JP2011139223A - 蓋部材及び蓋部材ウエハの製造方法及び蓋部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の蓋部材となる部分が設けられている金属からなる蓋部材ウエハの両主面にレジストを付着させるレジスト付着工程と、それぞれの前記蓋部材となる部分の一方の主面であって部品素子用凹部空間の開口部と重なる部分の前記レジストを除去する第一のレジスト除去工程と、エッチング技術を用いてそれぞれの前記蓋部材となる部分に前記部品素子用凹部空間を設ける部品素子用凹部空間形成工程と、前記蓋部材ウエハに付着している前記レジストを全て除去する全レジスト除去工程と、を含むことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
圧電振動子は、例えば、図5に示すように、部品素子である圧電振動素子330と素子搭載部材320と蓋部材310とから主に構成されている。
圧電片331は、例えば、圧電材料が用いられ、矩形形状の平板状に設けられている。
励振電極332は、例えば、2つ一対となっている。
一方の励振電極332は、圧電片331の一方の主面に設けられている。また、他方の励振電極332は、圧電片331の他方の主面であって、一方の励振電極332と対向する位置に設けられている。
引き回し電極333は、例えば、2つ一対となっている。
一方の引き回し電極333は、一方の端部が一方の励振電極332に接続されており他方の端部が圧電片332の他方の主面の一方の短辺側に位置するように設けられている。また、他方の引き回し電極333は、一方の端部が他方の励振電極332に接続されており他方の端部が圧電片331の一方の主面の一方の短辺側に位置するように設けられている。
搭載端子Pは、例えば、素子搭載部材320の一方の主面であって一方の短辺側に沿って2つ並んで設けられている。
外部端子Gは、例えば、素子搭載部材320の他方の主面の4隅に一つずつ設けられている。所定の外部端子Gと所定の搭載端子Pとは、電気的に接続された状態となっている。
素子搭載部材接合用膜323は、素子搭載部材320の一方の主面の縁に沿って環状に設けられおり、素子搭載部材320と後述する蓋部材310とを接合させるために設けられている。
素子搭載部材320は、2つ一対の搭載端子Pと圧電振動素子330の引き回し電極333とが、例えば、導電性接着剤Dにより電気的に接続された状態で固定することにより、圧電振動素子330が搭載された状態となる。
また、蓋部材310は、図5に示すように、一方の主面に部品素子用凹部空間313が設けられている。また、蓋部材310は、例えば、一方の主面の縁に沿って環状の蓋部材接合用金属膜314が設けられている。
また、蓋部材は、図5に示すように、基板部311と枠部312aと鍔部312bとから主に構成されている。
また、枠部312aは、例えば、中央部に貫通する矩形形状の孔が設けられた枠形状の平板状に設けられており、基板部311の一方の主面の縁に沿って設けられている。
また、鍔部312bは、例えば、中央部に貫通する孔が設けられた枠形状の平板状に設けられている。また、鍔部312bは、この中央部に設けられた貫通孔の開口部付近で鍔部の厚みが薄くなっている。
また、鍔部312bは、基板部311と枠部312aとが接触している面に対向する枠部312aの面に設けられている。
また、蓋部材310の他方の主面は、枠部312aと基板部311の接触している面に対向する基板部311の他方の主面とする。
また、蓋部材接合用膜314は、素子搭載部材310に設けられた素子搭載部材用接合膜321に対向する位置に環状に設けられている。
また、蓋部材接合用膜314は、素子搭載部材320と蓋部材310とを接合させるために設けられている。
また、蓋部材310は、素子搭載部材320に設けられた素子搭載部材接合用膜321と蓋部材接合用膜314とが重ね合わされて溶融されることで素子搭載部材320と接合される。
また、蓋部材310は、図5に示すように、素子搭載部材320と接合されることで一方の主面に設けられた部品素子用凹部空間313内に素子搭載部材320に搭載されている圧電振動素子330を気密封止した状態となる(例えば、特許文献1参照)。
また、部品素子である圧電振動素子を気密封止する方法は、素子搭載部材接合用膜と蓋部材接合用膜とを重ねた状態で、例えば、ハロゲンランプを用いて加熱させることにより溶融させて素子搭載部材と蓋部材と接合する方法がある。
圧電発振器は、素子搭載部材に集積回路素子が搭載されており、集積回路素子が圧電振動素子と電気的に接続された状態となっている点で圧電振動子と異なっている。
