JP2009226573A - 超音波ローラーを用いた超音波ワイヤソー装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワイヤが長寿命であり、且つ加工精度が高く、信頼性の高いワイヤソー装置を提供すること。
【解決手段】ワイヤソー装置1は、1本のワイヤ2を巻きつける3個の多溝ローラー3a、3b、3cを有し、各多溝ローラーに、ワイヤ列を構成し、ワイヤ2をワイヤ駆動モータ4により駆動されるドライブ側多溝ローラー3aの駆動により往復運動させる。またワイヤを巻き取り、送り出すボビン5a、5bを持っている。多溝ローラー3b、3cは、5個の分割ローラーを配置したものからなっている。隣り合う分割ローラーの間隔は0.2mmの間隔である。回転軸の通る穴の外周に軸方向に貫通するスリットが配置されている。その外周に円環状の圧電セラミックがエポキシ樹脂を用いて接合されている。分割ローラーの表面にはポリエチレン製のローラーリングが設けられる。また、ローラーリングには複数のワイヤをガイドする溝が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】ワイヤソー装置1は、1本のワイヤ2を巻きつける3個の多溝ローラー3a、3b、3cを有し、各多溝ローラーに、ワイヤ列を構成し、ワイヤ2をワイヤ駆動モータ4により駆動されるドライブ側多溝ローラー3aの駆動により往復運動させる。またワイヤを巻き取り、送り出すボビン5a、5bを持っている。多溝ローラー3b、3cは、5個の分割ローラーを配置したものからなっている。隣り合う分割ローラーの間隔は0.2mmの間隔である。回転軸の通る穴の外周に軸方向に貫通するスリットが配置されている。その外周に円環状の圧電セラミックがエポキシ樹脂を用いて接合されている。分割ローラーの表面にはポリエチレン製のローラーリングが設けられる。また、ローラーリングには複数のワイヤをガイドする溝が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、酸化物単結晶材料、半導体材料、磁性材料、セラミック等の脆性材料をワイヤにより切断するワイヤソーに関する。
一般にワイヤソーは、複数の加工用ローラーが所定間隔をおいて配設され、それらのローラーの外周に複数の環状溝が所定ピッチで形成されており、それらの環状溝間には1本のワイヤが順に巻回されている。そして、加工用ローラーの回転にともなって、ワイヤを走行させながら、そのワイヤ上に遊離砥粒を含むスラリを供給し、この状態でワイヤに対し被切断物を押し付け接触させて、被切断物を切断するように構成されている。
このように構成されるワイヤソーにおいては、切断能力を向上させるために各種の提案がなされている。例えば、特許文献1においては、外周に凹凸部を有した補助ローラーを被切断物近傍のワイヤに接触するように設け、このローラーの回転によりワイヤに対して直接上下に振動を付与するようにしている。
特開平8−99262号公報
しかしながら、上に述べたワイヤソーにおいては、ワイヤと補助ローラーが接触することにより、補助ローラーの外周に凹凸部が平坦化するためワイヤの振動は小さくなってしまう。このため、補助ローラーの頻繁な交換が必要である。また、被切断物の材質、形状等に応じてワイヤの振動数や振幅を調節するのが好ましいが、補助ローラーで振動を与える構成では、補助ローラーが装置の一部であるため、補助ローラー単独でこのような調節を行うことは難しい。
そこで特許文献2のワイヤソーが提案された。このワイヤソー装置は、一対の磁界発生器を被切断物の加工域におけるワイヤ進行方向両側に設ける。そして、磁界発生器に対して、所定の駆動出力を供給し、磁界発生器を動作させて、ワイヤを間欠的に吸引し、ワイヤに対して上下振動を付与する。
特開2001−62700号公報
この発明によれば、ワイヤ列に近接し、微少間隔を介してワイヤに振動を付与する振動手段が設けられるため、ワイヤの振動により、ワイヤと被切断物との間に十分な量のスラリを供給することができ、効率的な切断加工を行うことができるとされている。しかも、ワイヤに振動を付与する振動付与手段がワイヤと接触しないため、その振動付与手段がワイヤによって切断されたり、磨耗されたりすることがなく、耐久性を向上させることができるとされている。
上記の特許文献2に記載のワイヤソーにおいては、交流電源から磁界発生器によりワイヤに交番する振動力を印加するものであるが、例えば0.12mm直径のような細いワイヤには、十分な超音波振動を励起することは困難である。
