JP2011184750A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜容器と、基板を保持する基板保持部と、基板と対向する位置に配置された成膜源と、基板保持部と成膜源との間に配置された開閉可能なシャッターとを有する成膜装置において、シャッター20を、成膜源やプラズマから発生される熱を基板側に放射する材料で構成する。シャッター材料は、成膜温度における放射率が0.70以上のものを用いる。
【選択図】図4
Description
<基板温度の変化>
図2に示すような、中間電極(3つ)を持ったプラズマガン50が取り付けられている反射型圧力勾配型アーク放電イオンプレーティング装置を用いて、ペロブスカイト型酸化物で強誘電体および圧電体の特性を示すチタン酸ジルコン酸鉛PZT(Pb(ZrxTi1-x)O3)薄膜の形成を実施した。その際、反応開始前から開始後までの基板温度を、熱電対によりモニターした。
イオンプレーティング装置の基板シャッターとして、実施例1では、放射率ε=0.8〜0.9のジルコン(板厚1mm)を、比較例1では、放射率ε=0.4のSUS304の銀色粗面板(板厚1mm)を用いた。それ以外の条件および成膜方法は、以下述べるように実施例1および比較例1で同様とした。
実施例1および比較例1の成膜方法により、それぞれPZT膜を10回成膜し、各回で得られたPZT膜の組成および特性(誘電率および誘電損失)の再現性を確認した。なお、目標とするPZT膜の組成はPb(Zr0.5Ti0.5)O3、目標とする誘電率および誘電損失は、それぞれ1050、3.00%である。
用いる基板の種類を異ならせて、実施例1および比較例1と同様の成膜方法で基板上にPZT膜を成膜し、基板種類の違いによる結晶構造の変化を測定した。基板として、ベアSi(厚さ500μm)、SOI(厚さ50μm/2.0μm/450μm)、ベアSi(厚さ625μm)の3種類を用いた。得られた実施例2のPZT膜のX線回折像を図9に、比較例2のPZT膜のX線回折像を図10に示す。図9および図10において、(a)はベアSi(厚さ500μm)を用いた場合、(b)はSOIを用いた場合、(c)はベアSi(厚さ625μm)を用いた場合を示す。
本発明の成膜装置は、安全性、対環境性に優れた強誘電体薄膜の製造に適している。
Claims (6)
- 成膜容器と、基板を保持する基板保持部と、前記基板と対向する位置に配置された成膜源と、前記基板と前記成膜源との間の空間にプラズマを生成するプラズマ源と、前記基板保持部と前記プラズマ源との間に配置された開閉可能なシャッターとを有する成膜装置であって、
前記シャッターは、前記プラズマ源および成膜源から発生される熱を前記基板側に放射する材料からなることを特徴とする成膜装置。 - 請求項1に記載の成膜装置において、前記シャッターの材料は、成膜温度における放射率が0.70以上であることを特徴とする成膜装置。
- 請求項1または2に記載の成膜装置において、前記シャッターの材料は、500℃から600℃における放射率が0.70以上であることを特徴とする成膜装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記シャッターの材料は、ジルコン、酸化インコネル、および酸化モリブデンから選ばれる金属酸化物からなることを特徴とする成膜装置。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の成膜装置において、前記基板保持部は、前記基板を加熱する加熱手段と、前記基板の温度を検出する温度センサと、前記温度センサが検出した温度により前記加熱手段をフィードバック制御する制御手段と、を備えることを特徴とする成膜装置。
- 成膜容器と、基板を保持する基板保持部と、前記基板と対向する位置に配置された成膜源と、前記成膜源と前記基板との間を隔てる位置に配置された開閉可能なシャッターとを有し、
前記シャッターは、前記成膜源から発生される熱を前記基板側に放射する材料からなることを特徴とする成膜装置。
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