JP2011189444A - ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 - Google Patents
ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011189444A JP2011189444A JP2010056817A JP2010056817A JP2011189444A JP 2011189444 A JP2011189444 A JP 2011189444A JP 2010056817 A JP2010056817 A JP 2010056817A JP 2010056817 A JP2010056817 A JP 2010056817A JP 2011189444 A JP2011189444 A JP 2011189444A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- pulley
- nozzle
- saw
- electrolyte
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
ソーワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔(ノズルの設置間隔に依存する間隔)の溝を電解加工により効率よく形成することができる電解加工装置および電解加工方法を提供する。
【解決手段】
プーリー1に掛け回されたワイヤWRの表面に、長さ方向に沿った所定間隔の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造装置100であって、ワイヤが掛け回された領域においてワイヤを断続的に張架する、複数のワイヤ支持部11と、隣接する2つのワイヤ支持部間に張架されたワイヤWRに向けて電解液を出射する、複数のノズル12と、を有するワイヤ加工用のプーリー1、ワイヤWRと、当該ワイヤに向けて出射された電解液LQとの間に電圧を与える電源2、および、ノズル12から出射される前記電解液に出射圧を与えるポンプ3を備える。
【選択図】 図2
Description
電解加工機9では、複数のノズルからフィルム状の電解液FLQをワイヤWRに向けて出射し、図15(B)に示すようにフィルム状の電解液FLQとワイヤWRとの間に加工電圧Eを与えている。
以上のようにして、ワイヤWRには、図15(C)に示すような溝が形成される。
(1)
プーリーに掛け回されたワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔(ノズルの設置間隔に依存する間隔)の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造装置であって、
前記ワイヤが掛け回された領域において前記ワイヤを断続的に張架する、複数のワイヤ支持部と、
隣接する2つのワイヤ支持部間に張架されたワイヤに向けて電解液を出射する、複数のノズルと、
を有するワイヤ加工用の前記プーリー、
前記ワイヤと、当該ワイヤに向けて出射された前記電解液との間に電圧を与える電源、および、
前記ノズルから出射される前記電解液に出射圧を与えるポンプ、
を備えたことを特徴とするソーワイヤ製造装置。
前記プーリーの前段に前記ワイヤに捩じりを加えて前記プーリーに送り出す加捩装置を備えたことを特徴とする(1)に記載のソーワイヤ製造装置。
(3)
プーリーに掛け回されたワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔(ノズルの設置間隔に依存する間隔)の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造方法であって、
前記ワイヤが掛け回された領域において前記ワイヤを断続的に張架し、当該張架されたワイヤに向けて電解液を出射し、
前記ワイヤと、当該ワイヤに向けて出射された前記電解液との間に電圧を与えるとともに、前記ノズルから出射される前記電解液に出射圧を与える、
ことを特徴とするソーワイヤ製造方法。
前記プーリーに掛け回されたワイヤに捩じりを加えることを特徴とする(3)に記載のソーワイヤ製造方法。
プーリー1は、複数のワイヤ支持部11と、これと同数のノズル12を周面に有している。ワイヤ支持部11の周側にはワイヤ溝Gが形成されている。プーリー1は、モータにより定速駆動され、ワイヤWRは、プーリー1に掛け回された領域において電解加工される。
隣接する2つのワイヤ支持部11,11は、ワイヤWRが掛け回された領域においてワイヤWRを断続的に張架する。「ワイヤWRが掛け回された領域」が、プーリー1の中心角のθ〔rad〕に対応する場合には、当該「領域」の長さはθ×R〔rad〕となる。本実施形態ではθ=πとしてあるが、θはπよりも小さくすることもできるし、大きくすることもできる。
ノズル12は、隣接する2つのワイヤ支持部11,11間に張架されたワイヤWRに向けて電解液FLQを出射するように構成される。
本実施形態では、ノズル12からはフラットなフィルム状の電解液が出射され、ワイヤWRに溝が形成される。
本実施形態でも、ノズル12からはフラットなフィルム状の電解液が出射され、ワイヤWRに溝が形成される。
すなわち、図6(A),(B)に示すように、ノズル12は、挟持材121と、薄板材122と、挟持材123とを結合(積層)することより構成されている。薄板材122は、流路FPとなる形状の切り欠きを有している。また、挟持材121,123は、薄板材122の両面側に設けられる。挟持材121、薄板材122、挟持材123には、液溜を形成するための孔h1,h2,h3が形成されている。なお、挟持材121,123の両側には保持材124,125が設けられている。保持部材124,125には、電解液供給用の孔HLが形成されている。
図6(A),(B)のノズル12の構成要素は、プーリー1の面に平行なので、作成が容易である。
2 電源
3 ポンプ
5 半導体インゴット
11 ワイヤ支持部
12 ノズル
100 ソーワイヤ製造装置
121,123 挟持材
122 薄板材
124 保持材
B1 送り出しボビン
B2 巻き取りボビン
E 加工電圧
FLQ フィルム状電解液
FP 流路
h1,h2,h3 孔
G ワイヤ溝
L1 距離
OUT 出射口
q 研磨材
Claims (4)
- プーリーに掛け回されたワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造装置であって、
前記ワイヤが掛け回された領域において前記ワイヤを断続的に張架する、複数のワイヤ支持部と、
隣接する2つのワイヤ支持部間に張架されたワイヤに向けて電解液を出射する、複数のノズルと、
を有するワイヤ加工用の前記プーリー、
前記ワイヤと、当該ワイヤに向けて出射された前記電解液との間に電圧を与える電源、および、
前記ノズルから出射される前記電解液に出射圧を与えるポンプ、
を備えたことを特徴とするソーワイヤ製造装置。 - 前記プーリーの前段に前記ワイヤに捩じりを加えて前記プーリーに送り出す加捩装置を備えたことを特徴とする請求項1に記載のソーワイヤ製造装置。
- プーリーに掛け回されたワイヤの表面に、長さ方向に沿った所定間隔の溝を電解加工により形成するソーワイヤ製造方法であって、
