JP2011165817A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】不純物層の深さおよび濃度のばらつきを抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板11のチャネル層12上に、酸化膜14を介して、レジスト材料16を一様に形成する工程と、電荷の転送方向に向かって光の透過率が変化するグレーティングマスク17を用いてレジスト材料16を露光する工程と、露光されたレジスト材料16を現像することにより、膜厚が変化する薄膜部18Aを有するレジスト膜18を形成する工程と、レジスト膜18を介してチャネル層12にイオンを注入することにより、第1の不純物層13を形成する工程と、レジスト膜18を除去後、第1の不純物層13上の一部に、酸化膜14を介して転送電極15を形成する工程と、を具備し、レジスト材料16は、単位露光量あたりの膜厚減少量を示すスロープの傾きが、0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト融解特性を有する材料である。
【選択図】図9
【解決手段】半導体基板11のチャネル層12上に、酸化膜14を介して、レジスト材料16を一様に形成する工程と、電荷の転送方向に向かって光の透過率が変化するグレーティングマスク17を用いてレジスト材料16を露光する工程と、露光されたレジスト材料16を現像することにより、膜厚が変化する薄膜部18Aを有するレジスト膜18を形成する工程と、レジスト膜18を介してチャネル層12にイオンを注入することにより、第1の不純物層13を形成する工程と、レジスト膜18を除去後、第1の不純物層13上の一部に、酸化膜14を介して転送電極15を形成する工程と、を具備し、レジスト材料16は、単位露光量あたりの膜厚減少量を示すスロープの傾きが、0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト融解特性を有する材料である。
【選択図】図9
Description
本発明は、半導体装置の製造方法に関し、特にグレーティングマスクを用いて形成される不純物層を有する半導体装置の製造方法に関する。
従来の固体撮像装置における転送レジスタは、半導体基板表面に形成された不純物層上に、酸化膜を介して、電荷を転送するための転送電極が設けられている。このような転送レジスタにおいて、不純物層は、例えばn型のイオンを注入して各転送電極下の半導体基板表面に、電荷の転送方向に向かって深くなるようなプロファイルで形成される。このようなプロファイルの不純物層により、各転送電極下において、電荷の転送方向に向かって深くなるポテンシャルが形成されるため、効率よく電荷を転送することができる。
これらの不純物層は、場所によって光の透過率が異なるグレーティングマスクを用いて形成されることが知られている(特許文献1参照)。すなわち、半導体基板上に一様にレジスト材料を塗布する。続いて、電荷の転送方向に向かって光の透過率が徐々に高くなるように制御されたグレーティングマスクを用いてレジスト材料を露光する。このように露光されたレジスト材料を現像すると、光が照射される部分全体のレジストの膜厚が極めて薄くなるが、光の透過率が高い領域ほどレジスト残膜は薄くなるため、電荷の転送方向に向かって膜厚が徐々に薄くなる部分を有するレジスト膜が形成される。このレジスト膜をマスクとして用いて半導体基板にイオンを注入すると、薄い部分の膜厚に対応して、電荷の転送方向に向かって徐々に深くなる不純物層が形成される。
上述の転送レジスタは、高集積化に伴い転送電極の幅が狭くなり、この狭い電極幅の範囲内で、電荷の転送方向に向かって、レジスト膜がなだらかに薄くなるように勾配を形成しなければならない。レジスト膜厚は、グレーティングマスクの光の透過率に比例するため、レジスト膜の勾配下部の特に薄い部分と勾配上部の特に厚い部分の膜厚を高精度に制御する必要がある。しかし、レジスト材料を露光する際の露光量のばらつきによってレジスト残膜の膜厚がばらつき、この結果、不純物層の深さがばらつく問題がある。具体的には、例えば薄い部分の膜厚が必要以上に薄く形成され、あるいは全く形成されない場合が生ずる。また、逆に膜厚が厚い部分では必要以上に厚くなる場合が生ずる。その結果、電荷の転送方向に向かって徐々に深くなるポテンシャルの形成は困難となる。従って、転送レジスタの転送特性も劣化する。
本発明は、不純物層の深さのばらつきを抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供することにある。