また、磁界発生を発生させるための交流電源は、15KHz以上の超音波領域では、効率が低く熱を発生させるのでワイヤの温度を上昇させる虞がある。ワイヤの温度上昇は加工精度の悪化そしてワイヤの寿命を短くすることの原因にもなる。
さらに、ローラーの外周に設けられた環状溝から、ワイヤが振動により外れてしまう虞がある。
本発明の目的は、加工精度が高くかつ、切断速度を向上させることができるワイヤソーおよびこれを用いた切断方法を提供することである。
本発明は、回転軸に取り付けたローラーの内周部にスリット、溝、孔などの空間部を設け、その外周に圧電セラミックを接合し、前記圧電セラミックに15KHz以上の電圧を印加する超音波ローラーとするものである。
本発明はまた、前記超音波ローラーの外周にワイヤと接する有機材料からなる層を設けるワイヤソー装置とするものである。
本発明のワイヤソー装置を用いた切断加工により、高精度かつ高速加工が可能となり、さらにワイヤが長寿命となる。
以下、本発明に関わるワイヤソー装置の実施の形態について図1の斜視図を用いて説明する。ワイヤソー装置1は、1本のワイヤ2を巻きつける3個の多溝ローラー3a、3b、3cを有し、各多溝ローラーに、例えば約120ミクロンの直径を有するワイヤ2を巻き付けるワイヤ列を構成し、このワイヤ列のワイヤ2をワイヤ駆動モータ4により駆動されるドライブ側多溝ローラー3aの駆動により往復運動させるようになっている。またワイヤ2を巻き取り、送り出すボビン5a、5bを持っている。多溝ローラー3a、3b、3cの表面に設けられた複数の溝は図面の都合上省略した。
被切断物9のワイヤ方向の前後に配置された多溝ローラー3b、3c等を図2の斜視図を用いて示す。多溝ローラー3b、3cの表面はポリエチレン製のローラーリング14で覆われている。ポリエチレン製のローラーリング14は、分割されていないので、スラリー液は、分割ローラー10の内部には浸透しない。ポリエチレン製のローラーリング14には複数のワイヤ2をガイドする溝が設けられている。ローラーリング14の中には5個の分割ローラー10a、10b、10c、10d、10eが図3の平面図に示すように回転軸15に取り付けられている。そして隣り合う分割ローラー10の間隔は0.2mmの間隔である。
回転軸15は、軸受け16により回転自在に支持されている。そして軸受け16はローラー支持台17に取り付けられている。また、ローラー支持台17には固定側のロータリートランス21aも取付けられている。回転軸15には回転側のロータリートランス21bが固定されている。回転側のロータリートランス21bと分割ローラー10に接合された圧電セラミック20の電極は図示しないリード線で電気的に結ばれている。
また、ワイヤ列に対向する上方には、送りモータ6を有し被切断物9を送るフィードユニット7が設けられており、このフィードユニット7のカーボンベース8に接着された被切断物9、例えばサファイアインゴットをワイヤ列に押し付けて研磨切断するようになっている。
超音波ローラーである多溝ローラー3b、3cと被切断物9の間のワイヤ列にスラリ13を供給するスラリポンプを有するスラリ供給装置12が設けられている。
図4の平面図そして図4のA−A線での断面を示す図5で分割ローラー10を詳細に示す。ステンレス製の分割ローラー10は、回転軸15の通る穴の外周に回転軸15方向に貫通するスリット11が配置されている。そしてその外周に円環状の圧電セラミック20a、20bがエポキシ樹脂を用いて接合されている。分割ローラー10が回転軸方向の振動を小さくし、径方向に効率よく振動する振動モードには、直径Dは幅Wの2倍以上が必要である。
スリット11は圧電セラミック20の超音波振動を回転軸15方向に伝播させないで、かつスリット11より外周部だけに超音波振動を励起するためのものである。スリット11の空間は圧電セラミック20が発生させた超音波振動を反射するものであり、理想的には全周にあることが望ましいが、構造的にスリット11で分割されてしまうため不可能である。したがって、スリット11を径方向に2重にすることで、構造的に分割しないで、かつほぼ全周にわたり超音波振動を反射することができる。
ここで多溝ローラー3b、3cは、超音波振動を発生するので超音波ローラーと呼ぶ。
次に本発明のワイヤソー装置を用いたサファイアインゴットの切断方法について説明する。
