JP2011139001A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の基板に成膜する際に、基板間での膜厚のばらつきを抑制する。
【解決手段】チャンバ(2)内で複数の基板(1)に膜を形成する成膜装置は、保持機構(3)と、ガス導入管(5)と、を有する。保持機構(3)は、天板(6)と底板(7)とを有し、チャンバ(2)内で天板(6)と底板(7)との間に、複数の基板(1)を該基板の板面に直交する第1の方向(T)に所定の間隔を空けて保持する。ガス導入管(5)は、第1の方向(T)に沿って延び、材料ガスを噴射する噴射口(5a)が第1の方向(T)に並べて設けられている。天板(6)と底板(7)のうちの少なくとも一方は、複数の基板(1)を保持する保持機構(3)の領域から、ガス導入管(5)の噴射口(5a)が形成された部分を越えて存在している。
【選択図】図1
【解決手段】チャンバ(2)内で複数の基板(1)に膜を形成する成膜装置は、保持機構(3)と、ガス導入管(5)と、を有する。保持機構(3)は、天板(6)と底板(7)とを有し、チャンバ(2)内で天板(6)と底板(7)との間に、複数の基板(1)を該基板の板面に直交する第1の方向(T)に所定の間隔を空けて保持する。ガス導入管(5)は、第1の方向(T)に沿って延び、材料ガスを噴射する噴射口(5a)が第1の方向(T)に並べて設けられている。天板(6)と底板(7)のうちの少なくとも一方は、複数の基板(1)を保持する保持機構(3)の領域から、ガス導入管(5)の噴射口(5a)が形成された部分を越えて存在している。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数の基板の表面に膜を形成する成膜装置に関する。
例えばウエハのような基板上に膜を形成する装置として、化学気相成長(Chemical Vaper Deposition:CVD)装置や原子層堆積(Atomic Layer Deposition:ALD)装置のような成膜装置などがある。
特許文献1には、縦型の反応炉を備えたCVD装置が開示されている。図1は、特許文献1に記載のCVD装置を示している。このCVD装置は、円柱形状のチャンバ72と、チャンバ72内に材料ガスを導入するガス導入管75と、チャンバ72内の気体をチャンバ72外へ排出する排気口79と、チャンバ72内を加熱するヒータ80とを備えている。チャンバ72内には、複数の基板1が、所定の間隔をあけてボード73に置かれている。
ガス導入管75は、ボード73に置かれた基板1が並んでいる方向Tに沿って延びている。材料ガスは、ガス導入管75に設けられたガス導入口からウエハに向けて噴射される。材料ガスは基板1間の隙間を通って排気口79へ向けて流動する。そして、ヒータ80によって材料ガスおよび基板1が加熱されることで、材料ガスが反応し、基板1上に薄膜が形成される。
図7を用いて、特許文献1に記載のCVD装置で生じる問題点について説明する。なお、図7は、当該問題点を説明するために、本願発明者によって作成されたものであり、CVD装置のボートの天板付近を拡大して示している。
基板1が置かれるボードは、天板76と底板77とを有しており、天板76と底板77との間に複数の基板1を保持する。ガス導入管75の噴射口75aから噴射された材料ガスの一部は、ガス導入管75と天板76との間の隙間Y2から、基板1が配されていない領域、つまり天板76の上方の領域へ飛散する(図7の矢印A参照。)。これにより、天板76に近い基板1では、供給される材料ガスの量が低下し、天板76に近い基板1に堆積される膜の厚みは低下する。このように、基板1に供給される材料ガスの流量が基板1間で不均一となる結果として、基板1に堆積する膜の厚みが基板間で不均一になってしまう。
また、底板77付近に配置された基板1に対しても、同様な理由のため、堆積される膜の厚みは低下する。そのため、天板76および底板77の近くに置かれた基板1では、目標とする膜厚に成膜することができないため、製品として使用できず、成膜された製品の生産性が低下することになる。
特にALD装置では、材料ガスが表面反応のみによって基板表面に堆積されるため、材料ガスの流量の差異から生じる膜厚の不均一性の問題が顕著に表れる。
一実施形態における成膜装置は、チャンバ内で複数の基板に膜を形成する成膜装置は、保持機構と、ガス導入管と、を有する。保持機構は、天板と底板とを有し、チャンバ内で天板と底板との間に、複数の基板を該基板の板面に直交する第1の方向に所定の間隔を空けて保持する。ガス導入管は、第1の方向に沿って延び、材料ガスを噴射する噴射口が第1の方向に並べて設けられている。天板と底板のうちの少なくとも一方は、複数の基板を保持する保持機構の領域から、ガス導入管の噴射口が形成された部分を越えて存在している。
本発明によれば、基板間で、膜厚のばらつきを抑制することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、第1の実施形態における成膜装置を示している。成膜装置は、チャンバ壁(チューブ)4と、保持機構3(例えばウエハボード)と、ガス導入管5とを備えている。チャンバ壁4は、反応室としてのチャンバ2を構成している。保持機構3は、例えばウエハのような基板1を保持する。ガス導入管5は、チャンバ2内に材料ガスを導入する。