本発明による半導体装置の製造方法は、半導体基板のチャネル層上に、酸化膜を介して、レジスト材料を一様に形成する工程と、電荷の転送方向に向かって光の透過率が変化するグレーティングマスクを用いて前記レジスト材料を露光する工程と、露光された前記レジスト材料を現像することにより、膜厚が変化する薄膜部を有するレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜を介して前記チャネル層にイオンを注入することにより、第1の不純物層を形成する工程と、前記レジスト膜を除去後、前記第1の不純物層上の一部に、酸化膜を介して電極を形成する工程と、を具備し、前記レジスト材料は、単位露光量あたりの膜厚減少量を示すスロープの傾きが、0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト融解特性を有する材料であることを特徴とする方法である。
本発明によれば、スロープの傾きが、0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト溶解特性を有するレジスト材料を用いて薄膜部を有するレジスト膜を形成するため、露光量にばらつきがあっても、薄膜部の膜厚のばらつきは抑制される。従って、形成される不純物層の深さのばらつきを抑制することができる。
以下に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。なお、この製造方法の説明においては、固体撮像装置の製造方法を一例として説明する。
(第1の実施形態)
本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置は、少なくともフォトダイオードを有する画素が格子状に配列形成された画素部と、この画素部に接続され、画素部にて発生した電荷を蓄える電荷蓄積部と、この蓄積部に蓄えられた電荷を出力部に転送するための転送レジスタと、を含む構成であり、特に転送レジスタは、電荷蓄積部にそれぞれ接続された垂直転送レジスタと、これらの垂直転送レジスタに接続された水平転送レジスタと、を有する。
本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置は、少なくともフォトダイオードを有する画素が格子状に配列形成された画素部と、この画素部に接続され、画素部にて発生した電荷を蓄える電荷蓄積部と、この蓄積部に蓄えられた電荷を出力部に転送するための転送レジスタと、を含む構成であり、特に転送レジスタは、電荷蓄積部にそれぞれ接続された垂直転送レジスタと、これらの垂直転送レジスタに接続された水平転送レジスタと、を有する。
図1は、水平転送レジスタの要部を示す上面図である。また、図2は、図1の一点鎖線A−A´に沿って示す断面図である。図2に示すように、水平転送レジスタにおいて、例えばシリコン材料からなるp型の半導体基板11の表面には、帯状にn型のチャネル層12が形成されている。このチャネル層12の表面には、複数のn+型の不純物層13が、チャネル層12の長手方向に沿って列状に配列形成されている。
一方でチャネル層12の周囲には、複数の垂直転送レジスタ(図示せず)が、チャネル層12の長手方向に対して垂直方向に延長形成されており、チャネル層12は、これらの複数の垂直転送レジスタ(図示せず)に接続されている。なお、チャネル層12の周囲のうち、垂直転送レジスタ(図示せず)に接続される部分以外の領域は、チャネルストップ領域として機能する。
チャネル層12に設けられた各不純物層13は、電荷の転送方向に向かって深くなるプロファイルで形成されている。そして、このような複数の不純物層13は、最も深い箇所と、これに隣接する不純物層13のうち、最も浅い箇所とが互いに接合されるように配列されている。
各不純物層13上のうち、最も深い箇所を含む一部には、半導体基板11上に一様に形成された、例えば酸化珪素等からなる酸化膜14を介して、例えばポリシリコンからなる転送電極15が配置されている。これらの複数の転送電極15は、図1に示すように、それぞれがチャネル層12を横切るように互いに平行に、互いに離間して配置されている。
このような水平転送レジスタの一つおきの転送電極15と、これらの間の転送電極15とには、それぞれ正負の電圧のクロックパルスを交互に印加し、印加された電圧に基づいて各不純物層13のポテンシャルを制御することにより、電荷は転送される。
次に、図2に示される水平転送レジスタの製造方法を、図3乃至図8を参照して説明する。図3乃至図8(ただし図6を除く)は、図2に示される水平転送レジスタの製造方法を説明するための、図1の一点鎖線A−A´に沿った断面図である。
まず、図3に示すように、チャネル層12が形成された半導体基板11上に、酸化膜14を形成する。
次に、図4に示すように、酸化膜14上に、レジスト材料16を一様に塗布する。このレジスト材料16は、ポジレジストであって、露光量の変動に対して、後述するエッチング液に対する溶解量の変動が小さい材料が選定される。これについては、後に詳述する。