素子搭載部材は、例えば、一方の主面に搭載端子と集積回路搭載端子とが設けられており、他方の主面に外部端子が設けられている。また、素子搭載部材は、一方の主面の縁に沿って環状の素子搭載部材接合用膜が設けられている。
素子搭載部材は、所定の搭載端子と所定の集積回路搭載端子とが電気的に接続されており、所定の外部端子と所定の他の集積回路搭載端子とが電気的に接続されている。
集積回路素子は、例えば、圧電振動素子の振動に基づいて発振出力を制御する発振回路が組み込まれている。また、集積回路素子は、例えば、フリップチップボンディングによって集積回路搭載端子に搭載されている。
つまり、素子搭載部材は、一方の主面に部品素子である圧電振動素子と集積回路素子とが設けられている。
圧電発振器は、圧電振動素子と集積回路素子とが搭載されている素子搭載部材の一方の主面と部品素子用凹部空間が設けられている蓋部材の一方の主面とが接合されて、部品素子用凹部空間内に圧電振動素子と集積回路素子とが気密封止された状態となっている(例えば、特許文献2参照)。
このような蓋部材310は、例えば、酸化防止膜形成工程、絞り工程、蓋部材接合用膜工程、個片化工程、から主になっている。
蓋部材ウエハW310は、金属が用いられる。ここで、蓋部材ウエハW310は、例えば、鉄とニッケルとコバルトの合金が用いられる。
また、蓋部材ウエハW310は、例えば、矩形形状の平板状に設けられている。
酸化防止膜形成工程では、蓋部材ウエハW310が酸化されることを防ぐために酸化しにくい材質からなる酸化防止膜が設けられる。
また、酸化防止膜形成工程では、例えば、蓋部材ウエハW310の両主面にニッケルからなる酸化防止膜が設けられる。
なお、蓋部材ウエハが酸化されにくい場合、この酸化防止膜形成工程は行われない。
ここで、絞りは、所定の形状をした2つ一対の金型で金属からなる平板を挟んだ状態で圧力を加え、金属からなる平板を塑性変化させて所定の形状と類似した形状に形成する方法である。
つまり、絞り工程では、絞りによって平板状となっていた蓋部材310となる部分が折り曲げられ延ばされ塑性変化され、基板部311となる部分と枠部となる部分312aと鍔部312bとなる部分とが一体的に形成されて部品素子用凹部空間313が設けられる。
つまり、蓋部材310となる部分を断面から見た場合、図7に示すように、基板部311となる部分と枠部312bとなる部分とが設けられる箇所では、平板状の蓋部材310となる部分が他方の主面から折り曲げられるので蓋部材310となる部分の他方の主面の縁部、つまり、基板部311となる部分の他方の主面の縁部が円弧形状となる。
ここで、基板部311となる部分の他方の主面の縁部が円弧形状とは、図7に示すように、蓋部材310となる部分の断面形状を見た場合、基板部311となる部分の縁部の厚みが部品素子用凹部空間313内側に中心がある円の弧の様に縁に近づくにつれて連続的に薄くなっている状態になっている。
また、蓋部材310となる部分の断面形状を見た場合、図7に示すように、鍔部312bとなる部分と枠部312aとなる部分とが設けられる箇所、部品素子用凹部空間313の開口部側では、平板状の蓋部材310となる部分が一方の主面から折り曲げられるので部品素子用凹部空間313の開口部の縁部、つまり、部品素子用凹部空間313の開口部に沿った縁部が円弧状となる。
ここで、部品素子用凹部空間313の開口部に沿った縁部が円弧状とは、図7に示すように、蓋部材310となる部分の断面形状を見た場合、部品用凹部空間313の開口部側の鍔部312bとなる部分の縁部の厚みが部品素子用凹部空間313内側に中心がある円の弧の様に縁に近づくにつれて連続的に薄くなっている状態になっている。
従って、素子搭載部材320と蓋部材310とが接合される場合、円弧状となっていない鍔部312bとなる部分、つまり、鍔部312bの平らな部分が素子搭載部材320の一方の主面と接合されることとなる。
蓋部材接合用膜314は、素子搭載部材320の一方の主面に設けられる素子搭載部材接合用膜323と対向する位置に設けられる。また、蓋部材接合用膜314は、素子搭載部材320に設けられた素子搭載部材接合用膜323と重ね合わされた状態で溶融されて、素子搭載部材320と蓋部材310とを接合させる役割を果たす。
なお、蓋部材接合用膜形成工程は、蓋部材接合用膜314を設ける必要がない場合、例えば、接着剤により接合する場合、行われない。
個片化工程では、蓋部材ウエハW310が、例えば、プレス機械が用いられ、蓋部材310となる部分ごとに個片化されて蓋部材310が製造される。