チャンバ2は略円柱形状であることが好ましく、この円柱の一端は開放されている。チャンバ2を構成するチャンバ壁4は、一例として、石英ガラス製であることが好ましい。
保持機構3は、天板6および底板7を有し、天板6と底板7との間に、複数の基板1を所定の間隔を空けて保持することができる。具体的には、保持機構3は、基板1の板面に直交する方向T(第1の方向)に複数の基板1を並べて保持することができる。天板6および底板7は、例えば石英ガラスから成ることが好ましい。
保持機構3は、チャンバ2の開放された端部を介して、チャンバ2の内側からチャンバ2の外側へ移動可能になっていることが好ましい。保持機構3がチャンバ2内に入れられているときには、保持機構3を支える支持台12によって、チャンバ2内が気密に維持される。このようにして、成膜処理中には、チャンバ2内は気密に保たれる。
チャンバ2を構成するチャンバ壁4の外側面の周りには、チャンバ壁4を包囲するように設置されたヒータ10が備えられていることが好ましい。このヒータ10によってチャンバ2内の温度が制御される。また、ヒータ10およびチャンバ壁4は、筐体11で覆われていることが好ましい。
ガス導入管5は、筐体11の底部付近から筐体11の内部を通り、チャンバ2内に延びている。ガス導入管5は、チャンバ2内において、おおむね基板1が並べられた方向Tに沿って延びている。ガス導入管5は、好ましくは、チャンバ2内に置かれた基板1の位置に合わせて形成された複数の噴射口5aを有している。この噴射口5aから基板1に向けて材料ガスが噴射される。ガス導入管5は、例えば石英ガラスから成ることが好ましい。ガス導入管5の、チャンバ2の外部側の一端は、材料ガスを供給するための供給口8となっている。ガス導入管5に形成された噴射口5aは、保持機構3に置かれたウエハ1間の間隔と等しい間隔で配置されることが好ましい。
成膜装置は、チャンバ2内の気体を排気する排気口9を有している。排気口9は、チャンバ2内に置かれた保持機構3に対して、ガス導入管5の噴射口5aとは概ね反対側に設けられている。排気口9は、チャンバ2内の圧力を調整する圧力調整機構としてスロットルバルブ(不図示)を介して排気装置(不図示)に接続されている。これにより、チャンバ2内の圧力が制御可能になっている。
噴射口5aから噴射された材料ガスは、基板1間の隙間Y(図2参照。)を通って、陰圧にされた排気口9に向かって流れる。材料ガスは、ヒータ10によって加熱されることで反応し、反応生成物が基板1の表面と接触して、当該基板1の表面に反応性生物が堆積する。余剰の材料ガスは、排気口9からチャンバ2の外へ排出される。
図2は、保持機構3の底板7付近の拡大斜視図である。図2に示すように、底板7は、複数の基板1を保持する保持機構3の領域から、ガス導入管5の噴射口5aが形成された部分を越えて存在している。つまり、噴射口5aは、底板7の縁部はよりも基板1に近い位置にある。したがって、底板7付近に設けられた噴射口5aから噴射された材料ガスは、底板7によって基板1へ導かれる。これにより、底板7の下方の領域、つまり基板1が設けられていない領域に、材料ガスが飛散することが抑制される。したがって、底板7付近に置かれた基板1に供給される材料ガスの量の低下が抑制され、その結果、基板1間での膜厚のばらつきが抑制される。
天板6も、底板7と同様に、複数の基板1を保持する保持機構3の領域から、ガス導入管5の噴射口5aが形成された部分を越えて存在していることが好ましい。この場合、天板6付近に置かれた基板1に供給される材料ガスの量の低下が抑制される。
なお、天板6と底板7のうちの少なくとも一方が、複数の基板1を保持する保持機構3の領域から、ガス導入管5の噴射口5aが形成された部分を越えて存在していれば、基板1間に形成される膜の厚みを均一化させる効果が生じる。
上述したように、ガス導入管5の噴射口5aが底板7の縁部よりも基板1の近くに位置するため、ガス導入管5は、図1に示すように、クランク形状に屈曲した屈曲部5bを有している。具体的には、底板7の下方から上方に延びているガス導入管5は、底板7の表面に沿って、保持機構3に保持されている基板1に近づく方向に屈曲しており、さらに、基板1が並べられた方向T1に屈曲している。
保持機構3は、天板6および底板7の板面に直交する軸を中心に回転可能に構成されていることが好ましい。これにより、成膜装置は、成膜処理中に、基板1を一定方向に回転させて、基板1の全周に対して均等に材料ガスを供給することができる。このようにして、各々の基板1に形成される膜の厚みが均一化される。
この場合、保持機構3がチャンバ2内で回転しているときに、天板6と底板7のうちの少なくとも一方が、常に、複数の基板1を保持する保持機構3の領域から、ガス導入管5の噴射口5aが形成された部分を越えて存在していることが好ましい。このために、天板6および底板7は、同一の中心軸Sを有し、当該中心軸Sを中心として回転する円板からなることが好ましい。
