JP2011151411A - 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子部品収納用パッケージおよび電子装置には、熱伝導率のよい第1金属層11と、第1金属層11より低熱膨張係数を有し厚さの薄い第2金属層10とが交互に5層以上積層され、最下層および最上層には第1金属層11c,11bが配されているとともに、内層に配される第1金属層11aの少なくとも1層の厚さが最下層および最上層に配される第1金属層11c,11bの厚さよりも厚い放熱部材1が用いられている。また、放熱部材の外周部は、下方または上方に向かってだれるように変形している。
【選択図】図3A
Description
本発明の放熱部材1の具体的な金属層構成として、図1A,図3Aに示すような5層構造であり、最上層の第1金属層11bおよび最下層の第1金属層11cをそれぞれ純度99.6%のCuから成る0.1mmの厚みとし、内層に配される第1金属層11aを純度99.6%のCuから成る0.8mmの厚みとし、2層の第2金属層10をそれぞれ純度99.6%のMoから成る25μmの厚みとし、側面金属層12の厚みを25μmとしたものを作製した。その結果、放熱部材1の熱放散性を極めて良好にできるとともに(上下面間の熱伝導率400W/m・K)、放熱部材1全体の熱膨張を有効に抑制(面方向の熱膨張係数9×10−6/K)することができた。
平面視の大きさが縦300mm×横300mmの第1金属層11(内層に配される第1金属層11a,最上層の第1金属層11b,最下層の第1金属層11c)となる純度99.6%の各所定厚みのCu板と、第2金属層10となる純度99.6%の各所定厚みのMo板とを最下層から最上層に向けて表1の下行から上行の配置となるように順に積み重ね、850℃の真空雰囲気中において600KPaの圧力を加えるホットプレスを施すことによって積層板を作製した。次いで、このように作製された第1金属層11と第2金属層10とから成る積層板を、打ち抜き金型によって打ち抜くことによって、直径10.2mmの円板状の放熱部材1のサンプルA,B,C,Dを各3個ずつ作製した。なお、表1に示す各金属層の厚さは積層後のものを示す。また、打ち抜き金型の臼型と抜き型のクリアランスを調整することによって側面金属層12の厚みが25μmになるようにした。表1において、空欄は金属層数が少なく、該当の金属層がないことを示す。すなわち、例えばサンプルCは0.1mmのCu層,0.025mmのMo層,0.8mmのCu層,0.025mmのMo層,0.8mmのCu層,0.025mmのMo層,0.1mmのCu層が順に積層された7層構成の放熱部材1であることを示す。
実施例2で作製したサンプルBをヒーターブロックに載せて加熱し、最上層の第1金属層11bの表面の熱膨張係数を測定した。最上層の第1金属層11bの表面の熱膨張係数の測定方法としては、熱膨張係数が例えば5.0×10−6/K、9.0×10−6/K、10.8×10−6/Kの3種類の歪ゲージを最上層の第1金属層11bの表面の中央部に貼り付けた状態のサンプルをヒーターブロックに載せ、300℃で5分間加熱し、300℃における放熱部材1のサンプルBと歪ゲージとの熱膨張差による歪を測定する。
(1)第1金属層と、該第1金属層の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有する第2金属層とが交互に5層以上積層され、最下層および最上層には前記第1金属層が配されているとともに、内層に配される前記第1金属層の少なくとも1層の厚さが前記最下層および最上層に配される前記第1金属層の厚さよりも厚い放熱部材と、該放熱部材の前記最上層表面に設けられた電子部品を搭載する領域に並設された端子台と、該端子台に設けられた配線導体とを具備している電子部品収納用パッケージ。
(2)前記第1金属層は、銅または銀を主成分とする金属から成ることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(3)前記第2金属層は、モリブデンまたはタングステンを主成分とする金属から成ることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(4)隣り合う前記第2金属層の圧延方向が互いに直交するように配されていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(5)前記第2金属層の厚みが30μm以下であることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(6)前記第1金属層および前記第2金属層は、各金属層の厚さが中央に配された金属層に関して対称となるように配されていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(7)前記第2金属層の側面は、前記第1金属層と同じ金属から成る側面金属層によって覆われていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(8)前記側面金属層は、各第1金属層の外周部同士が圧接されて成ることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(9)前記第1金属層と前記第2金属層とが交互に5層以上積層され、最下層および最上層には前記第1金属層が配されているとともに、内層に配される第1金属層の少なくとも1層の厚さが前記最下層および最上層に配される第1金属層の厚さよりも厚いキャリアが前記放熱部材の前記領域内の最上層表面にさらに接合されていることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
(10)前記電子部品収納用パッケージと、前記領域に搭載されるとともに電極が前記配線導体に電気的に接続された電子部品と、前記領域を塞ぐように取着された蓋体または前記領域の前記電子部品を覆う封止樹脂とを具備していることを特徴とする電子装置。
Claims (10)
- 第1金属層と、該第1金属層の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有する第2金属層とが交互に5層以上積層され、最下層および最上層には前記第1金属層が配されているとともに、内層に配される前記第1金属層の少なくとも1層の厚さが前記最下層および最上層に配される前記第1金属層の厚さよりも厚い放熱部材と、該放熱部材の前記最上層表面に設けられた電子部品を搭載する領域に並設された端子台と、該端子台に設けられた配線導体とを具備するとともに、前記放熱部材の外周部は、下方または上方に向かってだれるように変形していることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。