次に、図5に示すように、電荷の転送方向に向かって連続的に光の透過率が高くなる領域17Aが複数配列形成されたグレーティングマスク17を用いてレジスト材料16を露光する。このグレーティングマスク17を図6に示す。図6は、グレーティングマスク17を示す上面図である。図6に示すように、この工程において適用されるグレーティングマスク17は、光を透過させないドットパターンを適宜形成することにより光の透過量を制御可能なマスクである。本工程に適用されるマスクのように、電荷の転送方向に向かって徐々に光の透過率が高くなる領域17Aを形成する場合は、光の透過率を高くしたい領域ほど、小さなドットパターンを疎に形成すればよい。
次に、図7に示すように、露光されたレジスト材料16を、例えばアルカリ性のエッチング液に浸すことにより、レジスト材料16を現像する。これにより、露光量が多い箇所ほどレジスト材料16は溶解し、電荷の転送方向に向かって序々に膜厚が薄くなる部分18A(以下、この部分を薄膜部18Aと称す)を有するレジスト膜18が形成される。このとき、露光量の変動に対して、エッチング液に対する溶解量の変動が小さいレジスト材料が選定されているため、図6の工程において、光の透過率にばらつきがあっても、図7において形成される薄膜部18Aの膜厚のばらつきは抑制される。
次に、図8に示すように、薄膜部18Aが形成されたレジスト膜18をマスクとして用いて、n型のイオンをチャネル層12に注入する。このとき、薄膜部18Aの膜厚が薄い箇所ほどイオンが深く注入される。従って、1度のイオン注入により、レジスト膜18の薄膜部18Aの膜厚の変化と同程度に深さが変化する不純物層13が形成される。なお、レジスト膜18の薄膜部18Aの膜厚のばらつきは抑制されているため、不純物層13の深さのばらつきは抑制される。
最後に、レジスト膜18を例えばアッシングにより除去した後、各不純物層13上の所定の位置に、転送電極15を、例えばパターニングにより形成する。これにより、図2に示される水平転送レジスタを形成することができる。
ここで、上述の図4に示す工程において酸化膜14上に塗布されるレジスト材料16について詳述する。図9は、本実施形態において適用されたレジスト材料16の溶解特性、すなわち、露光量と現像後の残膜厚さとの関係を示すグラフである。図9のグラフの横軸は露光量[mJ/cm2]、縦軸は、レジスト材料の残膜厚さ[μm]を示す。
図9に示されるように、レジスト材料16の溶解特性は、一定の露光量までは膜厚は変動しないが、それ以上の露光量に対しては、露光量にほぼ比例して残膜厚さが減少するような特性になる傾向がある。ここで、以下の説明において、露光量に対して残膜厚さが減少する曲線の傾きを、スロープの傾きと称すると、本実施形態において適用されるレジスト材料16は、露光量が少ない領域(高感度領域)におけるスロープの傾きXがおよそ0.005[μm/mJ/cm2]、露光量が多い領域(低感度領域)におけるスロープの傾きYがおよそ0.003[μm/mJ/cm2]の溶解特性を有するレジスト材料16が選定される。このような緩やかなスロープの傾きを有するレジスト材料16を選定することにより、露光量にばらつきがあっても、レジスト残膜厚さのばらつきを抑制することができる。従って、不純物層13の深さのばらつきも抑制され、水平転送レジスタの転送特性のばらつきも抑制される。
なお、本願発明者等の検討の結果、水平転送レジスタの転送特性のばらつきを許容範囲内に収めるためには、レジスト材料16のスロープの傾きが0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下であればよいことが分かった。レジスト材料16のスロープの傾きが0.005[μm/mJ/cm2]より大きくなると、不純物層13の深さのばらつきに基づく水平転送レジスタの転送特性のばらつきを許容範囲内に収めることは困難になり、また、レジスト材料16のスロープの傾きが0.0013[μm/mJ/cm2]より小さくなると、単位露光量[mJ/cm2]あたりのレジストの膜厚減少量[μm]が小さすぎるため、グレーティングマスク17の光の透過率の変化程度ではレジスト膜18の薄膜部18Aの膜厚に変化をつけることができなくなる。
なお、本実施形態において使用されるレジスト材料16は、高感度領域および低感度領域のいずれにおいても、上記範囲を満たすスロープの傾きの材料が適用された。本実施形態においては、このような材料を適用することが好ましいが、少なくとも低感度領域において、上記範囲を満たすスロープの傾きの材料を適用してもよい。この場合、適用されるレジスト材料16の選択の幅を広げることができる。