このような蓋部材310は、基板部311と枠部312aと鍔部312bとが一体的に形成されて、一方の主面に部品素子用凹部空間313が設けられている。
このような蓋部材310は、一方の主面、つまり、枠部312aと鍔部312bとが接している面に対向する鍔部312bの主面である平らな部分が、部品素子330が搭載されている素子搭載部材320の一方の主面と接合される(例えば、特許文献3参照)。
このため、従来の蓋部材は、接合されている時に素子搭載部材の歪みよりも歪んだ状態で接合されてしまい、接合された後に歪みが元の状態に戻ろうとして外形が変形、または、破損してしまう恐れがある。
このため、従来の蓋部材ウエハの製造方法は、蓋部材ウエハの場所によって圧力の加えられ方が異なる恐れがあるため、蓋部材ウエハ内の部品素子用凹部空間の大きさのばらつきが大きくなり生産性が低下する恐れがある。
つまり、従来の蓋部材ウエハの製造方法は、蓋部材と同じ形状となるように2つ一対の金型が必要となり、蓋部材の形状が微細な場合、手間と時間を要するため、生産性が低下する恐れがある。
このため、従来の蓋部材の製造方法は、蓋部材ウエハの場所によって圧力の加えられ方が異なると部品素子用凹部空間の大きさにばらつきがある恐れがあり生産性が低下する恐れがある。
つまり、このような蓋部材は、基板部と枠部とが接している面に対向する枠部の面と素子搭載部材とを接合することができる形状となっている。
従って、このような蓋部材は、従来の蓋部材のように鍔部を設ける必要がないので、従来の蓋部材と比較して部品素子用凹部空間を広げることができる。
シーム溶接により蓋部材と素子搭載部材とを接合させる場合、このような蓋部材は、セラミックと比較して導電性がより金属が用いられているが、蓋部材の基板部に溝部を設けることで、部品素子用凹部空間の底面と平行な向きに流れる電流、つまり、基板部に流れる電流を、部品素子用凹部空間の側面と平行な抜きに流れる電流、つまり、枠部に流れる電流と比較して低減させることができる。
つまり、このような蓋部材は、従来の蓋部材と比較して蓋部材の基板部に流れる電流の量を低減させることができるので従来の蓋部材と比較して接合時の内部応力を低減させることができる。
このため、このような蓋部材ウエハの製造方法は、従来の蓋部材ウエハの製造方法のように圧力による蓋部材ウエハ内の部品素子用凹部空間の大きさのばらつきを抑えることができ生産性を向上させることができる。
このため、このような蓋部材の製造方法は、従来の蓋部材の製造方法のように部品素子用凹部空間の大きさのばらつきを抑えることができるので生産性を向上させることができる。
本発明の第一の実施形態に係る蓋部材について説明する。
図1に示すように、蓋部材110は、素子搭載部材120に搭載されている部品素子130を気密封止する役割を果たす。つまり、蓋部材110は、部品素子130が素子搭載部材120と接合されて部品素子130が気密封止される電子部品100に用いられる。
ここで電子部品100が、例えば、部品素子130が圧電振動素子130であり、また圧電デバイス100が圧電振動子100の場合について説明する。
一方の励振電極132は、圧電片131の一方の主面に設けられている。また、他方の励振電極132は、圧電片131の他方の主面であって一方の励振電極132と対向する位置に設けられている。
一方の引き回し電極133は、一方の端部が一方の励振電極132と接続されており、他方の端部が圧電片131の他方の主面であって圧電片131の一方の短辺側に位置するように設けられている。また、他方の引き回し電極133は、一方の端部が他方の励振電極132と接続されており、他方の端部が圧電片131の一方の主面であって圧電片131の一方の短辺側に位置するように設けられている。
また、素子搭載部材120は、一方の主面に2つ一対の搭載端子Pが設けられており、他方の主面に複数の外部端子Gが設けられている。また、素子搭載部材120は、例えば、他方の主面の縁に沿って素子搭載部材接合用膜121が設けられている。
外部端子Gは、例えば、素子搭載部材120の他方の主面の4隅に一つずつ設けられている。所定の外部端子Gと所定の搭載端子Pとは、電気的に接続された状態となっている。
素子搭載部材接合用膜121は、素子搭載部材120の一方の主面の縁に沿って環状に設けられている。また、素子搭載部材接合用膜121は、素子搭載部材120と後述する蓋部材110とを接合させるために設けられている。
また、蓋部材110は、酸化されにくい酸化防止膜(図示せず)が全面に設けられている。
