JP2011155300A5

JP2011155300A5 -

Info

Publication number: JP2011155300A5
Application number: JP2011098627A
Authority: JP
Filing date: 2011-04-26
Publication date: 2012-12-13
Anticipated expiration: 2023-02-21

Description

上記の目的を達成するための本発明による検出装置は、
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出装置であって、
テンプレートを用いて前記画像に対して前記テンプレートマッチングを行う処理部を有し、
前記処理部は、前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なるテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う。

また、上記の目的を達成するための本発明による検出方法は、
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出方法であって、
テンプレートを用いて前記画像に対して前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なるテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う。

Claims

テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出装置であって、
テンプレートを用いて前記画像に対して前記テンプレートマッチングを行う処理部を有し、
前記処理部は、前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なるテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う、ことを特徴とする検出装置。
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出装置であって、
テンプレートを用いて前記画像に対して前記テンプレートマッチングを行う処理部を有し、
前記処理部は、
前記画像から抽出された特徴の位置を示す情報を含む特徴画像に対して、前記マークの特徴が存在する位置を示す特徴着目点の情報を含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なる位置に前記特徴が存在する位置を示す特徴着目点の情報を含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う、ことを特徴とする検出装置。
前記特徴画像は、前記特徴としてのエッジの位置を示す情報を含むエッジ画像であり、
前記特徴着目点は、前記マークのエッジが存在する位置を示す、ことを特徴とする請求項２に記載の検出装置。
前記処理部は、前記相関度が前記許容条件を満たさない場合、前記テンプレートにおける前記特徴着目点を移動する、ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の検出装置。
前記特徴着目点の移動は、前記特徴画像の１画素に相当する大きさを単位としてなされる、ことを特徴とする請求項４に記載の検出装置。
前記特徴着目点の示す位置が互いに異なる複数のテンプレートを予め格納する格納手段を有する、ことを特徴とする請求項２ないし請求項５のいずれか１項に記載の検出装置。
前記処理部は、前記相関度が前記許容条件を満たさない場合のテンプレートマッチングの繰返しを、前記相関度が前記許容条件を満たすか、繰返し回数が予め定められた回数に達するかするまで実行する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検出装置。
前記処理部は、前記繰り返しにおいて前記相関度が前記許容条件を満たしたテンプレートを、次回のテンプレートマッチングに用いるテンプレートとして設定する、ことを特徴とする請求項７に記載の検出装置。
前記処理部は、前記相関度が前記許容条件を満たさない場合のテンプレートマッチングの繰返しを予め定められた回数だけ実行し、該繰返しにより複数のテンプレートを用いてそれぞれ得られた複数の相関度に基づいて、前記複数のテンプレートの中から１つのテンプレートを採用する、ことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の検出装置。
前記処理部は、前記採用をされたテンプレートを、次回のテンプレートマッチングに用いるテンプレートとして設定する、ことを特徴とする請求項９に記載の検出装置。
前記特徴着目点の情報は、前記エッジの方向の情報をさらに含み、
前記処理部は、前記相関度が前記許容条件を満たさない場合、前記特徴着目点の情報における前記エッジの方向を反転させる、ことを特徴とする請求項３に記載の検出装置。
前記相関度が前記許容条件を満たさない場合のテンプレートマッチングの繰返しにおいて前記処理部が順次用いる複数のテンプレートは、所定の方向における２つの前記特徴着目点相互の間隔の変化量の絶対値が単調に増加するように、前記特徴着目点の存在する位置が互いに異なっている、ことを特徴とする請求項２ないし請求項１１のいずれか１項に記載の検出装置。
