JP5703522B2 - パッケージ、パッケージ製造方法、圧電振動子 - Google Patents
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本発明によれば、第1基板の外側に露出した貫通電極の電極間ピッチが、第1基板の内側に露出した貫通電極の電極間ピッチよりも広くなるように形成しているので、パッケージ内の電子部品の電極間ピッチよりも、第1基板の外側に露出した貫通電極の電極間ピッチを広くすることができる。これにより、第1基板の外側において貫通電極と電気的に接続される外部電極の間隔を広く確保できるので、パッケージ実装時の製造不良を抑制できる。
また、前記貫通電極は、一対設けられ、前記貫通孔を、前記第1基板の前記内側から前記外側に向かって漸次孔径が小さくなる円錐台形状に形成し、一対の前記貫通電極に形成される前記溝は、対称形状とされることを特徴とする。
また、前記溝は、前記貫通孔の中心軸に垂直な方向の断面形状が半円形状となっていることを特徴とする。
また、前記第1基板の前記外側の面には、一対の前記外部電極が形成され、前記第1基板の前記内側の面には、前記貫通電極を介して一対の前記外部電極とそれぞれ電気的に接続された一対の引き回し電極が形成され、一対の前記外部電極の間隔は、一対の前記引き回し電極の間隔よりも広くなっていることを特徴とする。
本発明によれば、金属ピン配置工程を有しているので、第1基板の内側から外側に向かって末広がりとなるように金属ピンを配置することができる。また、貫通孔の内周面と金属ピンの外周面との間隙にペースト材を充填する充填工程を有しているので、貫通孔の内周面と金属ピンの外周面との間隙にペースト材を行き渡らせることができる。そして、硬化工程でペースト材を硬化させることにより、パッケージ内の気密を維持することができる。
本発明によれば、金属ピン配置工程を有しているので、第1基板の内側から外側に向かって末広がりとなるように金属ピンを配置することができる。また、第1基板材料により貫通孔の内周面と金属ピンの外周面との間隙を封止する封止工程を有しているので、貫通孔の内周面と金属ピンの外周面との間隙に第1基板材料を行き渡らせることができる。そして、硬化工程で第1基板材料を硬化させることにより、パッケージ内の気密を維持することができる。
また、前記貫通孔形成工程では、前記貫通孔の中心軸に垂直な方向の断面形状が半円形状となるように前記溝を形成し、前記金属ピン配置工程では、前記金属ピンの中心軸と前記溝の中心軸とが一致するように、前記金属ピンを前記溝に挿入して配置することを特徴とする。
本発明によれば、圧電振動子の外側において貫通電極と電気的に接続される外部電極の間隔を広く確保できるので、実装時の製造不良を抑制でき、信頼性に優れた圧電振動子を提供することができる。
図1から図4に示すように、本実施形態の圧電振動子1は、ベース基板2(請求項の「第1基板」に相当)およびリッド基板3が接合膜23を介して陽極接合され、キャビティ16に収納された圧電振動片4と、を備えた表面実装型の圧電振動子1である。
なお、以下の説明では、ベース基板2におけるリッド基板3との接合側を上面Uとし、その反対面を下面Lとして説明する。また、圧電振動片4の長手方向を長手方向Xとし、圧電振動片4の基端側(マウント電極側)を−X側とし、圧電振動片4の先端側を+X側として説明する。また、圧電振動片4の幅方向を幅方向Yとし、−X側から見て右側を+Y側とし、+X側から見て左側を−Y側として説明する。
圧電振動片4は、水晶の圧電材料から形成されたATカット型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
この圧電振動片4は、平面視略矩形で厚さが均一の板状に加工された水晶板17と、水晶板17の両面に対向する位置で配置された一対の励振電極5,6と、励振電極5,6に電気的に接続された引き出し電極19,20と、引き出し電極19,20に電気的に接続されたマウント電極7,8と、を有している。
