular opening extending in the X-axis direction is formed on the upper surface of the
基台11上のコラム14には、研削手段41を保持手段20に対して研削送り方向(Z軸方向)に接近及び離間させる研削送り手段31が設けられている。研削送り手段31は、コラム14に配置されたZ軸方向に平行な一対のガイドレール32と、一対のガイドレール32にスライド可能に設置されたモータ駆動のZ軸テーブル33とを有している。Z軸テーブル33の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ34が螺合されている。ボールネジ34の一端部に連結された駆動モータ35によりボールネジ34が回転駆動されることで、研削手段41がガイドレール32に沿ってZ軸方向に移動される。
The
研削手段41は、ハウジング42を介してZ軸テーブル33の前面に取り付けられており、円筒状のスピンドル43の下端にマウント44を設けて構成されている。スピンドル43にはフランジ45が設けられ、フランジ45を介してハウジング42に研削手段41が支持される。マウント44の下面には、ホイール基台47に環状に形成される砥石48が装着された研削ホイール46が保持されている。砥石48は、例えば、ダイヤモンド砥粒をレジンボンド、ビトリファイドボンド等のボンド剤で固めて形成される。
The grinding means 41 is attached to the front surface of the Z-axis table 33 via a
また、研削装置1は、保持手段20と研削手段41とを相対的に傾き調整する傾き調整手段50を備えている。傾き調整手段50は、研削手段41の内部(より具体的には、フランジ45)に設けられ、研削手段41の傾きを調整する。傾き調整手段50は、例えば、2つの可動支持部と1つの固定支持部とからなり、研削手段41を3点支持する。傾き調整手段50は、2つの可動支持部の上下動により、固定支持部を支点に研削手段41を傾斜させることで、研削手段41の傾きを調整する。
In addition, the grinding apparatus 1 includes an
このように構成された研削装置1では、先ずチャックテーブル21上に板状ワークWが保持される。図1では保持面21bが平坦に描かれているが、図2に示すように、実際の保持面21bは中央部分が低く外周部分が高く形成された中凹形状を有しており、板状ワークWも保持面21bに沿って中凹形状に保持される。そして、砥石48の研削面に対して中凹形状の板状ワークWの上面(保持面21b)が平行になるように研削手段41の傾きが調整された後、研削水が供給されながら砥石48と板状ワークWが回転接触することで研削される。研削加工中は、図示しない厚み測定手段によって板状ワークWの厚みがリアルタイムに測定され、厚み測定手段の測定結果に基づいて研削手段41の送り量が制御されている。
In the grinding apparatus 1 configured as described above, the plate-like workpiece W is first held on the chuck table 21. In FIG. 1, the
ところで、上記したように、材質の異なる複数枚の板状ワークを貼り合わせた積層ワークで構成される板状ワークの場合、材質の違いに起因して反りが生じていることがある。このような反りを持った板状ワークは、チャックテーブルに吸引保持される際に、保持面とは反対の方向に反力(復帰力)が作用し、板状ワークの一部分が保持面から浮き上がってしまうおそれがあった。また、この状態で研削加工が実施されると、保持面から浮き上がった板状ワークの一部が砥石に引っ掛かってしまい、板状ワークが保持面から引き離されてしまうおそれもあった。これらにより、適切な吸引保持がなされることなく、均一な厚みで板状ワークを研削することができないという問題があった。 By the way, as described above, in the case of a plate-like workpiece composed of a laminated workpiece in which a plurality of plate-like workpieces of different materials are bonded together, warping may occur due to the difference in material. When a plate-like workpiece with such warpage is sucked and held by the chuck table, a reaction force (return force) acts in the direction opposite to the holding surface, and a part of the plate-like workpiece rises from the holding surface. There was a risk of it. In addition, when the grinding process is performed in this state, a part of the plate-shaped workpiece that has been lifted from the holding surface is caught by the grindstone, and the plate-shaped workpiece may be separated from the holding surface. As a result, there is a problem that the plate-like workpiece cannot be ground with a uniform thickness without appropriate suction and holding.
そこで、本件発明者は、反りを持った板状ワークの形状に着目し、本発明に想到した。すなわち、本発明では、チャックテーブルの保持面の形状を板状ワークの反り形状に合わせ、板状ワークを吸引保持したときに板状ワークを保持面の形状に倣わせることで、板状ワークの一部分が保持面から浮き上がることを防止している。これにより、板状ワークを適切に吸引保持することができ、均一な厚みで板状ワークを研削することが可能になっている。 Therefore, the present inventor has focused on the shape of a plate-like workpiece having warpage and has come up with the present invention. That is, in the present invention, the shape of the holding surface of the chuck table is matched with the warped shape of the plate-like workpiece, and when the plate-like workpiece is sucked and held, the plate-like workpiece is made to follow the shape of the holding surface. Is prevented from lifting from the holding surface. Thereby, a plate-shaped workpiece can be appropriately sucked and held, and the plate-shaped workpiece can be ground with a uniform thickness.
ここで、図2を参照して、本実施の形態に係る保持手段について説明する。図2は、本実施の形態に係る研削装置の模式図である。 Here, the holding means according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic diagram of the grinding apparatus according to the present embodiment.
