JP2011175213A - レーザ照射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ光の光路に、偏光解消板6、フライアイレンズ7及びコンデンサレンズ8、9が、この順に配置されている。偏光解消板6は、フライアイレンズ7の各レンズセルに対応する大きさを有し入射レーザ光に対して位相差を与えて出射する複数個の位相差板6a〜6dがレンズセルに1:1で対応して配置されたものであり、各位相差板は、隣り合うもの同士の出射光の偏光面が45°異なるように配置されている。
【選択図】図3
Description
5,8,9、20、22:コンデンサレンズ
6:偏光解消板
6a〜6d:位相差板
11:照射面
12:レーザ光源
Claims (4)
- レーザ光源と、このレーザ光源からのレーザ光の光路に配置されたフライアイレンズと、このフライアイレンズを通過したレーザ光を照射面に集光するコンデンサレンズと、前記レーザ光の光路であって前記フライアイレンズの入射側又は出射側に配置された偏光解消部材と、を有し、前記偏光解消部材は、入射レーザ光に対して位相差を与えて出射する複数個の位相差板が前記フライアイレンズの各レンズセルに1:1で対応して配置されたものであり、各位相差板は、隣り合うもの同士の出射光の偏光面が45°異なるように配置されていることを特徴とするレーザ照射装置。
- 前記位相差板は、透明な異方性結晶からなる1/2波長板であり、この異方性結晶がもつ光学結晶軸方向が隣あう位相差板同士で22.5°異なるように配置されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ照射装置。
- 前記位相差板は前記フライアイレンズの各レンズセルに対応する大きさを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ照射装置。
- 前記偏光解消部材と前記フライアイレンズとの間に、縮小投影レンズ又は拡大投影レンズが配置されており、この縮小投影レンズ又は拡大投影レンズは、前記偏光解消部材若しくは前記フライアイレンズを透過したレーザ光のビームの断面形状を、夫々前記フライアイレンズ若しくは前記偏光解消部材の大きさに合わせて、夫々縮小又は拡大するものであることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ照射装置。
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