なお、圧電振動片4の実装方法はフリップチップボンディングに限られず、例えば導電性接着剤を用いてベース基板2の上面Uに圧電振動片4を接合してもよい。
リッド基板3は、ガラス材料、例えばソーダ石灰ガラスからなる陽極接合可能な基板であり、略板状に形成されている。リッド基板3におけるベース基板2との接合面側には、圧電振動片4を収容するキャビティ16が形成されている。そして、リッド基板3はこのキャビティ16をベース基板2側に対向させた状態でベース基板2に対して陽極接合されている。
ベース基板2の上面Uには、アルミニウム(Al)やシリコン(Si)等の導電性材料により、陽極接合用の接合膜23がパターニングされている。接合膜23は、リッド基板3に形成されたキャビティ16の周囲を囲むように、ベース基板2の周縁に沿って形成されている。
そして、これら一対の引き回し電極9,10上にそれぞれバンプ11,12が形成されており、バンプ11,12を利用して圧電振動片4のマウント電極7,8がフリップチップボンディングにより実装される。これにより、圧電振動片4の一方のマウント電極7が、一方の引き回し電極9を介して一方の貫通電極34に導通し、他方のマウント電極8が、他方の引き回し電極10を介して他方の貫通電極35に導通するようになっている。
図5は、図1のB−B線に沿う断面図である。
図2、図3および図5に示すように、ベース基板2の−X側には、一対の貫通電極34,35が形成されている。なお、貫通電極34および貫通電極35は同一である。したがって、以下の説明では貫通電極34について説明し、貫通電極35については説明を省略する。
金属ピン14を位置決め部24aに配置することにより、金属ピン14は貫通孔24の内周面に沿うように配置される。したがって金属ピン14は、ベース基板2の上面Uから下面Lに向かって、−Y側から+Y側に傾斜するように配置される。なお、貫通電極34および貫通電極35は対称形状となっているので、金属ピン15は、ベース基板2の上面Uから下面Lに向かって、+Y側から−Y側に傾斜するように配置される。
ベース基板2の下面Lには、一対の外部電極21,22が形成されている。一対の外部電極21,22は、ベース基板2の−X側に形成され、一対の貫通電極34,35に対してそれぞれ電気的に接続されている。
ここで、前述のとおり、貫通電極34,35を形成する金属ピン14,15は、貫通孔24,25の内周面に沿うように傾斜して配置される。したがって、金属ピン14,15のベース基板2の下面L側におけるピッチは、ベース基板2の上面U側におけるピッチよりも広くなる。これに対応して、ベース基板2の上面Uに形成される引き回し電極9と引き回し電極10との間隔よりも、ベース基板2の下面Lに形成される外部電極21と外部電極22との間隔のほうが広くなるように、外部電極21,22を形成している。
次に、上述した圧電振動子1の製造方法を、フローチャートを参照しながら説明する。
図6は、本実施形態の圧電振動子1の製造方法のフローチャートである。
図7は、リッド基板用ウエハに複数のキャビティ16を形成した状態を示す図である。
図8は、ベース基板用ウエハの上面に接合膜及び引き回し電極をパターニングした状態を示す図である。
図9は、図8の部分拡大図である。
図10は、ウエハ体の分解斜視図である。
ここで、図8から図10に示す点線は、後に行う切断工程で切断する切断線Mを図示している。
本実施形態に係る圧電振動子の製造方法は、主に、圧電振動片作製工程S10と、リッド基板用ウエハ作製工程S20と、ベース基板用ウエハ作製工程S30と、組立工程(S50以降)を有している。そのうち、圧電振動片作製工程S10、リッド基板用ウエハ作製工程S20およびベース基板用ウエハ作製工程S30は、並行して実施することが可能である。
