JP2011166068A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011166068A5 JP2011166068A5 JP2010030220A JP2010030220A JP2011166068A5 JP 2011166068 A5 JP2011166068 A5 JP 2011166068A5 JP 2010030220 A JP2010030220 A JP 2010030220A JP 2010030220 A JP2010030220 A JP 2010030220A JP 2011166068 A5 JP2011166068 A5 JP 2011166068A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- light emitting
- layer
- region
- laser device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
ここで、レーザ部21は、例えば、図2、図3に示したように、基板11、クラッド層12、活性層13、クラッド層14およびコンタクト層15を含んで構成されたものである。クラッド層12、活性層13、クラッド層14およびコンタクト層15は、基板11上にこの順に積層されており、ダブルへテロ構造をなしている。発光領域21Aは、活性層13のうち電極22,23間を流れる電流が注入される領域に対応しており、電流注入により活性層13のバンドギャップに対応した波長の光を発する領域である。レーザ部21が、例えば、図2に示したようなインデックスガイド構造を備えている場合は、凸状のリッジストライプ16の上面(コンタクト層17の上面)が電極22と接しており、リッジストライプ16の側面および裾野は絶縁層17で覆われている。従って、この場合には、発光領域21Aは、活性層13のうち、凸状のリッジストライプ16との対向領域に形成される。また、レーザ部21が、例えば、図3に示したようなゲインガイド構造を備えている場合は、コンタクト層15の上面うち絶縁層17の開口17A内に露出している部分が電極22と接しており、コンタクト層15の上面うちそれ以外の部分は絶縁層17で覆われている。従って、この場合には、発光領域21Aは、活性層13のうち、絶縁層17の開口17Aとの対向領域に形成される。
本実施の形態では、レーザ部21の面21Bのうち発光領域21Aとの対向領域と溶着層30との間に、耐歪層31が設けられている。これにより、半導体レーザ20および溶着層30の温度が半導体レーザ20の駆動によって上昇し、これらがそれぞれの線膨脹係数に応じて熱膨張した場合であっても、発光領域21Aにおいて、線膨脹係数差による歪の発生が抑制される。その結果、TEモードの偏光比の低下を抑制することができる。また、TEモードの偏光比の低下を抑制することができることから、例えば、光ディスク装置(図示せず)において半導体レーザ装置2を光源として用いた場合は、受光素子(図示せず)で検出できる光強度の低下を抑制することができる。
[効果]
本実施の形態では、上述したように、放熱性能の高い半導体レーザ20が支持基体50側に配置されており、かつ半導体レーザ40の周縁が熱伝導性の良いバンプ33,34等を介して支持基体50に連結されている。これにより、放熱性能の相対的に低い半導体レーザ40で発生した熱を効率よく支持基体50に導くことができる。その結果、例えば、光ディスク装置(図示せず)において半導体レーザ装置1を光源として用いた場合は、受光素子(図示せず)で検出できる光強度の低下を抑制することができる。また、本実施の形態では、半導体レーザ20の寸法が小さくなっているので、原料コストを抑えることができる。
本実施の形態では、上述したように、放熱性能の高い半導体レーザ20が支持基体50側に配置されており、かつ半導体レーザ40の周縁が熱伝導性の良いバンプ33,34等を介して支持基体50に連結されている。これにより、放熱性能の相対的に低い半導体レーザ40で発生した熱を効率よく支持基体50に導くことができる。その結果、例えば、光ディスク装置(図示せず)において半導体レーザ装置1を光源として用いた場合は、受光素子(図示せず)で検出できる光強度の低下を抑制することができる。また、本実施の形態では、半導体レーザ20の寸法が小さくなっているので、原料コストを抑えることができる。
[作用]
次に、本実施の形態の半導体レーザ装置4の作用について説明する。半導体レーザ装置4では、電源からの電圧がワイヤ61,62を介して半導体レーザ20の電極22,23間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域21Aに対応する発光点(図示せず)から400nm帯のレーザ光が射出される。同様に、電源からの電圧がワイヤ63,64を介して、700nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極42,44間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Bに対応する発光点(図示せず)から700nm帯のレーザ光が射出される。さらに同様に、電源からの電圧が図示しないワイヤとワイヤ64とを介して、600nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極43,44間に電圧が印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Aに対応する発光点(図示せず)から600nm帯のレーザ光が射出される。すなわち、半導体レーザ装置4からは、400nm、600nm帯および700nm帯のうちのいずれか1つの帯域のレーザ光が射出される。
次に、本実施の形態の半導体レーザ装置4の作用について説明する。半導体レーザ装置4では、電源からの電圧がワイヤ61,62を介して半導体レーザ20の電極22,23間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域21Aに対応する発光点(図示せず)から400nm帯のレーザ光が射出される。同様に、電源からの電圧がワイヤ63,64を介して、700nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極42,44間に印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Bに対応する発光点(図示せず)から700nm帯のレーザ光が射出される。さらに同様に、電源からの電圧が図示しないワイヤとワイヤ64とを介して、600nm帯のレーザ光を射出するレーザ構造に設けられた電極43,44間に電圧が印加される。すると、光射出側の端面のうち発光領域41Aに対応する発光点(図示せず)から600nm帯のレーザ光が射出される。すなわち、半導体レーザ装置4からは、400nm、600nm帯および700nm帯のうちのいずれか1つの帯域のレーザ光が射出される。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010030220A JP5521611B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 光装置および光機器 |
US12/929,274 US20110200064A1 (en) | 2010-02-15 | 2011-01-12 | Optical device and optical apparatus |
CN2011100385871A CN102163798A (zh) | 2010-02-15 | 2011-02-15 | 光学装置及光学设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010030220A JP5521611B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 光装置および光機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011166068A JP2011166068A (ja) | 2011-08-25 |
JP2011166068A5 true JP2011166068A5 (ja) | 2013-03-14 |