また、蓋部材110は、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術とによって、図1に示すように、一方の主面に部品素子用凹部空間113が設けられている。また、蓋部材110は、例えば、一方の主面の縁に沿って環状の蓋部材接合用膜114が設けられている。
また、蓋部材110は、図1に示すように、基板部111と枠部112とから主に構成されている。
また、基板部111は、例えば、矩形形状の平板状に設けられている。
また、枠部112は、中央部に貫通する矩形形状の孔が設けられた枠形状の平板状に設けられている。
また、枠部112は、図1に示すように、基板部111の一方の主面の縁に沿って設けられている。
また、枠部112は、基板部111と接している面及び基板部111と接している面に対向する面が平坦となっている。
ここで、蓋部材110の一方の主面は、基板部111と枠部112とが接触している面に対向する枠部112の主面、つまり、部品素子用凹部空間113が設けられている主面とする。
また、蓋部110材の他方の主面は、基板部111と枠部112とが接触している面に対向する基板部111の面、つまり、基板部111の他方の主面とする。
また、蓋部材接合用膜114は、素子搭載部材120に設けられる素子搭載部材接合用膜121と対向する位置に設けられている。
また、蓋部材接合用膜114は、素子搭載部材接合用膜121と重ね合わされた状態で溶融されることで、蓋部材110と素子搭載部材120とを接合させる役割を果たす。
また、蓋部材110は、素子搭載部材120に設けられた素子搭載部材接合用膜121と蓋部材接合用膜114とが重ね合わされて溶融されることで素子搭載部材120と接合される。
また、蓋部材110は、一方の主面が素子搭載部材120の一方の主面と接合されることで、一方の主面に設けられた部品素子用凹部空間113内に素子搭載部材120に搭載されている圧電振動素子130を気密封止した状態となる。
つまり、このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材110は、基板部111と枠部112とが接している面に対向する枠部112の面と素子搭載部材120を接合することができる形状となっている。
従って、このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材110は、従来の蓋部材のように鍔部を設ける必要がないので、従来の蓋部材と比較して部品素子用凹部空間113を広げることができる。
本発明の第一の実施形態に係る蓋部材の製造方法は、蓋部材ウエハW110を蓋部材110となる部分ごとに個片化している。
従って、まず、本発明の第一の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法について説明する。
ここで、蓋部材ウエハの製造方法は、例えば、レジスト付着工程、第一のレジスト除去工程、部品素子用凹部空間形成工程、全レジスト除去工程、酸化防止膜形成工程、蓋部材接合膜形成工程を含んで構成されている。
レジスト付着工程は、複数の蓋部材110となる部分が設けられている金属からなる蓋部材ウエハW110の両主面にレジストR1,R2を付着させる工程である。
また、蓋部材ウエハW110は、例えば、矩形形状の平板状となっている。また、蓋部材ウエハW110は、その厚みが蓋部材の高さとなっている。また、蓋部材ウエハW110は、複数の蓋部材110となる部分が行列状に設けられる。
また、蓋部材ウエハW110は、その両主面が平坦となっている。
レジスト付着工程前の蓋部材ウエハW110の状態の一例を図2(a)に示す。
レジストR1は、厚みが均一になるように蓋部材ウエハW110の一方の主面に設けられる。また、レジストR2は、厚みが均一になるように蓋部材ウエハW110の他方の主面に設けられる。
第一のレジスト除去工程は、図2(c)に示すように、それぞれの前記蓋部材110となる部分の一方の主面であって部品素子用凹部空間113の開口部と重なる部分の前記レジストR1を除去する工程である。
第一のレジスト除去工程では、例えば、部品素子用凹部空間113の開口部と重なる位置のレジストR1に光が照射されない様にマスキングをして部品素子用凹部空間113の開口部と重ならない位置のレジストR1,R2を硬化させ、硬化されていないレジストR1、つまり、部品素子用凹部空間113の開口部と重なる位置のレジストR1を除去する。
従って、第一のレジスト除去工程では、蓋部材ウエハW110がそれぞれの蓋部材110となる部分の部品素子用凹部空間313の開口部と重なる位置のレジストR1が除去された状態となっている。
