JP2011161629A - 基板搬送ロボット - Google Patents

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101443457B1 (ko) 2012-01-31 2014-09-23 가부시키가이샤 야스카와덴키 반송 로봇
JP2015036186A (ja) * 2013-08-09 2015-02-23 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボット
JP2020049568A (ja) * 2018-09-25 2020-04-02 東京エレクトロン株式会社 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458184B2 (enExample) * 1986-04-28 1992-09-16 Varian Associates
JPH11138474A (ja) * 1997-11-06 1999-05-25 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 多関節ロボット
JP2000133690A (ja) * 1998-10-26 2000-05-12 Rorze Corp ウエハ搬送装置
JP2002166376A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Hirata Corp 基板搬送用ロボット
JP2003110003A (ja) * 2001-06-13 2003-04-11 Applied Materials Inc 半導体基板を移送するための方法及び装置
JP2003517717A (ja) * 1998-09-30 2003-05-27 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板搬送装置
JP2003170384A (ja) * 2001-12-04 2003-06-17 Rorze Corp 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム
JP2003188231A (ja) * 2001-12-20 2003-07-04 Daihen Corp ワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置
JP2004502558A (ja) * 2000-07-06 2004-01-29 ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド 独立エンドエフェクタリンク装置運動方式のロボット
JP2006245508A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板移載装置の組立て方法および基板移載装置の搬送系ユニット
WO2007008702A2 (en) * 2005-07-11 2007-01-18 Brooks Automation, Inc. Unequal link scara arm
JP2008264980A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458184B2 (enExample) * 1986-04-28 1992-09-16 Varian Associates
JPH11138474A (ja) * 1997-11-06 1999-05-25 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 多関節ロボット
JP2003517717A (ja) * 1998-09-30 2003-05-27 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板搬送装置
JP2000133690A (ja) * 1998-10-26 2000-05-12 Rorze Corp ウエハ搬送装置
JP2004502558A (ja) * 2000-07-06 2004-01-29 ジェンマーク・オートメーション・インコーポレーテッド 独立エンドエフェクタリンク装置運動方式のロボット
JP2002166376A (ja) * 2000-11-30 2002-06-11 Hirata Corp 基板搬送用ロボット
JP2003110003A (ja) * 2001-06-13 2003-04-11 Applied Materials Inc 半導体基板を移送するための方法及び装置
JP2003170384A (ja) * 2001-12-04 2003-06-17 Rorze Corp 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム
JP2003188231A (ja) * 2001-12-20 2003-07-04 Daihen Corp ワーク搬送用ロボット及びこのロボットを備えたワーク加工装置
JP2006245508A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板移載装置の組立て方法および基板移載装置の搬送系ユニット
WO2007008702A2 (en) * 2005-07-11 2007-01-18 Brooks Automation, Inc. Unequal link scara arm
JP2008264980A (ja) * 2007-04-24 2008-11-06 Kawasaki Heavy Ind Ltd 基板搬送ロボット

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101443457B1 (ko) 2012-01-31 2014-09-23 가부시키가이샤 야스카와덴키 반송 로봇
US8992160B2 (en) 2012-01-31 2015-03-31 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Transfer robot
JP2015036186A (ja) * 2013-08-09 2015-02-23 日本電産サンキョー株式会社 水平多関節ロボット
JP2020049568A (ja) * 2018-09-25 2020-04-02 東京エレクトロン株式会社 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法
JP7149792B2 (ja) 2018-09-25 2022-10-07 東京エレクトロン株式会社 搬送装置、半導体製造装置及び搬送方法
US11850743B2 (en) 2018-09-25 2023-12-26 Tokyo Electron Limited Transport apparatus, semiconductor manufacturing apparatus, and transport method

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