JP2011176187A - 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体層3と内部電極層5とが交互に積層された積層体7の側面に、内部電極層5に電気的に接続された外部電極11を備えた積層型圧電体素子1であって、外部電極11に、圧電体層3および内部電極層5の積層方向に沿って延びる溝12が形成されている積層型圧電素子1である。外部電極11に溝12が形成されていることで、応力を緩和して外部電極11の剥がれや積層体7における亀裂の発生を抑えることができ、優れた耐久性を有する積層型圧電素子1とすることができる。
【選択図】図1
Description
に対して外部電極の熱膨張が異なることからも、外部電極の無い部分と外部電極のある部分との境に応力が集中することから、外部電極が積層体から剥がれたり、外部電極にクラックが発生して内部電極層に電圧が供給されずに駆動が低下したりするという問題もある。
ている。
とが好ましい。この例では、積層体7側に位置する層(最深層)11Aおよび表面側に位置する層11Bが積層された外部電極11を示している。このように複数層が積層された積層構造を有する外部電極11を設けることで、特に、急激に積層体7に応力が加わるような場合でも、溝12を起点として外部電極11の層間に亀裂を生じさせて応力を緩和することができるので、積層体7からの外部電極11の剥がれの抑止と積層体7における亀裂の抑止とを両立できる。また、積層構造を有する外部電極11であると、溝12が形成されている層について種々の溝12のパターンを形成して積層することにより、溝12の形成が比較的容易に行なえるとともに、溝12の幅を途中で異ならせたりすることが比較的容易に行なえる点でも好ましい。
向に延びる中心軸に対して回転対称の位置に配置されることによって、積層体7に加わる応力を均等に分散することで応力を緩和できるだけでなく、駆動軸がぶれない利点も併せ持つこととなり、耐久性に優れた積層型圧電素子1を得ることができる。
くなった幅を2倍から3倍の0.1〜1.5mmに設定すればよい。
しくは、図6(a)および図6(b)において、溝12を正面から見たときに外部電極11の縁側とは反対側に位置する縁の形状をC面あるいはR面のように面取りされた形状にすることで、この部分での応力集中を避けることができる。
果的に集中できるので、より好ましいものとなる。
動することができるので、極めて均一な多孔質金属粒子層からなる予定破断層13が形成できる。
極することによって、本例の積層型圧電素子1が完成する。そして、導電部材を外部の電圧供給部に接続し、導電部材および外部電極11を介して内部電極層5によって圧電体層3に電圧を印加することにより、各圧電体層3を逆圧電効果によって大きく変位させることができる。これにより、例えばエンジンに燃料を噴射供給する自動車用燃料噴射弁機構として機能させることが可能となる。
。図11は、本発明の噴射装置の実施の形態の一例を示す概略断面図である。
モンレール43に高圧燃料を供給する圧力ポンプ45と、噴射装置21に駆動信号を与える噴射制御ユニット47とを備えている。
粉末にバインダーおよび可塑剤を混合したスラリーを作製し、ドクターブレード法で厚みが150μmのセラミックグリーンシートを作製した。
銀粉末を含有する原料粉末にバインダーを加えた導電性ペーストBとを作製した。
端部には、導電性ペーストが印刷されていないセラミックグリーンシートのみをそれぞれ20枚積層し、試料番号1〜3とした。
性ペーストBを用いて印刷した。
用いた層の電極成分の銀が焼成中に隣接する銀濃度の低い金属層に拡散するために、導電
性ペーストBを用いた層に、孤立した金属粒子からなる低剛性金属層である予定破断層13が形成された。
た。
流電圧を150Hzから徐々に周波数を増加させて印加した。耐久性評価としては、各々の
圧電アクチュエータに室温で0〜+170Vの電圧の交流電圧を150Hzの周波数で印加して、1×109回まで連続駆動した試験を行なった。これらの各試料の作製条件を表1に、また試験の結果を表2に示す。
は、連続駆動後(1×109回)に、外部電極11に剥がれが見られ、また積層体7において積層部分の一部に剥がれが見られた。
は見られなかった。また、耐久性評価試験後の変位量の低下がいずれも3μm以下であり、耐久性評価試験前と比較して変位量の低下は7%以下({(48−45)/48}×100=6.25(%))に抑えられていた。また、本発明の実施例である試料番号3,4の圧電アクチ
ュエータでは、1×109回の連続駆動後も変位量の低下が確認されず、非常に高い耐久性を有していることが分かった。
3・・・圧電体層
5・・・内部電極層
7・・・積層体
11・・・外部電極
11A・・・最深層(積層体側に位置する層)
11B・・・表面側に位置する層
12・・・溝
13・・・予定破断層
14・・・スリット
15・・・溝
21・・・噴射装置
23・・・噴射孔
25・・・容器
27・・・ニードルバルブ
29・・・流体通路
31・・・シリンダ
33・・・ピストン
35・・・皿バネ
41・・・燃料噴射システム
43・・・コモンレール
45・・・圧力ポンプ
47・・・噴射制御ユニット
49・・・燃料タンク
Claims (8)
- 圧電体層と内部電極層が交互に積層された積層体と、該積層体の側面に接合されて前記内部電極層に電気的に接続された外部電極とを含む積層型圧電体素子であって、前記外部電極には、前記圧電体層および前記内部電極層の積層方向に沿って延びる溝が形成されている積層型圧電体素子。
- 前記外部電極は、複数層が積層された積層構造を有しており、前記溝は、前記外部電極の最深層よりも上側の層に形成されている請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記溝は、一端が前記外部電極の縁にある請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記溝は、前記外部電極の縁からそれに対向する縁にかけて形成されている請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記外部電極には、さらに積層方向に垂直な方向に沿って延びる第2の溝またはスリットが形成されている請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 前記積層体は、駆動時に前記内部電極層よりも優先的に破断することによって応力を緩和する予定破断層を含んでおり、前記第2の溝または前記前記スリットが前記予定破断層に対応する部位に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の積層型圧電素子。
- 噴出孔を有する容器と、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の積層型圧電素子とを備え、前記容器内に充填された液体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出される噴射装置。
- 高圧燃料を蓄えるコモンレールと、このコモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する請求項7に記載の噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えた燃料噴射システム。
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