部品素子用凹部空間形成工程は、図2(d)に示すように、エッチング技術を用いてそれぞれの前記蓋部材110となる部分に前記部品素子用凹部空間113を設ける
工程である。
部品素子用凹部空間形成工程では、例えば、部品素子用凹部空間113の開口部と重なる部分の位置のレジストR1が除去されている蓋部材ウエハW110が腐食液に浸漬されて、レジストR1で保護されていない部品素子用凹部空間113の開口部が腐食されて、部品素子用凹部空間113が設けられる。
つまり、部品素子用凹部空間形成工程では、エッチング技術によって、それぞれの蓋部材110となる部分の部品素子用凹部空間113の開口部から腐食されて、基板部111と枠部112となる部分が一体的に形成された部品素子用凹部空間113が設けられる。
従って、硬化したレジストR1,R2が残っている部分、つまり、部品素子用凹部空間113の開口部の他の面は腐食されないので、基板部111と枠部112とが接触している面に対向する枠部112の主面、つまり、蓋部材110の一方の主面が平坦となっている。
つまり、基板部111と枠部112とが接触している面に対向する枠部112の主面が素子搭載部材120の一方の主面と接合されることとなる。
全レジスト除去工程は、図2(e)に示すように、前記蓋部材ウエハW110に付着している前記レジストR1,R2を全て除去する工程である。
全レジスト除去工程では、部品素子用凹部空間113の開口部と重ならない位置に設けられている硬化しているレジストR1,R2を除去している。
酸化防止膜形成工程は、蓋部材ウエハW110の両主面に酸化防止膜(図示せず)を設ける工程である。
酸化防止膜は、酸化されにくい材質が用いられる。ここで酸化防止膜は、例えば、ニッケルが用いられる。
また、酸化防止膜は、蓋部材110が酸化されることを防ぐために、例えば、スパッタを用いて、蓋部材ウエハW110のそれぞれの蓋部材110となる部分の両主面に設けられる。
蓋部材接合用膜形成工程は、蓋部材ウエハW110の蓋部材110となる部分の一方に蓋部材接合用膜114(図1参照)を設ける工程である。
蓋部材接合用膜114は、蓋部材ウエハW110の蓋部材110となる部分の一方の主面の縁部に沿って環状に設けられる。
また、蓋部材接合用膜114は、素子搭載部材120に設けられる素子搭載部材接合膜121と重ね合わされた状態で溶融されることで、蓋部材110と素子搭載部材120とを接合させる役割を果たす。
蓋部材接合用膜形成工程では、例えば、めっき法が用いられる。
このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法は、レジストR1,R2を付着させて部品素子用凹部空間113の開口部と重なる位置のレジストR1を除去しエッチング技術を用いて部品素子用凹部空間113を設けている。
このため、このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法は、従来の蓋部材ウエハの製造方法のように圧力による蓋部材ウエハW110内の部品素子用凹部空間113の大きさのばらつきを抑えることができ生産性を向上させることができる。
本発明の第一の実施形態に係る蓋部材の製造方法は、個片化工程を含んでいる。
個片化工程は、蓋部材ウエハW110を前記蓋部材110となる部分ごとに個片化する工程である。
個片化工程では、例えば、ワイヤソーが用いられる。
このため、このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材の製造方法は、従来の蓋部材の製造方法と比較して部品素子用凹部空間113の大きさのばらつきを抑えることができるので生産性を向上させることができる。
このため。このような本発明の第一の実施形態に係る蓋部材の製造方法は、従来の蓋部材の製造方法のような金型が不要となり、基板部111の厚みや蓋部材110の主面と平行な主面の枠部112の厚みを容易に変更することができ、蓋部材110の強度を上げることができ生産性を向上させることができる。
本発明の第二の実施形態に係る蓋部材について説明する。
本発明の第二の実施形態に係る蓋部材210は、図3に示すように、部品素子用凹部空間213の底面と対向する基板部211の他方の主面に環状の溝部215が設けられている第一の実施形態と異なる。
ここで電子部品200が、例えば、部品素子130が圧電振動素子130であり、また、圧電デバイス200が圧電振動子200の場合について説明する。
圧電振動子200は、図3に示すように、部品素子である圧電振動素子130と素子搭載部材120と蓋部材210とから主に構成されている。