圧電振動片作製工程S10では、図2から図5に示す圧電振動片4を作製する。具体的には、まず水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウエハとする。続いて、このウエハをラッピングして粗加工した後、ポリッシュなどの鏡面研磨加工を行って、一定の厚みのウエハとする。続いて、ウエハに洗浄などの適切な処理を施した後、該ウエハをフォトリソグラフィ技術によって、金属膜の成膜及びパターニングを行って、励振電極5,6、引き出し電極19,20、マウント電極7,8および側面電極13を形成する。これにより、複数の圧電振動片4を作製する。
リッド基板用ウエハ作製工程S20では、図7に示すように、後にリッド基板となるリッド基板用ウエハ50を作製する。まず、ソーダ石灰ガラスからなる円板状のリッド基板用ウエハ50を、所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチングなどにより最表面の加工変質層を除去する(S21)。次いで、キャビティ形成工程S22では、リッド基板用ウエハ50におけるベース基板用ウエハ40との接合面に、キャビティ16を複数形成する。キャビティ16の形成は、加熱プレス成型やエッチング加工などによって行う。
ベース基板用ウエハ作製工程S30では、図8に示すように、後にベース基板となるベース基板用ウエハ40を作製する。まず、ソーダ石灰ガラスからなる円板状のベース基板用ウエハ40を、所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチングなどにより最表面の加工変質層を除去する(S31)。
次いで、ベース基板用ウエハ40に、一対の貫通電極34,35を形成する貫通電極形成工程S30Aを行う。以下に、この貫通電極形成工程S30Aについて、詳細に説明する。なお、貫通電極34および貫通電極35は同一形状となっている。したがって、以下には貫通電極34の形成工程を例にして説明するが、貫通電極35の形成工程についても同様である。
図11は、凹部24bの斜視図である。
貫通電極形成工程S30Aにおいて、ベース基板用ウエハ40に、後の貫通孔24となる凹部24bを形成する貫通孔形成工程S32を行う。本実施形態では、図11に示すように、ベース基板用ウエハ40の上面Uから下面Lにかけて漸次孔径が小さくなるようにプレス加工で凹部24bを成型する。このとき、金属ピン14を配置するための位置決め部24aを、凹部24bの内周面の一部に同時に成型する。
具体的な貫通孔形成工程S32としては、プレス型を加熱しながらベース基板用ウエハ40の上面Uに押圧する。これにより、ベース基板用ウエハ40に、すり鉢状の凹部24bおよび凹部24bの内周面に沿った略半円形状の位置決め部24aが形成される。なお、サンドブラストやエッチング等により凹部24bを形成してもよい。また、凹部24bの底部24cを設けずに、貫通孔24として形成してもよい。
図12は、金属ピン配置工程S33の説明図である。
金属ピン配置工程S33では、図12に示すように、位置決め部24aに金属ピン14を配置する。具体的には、金属ピン14の中心軸と位置決め部24aの中心軸とが略一致するように、金属ピン14をベース基板用ウエハ40の上面Uから位置決め部24aに挿入して配置する。このとき、金属ピン14は、ベース基板2の上面Uから下面Lに向かって、−Y側から+Y側に傾斜するように配置される。なお、金属ピン15は金属ピン14と対称に配置されるため、ベース基板2の上面Uから下面Lに向かって、+Y側から−Y側に傾斜するように配置される。
続いて、凹部24bと金属ピン14との間にペースト材44(図2参照)を充填する充填工程S34を行う。ペースト材44は、前述のとおり、例えばガラスフリットからなる部材である。充填工程S34では、減圧雰囲気下に維持された真空スクリーン印刷機のチャンバー(ともに不図示)内に、ベース基板用ウエハ40を搬送しセットする。その後、ベース基板用ウエハ40の上面Uにペースト材44を塗布する。そして、減圧雰囲気下において、ベース基板用ウエハ40の上面Uでスキージ(不図示)を走査させ、ペースト材44を凹部24b内に充填する。
