JP2011176108A - 磁気センサー、磁気検出装置、及び磁気ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気センサー1は、チャンネル7と、チャンネル7上の強磁性体12、第一参照電極20A及び第二参照電極20Bと、チャンネル7における強磁性体12と対向する部分を覆う磁気シールドS1と、チャンネル7と磁気シールドS1の間に設けられた絶縁膜7aと、を備え、磁気シールドS1は、チャンネル7における強磁性体12と対向する部分に向かって延びる貫通穴Hを有することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
(第一実施形態)
Claims (12)
- チャンネルと、
前記チャンネル上の強磁性体、第一及び第二参照電極と、
前記チャンネルにおける前記強磁性体と対向する部分を覆う磁気シールドと、
前記チャンネルと前記磁気シールドの間に設けられた絶縁膜と、を備え、
前記磁気シールドは、前記チャンネルにおける前記強磁性体と対向する前記部分に向かって延びる貫通穴を有する、磁気センサー。 - 前記貫通穴の軸方向と、前記強磁性体の磁化方向と、が非平行である、請求項1に記載の磁気センサー。
- 前記貫通穴の軸方向からみて、前記貫通穴の全断面が、前記チャンネルと対向している、請求項1または請求項2に記載の磁気センサー。
- 前記貫通穴の底部の径は、前記貫通穴の頂部の径よりも小さい、請求項1〜3のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 前記チャンネルは屈曲形状を有し、
前記貫通穴は、前記チャンネルの屈曲部の外側面に対向して設けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の磁気センサー。 - 前記強磁性体の磁化方向は、前記強磁性体上に設けられた反強磁性体によって、固定されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 前記貫通穴の軸方向と同じ方向の磁界を前記貫通穴に供給する永久磁石を更に備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 前記強磁性体の材料は、Cr、Mn、Co、Fe、Niからなる群から選択される金属、前記群の元素を1以上含む合金、又は、前記群から選択される1以上の元素と、B、C、N、Si、Geからなる群から選択される1以上の元素とを含む化合物である、請求項1〜7のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 前記チャンネルの材料は、Si、Ge、GaAs、C、ZnOのうちのいずれか1つを含む半導体である、請求項1〜8のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 前記強磁性体と前記チャンネルとの間に、障壁層が形成されている、請求項1〜9のいずれか一項に記載の磁気センサー。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の磁気センサーを複数備える、磁気検出装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の磁気センサーからなる読取ヘッド部と、書き込み用の記録ヘッド部と、を備える、磁気ヘッド。
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