- 前記第1金属層は、銅または銀を主成分とする金属から成ることを特徴とする請求項1記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第2金属層は、モリブデンまたはタングステンを主成分とする金属から成ることを特徴とする請求項1または請求項2記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第1金属層を挟んで上下に配された前記第2金属層の圧延方向が互いに直交するように配されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第2金属層の厚みが30μm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第1金属層および前記第2金属層は、各金属層の厚さが中央に配された金属層に関して対称となるように配されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第2金属層の側面は、前記第1金属層と同じ金属から成る側面金属層によって覆われていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記側面金属層は、各第1金属層の外周部同士が圧接されて成ることを特徴とする請求項7記載の電子部品収納用パッケージ。
- 第1キャリア金属層と、該第1キャリア金属層の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有する第2キャリア金属層とが交互に5層以上積層され、最下層および最上層には前記第1キャリア金属層が配されているとともに、内層に配される前記第1キャリア金属層の少なくとも1層の厚さが前記最下層および最上層に配される前記第1キャリア金属層の厚さよりも厚いキャリアが前記放熱部材の前記領域内の最上層表面にさらに接合されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージ。
- 請求項1乃至請求項9のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージと、前記領域に搭載されるとともに電極が前記配線導体に電気的に接続された電子部品と、前記領域を塞ぐように取着された蓋体または前記領域の前記電子部品を覆う封止樹脂とを具備していることを特徴とする電子装置。
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JP5605032B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-10-15 | 豊田合成株式会社 | 発光ダイオードの製造方法、切断方法及び発光ダイオード |
JP5605033B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-10-15 | 豊田合成株式会社 | 発光ダイオードの製造方法、切断方法及び発光ダイオード |
JP2011014917A (ja) * | 2010-08-20 | 2011-01-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属積層構造体 |
JP5580772B2 (ja) * | 2011-04-07 | 2014-08-27 | 住友電気工業株式会社 | 金属積層構造体の製造方法 |
CN102299265A (zh) * | 2011-08-18 | 2011-12-28 | 电子科技大学 | 有机发光二极管照明器件及其散热封装层以及制备方法 |
EP2757604B1 (en) | 2011-09-13 | 2018-06-13 | Denka Company Limited | Method of manufacturing a clad material for led light-emitting element holding substrate |
JP5963732B2 (ja) | 2013-10-31 | 2016-08-03 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation | チップ支持基板の配線部裏面に放熱器設置の面領域を設定する方法およびチップ支持基板並びにチップ実装構造体 |
KR101545555B1 (ko) * | 2013-12-02 | 2015-08-20 | 알에프에이치아이씨 주식회사 | 반도체 소자 장착용 패키지 |
US9780339B2 (en) | 2013-12-27 | 2017-10-03 | Joled Inc. | Organic electroluminescent panel unit |
US9559026B2 (en) | 2015-02-26 | 2017-01-31 | Infineon Technologies Americas Corp. | Semiconductor package having a multi-layered base |
JP6549502B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2019-07-24 | 京セラ株式会社 | 放熱基板およびそれを用いた半導体パッケージならびに半導体モジュール |
JP6412900B2 (ja) * | 2016-06-23 | 2018-10-24 | 株式会社東芝 | 高周波半導体用パッケージ |
US11869857B2 (en) | 2018-12-11 | 2024-01-09 | Amosense Co., Ltd. | Semiconductor package component |
CN109877156B (zh) * | 2019-03-20 | 2020-10-27 | 汕尾市索思电子封装材料有限公司 | 一种铜钼铜层叠复合材料及其制作方法 |
JP7444814B2 (ja) | 2021-04-27 | 2024-03-06 | Ngkエレクトロデバイス株式会社 | パッケージ |
CN115066163A (zh) * | 2022-07-14 | 2022-09-16 | 厦门天马显示科技有限公司 | 一种电子设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0647443A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-22 | Mitsubishi Materials Corp | クラッド材の加工方法 |