最初に、図1に示すように、被切断物9であるサファイアインゴットをカーボンベース8に接着する。ワイヤ駆動モータ4を回転させて、ワイヤ列を高速で動かし、そして図2に示す固定側のロータリートランス21a、回転側のロータリートランス21bを介して超音波ローラーである多溝ローラー3b、3cの各々の分割ローラー10a、10b、10c、10d、10eの圧電セラミック20に超音波発振器よりの超音波交流電圧を印加する。この際分割ローラー10a、10b、10c、10d、10eのそれぞれの固有振動数が異なるため、固有振動数の最小、最大値を含むスイープ周波数の電圧を印加するとよい。
さらに、ワイヤ列にスラリ供給装置12を作動させスラリ13を供給し、送りモータ6を回転させてサファイアインゴットをワイヤ列に接触させ、切断を開始し、切断を継続する。
ワイヤ2と接触する超音波ローラーである多溝ローラー3b、3cと多溝ローラー3aのローラーリング14はワイヤに損傷を与えないためにワイヤに比較して硬度が低いプラスチック製とした。ローラーリング14の消耗が大きいときは、例えば炭素繊維複合材料のような繊維によりプラスチックを強化した複合材料が適している。
多溝ローラー3a、3b、3cの表面層のローラーリング14には溝が設けられている。この溝にはワイヤ2が通るが、超音波振動の効果により、ワイヤ2と溝との摩擦力は小さくなる。それ故、装置コストは大きくなるが、多溝ローラー3cも超音波ローラーにすることが望ましい。したがって、摩擦によるワイヤと溝の損傷は小さくなる。
分割ローラー10の圧電セラミック20に超音波発振器より約25KHzの超音波交流電圧を固定側のロータリートランス21a、回転側のロータリートランス21bを介して印加すると、ローラーリング14の半径方向に沿ってワイヤ2は5ミクロン以上、上下に振動する。ワイヤ2の振幅量の調整は、超音波交流電圧の大きさ又は超音波発振周波数を変えることにより簡単に行うことができる。
ローラーリング14の振動をワイヤ2に伝達するので、ワイヤ2とローラーリング14の距離はほとんどない。したがって、ローラーリング14の溝からワイヤ2は外れることが無い。
ワイヤ2の超音波振動により、ワイヤ2と被切断物との摩擦が減少することにより、ワイヤの消耗は少なくなり、かつワイヤの切断の恐れも小さくなる。さらに、ワイヤと被切断物との摩擦熱が小さくなるため、加工精度も向上する。そして、また超音波振動の効果により切断速度が向上する。
また、ワイヤの超音波振動により、ワイヤと被切断物との間にスラリが十分供給されるので、切断速度が向上する。さらに、被切断物の切断粉及びワイヤの消耗粉などが速やかに排除されるため加工精度は向上し、切断速度も向上する。
なお超音波切削加工は、例えば、非特許文献1に詳しく記載されている。超音波切削加工は、加工対象物と工具との摩擦抵抗が、小さくなるため、加工面の熱歪みが低減され、加工精度が高くなり、そして、切削工具の寿命が長くなるなどの利点を有している。そして、加工速度が倍以上になることも非特許文献2に詳しく記載されている。
超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p679−684 日本電子機械工業会、「超音波工学」、株式会社コロナ社、1993年、p218−229
超音波便覧編集委員会、「超音波便覧」、丸善株式会社、平成11年8月、p679−684 日本電子機械工業会、「超音波工学」、株式会社コロナ社、1993年、p218−229
上記のように、ワイヤに超音波振動を付与することによりワイヤが長寿命であり、加工精度の高い、信頼性の高いワイヤソー装置を提供できる。
上記では、スリット11により超音波振動を反射させたが、図6の斜視図で示すように貫通する複数の孔18を持つ構成でも良いことは当然である。分割ローラーの中心に対して360度反射させるために複数の孔は、2重以上が望ましい。
さらに図7の斜視図で示す発泡金属19または多孔質金属を用いても超音波振動を反射させることができる。
また図8の斜視図で示す円周状の溝22を用いても超音波振動を反射させることができる。そして、溝を同心円状に2重以上にしてもよい。
ここでは、多溝ローラー3b、3cを超音波ローラーとしたが、多溝ローラー3b、3cの内側に補助ローラーを設け、これを超音波ローラーとしてもよい。
本発明の超音波ローラーを用いることによりワイヤにダイヤモンドを電着した固定砥粒方式のワイヤにおいても同様の効果が得られる。