前記順次用いる複数のテンプレートは、前記絶対値が増加する前に前記変化量の符号が反転するように、前記特徴着目点の存在する位置が互いに異なっている、ことを特徴とする請求項１２に記載の検出装置。
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出方法であって、
テンプレートを用いて前記画像に対して前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なるテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う、ことを特徴とする検出方法。
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出方法であって、
前記画像から抽出された特徴の位置を示す情報を含む特徴画像に対して、前記マークの特徴が存在する位置を示す特徴着目点の情報を含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングにおいて得られた相関度が許容条件を満たさない場合、前記テンプレートとは異なる位置に前記特徴が存在する位置を示す特徴着目点の情報を含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行う、ことを特徴とする検出方法。
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出装置において、
前記テンプレートマッチングを行う処理部を有し、
前記処理部は、
前記画像から抽出された特徴の位置を示す情報を含む特徴画像に対して、前記マークの特徴が存在する位置を示す第１の特徴着目点の情報と、前記特徴が存在しない位置を示す第２の特徴着目点の情報とを含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングにおいて、前記第１の特徴着目点に対応する前記特徴画像内の位置に前記特徴が存在する場合はそうでない場合より相関度が高くなり、前記第２の特徴着目点に対応する前記特徴画像内の位置に前記特徴が存在する場合はそうでない場合より相関度が低くなるように、相関度を求める、ことを特徴とする検出装置。
テンプレートマッチングにより画像内のマークの位置を検出する検出方法において、
前記画像から抽出された特徴の位置を示す情報を含む特徴画像に対して、前記マークの特徴が存在する位置を示す第１の特徴着目点と、前記マークの特徴の存在しない位置を示す第２の特徴着目点との情報を含むテンプレートを用いて前記テンプレートマッチングを行い、
前記テンプレートマッチングは、前記第１の特徴着目点に対応する前記特徴画像内の位置に前記特徴が存在する場合はそうでない場合より相関度が高くなり、前記第２の特徴着目点に対応する前記特徴画像内の位置に前記特徴が存在する場合はそうでない場合より相関度が低くなるように、相関度を求める、ことを特徴とする検出方法。
前記テンプレートマッチングは、前記第２の特徴着目点の情報を含まず前記第１の特徴着目点の情報を含むテンプレートを用いたテンプレートマッチングにより前記マークの位置の候補を絞り込んでから行う、ことを特徴とする請求項１７に記載の検出方法。
画像内のマークの位置を検出する検出装置であって、
前記マークのエッジの位置としてのエッジ位置及び前記マークのエッジでない部位の位置としての非エッジ位置を特定するテンプレートと、前記画像から抽出したエッジの情報との相関度を算出するマッチング処理を行うマッチング手段と、
前記マッチング手段により算出された相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する検出手段と、を備え、
前記マッチング手段は、前記エッジ位置に対応する前記画像内の位置にエッジが存在する場合はそうでない場合より相関度が高くなり、前記非エッジ位置に対応する前記画像内の位置にエッジが存在する場合はそうでない場合より相関度が低くなるように、前記相関度を算出する、ことを特徴とする検出装置。
画像内のマークの位置を検出する検出方法であって、
前記マークのエッジの位置としてのエッジ位置及び前記マークのエッジでない部位の位置としての非エッジ位置を特定するテンプレートと、前記画像から抽出したエッジの情報との相関度を算出するテンプレートマッチング処理を行うマッチング処理工程と、
前記マッチング処理工程で算出された相関度に基づいて、前記マークの位置を検出する検出工程と、を含み、
前記マッチング処理工程は、前記エッジ位置に対応する前記画像内の位置にエッジが存在する場合はそうでない場合より相関度が高くなり、前記非エッジ位置に対応する前記画像内の位置にエッジが存在する場合はそうでない場合より相関度が低くなるように、前記相関度を算出する、ことを特徴とする検出方法。
基板を露光する露光装置において、
前記基板上のマークを撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により得られた画像内のマークの位置を検出する請求項１ないし請求項１３ならびに請求項１６および請求項１９のうちいずれか１項に記載の検出装置と、を有し、
前記検出装置により検出されたマークの位置に基づき前記基板の位置決めを行って前記基板を露光する、ことを特徴とする露光装置。
請求項２１に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、を有することを特徴とするデバイス製造方法。