JP2011138835A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6660937B2 (ja) * 2015-03-18 2020-03-11 株式会社日立ハイテクノロジーズ 点検デバイス
KR102413791B1 (ko) 2017-10-30 2022-06-28 삼성전자주식회사 기판 캐리어
JP7286803B2 (ja) * 2019-12-17 2023-06-05 ヤマハ発動機株式会社 搬送装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001330620A (ja) * 2000-03-14 2001-11-30 Omron Corp 振動・衝撃警報装置
JP2001264157A (ja) * 2000-03-14 2001-09-26 Omron Corp 振動データ収集ツールと、この振動データ収集ツールを用いた振動管理装置
JP4222589B2 (ja) * 2001-03-26 2009-02-12 キヤノンアネルバ株式会社 基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置
JP2005171940A (ja) * 2003-12-15 2005-06-30 Hitachi Constr Mach Co Ltd 建設機械のエンジンメンテナンス時期予測装置及び予測方法
JP4403841B2 (ja) * 2004-03-19 2010-01-27 株式会社安川電機 ウェハ有無検出装置およびこれを用いた搬送ロボット装置
JP2005334836A (ja) * 2004-05-31 2005-12-08 Renesas Technology Corp 搬送台車、およびそれを用いた軌道清掃方法、走行検査方法並びに半導体装置の製造方法
JP2006278396A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Tokyo Electron Ltd 処理装置及びプログラム
JP2006310349A (ja) * 2005-04-26 2006-11-09 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造システム及び製造方法
JP2009124078A (ja) * 2007-11-19 2009-06-04 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置

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