続いて、凹部24bに充填したペースト材44を焼成して硬化させる硬化工程S35を行う。例えば、ベース基板用ウエハ40を焼成炉に搬送した後、600℃程度の雰囲気下に30分程度保持する。これにより、ペースト材44が固化し、凹部24b、ペースト材44および金属ピン14が互いに固着する。
続いて、ベース基板用ウエハ40の少なくとも下面Lを研磨して、凹部24bの底部24cを除去する研磨工程S36を行う。下面Lを研磨して凹部24bの底部24c(図11および図12参照)を除去することで、金属ピン14の先端が下面Lに露出する。また、必要に応じて上面Uの研磨も行う。これにより、確実に金属ピン14の先端を上面Uに露出させることができる。
研磨工程S36を行った時点で、貫通電極形成工程S30Aが終了する。
次に、ベース基板用ウエハ40の上面Uに導電性材料をパターニングして、接合膜23(図9参照)を形成する接合膜形成工程S37を行う。また、貫通電極34,35にそれぞれ電気的に接続された引き回し電極9,10(図9参照)を複数形成する引き回し電極形成工程S38を行う。そして、引き回し電極9,10上に、それぞれ金等からなるバンプ11,12(図4参照)を形成する。なお、図8から図10では、図面の見易さのためバンプの図示を省略している。
次に、ベース基板用ウエハ40の下面Lに導電性材料をパターニングして、一対の貫通電極34,35にそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極21,22(図5参照)を形成する外部電極形成工程S40を行う。
前述のとおり、ベース基板用ウエハ40の下面Lに露出した金属ピン14と金属ピン15のピッチは、ベース基板用ウエハ40の上面Uに露出した金属ピン14と金属ピン15のピッチよりも広くなっている。したがって、ベース基板2の下面Lに形成される外部電極21,22の間隔は、ベース基板2の上面Uに形成される引き回し電極9,10の間隔よりも広くなるように形成される。この工程により、圧電振動片4は、貫通電極34,35を介して外部電極21,22と導通する。
外部電極21,22を形成した時点でベース基板用ウエハ作製工程S30が終了する。
次に、ベース基板用ウエハ40の引き回し電極9,10上に、バンプ11,12を介して圧電振動片4を接合するマウント工程S50を行う。具体的には、圧電振動片4をフリップチップボンダの接合ヘッド(不図示)でピックし、バンプ11,12を所定温度に加熱しながら接合ヘッドを振動させ、圧電振動片4をバンプ11,12に押し付ける。これにより、圧電振動片4の水晶板17がベース基板用ウエハ40の上面Uから浮いた状態で、マウント電極7,8がバンプ11,12にフリップチップボンディングされる。
本実施形態によれば、ベース基板2の外側に露出した貫通電極34,35の電極間ピッチが、ベース基板2の内側に露出した貫通電極34,35の電極間ピッチよりも広くなるように形成しているので、圧電振動子1内の圧電振動片4のマウント電極7,8の電極間ピッチよりも、ベース基板2の外側に露出した貫通電極34,35の電極間ピッチを広くすることができる。これにより、ベース基板2の外側において、貫通電極34,35と電気的に接続される外部電極21,22の間隔を広く確保できるので、圧電振動子1を実装する時の製造不良を抑制できる。
次に、実施形態の変形例について説明する。
図13は、実施形態の変形例における圧電振動子1の製造方法のフローチャートである。
図14は、実施形態の変形例における封止工程S34Aの説明図であり、図14(a)は封止前の説明図であり、図14(b)は封止後の説明図である。
上述の実施形態では、貫通電極形成工程S30Aにおいて、充填工程S34によりガラスフリット等のペースト材44,45(図5参照)を凹部24b,25bに充填した後、硬化工程S35でペースト材44,45を焼成して硬化させていた。