JPH11150217A (ja) * | 1997-11-14 | 1999-06-02 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007115731A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Eiki Tsushima | クラッド材およびその製造方法、クラッド材の成型方法、クラッド材を用いた放熱基板 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61240666A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-25 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JPS6341052A (ja) * | 1986-08-06 | 1988-02-22 | Nec Corp | 半導体装置用パツケ−ジ |
JPH03218054A (ja) | 1990-01-23 | 1991-09-25 | Mitsubishi Electric Corp | 発熱素子用基板 |
US5276423A (en) * | 1991-11-12 | 1994-01-04 | Texas Instruments Incorporated | Circuit units, substrates therefor and method of making |
US5156923A (en) * | 1992-01-06 | 1992-10-20 | Texas Instruments Incorporated | Heat-transferring circuit substrate with limited thermal expansion and method for making |
JP2860037B2 (ja) | 1993-03-15 | 1999-02-24 | 東京タングステン株式会社 | 半導体装置用放熱基板の製造方法 |
JPH10173109A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Hitachi Metals Ltd | パワー半導体モジュール |
US20010038140A1 (en) * | 2000-04-06 | 2001-11-08 | Karker Jeffrey A. | High rigidity, multi-layered semiconductor package and method of making the same |
JP2002076214A (ja) | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Toshiba Corp | 絶縁基板、その製造方法、およびそれを用いた半導体装置 |
JP2002184890A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-28 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 表面実装型半導体装置 |
JP2003053886A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Toyota Industries Corp | 複合材料、複合材料の製造方法及び複合材料を用いた半導体モジュール |
JP2003332479A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Kyocera Corp | 半導体素子収納用パッケージおよびその製造方法 |
JP2004249589A (ja) | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Toshiba Corp | 銅−モリブデン複合材料およびそれを用いたヒートシンク |
JP4382547B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2009-12-16 | 株式会社アライドマテリアル | 半導体装置用基板と半導体装置 |
US20060131738A1 (en) * | 2004-12-17 | 2006-06-22 | Furman Bruce K | Method and apparatus for chip cooling using a liquid metal thermal interface |
JP5105801B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2012-12-26 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
JP4558012B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2010-10-06 | 株式会社東芝 | 半導体パッケージ用放熱プレート及び半導体装置 |
-
2007
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2011
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- 2011-03-29 JP JP2011073746A patent/JP4923154B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0647443A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-22 | Mitsubishi Materials Corp | クラッド材の加工方法 |
JPH11150217A (ja) * | 1997-11-14 | 1999-06-02 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007115731A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Eiki Tsushima | クラッド材およびその製造方法、クラッド材の成型方法、クラッド材を用いた放熱基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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