一方で、上述のレジスト材料16と比較して、従来用いられていたレジスト材料は、図10に従来のレジスト材料の溶解特性を示すように、スロープの傾きが低感度領域においておよそ0.01[μm/mJ/cm2]程度のレジスト材料を適用していた。このように、従来は、レジスト膜18の薄膜部18Aの膜厚のばらつきが大きくなるレジスト材料を選定していたため、不純物層の深さが大きくばらついき、転送効率を許容範囲内に収めることはできなかった。
なお、上述の説明においては、アルカリ性のエッチング液を用いてレジスト材料16を現像する場合について説明した。ここで一般に、レジスト溶解特性は、現像時のエッチング液の材料によっても変化するが、エッチング液がどのような材料からなるものであっても、使用されるエッチング液に対応するレジスト溶解特性のスロープの傾きが0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下になるようなレジスト溶解特性を有するレジスト材料16を選定すればよい。
以上のように、本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によれば、スロープの傾きが0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト溶解特性を有するレジスト材料16を用いて薄膜部18Aを有するレジスト膜18を形成するため、露光量にばらつきがあっても、薄膜部18Aの膜厚のばらつきは抑制される。従って、形成される不純物層13の深さのばらつきを抑制することができる。これにより、水平転送レジスタの転送特性のばらつきは抑制される。
(第2の実施形態)
本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置の構造は、水平転送レジスタの構造以外は同一であるため、ここでは、水平転送レジスタの構造について、図11を参照して説明する。図11は、第2の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置の水平転送レジスタを、図1の一点鎖線A−A´に沿って示す断面図である。なお、図11に示される水平転送レジスタの構造において、図2に示される水平転送レジスタと同一の部分には同一の符号を付すとともに、説明は省略する。
本実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置の構造は、水平転送レジスタの構造以外は同一であるため、ここでは、水平転送レジスタの構造について、図11を参照して説明する。図11は、第2の実施形態に係る固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置の水平転送レジスタを、図1の一点鎖線A−A´に沿って示す断面図である。なお、図11に示される水平転送レジスタの構造において、図2に示される水平転送レジスタと同一の部分には同一の符号を付すとともに、説明は省略する。
図11に示される水平転送レジスタは、図2に示される水平転送レジスタと比較して、不純物層の構成が異なる。すなわち、図11に示される水平転送レジスタには、転送電極15下にn+型の第1の不純物層21が設けられるとともに、転送電極15間には、n+型の第2の不純物層22が設けられている。
第1の不純物層21およびが第2の不純物層22は、ともに、電荷の転送方向に向かって深くなるプロファイルで形成されている。さらに、第2の不純物層22は、第1の不純物層21よりも深く形成されている。これにより、転送電極15に電圧が印加されていないときに、第2の不純物層22によって形成されるポテンシャルは、第1の不純物層21によって形成されるポテンシャルよりも深く形成される。
このような水平転送レジスタは、図2に示される水平転送レジスタを第1の実施形態に示される方法によって製造した後に、転送電極15をマスクとしてイオン注入することにより製造される。
以上に示す固体撮像装置の製造方法であっても、第1の実施形態の製造方法と同様に、第1、第2の不純物層21、22の深さのばらつきを抑制することができる。これにより、水平転送レジスタの転送特性のばらつきも抑制される。
また、この方法によって製造された固体撮像装置は、全ての転送電極15に同層のクロックパルスを印加すれば電荷は転送される。従って、第1の実施形態の固体撮像装置の製造方法によって製造される固体撮像装置と比較して、転送電極15にクロックパルスを供給するクロックパルス供給源の簡易化が可能となる。