しかし、変形例では、貫通電極形成工程S30Aにおいて、封止工程S34Aによりベース基板用ウエハ40を座屈変形させて凹部24b,25bを封止し、硬化工程S35Aでは、座屈変形したベース基板用ウエハ40およびベース基板用ウエハ材料を冷却して硬化させている点で異なっている。なお、封止工程S34A、硬化工程S35Aおよび研磨工程S36以外の構成は上述した実施形態と同一であるため説明を省略する。
封止工程S34Aは、図14に示すように、ベース基板用ウエハ40を嵌入可能な受け部80aを有する受型80と、受け部80aに嵌入されたベース基板用ウエハ40を押圧する加圧型82を用いて行う。
具体的には、まず、受型80の受け部80aにベース基板用ウエハ40をセットした後、受型80をベース基板用ウエハ40とともに加熱炉(不図示)に配置する。
続いて、所定温度になるように加熱炉を加熱する。そして、図14(a)に示すように、ベース基板用ウエハ40の表層部の一部を溶融しつつ、プレス機(不図示)等を利用して加圧型82によってベース基板用ウエハ40を押圧する。この結果、図14(b)に示すように、ベース基板用ウエハ材料40aを座屈変形させ、凹部24b,25bと金属ピン14,15との間隙を埋めることができる。
そして、硬化工程S35Aでは、ベース基板用ウエハ40を加熱炉から取り出し、溶融したベース基板用ウエハ材料40aを自然冷却する。硬化工程S35Aにより、溶融して座屈変形したベース基板用ウエハ材料40aは冷却して硬化する。したがって、ベース基板用ウエハ40と金属ピン14,15とを一体的に固定させ、凹部24b,25bを封止することができる。
図15は、研磨工程S36の説明図である
硬化工程S35Aの後、凹部24b,25bの開口側における金属ピン14,15の先端は、溶融して座屈変形したベース基板用ウエハ材料40aに覆われるため、ベース基板用ウエハ40の上面から露出していないおそれがある。また、第1実施形態と同様に、凹部24b,25bの底部を除去する必要がある。したがって、ベース基板用ウエハ40の上面および下面の研磨をする研磨工程S36を行う。これにより、図15に示すように、ベース基板用ウエハ40の表面に、金属ピン14,15の先端を確実に露出させている。
本実施形態の変形例によれば、金属ピン配置工程S33を有しているので、貫通孔24,25の内周面に金属ピン14,15を傾斜させて配置することができる。また、ベース基板用ウエハ材料40aにより貫通孔24,25の内周面と金属ピン14,15の外周面との間隙を封止する封止工程S34Aを有しているので、貫通孔24,25の内周面と金属ピン14,15の外周面との間隙にベース基板用ウエハ材料40aを行き渡らせることができる。そして、硬化工程S35Aでベース基板用ウエハ材料40aを硬化させることにより、圧電振動子1内の気密を維持することができる。
本実施形態では、パッケージの内部にATカット型の圧電振動片4を封入した圧電振動子1を例にして説明をした。しかし、これに限られるものではなく、パッケージの内部に音叉型の圧電振動片を封入してもよい。また、圧電振動片以外の素子を封入してもよい。
Claims (8)
- 互いに接合された複数の基板の間に形成されたキャビティ内に、電子部品を封入可能なパッケージであって、
前記複数の基板のうち、第1基板を厚さ方向に貫通し、前記第1基板の内側と前記第1基板の外側に設けられた外部電極とを導通する複数の貫通電極を備え、
各貫通電極は、前記第1基板の前記外部電極側に露出している電極間ピッチが、前記第1基板の前記内側に露出している電極間ピッチよりも広くなるように形成され、
前記貫通電極は棒状の金属ピンであって、
前記第1基板に、前記金属ピンを前記内側から前記外側に向かって末広がりとなるように埋設し、
前記第1基板に、前記金属ピンを配置するための貫通孔を形成し、
前記貫通孔を、前記第1基板の前記内側から前記外側に向かって漸次孔径が小さくなるように形成し、
前記貫通孔の内周面に前記金属ピンを配置し、
前記貫通孔の内周面に、前記金属ピンの姿勢を保持するための位置決め部を形成し、
前記貫通孔の内周面に、前記第1基板の厚さ方向に沿い、かつ前記金属ピンを受け入れ可能な溝を形成し、この溝を前記位置決め部として機能させたことを特徴とするパッケージ。 - 前記貫通電極は、一対設けられ、