基板1を保持する保持機構3は、チャンバ2の外部に設置された不図示の昇降機構(エレベータ)によって、ガス導入管5が延びている方向Tに沿って移動可能になっていることが好ましい。保持機構3は、チャンバ2の中から外に移動することで、基板1を出し入れすることができるようになっている。
天板6のより好ましい一形態について図3を参照して説明する。上記のように、保持機構3がガス導入管5に沿って移動可能になっている場合、保持機構3の移動時に天板6が円板形状であると、天板6がガス導入管5と衝突してしまう。そこで、天板6の縁部には、保持機構3の移動時に天板6がガス導入管5に衝突しないように、切り欠き部21が形成されていることが好ましい。具体的には、天板6には、ガス導入管5の直径φ2よりも大きな直径φ1を有する略円形状の切り欠き部21が形成されていることが好ましい。
天板6に切り欠き部21が存在したとしても、噴射口5aからの材料ガスが天板6の上方に飛散することは抑制される。実際に、本願発明者は、天板6に近い基板1への材料ガスの流量の低下が抑制されることを確認している。
また、成膜処理中に天板6は回転するため、切り欠き部21が噴射口21から遠くに位置しているときには、明らかに、天板6に近い基板1への材料ガスの流量の低下が抑制される。
成膜装置は、成膜処理前および成膜処理後の基板1の出し入れを行うためのロードロックチャンバ(不図示)を備えていることが好ましい。ロードロックチャンバと成膜処理用のチャンバ2とは、ゲートバルブで仕切られている。真空に維持されたロードロックチャンバ内で基板1の出し入れを行うことで、基板1を出し入れする際にもチャンバ2内を真空に維持することができる。
次に、図4を参照して、材料ガスの供給、圧力制御および温度制御のタイミングの一例について説明する。図4では、2種類の材料ガスを使用する例について説明する。材料ガスとしては、例えばテトラキスエチルメチルアミノジルコニウム(TEMAZ:Zr[N(CH3)CH2CH3]4)のような第1の材料ガスと、オゾン(O3)のような第2の材料ガスとを用いることができる。
成膜処理を開始すると、基板1はロードロックチャンバから保持機構3に置かれる。基板1を保持すると、保持機構3をチャンバ2内に挿入して、チャンバ2内の温度を上昇させる(時刻t1)。チャンバ2内の温度が所定の温度T2に達した後(時刻t2)、さらに温度が安定するまで待機する(時刻t3)。
時刻t3において、TEMAZをチャンバ2内に導入するとともに、チャンバ2内の圧力を所定の値P2に上昇させる。このとき、TEMAZは、ガス導入管5の噴射口5aから噴射され、基板1間の隙間に十分に供給され、基板1に吸着する。上記実施形態の成膜装置を用いることで、複数の基板1の夫々に、TEMAZを行き渡らせることができるため、基板1間でのTEMAZの吸着分布が均一になる。
十分にTEMAZが吸着されると、TEMAZの供給を停止して圧力を所定の値P3まで下げて、チャンバ2内を排気する(時刻t4)。これにより、基板1に吸着していないTEMAZがチャンバ2外へ排出される。その後、オゾンの供給を開始して、圧力を所定の値P2に戻して、TEMAZの酸化を開始する(時刻t5)。オゾンも、TEMAZと同様に、基板1間の隙間に十分供給されるので、酸化ムラが低減され、基板1間で均一な酸化膜を形成することができる。
オゾンの導入による酸化処理が終了すると、オゾンの供給を停止して圧力を所定の値P3に低下させ、不要なオゾンの排出を開始する(時刻t6)。オゾンの排出を十分に終えると、1回目の成膜処理が終了し、基板1上に所望の酸化薄膜が形成される(時刻t7)。
以後、時刻t3から時刻t7までの間に行った成膜処理を繰り返すことで、所望の膜厚を有する酸化膜を形成することができる。図4では、3回の成膜処理を繰り返した例が示されている。なお、2回目の成膜処理は、時刻t7から時刻t11までの期間に相当し、3回目の成膜処理は、時刻t11から時刻t15までの期間に相当する。本例に限定されず、成膜処理の回数は、薄膜の厚みなどに応じて適宜変更可能である。
所定の回数の成膜処理が終了した後、温度を下げ始め(時刻t16)、所定の温度T1になった時刻t17に一連の処理が終了する。
図5は、第2の実施形態における成膜装置の概略断面図である。第2の実施形態における成膜装置では、チャンバ2内へ材料ガスを導入するガス導入管5の形状が第1の実施形態におけるものと異なっている。その他の構成は、第1の実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
ガス導入管5は、底板7の表面に沿って、保持機構3に保持されている基板1に近づく方向に屈曲したL字型の屈曲部5cを有している。ガス導入管5は、チャンバ2内において、このような屈曲部5cは一箇所だけある。したがって、第2の実施形態におけるガス導入管の形状は、第1の実施形態におけるガス導入管と比較して簡素化される。このように、ガス導入管5の形状が簡素化されるため、成膜装置の製造は容易になり、ガス導入管の破損の可能性が低減するという効果がある。
