JP2011166068A5 - - Google Patents

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本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザ装置の構成の一例を表す断面図である。 図1の発光領域を規定するレーザ構造の一例を表す断面図である。 図1の発光領域を規定するレーザ構造の他の例を表す断面図である。 図1の半導体レーザ装置の第1の変形例を表す断面図である。 図1の半導体レーザ装置の構成の第2の変形例を表す断面図である。 図2の半導体レーザ装置の構成の第3の変形例を表す断面図である。 本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザ装置の構成の一例を表す断面図である。 図7の半導体レーザ装置の構成の第1の変形例を表す断面図である。 図7の半導体レーザ装置の構成の第2の変形例を表す断面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る半導体レーザ装置の構成の一例を表す断面図である。 本発明の第4の実施の形態に係る半導体レーザ装置の構成の一例を表す断面図である。 図10の半導体レーザ装置の構成の他の例を表す断面図である。 図11の半導体レーザ装置の構成の他の例を表す断面図である。 本適用例に係る光ディスク記録再生装置の概略構成の一例を表すものである。 従来の半導体レーザ装置の構成の一例を表す断面図である。 従来の半導体レーザ装置の他の構成の一例を表す断面図である。
ここで、レーザ部21は、例えば、図2、図3に示したように、基板11、クラッド層12、活性層13、クラッド層14およびコンタクト層15を含んで構成されたものである。クラッド層12、活性層13、クラッド層14およびコンタクト層15は、基板11上にこの順に積層されており、ダブルへテロ構造をなしている。発光領域21Aは、活性層13のうち電極22,23間を流れる電流が注入される領域に対応しており、電流注入により活性層13のバンドギャップに対応した波長の光を発する領域である。レーザ部21が、例えば、図2に示したようなインデックスガイド構造を備えている場合は、凸状のリッジストライプ16の上面(コンタクト層17の上面)が電極22と接しており、リッジストライプ16の側面および裾野は絶縁層17で覆われている。従って、この場合には、発光領域21Aは、活性層13のうち、凸状のリッジストライプ16との対向領域に形成される。また、レーザ部21が、例えば、図3に示したようなゲインガイド構造を備えている場合は、コンタクト層15の上面うち絶縁層17の開口17A内に露出している部分が電極22と接しており、コンタクト層15の上面うちそれ以外の部分は絶縁層17で覆われている。従って、この場合には、発光領域21Aは、活性層13のうち、絶縁層17の開口17Aとの対向領域に形成される。
本実施の形態では、レーザ部21の面21Bのうち発光領域21Aとの対向領域と溶着層30との間に、耐歪層31が設けられている。これにより、半導体レーザ20および溶着層30の温度が半導体レーザ20の駆動によって上昇し、これらがそれぞれの線膨脹係数に応じて熱膨張した場合であっても、発光領域21Aにおいて、線膨脹係数差による歪の発生が抑制される。その結果、TEモードの偏光比の低下を抑制することができる。また、TEモードの偏光比の低下を抑制することができることから、例えば、光ディスク装置(図示せず)において半導体レーザ装置を光源として用いた場合は、受光素子(図示せず)で検出できる光強度の低下を抑制することができる。
[効果]
本実施の形態では、上述したように、放熱性能の高い半導体レーザ20が支持基体50側に配置されており、かつ半導体レーザ40の周縁が熱伝導性の良いバンプ33,34等を介して支持基体50に連結されている。これにより、放熱性能の相対的に低い半導体レーザ40で発生した熱を効率よく支持基体50に導くことができる。その結果、例えば、光ディスク装置(図示せず)において半導体レーザ装置1を光源として用いた場合は、受光素子(図示せず)で検出できる光強度の低下を抑制することができる。また、本実施の形態では、半導体レーザ20の寸法が小さくなっているので、原料コストを抑えることができる。
[作用]
次に、本実施の形態の半導体レーザ装置4の作用について説明する。半導体レーザ装置4では、電源からの電圧がワイヤ61,62を介して半導体レーザ20の電極22,23間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域21Aに対応する発光点(図示せず)から400nm帯のレーザ光が射出される。同様に、電源からの電圧がワイヤ63,64を介して、700nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極42,44間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Bに対応する発光点(図示せず)から700nm帯のレーザ光が射出される。さらに同様に、電源からの電圧が図示しないワイヤとワイヤ64とを介して、600nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極43,44間に電圧が印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Aに対応する発光点(図示せず)から600nm帯のレーザ光が射出される。すなわち、半導体レーザ装置からは、400nm、600nm帯および700nm帯のうちのいずれか1つの帯域のレーザ光が射出される。
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