図2に示すように、保持手段20は、円板状のチャックテーブル21と、チャックテーブル21が載置される円板状のテーブル基台22と、テーブル基台22を介してチャックテーブル21を回転駆動する回転手段23とを含んで構成される。チャックテーブル21には、多孔質部材で形成されるポーラス材21aがはめ込まれている。ポーラス材21aは、板状ワークWの外径より僅かに小さい円板状に形成されている。チャックテーブル21の上面は、板状ワークWを吸引保持する保持面21bになっている。
As shown in FIG. 2, the holding means 20 includes a disk-shaped chuck table 21, a disk-shaped
保持面21bは、中央部分より外周部分が高い中凹形状を有している。より具体的には、中央部分(チャックテーブル21の回転中心)だけが僅かに上方に突出しており、径方向外側に向かうに従って保持面21bの高さ徐々に高くなるように傾斜している。そして、結果として中央部分の高さより外周部分の高さが高くなっている。また、チャックテーブル21及びテーブル基台22の内部には、ポーラス材21aに連通する連通路21c、22aが形成されており、テーブル基台22の連通路22aの先には、吸引源24が接続されている。ポーラス材21aには、連通路21c、22aを介して吸引源24の吸引力が伝達される。これにより、保持面21bに負圧が生じ、板状ワークWを保持面21bに吸引保持することができる。なお、本発明における中凹形状とは、保持面21bの中央部分に対して外周部分が高くなるような形状を含むものとし、保持面21bの傾斜度合いは、板状ワークWの反り具合に近く、研削面と平行になり得る程度の傾斜であることが好ましい。
The holding
研削対象となる板状ワークWは、被研削面となる上面の中央部分が凹んでおり、中央部分から外周部分に向かって上側に反った形状を有している。このように、本実施の形態においては、チャックテーブル21の保持面21bを板状ワークWの反り形状に合わせて形成している。これにより、反った板状ワークWを保持面21bに吸引保持させたときに、板状ワークWに元の反り形状に戻ろうとする反力が生じたとしても、保持面21bが板状ワークWと相補形状のため、板状ワークWの裏面全体を保持面に接触させることができる。よって、板状ワークWの外周部分が、保持面21bから浮き上がるのを防止することができる。
The plate-like workpiece W to be ground has a concave central portion of the upper surface serving as a surface to be ground, and has a shape that warps upward from the central portion toward the outer peripheral portion. Thus, in the present embodiment, the holding
次に、図3を参照して、本実施の形態に係る研削装置の研削動作について説明する。図3は、本実施の形態に係る研削方法の動作説明図である。 Next, with reference to FIG. 3, the grinding operation of the grinding apparatus according to the present embodiment will be described. FIG. 3 is an operation explanatory diagram of the grinding method according to the present embodiment.
図3に示すように、板状ワークWが保持面21bに吸引保持された状態で、保持手段20が研削手段41の下方に位置付けられる。より具体的には、チャックテーブル21の回転軸と研削ホイール46の回転軸とが偏心され、さらに砥石48がチャックテーブル21の回転軸(保持面21bの中心(頂点))の真下になるように、保持手段20が位置付けられる。このとき、砥石48の研削面48aと保持面21bとが平行になるように傾き調整手段50によって研削手段41の傾きが調整される。
As shown in FIG. 3, the holding means 20 is positioned below the grinding means 41 in a state where the plate-like workpiece W is sucked and held by the holding
チャックテーブル21及び研削ホイール46を回転させ、研削手段41を研削送り手段31によって下降させる。そして、砥石の研削面48aと板状ワークWの被研削面Waとが接触される。このとき、板状ワークWの中心から外周に至る半径部分に砥石48が接触され、いわゆるインフィード研削が実施される。上記したように、板状ワークWの裏面全体が保持面に吸引保持され、板状ワークWの外周部分が保持面21bから浮き上がるのが防止されているため、砥石48が板状ワークWの外周部分に引っ掛かることがない。また、研削面48aと保持面21bが平行になっているため、板状ワークWの半径部分と砥石48が回転接触されることで、結果として、板状ワークWの全面が均一な厚みで研削される。
The chuck table 21 and the
以上のように、本実施の形態に係る研削装置1によれば、保持面21bが中凹形状に形成されるため、外周部分が浮き上がった板状ワークWであっても、保持面21bの形状に倣って吸引保持される。よって、板状ワークWが保持面21bから離れようとする反力を抑えることができ、適切に板状ワークWを吸引保持することができる。また、保持面21bと研削面とが平行になるように保持手段20と研削手段41の傾きが調整されるため、均一な厚みで板状ワークを研削することができる。
As described above, according to the grinding device 1 according to the present embodiment, since the holding
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. In the above-described embodiment, the size, shape, and the like illustrated in the accompanying drawings are not limited to this, and can be appropriately changed within a range in which the effect of the present invention is exhibited. In addition, various modifications can be made without departing from the scope of the object of the present invention.