上述した実施形態における成膜装置は、CVD装置やALD装置のような成膜装置全般に使用可能であるが、ALD装置として使用すると、薄膜を厚みの均一化という観点で得られる効果が大きい。なぜなら、ALD法では、基板に形成される薄膜の厚みが、基板表面に供給される材料ガスの量に強く依存するからである。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更および修正が可能であり、それらも本発明の範囲内に含まれるものであることはいうまでもない。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全ての記載および技術的思想に基づいて、当業者であればなし得るであろう各種の変形および修正を含むことは勿論である。
1 基板
2 チャンバ
3 保持機構
4 チャンバ壁
5 ガス導入管
5a 噴射口
5c 屈曲部
6 天板
7 底板
8 供給口
9 排気口
10 ヒータ
11 筐体
12 台座
21 切り欠き部
2 チャンバ
3 保持機構
4 チャンバ壁
5 ガス導入管
5a 噴射口
5c 屈曲部
6 天板
7 底板
8 供給口
9 排気口
10 ヒータ
11 筐体
12 台座
21 切り欠き部
Claims (8)
- チャンバ内で複数の基板に膜を形成する成膜装置であって、
天板と底板とを有する保持機構であって、前記チャンバ内で前記天板と前記底板との間に、複数の基板を該基板の板面に直交する第1の方向に所定の間隔を空けて保持する保持機構と、
前記第1の方向に沿って延び、材料ガスを噴射する噴射口が前記第1の方向に並べて設けられたガス導入管と、を有し、
前記天板と前記底板のうちの少なくとも一方が、前記複数の基板を保持する前記保持機構の領域から、前記ガス導入管の前記噴射口が形成された部分を越えて存在している、成膜装置。 - 前記天板と前記底板の両方が、前記複数の基板を保持する前記保持機構の領域から、前記噴射口が形成された位置を越えて存在している、請求項1に記載の成膜装置。
- 前記保持機構は、前記天板および前記底板の板面に直交する軸を中心に回転可能に構成されており、
前記保持機構が前記チャンバ内で回転しているときに、前記天板と前記底板のうちの少なくとも一方が、常に、前記複数の基板を保持する前記保持機構の領域から、前記ガス導入管の前記噴射口が形成された部分を越えて存在している、請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記天板が、前記複数の基板を保持する前記保持機構の領域から、前記ガス導入管の前記噴射口が形成された部分を越えて存在しており、
前記保持機構は、前記チャンバに前記基板を出し入れできるように、前記チャンバの中と外との間を前記第1の方向に沿って移動可能に構成されており、
前記天板の縁部には、前記保持機構の移動時に該天板が前記ガス導入管に衝突しないように、切り欠き部が形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 前記天板および前記底板は、同一の中心軸を有する円板からなり、
前記保持機構は、前記中心軸を中心として回転可能に構成されており、
前記噴射口は、前記天板および前記底板の縁部よりも前記中心軸の近くに配されている、請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記天板は、縁部に切り欠き部が形成された円板からなり、
前記底板は、前記天板の中心軸と同一の中心軸を有する円板からなり、
前記保持機構は、前記中心軸を中心として回転可能に構成されており、
前記噴射口は、前記天板および前記底板を構成する円板の縁部よりも前記中心軸の近くに配されている、請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記ガス導入管は、前記第1の方向に沿って延びる部分と、前記底板の表面に沿って、前記保持機構が基板を保持する位置に近づくように屈曲した屈曲部とを有している、請求項1から6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記ガス導入管の前記屈曲部は一箇所にある、請求項7に記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010000115A JP2011139001A (ja) | 2010-01-04 | 2010-01-04 | 成膜装置 |
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JP2010000115A JP2011139001A (ja) | 2010-01-04 | 2010-01-04 | 成膜装置 |
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JP2010000115A Pending JP2011139001A (ja) | 2010-01-04 | 2010-01-04 | 成膜装置 |
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