また、蓋部材210は、酸化されにくい酸化防止膜(図示せず)が全面に設けられている。また、蓋部材210は、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術とによって、図3に示すように、一方の主面に部品素子用凹部空間213が設けられている。また、蓋部材210は、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術とによって、図3に示すように、他方の主面に環状の溝部215が設けられている。 また、蓋部材210は、一方の主面の縁に沿って環状の蓋部材接合膜214が設けられている。
蓋部材210は、図3に示すように、基板部211と枠部212とから主に構成されている。
また、基板部211は、例えば、矩形形状の平板状に設けられている。
また、基板部211は、一方の主面に後述する枠部212が設けられている。また、基板部211は、他方の主面に後述する溝部215が設けられている。
また、枠部212は、枠形状の平板状に設けられており、中央部に貫通する矩形形状の孔が設けられている。
また、枠部212は、基板部211の一方の主面の縁に沿って設けられている。
また、蓋部材210は、基板部211の他方の主面の溝部215が部品素子用凹部空間213の底面と対向する位置に環状に設けられている。
また、蓋部材210の他方の主面は、基板部211と枠部212とが接触している面に対向する基板部211の面、つまり、環状の溝部215が設けられている主面とする。
また、蓋部材接合用膜214は、素子搭載部材120に設けられる素子搭載部材接合用膜121と対向する位置に設けられている。
また、蓋部材接合用膜214は、素子搭載部材接合用膜121と重ね合わされた状態で溶融されることで、蓋部材210と素子搭載部材120とを接合させる役割を果たす。
また、蓋部材210は、素子搭載部材120に設けられた素子搭載部材接合用膜121と蓋部材接合用膜214とが重ね合わされて溶融されることで素子搭載部材120と接合される。
また、蓋部材210は、素子搭載部材120と接合されることで一方の主面に設けられた部品素子用凹部空間213内に素子搭載部材120に搭載されている圧電振動素子130を気密封止した状態となる。
シーム溶接により蓋部材210と素子搭載部材120とを接合させる場合、このような蓋部材210は、セラミックと比較して導電性がより金属が用いられているが、蓋部材210の基板部211に溝部215を設けることで、部品素子用凹部空間213の底面と平行な向きに流れる電流、つまり、基板部211に流れる電流を、部品素子用凹部空間213の側面と平行な抜きに流れる電流、つまり、枠部212に流れる電流と比較して低減させることができる。
つまり、このような蓋部材210は、従来の蓋部材310と比較して蓋部材210の基板部211に流れる電流の量を低減させることができるので従来の蓋部材と比較して接合時の内部応力を低減させることができる。
本発明の第二の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法は、溝部215を設けるために第二のレジスト除去工程と溝部形成工程とが含まれている点で第一の実施形態と異なる。
ここで、溝部215は、例えば、それぞれの蓋部材210となる部分であって、部品素子用凹部空間213の開口部と対向する蓋部材210となる部分の他方の主面に環状に設けられる。
第二のレジスト除去工程では、例えば、溝部215の開口部と重なる位置のレジストR2に光が照射されない様にマスキングをして溝部215の開口部と重ならない位置のレジストR2を硬化させ、硬化されていないレジストR2、つまり、溝部215の開口部と重なる位置のレジストR2を除去する。
従って、第二のレジスト除去工程では、図4(c)に示すように、蓋部材ウエハW210がそれぞれの蓋部材210となる部分の溝部215の開口部と重なる位置のレジストR2が除去された状態となっている。
このとき、両主面にレジストR1,R2が付着されている蓋部材ウエハW210の蓋部材210となる部分の部品素子用凹部空間213の開口部及び溝部215の開口部のレジストR1,R2が除去される。
溝部形成工程では、例えば、溝部215の開口部と重なる部分の位置のレジストR2が除去されている蓋部材ウエハW210が腐食液に浸漬されて、レジストR2で保護されていない溝部215の開口部が腐食されて、溝部215が設けられる。
つまり、溝部形成工程では、図4(d)に示すように、エッチング技術によってそれぞれの蓋部材210となる部分の溝部215の開口部から腐食され溝部215が設けられる。