前記貫通孔を、前記第1基板の前記内側から前記外側に向かって漸次孔径が小さくなる円錐台形状に形成し、
一対の前記貫通電極に形成される前記溝は、対称形状とされることを特徴とする請求項1に記載のパッケージ。 - 前記溝は、前記貫通孔の中心軸に垂直な方向の断面形状が半円形状となっていることを特徴とする請求項1または2に記載のパッケージ。
- 前記第1基板の前記外側の面には、一対の前記外部電極が形成され、
前記第1基板の前記内側の面には、前記貫通電極を介して一対の前記外部電極とそれぞれ電気的に接続された一対の引き回し電極が形成され、
一対の前記外部電極の間隔は、一対の前記引き回し電極の間隔よりも広くなっていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のパッケージ。 - 互いに接合された複数の基板の間に形成されたキャビティ内に、電子部品を封入可能なパッケージを製造するパッケージ方法であって、
前記複数の基板のうち、第1基板を厚さ方向に貫通し、前記第1基板の内側と前記第1基板の外側に設けられた外部電極とを導通する複数の貫通電極を形成する貫通電極形成工程を備え、
前記貫通電極形成工程は、
前記第1基板に、前記第1基板の前記内側から前記外側に向かって漸次孔径が小さくなる貫通孔と、前記貫通孔の内周面に、前記第1基板の厚さ方向に沿い、かつ金属ピンを受け入れ可能な溝と、を形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔の内周面に形成された前記溝に前記金属ピンを挿入し、前記内側から前記外側に向かって末広がりとなるように前記金属ピンを配置する金属ピン配置工程と、
前記貫通孔の内周面と前記金属ピンの外周面との間隙に、ペースト材を充填して前記間隙を封止する充填工程と、
前記貫通孔内に充填された前記ペースト材を硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とするパッケージ製造方法。 - 互いに接合された複数の基板の間に形成されたキャビティ内に、電子部品を封入可能なパッケージを製造するパッケージ方法であって、
前記複数の基板のうち、第1基板を厚さ方向に貫通し、前記第1基板の内側と前記第1基板の外側に設けられた外部電極とを導通する複数の貫通電極を形成する貫通電極形成工程を備え、
前記貫通電極形成工程は、
前記第1基板に、前記第1基板の前記内側から前記外側に向かって漸次孔径が小さくなる貫通孔と、前記貫通孔の内周面に、前記第1基板の厚さ方向に沿い、かつ金属ピンを受け入れ可能な溝と、を形成する貫通孔形成工程と、
前記貫通孔の内周面に形成された前記溝に前記金属ピンを挿入し、前記内側から前記外側に向かって末広がりとなるように前記金属ピンを配置する金属ピン配置工程と、
前記第1基板を加圧しながら加熱し、前記第1基板の一部を溶融して第1基板材料とし、前記貫通孔の内周面を、この内周面と前記金属ピンとの間隙を埋めるように座屈変形させて前記間隙を封止する封止工程と、
前記間隙を埋めた前記第1基板材料を硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とするパッケージ製造方法。 - 前記貫通孔形成工程では、前記貫通孔の中心軸に垂直な方向の断面形状が半円形状となるように前記溝を形成し、
前記金属ピン配置工程では、前記金属ピンの中心軸と前記溝の中心軸とが一致するように、前記金属ピンを前記溝に挿入して配置することを特徴とする請求項5または6に記載のパッケージ製造方法。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のパッケージであって、前記キャビティの内部に、前記電子部品として圧電振動片が封入されていることを特徴とする圧電振動子。
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