JP2011171672A - 赤外線センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光センサは、半導体基板1の表面に設けられた少なくとも第1の半導体層2と、この第1の半導体層2上に設けられた光吸収層となる第3の半導体層4と、この第3の半導体層4上に設けられた第2の半導体層3と、半導体基板1の裏面に設けられた第1の保護層5と、この第1の保護層を被覆して設けられた第2の保護層6から構成されている。半導体基板の裏面から入射した光量に応じた信号を電圧又は電流で出力し、半導体基板の裏面に2層からなる保護層を設けることで、半導体基板の裏面の変色を防ぎ、また、光の利用効率を向上することが出来る。
【選択図】図1
Description
2 n型半導体層(第1の半導体層)
3 p型半導体層(第2の半導体層)
4 光吸収層
5 第1の保護層
6 第2の保護層
7 バリア層
8 ガリウム砒素基板
9 n型のインジウムアンチモン層(第1の半導体層)
10 p型のインジウムアンチモン層(第2の半導体層)
11 i型のインジウムアンチモン層(光吸収層)
12 p型のインジウムアルミニウムアンチモン層(バリア層)
13 酸化チタン層(第1の保護層)
14 酸化シリコン層(第2の保護層)
Claims (11)
- 半導体基板の表面に半導体層が堆積されたフォトダイオードを用いて、前記半導体基板の裏面から入射した光量に応じた信号を電圧又は電流で出力する光センサにおいて、
前記半導体基板の裏面に形成された第1の保護層と、
前記第1の保護層を被覆する第2の保護層とを備え、
前記第1の保護層の屈折率が前記半導体基板の屈折率と異なり、前記第2の保護層の屈折率が前記第1の保護層の屈折率よりも低いことを特徴とする光センサ。 - 前記第1の保護層が、酸化チタン、酸化窒化チタンのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の光センサ。
- 前記第2の保護層が、酸化チタン、酸化窒化チタン、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムのいずれかであることを特徴とする請求項1又は2に記載の光センサ。
- 前記第1の保護層の厚みが、5nm以上1500nm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光センサ。
- 前記第2の保護層の厚みが、5nm以上2500nm以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の光センサ。
- 前記フォトダイオードが、少なくとも第1の半導体層及び第2の半導体層を含んで積層された形態のPN型のフォトダイオードであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光センサ。
- 前記フォトダイオードが、少なくとも第1の半導体層と、第2の半導体層及び第3の半導体層を含んで積層された形態のPIN型のフォトダイオードであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光センサ。
- 化合物半導体前記第1の半導体層と、前記第2の半導体層と、前記第3の半導体層とが化合物半導体であり、該化合物半導体が、インジウム,ガリウム,アルミニウム,アンチモン,砒素のいずれかを含むことを特徴とする請求項6又は7に記載の光センサ。
- 前記光センサは、波長域が1μm以上15μm以下の光を検出することを特徴とする請求項1に記載の光センサ。
- 前記半導体基板が、200μm以上300μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の光センサ。
- 前記光センサは、波長域が3μm以上5μm以下の光を検出し、前記半導体基板の裏面から入射する光量が前記光センサ周囲のガス濃度に応じて変化することを利用し、ガス濃度に応じた信号を電圧又は電流で出力することを特徴とする請求項1に記載の光センサ。
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JP2010036513A JP2011171672A (ja) | 2010-02-22 | 2010-02-22 | 赤外線センサ |
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JP2010036513A JP2011171672A (ja) | 2010-02-22 | 2010-02-22 | 赤外線センサ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-02-22 JP JP2010036513A patent/JP2011171672A/ja active Pending
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