このとき、レジストR1,R2が付着されていない部品素子用凹部空間213の開口部及び溝部215の開口部が腐食されて、それぞれの蓋部材210となる部分に部品素子用凹部空間213及び溝部215が設けられる。
このような本発明の第二の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法は、レジストR1,R2を付着させ部品素子用凹部空間213の開口部と重なる位置のレジストR1を除去しエッチング技術を用いて部品素子用凹部空間213を設けているので、第一の実施形態に係る蓋部材ウエハの製造方法と同様の効果を奏する。
111,211,311 基板部
112,212,312a 枠部
312b 鍔部
113,213,313 部品素子用凹部空間
114,214,314 蓋部材接合用膜
215 溝部
120,320 素子搭載部材
121,321 素子搭載部材接合用膜
P 搭載端子
G 外部端子
130,330 圧電振動素子
131,331 圧電片
132,332 励振電極
133,333 引き回し電極
D 導電材料
R1,R2 レジスト
W110 蓋部材ウエハ
Claims (5)
- 金属からなる基板部と、
前記基板部の一方の主面の縁に沿って設けられている環状の金属からなる枠部と、
から主に構成されており、
前記基板部と前記枠部とが一体的に形成されて部品素子用凹部空間が設けられている
ことを特徴とする蓋部材。 - 請求項1に記載の蓋部材であって、前記部品素子用凹部空間の底面と対向する前記基板部の他方の主面に環状の溝部が設けられていることを特徴とする蓋部材。
- 複数の蓋部材となる部分が設けられている金属からなる蓋部材ウエハの両主面にレジストを付着させるレジスト付着工程と、
それぞれの前記蓋部材となる部分の一方の主面であって部品素子用凹部空間の開口部と重なる部分の前記レジストを除去する第一のレジスト除去工程と、
エッチング技術を用いてそれぞれの前記蓋部材となる部分に前記部品素子用凹部空間を設ける部品素子用凹部空間形成工程と、
前記蓋部材ウエハに付着している前記レジストを全て除去する全レジスト除去工程と、
を含むことを特徴とする蓋部材ウエハの製造方法。 - 請求項3に記載の蓋部材ウエハの製造方法であって、
前記蓋部材ウエハのそれぞれの前記蓋部材となる部分の他方の主面に設けられる溝部の開口部と重なる部分のレジストを除去する第二のレジスト工程と、
エッチング技術を用いて前記蓋部材となる部分の他方の主面に溝部を設ける溝部形成工程と、
を含むことを特徴とする蓋部材ウエハの製造方法。 - 請求項3、または、請求項4に記載の蓋部材ウエハの製造方法により製造された前記蓋部材ウエハを前記蓋部材となる部分ごとに個片化する個片化工程を含むことを特徴とする蓋部材の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012017888A1 (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法および電子部品 |
JP2013046168A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Seiko Epson Corp | 振動デバイスの製造方法 |
WO2013172441A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
WO2013172442A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
JP2015023052A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | セイコーインスツル株式会社 | 蓋体部、この蓋体部を用いた電子デバイス用パッケージ及び電子デバイス |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102894A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2006179614A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Kyocera Corp | 電子部品 |
JP2006295246A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品とその製造方法 |