JP5521611B2 JP5521611B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=44369610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010030220A Expired - Fee Related JP5521611B2 (ja) | 2010-02-15 | 2010-02-15 | 光装置および光機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20110200064A1 (ja) |
JP (1) | JP5521611B2 (ja) |
CN (1) | CN102163798A (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102957094B (zh) * | 2011-08-22 | 2014-11-26 | 山东浪潮华光光电子有限公司 | 一种全固态三基色激光器芯片及其制作方法 |
CN105224113B (zh) * | 2014-05-30 | 2019-03-08 | 长鸿光电(厦门)有限公司 | 触控装置及其制造方法 |
EP3447863B1 (en) * | 2016-04-19 | 2021-03-31 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Semiconductor laser device and method for manufacturing same |
JP6627651B2 (ja) * | 2016-06-09 | 2020-01-08 | 三菱電機株式会社 | レーザ素子、レーザ素子の製造方法 |
DE102017119664A1 (de) * | 2017-08-28 | 2019-02-28 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Kantenemittierender Laserbarren |
DE102017130594A1 (de) * | 2017-12-19 | 2019-06-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaser, betriebsverfahren für einen halbleiterlaser und methode zur bestimmung des optimalen füllfaktors eines halbleiterlasers |
US20240178344A1 (en) * | 2021-03-23 | 2024-05-30 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Ultraviolet light emitting element |
WO2023153476A1 (ja) * | 2022-02-10 | 2023-08-17 | 京セラ株式会社 | 発光デバイスの製造方法および製造装置並びにレーザ素子基板 |
WO2024085205A1 (ja) * | 2022-10-20 | 2024-04-25 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3461632B2 (ja) * | 1995-08-28 | 2003-10-27 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
TW449937B (en) * | 1999-02-26 | 2001-08-11 | Matsushita Electronics Corp | Semiconductor device and the manufacturing method thereof |
JP3486900B2 (ja) * | 2000-02-15 | 2004-01-13 | ソニー株式会社 | 発光装置およびそれを用いた光装置 |
JP2002314184A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-25 | Nec Corp | 光半導体モジュール |
JP2004207480A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Pioneer Electronic Corp | 半導体レーザ装置及びその製造方法 |
JP4466503B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2010-05-26 | ソニー株式会社 | 半導体レーザ |
US7792173B2 (en) * | 2007-12-06 | 2010-09-07 | Opnext Japan, Inc. | Semiconductor laser device |
-
2010
- 2010-02-15 JP JP2010030220A patent/JP5521611B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-01-12 US US12/929,274 patent/US20110200064A1/en not_active Abandoned
- 2011-02-15 CN CN2011100385871A patent/CN102163798A/zh active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011166068A5 (ja) | ||
US7639719B2 (en) | Thermal shunt for active devices on silicon-on-insulator wafers | |
JP5465514B2 (ja) | 光半導体装置 | |
JP2010041035A (ja) | 半導体レーザ素子およびその製造方法ならびに光ピックアップ装置 | |
US8031751B2 (en) | Nitride semiconductor laser device | |
WO2013150715A1 (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP4411540B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
WO2012101686A1 (ja) | 半導体発光素子及び発光装置 | |
JP5521611B2 (ja) | 光装置および光機器 | |
JP2006135306A (ja) | 多波長レーザーダイオード及びその製造方法 | |
JP3759081B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2014229744A (ja) | 半導体発光組立体 | |
JP2005317896A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2007035854A (ja) | 半導体レーザアレイ及び半導体レーザ装置 | |
US7310362B2 (en) | Semiconductor light emitting device and semiconductor light emitting apparatus | |
JP2003086883A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP5380135B2 (ja) | マルチビーム半導体レーザ装置 | |
JP2009027149A (ja) | 半導体レーザ装置およびその製造方法 | |
JP2012243960A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP5799727B2 (ja) | 多波長半導体レーザ装置及び多波長半導体レーザ装置の製造方法 | |
JP5487002B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2009277934A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2007273574A (ja) | 光半導体装置 | |
JP5216807B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP2011029677A5 (ja) |