さらにワイヤに目標とする超音波振動の大きさに調整するため、ワイヤの超音波振動を非接触振動センサを用いることが望ましい。
本発明のワイヤソー装置は、半導体材料、磁性材料、セラミック等の脆性材料を切断することに用いることができる。
1 ワイヤソー装置
2 ワイヤ
3 多溝ローラー
4 ワイヤ駆動モータ
5 ボビン
6 送りモータ
7 フィードユニット
8 カーボンベース
9 被切断物
10 分割ローラー
11 スリット
12 スラリ供給装置
13 スラリ
14 ローラーリング
15 回転軸
16 軸受け
17 ローラー支持台
18 孔
19 発泡金属
20 圧電セラミック
21 ロータリートランス
22 溝
2 ワイヤ
3 多溝ローラー
4 ワイヤ駆動モータ
5 ボビン
6 送りモータ
7 フィードユニット
8 カーボンベース
9 被切断物
10 分割ローラー
11 スリット
12 スラリ供給装置
13 スラリ
14 ローラーリング
15 回転軸
16 軸受け
17 ローラー支持台
18 孔
19 発泡金属
20 圧電セラミック
21 ロータリートランス
22 溝
Claims (2)
- 回転軸に取り付けたローラーの内周部にスリット、溝、孔などの空間部を設け、その外周に圧電セラミックを接合し、前記圧電セラミックに15KHz以上の電圧を印加することを特徴とする超音波ローラー。
- 前記超音波ローラーの外周にワイヤと接する有機材料からなる層を設けることを特徴とするワイヤソー装置である。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008108320A JP2009226573A (ja) | 2008-03-21 | 2008-03-21 | 超音波ローラーを用いた超音波ワイヤソー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009226573A true JP2009226573A (ja) | 2009-10-08 |
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ID=41242591
Family Applications (1)
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JP2008108320A Withdrawn JP2009226573A (ja) | 2008-03-21 | 2008-03-21 | 超音波ローラーを用いた超音波ワイヤソー装置 |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102205560A (zh) * | 2010-11-30 | 2011-10-05 | 沈阳理工大学 | 一种切割线振动的超声锯切机床 |
JP2011255461A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Mitsubishi Plastics Inc | ワイヤーソー及びそのメインローラー |
JP2012045682A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Tokuriki Honten Co Ltd | 固定砥粒ワイヤーソー装置 |
CN103978560A (zh) * | 2014-05-27 | 2014-08-13 | 华侨大学 | 一种快换式超声振动辅助锯切装置 |
US20160380178A1 (en) * | 2013-11-26 | 2016-12-29 | Namiki Seimitsu Houseki Kabushiki Kaisha | Vibration actuator |
CN111516161A (zh) * | 2020-04-13 | 2020-08-11 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种金刚线切割机滑轮片的制备方法 |
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2008
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Legal Events
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