前記ワイヤが掛け回された領域において前記ワイヤを断続的に張架し、当該張架されたワイヤに向けて電解液を出射し、
前記ワイヤと、当該ワイヤに向けて出射された前記電解液との間に電圧を与えるとともに、前記ノズルから出射される前記電解液に出射圧を与える、
ことを特徴とするソーワイヤ製造方法。 - 前記プーリーに掛け回されたワイヤに捩じりを加えることを特徴とする請求項3に記載のソーワイヤ製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010056817A JP5136805B2 (ja) | 2010-03-13 | 2010-03-13 | ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010056817A JP5136805B2 (ja) | 2010-03-13 | 2010-03-13 | ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011189444A true JP2011189444A (ja) | 2011-09-29 |
JP5136805B2 JP5136805B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=44794906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010056817A Expired - Fee Related JP5136805B2 (ja) | 2010-03-13 | 2010-03-13 | ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5136805B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000317804A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-21 | Denso Corp | ワイヤソー加工用ワイヤ及びワイヤ処理装置 |
JP2007196312A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Japan Fine Steel Co Ltd | ソーワイヤ及びその製造方法 |
JP2009148879A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-07-09 | Nokodai Tlo Kk | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法及び製造装置 |
-
2010
- 2010-03-13 JP JP2010056817A patent/JP5136805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000317804A (ja) * | 1999-05-11 | 2000-11-21 | Denso Corp | ワイヤソー加工用ワイヤ及びワイヤ処理装置 |
JP2007196312A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Japan Fine Steel Co Ltd | ソーワイヤ及びその製造方法 |
JP2009148879A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-07-09 | Nokodai Tlo Kk | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法及び製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5136805B2 (ja) | 2013-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010260151A (ja) | ワイヤ放電加工装置及び放電加工方法 | |
US20120217224A1 (en) | Wire electric discharge machining apparatus, wire electric discharge machining method, thin board manufacturing method, and semiconductor wafer manufacturing method | |
WO2016178297A1 (ja) | ワイヤソー装置 | |
JP5136805B2 (ja) | ソーワイヤ製造装置およびソーワイヤ製造方法 | |
TW201725103A (zh) | 晶棒的切斷方法 | |
KR102418414B1 (ko) | 멀티 와이어 소 | |
JP2006346848A (ja) | 超音波ワイヤソー装置 | |
JP6397738B2 (ja) | ウェーハの製造方法 | |
JP6072236B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、これを用いた薄板の製造方法及び半導体ウエハの製造方法 | |
JP2009226573A (ja) | 超音波ローラーを用いた超音波ワイヤソー装置 | |
JP2000109397A (ja) | 導電性を有するインゴット及びその切断方法 | |
JP2009291930A (ja) | ワイヤソー装置およびこれを用いた切断方法 | |
JP2010105051A (ja) | 形彫放電加工方法および形彫放電加工装置 | |
JP2014161924A (ja) | ワイヤソー | |
JP4441254B2 (ja) | 部分めっき装置および部分金めっきシステム | |
JP2015091613A (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法 | |
JP2016036860A (ja) | マルチワイヤ放電加工装置 | |
JP5478544B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 | |
KR101780328B1 (ko) | 잉곳 절단 장치, 와이어 세정기 및 잉곳 절단 와이어 세정 방법 | |
CN104057543B (zh) | 一种磁场辅助的多线锯切割机 | |
JP4309825B2 (ja) | ワイヤソー | |
JP2011189443A (ja) | 電解加工用ノズル、電解加工装置および電解加工方法 | |
JP6558538B2 (ja) | ワイヤーの接続方法 | |
JP2010172993A (ja) | ワーク切断方法及びワイヤソー | |
JPWO2017141382A1 (ja) | マルチワイヤ走行モジュール、マルチワイヤ走行モジュールの使用方法及びワイヤ放電加工機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121030 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |