JP2011174977A - マイクロミラーアレイ - Google Patents
マイクロミラーアレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011174977A JP2011174977A JP2010037131A JP2010037131A JP2011174977A JP 2011174977 A JP2011174977 A JP 2011174977A JP 2010037131 A JP2010037131 A JP 2010037131A JP 2010037131 A JP2010037131 A JP 2010037131A JP 2011174977 A JP2011174977 A JP 2011174977A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- micromirrors
- substrate
- micromirror array
- mirror substrate
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】ミラー基板13には、応力緩和部16が設けられている。これにより、マイクロミラー15a〜15nに対するミラー基板13の歪みの影響が緩和される。結果として、マイクロミラー15a〜15nに対するミラー基板13の歪みの影響を防ぐことができる。
【選択図】 図1
Description
第2支持部15a−2〜15n−2は、X方向およびY方向に沿って延在する棒の形状を有し、一端が開口部14のX方向に沿った他方の辺に接続され、他端が対応する第4支持部15a−4〜15n−4に接続されている。
第3支持部15a−3〜15n−3は、図3に示すように、平面視略H字上の形状を有するばね部材から構成され(例えば、特許文献2参照。)、一端が対応する第1支持部15a−1〜15n−1に、他端が対応するミラー部15a−5,15n−5に接続されている。
第4支持部15a−4〜15n−4は、第3支持部15a−3〜15n−3と同等の平面視略H字状の形状を有するばね部材から構成され、一端が対応する第2支持部15a−2〜15n−2に、他端が対応するミラー部15a−5,15n−5に接続されている。
ミラー部15a−5〜15n−5は、平面視略矩形の形状を有し、少なくとも上面に反射面が形成されており、対応する第3支持部15a−3〜15n−3の他端および第4支持部15a−4〜15n−4の他端によりY方向の両端部が接続されることによってX軸周りおよびY軸周りに回動可能に支持されている。
次に、本実施の形態に係るマイクロミラーアレイ1の製造方法について説明する。
Claims (7)
- 複数の電極が形成された電極基板と、
開口部、および、この開口部に形成され対応する前記電極と対向配置される複数のマイクロミラーを有し、前記電極基板に接合されるミラー基板と、
前記ミラー基板に形成され、前記電極基板からかかる応力を緩和する応力緩和部と
を備えたことを特徴とするマイクロミラーアレイ。 - 前記応力緩和部は、凹部からなる
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロミラーアレイ。 - 前記凹部は、前記電極基板と対向する面と反対側の面に形成される
ことを特徴とする請求項2記載のマイクロミラーアレイ。 - 前記凹部は、前記電極基板と対向する面に形成される
ことを特徴とする請求項2記載のマイクロミラーアレイ。 - 前記応力緩和部は、貫通孔から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロミラーアレイ。 - 前記応力緩和部は、前記マイクロミラーの配列方向に直交する方向の延長線上に形成される
ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のマイクロミラーアレイ。 - 前記応力緩和部は、前記マイクロミラーの配列方向に平行に形成される
ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のマイクロミラーアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010037131A JP2011174977A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | マイクロミラーアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010037131A JP2011174977A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | マイクロミラーアレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011174977A true JP2011174977A (ja) | 2011-09-08 |
Family
ID=44687910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010037131A Pending JP2011174977A (ja) | 2010-02-23 | 2010-02-23 | マイクロミラーアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2011174977A (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292117A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 |
WO2008129988A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-10-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | マイクロミラー素子及びマイクロミラーアレイ |
JP2009157113A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Olympus Corp | マイクロミラーデバイス |
JP2009288359A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Fujitsu Ltd | 微小電子機械素子及び微小電子機械素子アレイ |
-
2010
- 2010-02-23 JP JP2010037131A patent/JP2011174977A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005292117A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-10-20 | Matsushita Electric Works Ltd | ジャイロセンサおよびそれを用いたセンサ装置 |
WO2008129988A1 (ja) * | 2007-04-19 | 2008-10-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | マイクロミラー素子及びマイクロミラーアレイ |
JP2009157113A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Olympus Corp | マイクロミラーデバイス |
JP2009288359A (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-10 | Fujitsu Ltd | 微小電子機械素子及び微小電子機械素子アレイ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100702019B1 (ko) | 마이크로 미러 소자 | |
US7952778B2 (en) | Biaxial MEMS mirror with hidden hinge | |
US6984917B2 (en) | Optical element having two axes of rotation for use in tightly spaced mirror arrays | |
US8599460B2 (en) | Micromirror device and micromirror array | |
US20090059344A1 (en) | Micromirror device | |
CN107942509B (zh) | 一种具有分布式弹性结构的微镜 | |
US6807331B2 (en) | Structures that correct for thermal distortion in an optical device formed of thermally dissimilar materials | |
JP2013068678A (ja) | 光偏向器および光偏向器アレイ | |
JP2008194813A (ja) | 可動素子およびその製造方法 | |
US20140341504A1 (en) | Optical cross-connect switch with configurable optical input/output ports | |
JP2006251829A (ja) | マイクロミラー素子 | |
JP5293676B2 (ja) | マイクロミラー素子 | |
JP2011174977A (ja) | マイクロミラーアレイ | |
KR100718141B1 (ko) | 임베드된 정렬 마크를 이용한 양면 식각 방법 | |
JP2014130767A (ja) | 静電マイクロリレーおよびその製造方法 | |
JP4461918B2 (ja) | 可動ミラーデバイス、分散補償器、利得等化器、及び光adm装置 | |
JP2009071663A (ja) | 移動機構および撮像装置 | |
JP2004077525A (ja) | 光スイッチ、光分岐挿入装置、光伝送システム及び光スイッチの製造方法 | |
JP6977267B2 (ja) | 光デバイス及び光デバイスの製造方法 | |
JP6453680B2 (ja) | 光デバイス及び光デバイスの製造方法 | |
JP2010181834A (ja) | マイクロミラーデバイス | |
JP5844701B2 (ja) | マイクロミラー素子およびミラーアレイ | |
JP2013088492A (ja) | マイクロミラー素子およびマイクロミラーアレイ | |
JP6052901B2 (ja) | マイクロミラー素子およびミラーアレイ | |
JP2005316043A (ja) | マイクロミラー素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20111101 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111101 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120925 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130212 |