JP2008183636A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Sony Corp | Memsデバイス、memsデバイスの製造方法、及び電子機器 |
JP2009111930A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
WO2009101921A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Seiko Instruments Inc. | 電子部品、電子機器、及びベース部材製造方法 |
-
2009
- 2009-12-28 JP JP2009297102A patent/JP5465002B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001102894A (ja) * | 1999-09-29 | 2001-04-13 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2006179614A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Kyocera Corp | 電子部品 |
JP2006295246A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品とその製造方法 |
JP2008183636A (ja) * | 2007-01-26 | 2008-08-14 | Sony Corp | Memsデバイス、memsデバイスの製造方法、及び電子機器 |
JP2009111930A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動子の製造方法 |
WO2009101921A1 (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Seiko Instruments Inc. | 電子部品、電子機器、及びベース部材製造方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012017888A1 (ja) * | 2010-08-04 | 2012-02-09 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法および電子部品 |
JPWO2012017888A1 (ja) * | 2010-08-04 | 2013-10-03 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法および電子部品 |
JP2013046168A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Seiko Epson Corp | 振動デバイスの製造方法 |
WO2013172441A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
WO2013172442A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2013-11-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
JPWO2013172442A1 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-01-12 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
US9627603B2 (en) | 2012-05-18 | 2017-04-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz vibrator having a dome-shaped cap |
JP2015023052A (ja) * | 2013-07-16 | 2015-02-02 | セイコーインスツル株式会社 | 蓋体部、この蓋体部を用いた電子デバイス用パッケージ及び電子デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP5465002B2 (ja) | 2014-04-09 |
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