以上に、本発明の実施形態について説明した。上述の説明においては、図2、図11に示される水平転送レジスタの製造方法を一例として説明した。しかし、本発明は、電荷の転送方向に向かって徐々に深くなるポテンシャルが形成されるように形成された不純物層を具備する水平転送レジスタの製造方法であれば、全てにおいて適用可能である。従って、例えば、上述の各実施形態において示された水平転送レジスタの構成においては、半導体基板11をp型、チャネル層12をn型、不純物層13(第1、第2の不純物層21、22)をn+型として説明したが、これらの導電型は限定されず、少なくとも不純物層13(第1、第2の不純物層21、22)が、電荷の転送方向に向かって深くなるようなポテンシャルを形成するように形成された層であれば、グレーティングマスク17のドットパターンの配置を適宜変更する他は同様に形成することができ、同様に、不純物層13(第1、第2の不純物層21、22)の深さのばらつきを抑制することができる。
さらに、固体撮像装置の他の部分(例えば垂直転送レジスタ、電荷蓄積部等)の製造方法等においても、これらの製造工程に、電荷の転送方向に向かって徐々に深くなるポテンシャルが形成される不純物層を形成する工程を含む製造方法であれば、全てにおいて適用することができる。
また、本発明は、深さが徐々に変化する不純物層を具備する半導体装置であれば、全ての半導体装置の製造方法において適用可能である。例えば、図2に示した水平転送レジスタにおいて、3個の転送電極を有し、この3個の電極が順にドレイン電極、ゲート電極、ソース電極に対応したMOS型トランジスタを製造する場合においても適用可能である。すなわち、ゲート電極の下に形成されるチャネル不純物層において、上述した製造方法と同様に、上述した深さの変化と同様の不純物層を形成することも可能である。なおこの場合、ドレイン電極、ソース電極の下にそれぞれ形成される不純物層は、深さが変化する不純物層である必要はない。
また、上述の説明においては、膜厚が場所によって異なる薄膜部18Aを有するレジスト膜18を形成し、このレジスト膜18をマスクとしてイオン注入する方法を説明した。しかし、固体撮像装置を含む他の半導体装置の製造方法において、同じく膜厚が場所によって異なるレジスト膜を形成し、このレジスト膜をマスクとしてレジスト幕下の下地層をエッチングする工程を有する場合には、本願を適用することができる。例えば固体撮像装置の画素部には、マイクロレンズが形成される。このレンズは、レンズ材となる下地層上に例えばネガ型のレジスト材料を塗布し、このレジスト材料をグレーティングマスクを用いて露光し、現像することにより半球状のレジスト膜を形成し、これをマスクとして用いて下地層をエッチングすることにより形成される。このマイクロレンズの形成方法においても、本願を適用することができ、半球状のレジスト膜の膜厚のばらつきは抑制されるため、レンズ形状のばらつきが抑制された固体撮像装置を製造することができる。
11・・・半導体基板
12・・・チャネル層
13・・・不純物層
14・・・酸化膜
15・・・転送電極
16・・・レジスト材料
17・・・グレーティングマスク
17A・・・光の透過率が変化する領域
18・・・レジスト膜
18A・・・薄膜部
21・・・第1の不純物層
22・・・第2の不純物層
12・・・チャネル層
13・・・不純物層
14・・・酸化膜
15・・・転送電極
16・・・レジスト材料
17・・・グレーティングマスク
17A・・・光の透過率が変化する領域
18・・・レジスト膜
18A・・・薄膜部
21・・・第1の不純物層
22・・・第2の不純物層
Claims (3)
- 半導体基板のチャネル層上に、酸化膜を介して、レジスト材料を一様に形成する工程と、
電荷の転送方向に向かって光の透過率が変化するグレーティングマスクを用いて前記レジスト材料を露光する工程と、
露光された前記レジスト材料を現像することにより、膜厚が変化する薄膜部を有するレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜を介して前記チャネル層にイオンを注入することにより、第1の不純物層を形成する工程と、
前記レジスト膜を除去後、前記第1の不純物層上の一部に、酸化膜を介して電極を形成する工程と、
を具備し、
前記レジスト材料は、単位露光量あたりの膜厚減少量を示すスロープの傾きが、0.0013[μm/mJ/cm2]以上、0.005[μm/mJ/cm2]以下のレジスト融解特性を有する材料であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - さらに、複数の前記電極を形成した後、これらの電極をマスクとして前記電極間の第1の不純物層にイオン注入することにより、第2の不純物層を形成する工程を具備することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記レジスト材料は、ポジレジストであることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
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