例えば、上記した実施の形態では、環状に配設される砥石48として、環状に形成される単一の砥石48を用いたが、この構成に限定されない。例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めた複数のセグメント砥石を環状に等間隔に配設する構成にしてもよい。
For example, in the above-described embodiment, the
また、上記した実施の形態では、研削手段41に傾き調整手段50が設けられ、傾き調整手段50は、研削手段41の傾きを調整する構成としたが、この構成に限定されない。傾き調整手段50は、保持手段20に設けられてもよく、保持手段20の傾きを調整する構成としてもよい。
Further, in the above-described embodiment, the inclination adjusting means 50 is provided in the grinding means 41, and the inclination adjusting means 50 is configured to adjust the inclination of the grinding means 41, but is not limited to this configuration. The
また、上記した実施の形態では、傾き調整手段50を3つの支持部(可動支持部、固定支持部)で構成したが、この構成に限定されない。傾き調整手段50は、3つ以上の支持部で構成されてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the tilt adjusting means 50 is configured by three support portions (movable support portion, fixed support portion), but is not limited to this configuration. The inclination adjusting means 50 may be composed of three or more support portions.
また、上記した実施の形態では、反りを持った板状ワークWを研削加工の対象としたが、この構成に限定されない。例えば、反りを持たない平坦な板状ワークWを研削加工の対象としてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the plate-like workpiece W having warpage is the object of grinding, but is not limited to this configuration. For example, a flat plate-like workpiece W having no warp may be a grinding target.
また、上記した実施の形態では、チャックテーブル21の保持面21bが中凹形状で、砥石48の研削面48aと保持面21bとが平行になるように傾き調整手段50で傾き調整する構成としたが、この構成に限定されない。予め、傾き調整された研削手段41でポーラス材21aの表面を研削して中凹形状の保持面21bを形成(セルフグラインド)してもよい。保持面21bを中凹形状にセルフグラインドする方法の例としては、保持面21bが平面であった場合に、保持面21bの中心と研削面48aとの距離が、保持面21bの外周と研削面48aとの距離よりも小さくなるように傾き調整手段50で傾き調整する。そして、砥石48aで保持面21bを研削して保持面21bを中凹形状に整形することにより、保持面21bと研削面48aとを平行にすることができる。
Further, in the above-described embodiment, the holding
以上説明したように、本発明は、反りを持った板状ワークであっても適切に吸引保持して、均一な厚みで研削することができるという効果を有し、特に、反りを持った積層板状ワークを研削する研削装置に有用である。 As described above, the present invention has an effect that even a plate-like workpiece having warpage can be appropriately sucked and held and ground with a uniform thickness, and in particular, a laminated layer having warpage. This is useful for a grinding apparatus for grinding a plate workpiece.
W 板状ワーク
1 研削装置
21 チャックテーブル
21b 保持面
20 保持手段
41 研削手段
46 研削ホイール
48 砥石
48a 研削面
50 傾き調整手段
W plate-like workpiece 1
Claims (1)
該チャックテーブルで保持する該板状ワークを環状に配設された砥石を備える研削ホイールの研削面で研削する研削手段と、
該保持手段と該研削手段とを相対的に傾き調整させる傾き調整手段と、を備えた研削装置であって、
該板状ワークは、中央部分が凹んで中央部分から外周部分に向かって上側に反った形状を有しており、
該チャックテーブルの該保持面は、回転中心を含む中央部分が上方に突出しつつも、該中央部分から径方向外側に向かうに従って徐々に高くなるように傾斜し、上方に突出した該中央部分より外周部分が高い中凹形状に形成され、
該チャックテーブルは、該板状ワークを該保持面の形状に倣わせるように吸引保持し、
該傾き調整手段は、該保持面の中心から外周に至る半径部分と該砥石の該研削面とが平行となるように該保持手段と該研削手段との傾き関係を調整し、
該研削手段は、該研削ホイールを回転させ、回転する該チャックテーブルに保持された該板状ワークの中心から外周に至る半径部分に該研削面を接触させてインフィード研削を実施する研削装置。 Holding means for rotatably mounting a chuck table having a holding surface for holding a plate-like workpiece;
A grinding means for grinding the plate-shaped workpiece to be held by the chuck table in the grinding surface of the grinding wheel comprising a grinding wheel disposed annularly,
An inclination adjusting means for adjusting the inclination of the holding means and the grinding means relative to each other,
The plate-like work has a shape in which the central portion is recessed and warps upward from the central portion toward the outer peripheral portion,
The holding surface of the chuck table is inclined so that the central portion including the center of rotation protrudes upward, but gradually increases from the central portion toward the outer side in the radial direction. The part is formed in a high concave shape,
The chuck table sucks and holds the plate-like workpiece so as to follow the shape of the holding surface;
The inclination adjusting means adjusts the inclination relationship between the holding means and the grinding means so that the radius portion from the center of the holding surface to the outer periphery and the grinding surface of the grindstone are parallel to each other,
The grinding device is configured to perform in-feed grinding by rotating the grinding wheel and bringing the grinding surface into contact with a radial portion from the center to the outer periphery of the plate-like workpiece held by the rotating chuck table .
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